JPH0218593B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0218593B2 JPH0218593B2 JP57139179A JP13917982A JPH0218593B2 JP H0218593 B2 JPH0218593 B2 JP H0218593B2 JP 57139179 A JP57139179 A JP 57139179A JP 13917982 A JP13917982 A JP 13917982A JP H0218593 B2 JPH0218593 B2 JP H0218593B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trimming
- adjustment
- range
- functional
- characteristic value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
- H01C17/24—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material
- H01C17/242—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material by laser
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、集積回路等の機能調整トリミングを
自動的に行う機能トリマにおいて、その機能トリ
ミングを高速で制御・処理するための機能トリミ
ング方法に関するものである。
自動的に行う機能トリマにおいて、その機能トリ
ミングを高速で制御・処理するための機能トリミ
ング方法に関するものである。
この種の従来の機能トリマは、その調整精度
（トリミング精度）を高くするため、例えば、そ
の機能トリミングの初期と後期とでトリミング速
度を変化させることにより、トリミング量が最初
に粗く、徐々に微細とるように制御・処理をして
いた。したがつて、比較的に高速化が困難であつ
た。
（トリミング精度）を高くするため、例えば、そ
の機能トリミングの初期と後期とでトリミング速
度を変化させることにより、トリミング量が最初
に粗く、徐々に微細とるように制御・処理をして
いた。したがつて、比較的に高速化が困難であつ
た。
このような機能トリミング方法は、ある程度、
調整精度を犠牲にすれば高速化も可能であるが、
特性値測定、同読取りを行つて調整目標値との差
を解析した後にトリミング量を決定するというよ
うに、調整精度を良好に保つて高速で機能トリミ
ングを行うのには適していない。
調整精度を犠牲にすれば高速化も可能であるが、
特性値測定、同読取りを行つて調整目標値との差
を解析した後にトリミング量を決定するというよ
うに、調整精度を良好に保つて高速で機能トリミ
ングを行うのには適していない。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、トリミング精度を良好に保つとともに当該
機能トリミングを高速で制御・処理することがで
きる機能トリミング方法を提供することにある。
くし、トリミング精度を良好に保つとともに当該
機能トリミングを高速で制御・処理することがで
きる機能トリミング方法を提供することにある。
本発明に係る機能トリミング方法の構成は、ワ
ークの位置決めをし、その対象部分についてのト
リミングと特性値測定とを交互に繰り返して機能
トリミングを行う機能トリマにおいて、調整目標
範囲に至るまでの間に複数段階の調整範囲を設定
しておき、トリミングの対象部分の特性値がいず
れの調整範囲内にあるかを判定するとともに、調
整目標範囲の中心値と当該特性値との差に応じて
当該調整範囲対応の所定のトリミング定数に基づ
き所要の、トリミング量を決定して機能トリミン
グを行わしめ、以後、順次に同様の処理を繰り返
して上記対象部分の特性値を調整目標範囲内に入
れるように制御・処理をするものである。
ークの位置決めをし、その対象部分についてのト
リミングと特性値測定とを交互に繰り返して機能
トリミングを行う機能トリマにおいて、調整目標
範囲に至るまでの間に複数段階の調整範囲を設定
しておき、トリミングの対象部分の特性値がいず
れの調整範囲内にあるかを判定するとともに、調
整目標範囲の中心値と当該特性値との差に応じて
当該調整範囲対応の所定のトリミング定数に基づ
き所要の、トリミング量を決定して機能トリミン
グを行わしめ、以後、順次に同様の処理を繰り返
して上記対象部分の特性値を調整目標範囲内に入
れるように制御・処理をするものである。
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。
る。
第１図は、本発明に係る機能トリミング方法の
一実施例の方式構成図、第２図は、その処理フロ
ーチヤートである。
一実施例の方式構成図、第２図は、その処理フロ
ーチヤートである。
ここで、１は、以下に述べる各部分の制御を行
つて機能トリミングのために所要の処理を実行す
る処理装置、２は、機能トリミング対象のワーク
Ｗ（例えば、被調整の集積回路）の位置決めをす
る位置決装置２、３は、ワークＷの対象部分の特
性値を測定する測定装置、４は、トリミング用の
レーザビームを出力するレーザ発振器、５は、そ
のレーザビームを走査するレーザビーム走査装置
である。なお、トリミングは、必ずしも、上記の
ようにレーザビームによるものに、限定する必要
はない。
つて機能トリミングのために所要の処理を実行す
る処理装置、２は、機能トリミング対象のワーク
Ｗ（例えば、被調整の集積回路）の位置決めをす
る位置決装置２、３は、ワークＷの対象部分の特
性値を測定する測定装置、４は、トリミング用の
レーザビームを出力するレーザ発振器、５は、そ
のレーザビームを走査するレーザビーム走査装置
である。なお、トリミングは、必ずしも、上記の
ようにレーザビームによるものに、限定する必要
はない。
まず、処理装置１の制御により、位置決装置２
は、ワークＷを、ワーク着脱位置からトリミング
位置への搬送・位置決めをした後、測定装置３と
ワークＷとを電気的に接続せしめる。
は、ワークＷを、ワーク着脱位置からトリミング
位置への搬送・位置決めをした後、測定装置３と
ワークＷとを電気的に接続せしめる。
次に、測定装置３は、ワークＷを動作状態にし
て、その対象部分の特性値を測定し、その値Xiを
処理装置６に読み取らせる。
て、その対象部分の特性値を測定し、その値Xiを
処理装置６に読み取らせる。
処理装置６は、測定値Xiが前もつて設定してあ
る調整目標範囲（S0±T0）内にあるか否かを判
定する。ここで、S0は調整目標中心値、T0は許
容公差である。
る調整目標範囲（S0±T0）内にあるか否かを判
定する。ここで、S0は調整目標中心値、T0は許
容公差である。
いま、特性値Xiが上記調整目標範囲（S0±T0）
内であれば、トリミングは行わず直ちに調整終了
としてワークＷを着脱位置へ戻す。範囲外であれ
ば、特性値Xiが粗調整の調整範囲S1±T1）にあ
るか否かを判定する。
内であれば、トリミングは行わず直ちに調整終了
としてワークＷを着脱位置へ戻す。範囲外であれ
ば、特性値Xiが粗調整の調整範囲S1±T1）にあ
るか否かを判定する。
その範囲内であれば、調整目標中心値S0と特性
値Xiとの差（S0−Xi）に粗調整用の切断定数（ト
リミング定数）R1を乗じた値（S0−Xi）×R1＝Li
を求め、レーザ発振器４を発振器させながら、レ
ーザビーム走査装置５を制御して、ワークＷ上の
対象部分（例えば、抵抗体、コンデンサなど）を
長さLiだけ切断し、レーザ発振、レーザビーム走
査を停止する。次いで、再度特性値を測定して以
上の動作を繰り返す。
値Xiとの差（S0−Xi）に粗調整用の切断定数（ト
リミング定数）R1を乗じた値（S0−Xi）×R1＝Li
を求め、レーザ発振器４を発振器させながら、レ
ーザビーム走査装置５を制御して、ワークＷ上の
対象部分（例えば、抵抗体、コンデンサなど）を
長さLiだけ切断し、レーザ発振、レーザビーム走
査を停止する。次いで、再度特性値を測定して以
上の動作を繰り返す。
特性値Xiが上記の粗調整の調整範囲（S1±T1）
外の調整範囲内にある場合、すなわち、上記調整
範囲（S1±T1）外で調整目標範囲（S0±T0）外
でもある場合には、調整目標範囲の中心値との差
（S0−Xi）に微調整用の切断定数R0を乗じた値
（S0−Xi）×R0＝Liを求め、上記と同様にして長さ
Liだけ切断して再度測定し、その値が調整目標範
囲（S0±T0）になるまで同様のトリミング、測
定を繰り返す。
外の調整範囲内にある場合、すなわち、上記調整
範囲（S1±T1）外で調整目標範囲（S0±T0）外
でもある場合には、調整目標範囲の中心値との差
（S0−Xi）に微調整用の切断定数R0を乗じた値
（S0−Xi）×R0＝Liを求め、上記と同様にして長さ
Liだけ切断して再度測定し、その値が調整目標範
囲（S0±T0）になるまで同様のトリミング、測
定を繰り返す。
この様にして機能トリミングを行う場合におい
て、特性値と調整目標値との差が大きいときは、
長い距離を切断し、差が小さくなつたときは、徐
徐に短い距離を切断することにより、トリミング
時間の短縮およびトリミング精度の向上を図るこ
とができる。
て、特性値と調整目標値との差が大きいときは、
長い距離を切断し、差が小さくなつたときは、徐
徐に短い距離を切断することにより、トリミング
時間の短縮およびトリミング精度の向上を図るこ
とができる。
なお、調整範囲の途中で切断定数（トリミング
定数）を大から小へ可変とすることにより、更に
トリミングの時間低減、高精度を得ることができ
る。また、本実施例では、粗調整、微調整の２段
階に分けて機能トリミングをする場合を述べた
が、必要に応じて段階数を増減することにより、
所望のトリミング精度、トリミング時間に対処す
ることができる。
定数）を大から小へ可変とすることにより、更に
トリミングの時間低減、高精度を得ることができ
る。また、本実施例では、粗調整、微調整の２段
階に分けて機能トリミングをする場合を述べた
が、必要に応じて段階数を増減することにより、
所望のトリミング精度、トリミング時間に対処す
ることができる。
以上、詳細に説明したように、本発明によれ
ば、トリミング精度を良好に保つとともに当該機
能トリミングを高速で制御・処理することができ
るので、この種の機能トリマまたは同工程の信頼
性向上、効率向上、歩留向上に顕著な効果が得ら
れる。
ば、トリミング精度を良好に保つとともに当該機
能トリミングを高速で制御・処理することができ
るので、この種の機能トリマまたは同工程の信頼
性向上、効率向上、歩留向上に顕著な効果が得ら
れる。
第１図は、本発明に係る機能トリミング方法の
一実施例の方式構成図、第２図は、その処理フロ
ーチヤートである。 １……処理装置、２……位置決装置、３……測
定装置、４……レーザ発振器、５……レーザビー
ム走査装置。
一実施例の方式構成図、第２図は、その処理フロ
ーチヤートである。 １……処理装置、２……位置決装置、３……測
定装置、４……レーザ発振器、５……レーザビー
ム走査装置。
Claims (1)
- １ ワークの位置決めをし、その対象部分につい
てのトリミングと特性測定とを交互に繰り返して
機能トリミングを行う機能を有する機能トリマに
おいて、調整目標範囲に至るまでの間に複数段階
の調整範囲を設定しておき、トリミングの対象部
分の特性値がいずれの調整範囲内にあるかを判定
するとともに、調整目標範囲の中心値と当該特性
値との差に応じて当該調整範囲対応の所定のトリ
ミング定数に基づき、所要のトリミング量を決定
して機能トリミングを行わしめ、以後、順次に同
様の処理を繰り返して上記対象部分の特性値を調
整目標範囲内に入れるように制御・処理する機能
トリミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139179A JPS5929446A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 機能トリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139179A JPS5929446A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 機能トリミング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5929446A JPS5929446A (ja) | 1984-02-16 |
| JPH0218593B2 true JPH0218593B2 (ja) | 1990-04-26 |
Family
ID=15239404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57139179A Granted JPS5929446A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 機能トリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5929446A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60186049A (ja) * | 1984-03-05 | 1985-09-21 | Hitachi Ltd | 機能トリミング方法 |
| JPS60219706A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | 松下電器産業株式会社 | 抵抗体のトリミング方法 |
| JPS61112304A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-30 | 松下電器産業株式会社 | 回路調整方法 |
-
1982
- 1982-08-12 JP JP57139179A patent/JPS5929446A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5929446A (ja) | 1984-02-16 |
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