JPS60186049A - 機能トリミング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、機能トリミングに係υ、特に特性調整を高精
度に達成するのに好適な機能トリミング方法に関するも
のである。

〔発明の背景〕

従来の機能トリミング方法では、例えば抵抗体のトリミ
ングをするときに、そのトリミング形状について直線状
、二重、蛇行状、Ｌ状など各種のものがア如、それぞれ
の調整感度が異なるにもかかわらず、最終調整に至る寸
で一定の加工度（例えば切断係数）によっていた。した
がって、調整（トリミング）精度を更に向上させること
について、調整感度の異なるトリミングへ移行する際の
具体的な考慮が払われておらず、また、調整感度の低下
によるトリミング時間の長大化についても、対処されて
いなかった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、例えば厚膜集積回路などの混成集積回
路上の抵抗体をトリミングして、回路の電気的特性を高
精度に調整するだめの機能トリミング方法を提供すると
とにある。

〔発明の概要〕

本発明に係る機能トリミング方法は、ワークの゛位置決
めをし、その対象部分についてのトリミングと特性測定
とを交互に繰り返して機能トリミングを行うようにした
機能トリマを用い、所望の調整目標範囲に到達する捷で
に、特性値優先変曲カット、位置優先変曲カットもしく
は付加直線カット、またはこれらの組合せにより、所定
の段階の調整範囲を設定しておき、トリミングの対象部
分の特性値がいずれの段階の調整範囲内にあるかを判定
するとともに、その調整範囲に対応する調整感度を選定
し、所望のトリミングを行うようにしたものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。

第１図は、本発明に係る機能トリミング方法が実力ｆ］
Ｉされる機能トリマの一実施例の構成図である。

この機能トリマは、機能トリミング対象の厚膜モジュー
ルや薄膜モジュールなどのワークｗ（以下、単にワーク
Ｗと記す。）の位置決めをする位置決め装置ｌと、ワ〜
りＷの特性値を測定する測定装置２と、し〜ザビームを
出力するレーザ発振器３と、レーザビームを走査するレ
ーザビーム走査装置４と、これらを制御する処理装置５
とから構成したものである。

、以下各部の動作を述べる。

位置決め装置１によって、ワークＷをワーク着脱位置か
らトリミング位置へ搬送位置決めしたのち、測定装置２
とワークＷとを電気的に接続する、その後、ワークＷを
動作状態にして当該特性値を測定装置２で測定し、その
値ＸＩを処理装置５に読取る。処理装置５は、測定値Ｘ
Ｉが、あらかじめ設定しである調整目標範囲（ＳＯ±Ｔ
ｏ　）にあるか否かを判定する。ここで、Ｓｏは調整目
標中心値、Ｔｏは許容公差である。

いま、測定値Ｘ＋が（Ｓｏ　：ｌ：Ｔｏ　）の範囲内で
あれば、トリミングは行わず調整終了としてワークＷを
着脱位置へ戻す。範囲外であれば、測定値ＸＩが粗調整
目標範囲（Ｓ！±Ｔｔ、）にあるか否かを判定し、範囲
外であれば調整目標中心ｉ［ｉ　Ｓ　。

と測定値Ｘｒとの差（ＳｏＸ＋）に粗調切断定数（調整
感度）Ｒ１を乗じた値（Ｓｏ　Ｘ＋　）　ＸＲ＋　＝Ｊ
ｕ　ｌ　１をめ、レーザ発振器３を発振させながら、レ
ーザビーム走査装置４を制御して、ワーンＷ上の被トリ
ミング部品、例えば抵抗体を、あらかじめ定められたト
リミング開始点から、あらかじめ定められた方向に長さ
Ｌ　＋　１だけ切断し、レーザ発振とレーザビーム走査
を停止する。次いで、再度特性値を測定して以上の動作
を繰シ返す。

ここで、特性値Ｘ＋が粗調整目標範囲（Ｓｓ±ＴＩ）に
到達し、または越えたとき、（ＳｏＸ＋）に微調切断定
数（調整感度）几０を乗じだ値（Ｓｏ　−Ｘ＋　）　Ｘ
Ｒｌｏ　＝Ｌ＋ｏをめ、粗調終了点から、あらかじめ定
められた方向に９０度曲げて微調方向へトリミングをす
る。次いで、再度、特性値を測定して、同じ方向にトリ
ミングを行い、特性値が調整目標範囲（ＳＯ±Ｔｏ　）
になるまで、測定とトリミングを繰シ返し、終了すると
ワークＷを着脱位置へ戻す。

以上の動作で粗調整から微調整に変る点を変曲点と呼ぶ
と七にするが、上述の様に変曲点を特性値で決定する機
能とともに、本方法では変曲点の位置範囲（レーザビー
ムの座標で範囲を示す。）ｉ指定することができるよう
にして、前記特性値による変曲点の決定と優先順位がつ
けられるようにするものである。

その具体的方法を第２図を用いて説明する。第２図は、
本発明に係る機能トリミング方法のトリミング軌跡の説
明図である。

同図囚は、特性値優先変曲点決定方式のものを示し、被
トリミング部品、例えば抵抗体６をレーザによってトリ
ミング開始点８からトリミングし、特性値Ｘ１が粗調整
目標範囲（ｓｉ±ＩＪ＋１）に到達した点９から直角に
方向を変えて微調トリミング（変曲カッ日を行い、最終
目標範囲（ｓｏ±Ｔｏ）に到達した点１ｏでトリミング
を終了する。

ここで、７はトリミングを実施した軌跡を示す。

次に、同図（Ｂ１）〜（Ｂ３）は、位置優先変曲点決定
方式のものを示し、抵抗体６土の変曲位置範囲１１で変
曲カットを指定するものである。

同図（Ｂ１）は、変曲位置範囲１１以前に粗調目標値と
なる点９が存在する場合で、点９以後は微調切断定数Ｒ
１１’を用いてトリミング長さＬ　＋　１　’　＝＝（
Ｓｏ　−Ｘ＋　）　ｘ几ｌ′にょシ、同一方向にトリミ
ングと測定を繰シ返すものである。変曲範囲１１に到達
以前に特性値Ｘ＋が目標値（、Ｓｏ　ｆ：Ｔｏ　）とな
れば、そこでトリミングを終了し、そうでなければ、変
曲範囲１１に到達し−たとき、直角に方向を変えて変曲
後の微調切断係数Ｒｏを用いてトリミングを行い、最終
調整目標点ｌｏに到達する。

同図（Ｂ２）け粗調目標値と変曲範囲１１が一致した場
合である。同図（Ｂ３）は、トリミング開始点より変曲
範囲１１に到達するまでに粗調目標値（ｓｔ　＋：’ｒ
ｌ　）とならなかった場合であシ、同一方向にトリミン
グを進めたときには、軌跡１２を経て粗調目標点９に到
達する状態を示しである。

この場合には、軌跡１２にトリミングを進めずに、変曲
範囲１１で直角に方向を変えて変曲後の微調切断係数几
０を用いてトリミングを行い、最終調整目標点１０に達
する。このように、位置優先変曲点決定方式によれば、
例えば同図０に示すごときＬ字形の抵抗体に対しても対
処することができ、抵抗ハターンの設計に対するフレキ
シビリティを提供することもできる。

以上の例では、トリミング軌跡形状を直角変曲形（一般
的にはＬカットと呼ばれる。）として述べたが、これに
限らず、形状は、変曲点を複数設定すれば同図■に示す
ような粗調の直線カットと付加直線カット（微調の直線
カット）の組み合せや、同図■に示すようなＬカットと
直線カットの組み合せなど多様なトリミング軌跡を実現
することができる。なお、Ｌカットにおける変曲点以後
の部分、および、２不以上の直線カット（例えば同図（
６））における２本目以後の部分は、調整感度が低く、
微細な特性調整に好適なものである。更に、粗調整にお
ける切断係数Ｒ１は大きく設定して、粗調整におけるト
リミングと測定の回数を低減して高速化を図り、微調整
においては、調整感度の低いことを利用して微細な特性
調整を達成することができる。

〔発明の効果〕

以上、詳細に説明したように、本発明によれば、トリミ
ング精度を良好に保つとともに、当該機能トリミングを
高速で制御・処理することができるので、この種の機能
トリマまたは同工程の信頼性向上、効率向上９歩留向上
に顕著な効果が得られる。

【図面の簡単な説明】 第１図は、本発明に係る機能トリミング方法が実施され
る機能トリマの一実施例の構成図、第２図は、そのトリ
ミング軌跡の説明図である。 工・・・位置決め装置、２・・・測定装置、３・・・レ
ーザ発振器、４・・レーザビーム走査装置、５・・・処
理装置、６・・被トリミング部品の抵抗体、７・・・ト
リミング軌跡、８・・トリミング開始点、９・・・粗調
目標値（８１＋Ｔ１１に対応する位置、１ｏ・・・最終
調整目標値に対応する位置、１１・・・位置優先変曲点
決定方式における変曲指定範囲。 。３７１．２）ｑ 第１　目 茅２固

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ワークの位置決めをし、その対象部分についてのト
   リミングと特性５ρｉｔとを交互に繰り返して機能トリ
   ミングを行うようにした機能トリマを用い、所望の調整
   範囲に到達するまでに、特性優先変曲カット、位置優先
   変曲カットもしくは付加直線カット、またはこれらの組
   合せにより、所定の段階の調整範囲を設定しておき、ト
   リミングの対象部分の特性値がいずれの段階の調整範囲
   内にあるかを判定するとともに、その調整範囲に対応す
   る調整感度を選定し、所望のトリミングを行うようにす
   る機能トリミング方法。