JPH06338406A - 抵抗体のトリミング方法 - Google Patents
抵抗体のトリミング方法Info
- Publication number
- JPH06338406A JPH06338406A JP5127351A JP12735193A JPH06338406A JP H06338406 A JPH06338406 A JP H06338406A JP 5127351 A JP5127351 A JP 5127351A JP 12735193 A JP12735193 A JP 12735193A JP H06338406 A JPH06338406 A JP H06338406A
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- JP
- Japan
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- resistor
- trimming
- resistance value
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- current
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- Pending
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- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 電流集中を発生させず且つ、抵抗体のトリミ
ングスピードを向上させるトリミング方法を提供する。 【構成】 抵抗体の初期抵抗値を測定した後、その抵抗
体のシート抵抗を算出し、目標抵抗値に基づいて電流方
向にトリミングするｌ2位置を定め、一方の電極近傍、
且つ、抵抗体の縁より外側に設けられたスタートポイン
トより電流方向と略直交するｌ1トリミングを開始し、
ｌ2位置に達した点で連続状態のまま電流方向にターン
させ他方の電極近傍までｌ2トリミングを行うことを特
徴とする。
ングスピードを向上させるトリミング方法を提供する。 【構成】 抵抗体の初期抵抗値を測定した後、その抵抗
体のシート抵抗を算出し、目標抵抗値に基づいて電流方
向にトリミングするｌ2位置を定め、一方の電極近傍、
且つ、抵抗体の縁より外側に設けられたスタートポイン
トより電流方向と略直交するｌ1トリミングを開始し、
ｌ2位置に達した点で連続状態のまま電流方向にターン
させ他方の電極近傍までｌ2トリミングを行うことを特
徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は抵抗体のトリミング方法
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、混成集積回路基板等の基板上に形
成された導体間に抵抗体を形成した場合、一般的にその
抵抗体の抵抗値を所定の目標値に調整するためにトリミ
ング調整が行われる。従来の一般的なトリミング方法
は、抵抗体にＬ字のスリットを形成するＬカットと称す
るレーザートリミングが行われている。
成された導体間に抵抗体を形成した場合、一般的にその
抵抗体の抵抗値を所定の目標値に調整するためにトリミ
ング調整が行われる。従来の一般的なトリミング方法
は、抵抗体にＬ字のスリットを形成するＬカットと称す
るレーザートリミングが行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】トリミング前の抵抗体
の初期抵抗値は膜厚、パターン形成時のバラツキ等によ
り、あらかじめ設定した抵抗値と異なることがあり、以
下のような問題があった。すなわち、Ｌカットトリミン
グ方法では、Ｌカットの折曲点抵抗をトリミングのプロ
グラム上、目標抵抗値の約８０〜９５％程度に設定され
るために、例えば、初期抵抗値が目標抵抗値に近い抵抗
体ではＬカットトリミングの方向転換（ターン）が行わ
れる前に抵抗値が目標値に達し単なるストレートカット
になり電流集中を発生させるものもある。また、初期抵
抗値が目標抵抗値よりかなり低い抵抗体では目標抵抗値
に達する前に電極に到達し、トリミングが終了しない場
合があった。
の初期抵抗値は膜厚、パターン形成時のバラツキ等によ
り、あらかじめ設定した抵抗値と異なることがあり、以
下のような問題があった。すなわち、Ｌカットトリミン
グ方法では、Ｌカットの折曲点抵抗をトリミングのプロ
グラム上、目標抵抗値の約８０〜９５％程度に設定され
るために、例えば、初期抵抗値が目標抵抗値に近い抵抗
体ではＬカットトリミングの方向転換（ターン）が行わ
れる前に抵抗値が目標値に達し単なるストレートカット
になり電流集中を発生させるものもある。また、初期抵
抗値が目標抵抗値よりかなり低い抵抗体では目標抵抗値
に達する前に電極に到達し、トリミングが終了しない場
合があった。
【０００４】さらに述べると、従来の一般的なトリミン
グ方法では、抵抗体の抵抗値をあらかじめプログラムさ
れた目標抵抗値になるようにコントロールしながら抵抗
体のトリミングを行うために上述した問題が発生する。
また、従来のトリミング方法では、上記したように抵抗
値をコントロールしながらトリミングを行うためにトリ
ミングスピードが遅く、１つの基板上に複数の抵抗体が
あるような場合、あるいは抵抗値のバラツキが大である
ような場合には抵抗体のトリミングに時間がかかり作業
性が低下するという問題がある。
グ方法では、抵抗体の抵抗値をあらかじめプログラムさ
れた目標抵抗値になるようにコントロールしながら抵抗
体のトリミングを行うために上述した問題が発生する。
また、従来のトリミング方法では、上記したように抵抗
値をコントロールしながらトリミングを行うためにトリ
ミングスピードが遅く、１つの基板上に複数の抵抗体が
あるような場合、あるいは抵抗値のバラツキが大である
ような場合には抵抗体のトリミングに時間がかかり作業
性が低下するという問題がある。
【０００５】本発明は上述した課題を鑑みて為されたも
ので、この発明の目的は、抵抗体のトリミング後に電流
集中を発生させず、しかもトリミングスピードを向上さ
せることができる抵抗体のトリミング方法を提供する事
である。
ので、この発明の目的は、抵抗体のトリミング後に電流
集中を発生させず、しかもトリミングスピードを向上さ
せることができる抵抗体のトリミング方法を提供する事
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するため、この発明に係わる抵抗体のトリミ
ング方法は、抵抗体の初期抵抗値を測定した後、その抵
抗体のシート抵抗を算出し、目標抵抗値に基づいて電流
方向にトリミングするｌ2位置を定め、一方の電極近
傍、且つ、抵抗体の縁より外側に設けられたスタートポ
イントより電流方向と略直交するｌ1トリミングを開始
し、ｌ2位置に達した点で連続状態のまま電流方向にタ
ーンさせ他方の電極近傍までｌ2トリミングを行うこと
を特徴としている。
目的を達成するため、この発明に係わる抵抗体のトリミ
ング方法は、抵抗体の初期抵抗値を測定した後、その抵
抗体のシート抵抗を算出し、目標抵抗値に基づいて電流
方向にトリミングするｌ2位置を定め、一方の電極近
傍、且つ、抵抗体の縁より外側に設けられたスタートポ
イントより電流方向と略直交するｌ1トリミングを開始
し、ｌ2位置に達した点で連続状態のまま電流方向にタ
ーンさせ他方の電極近傍までｌ2トリミングを行うこと
を特徴としている。
【０００７】
【作用】以上のような抵抗体のトリミング方法では、目
標抵抗値をコントロールせずにトリミングを行うために
抵抗体の抵抗値のバラツキがあったとしても電流方向に
トリミングするｌ2は常に電極間いっぱいに形成（存
在）されるため、電流集中はほとんど発生することはな
い。
標抵抗値をコントロールせずにトリミングを行うために
抵抗体の抵抗値のバラツキがあったとしても電流方向に
トリミングするｌ2は常に電極間いっぱいに形成（存
在）されるため、電流集中はほとんど発生することはな
い。
【０００８】
【実施例】以下に、図１〜図３に示した実施例に基づい
て本発明の抵抗体のトリミング方法を説明する。図１は
抵抗体を示す平面図であり、図２は抵抗体にトリミング
を行った場合の平面図である。
て本発明の抵抗体のトリミング方法を説明する。図１は
抵抗体を示す平面図であり、図２は抵抗体にトリミング
を行った場合の平面図である。
【０００９】抵抗体（１）は絶縁基板（図示されない）
上に形成された導電路間に所定の抵抗値を有した導電材
によって形成される。絶縁基板としては、例えば、絶縁
処理が施されたアルミニウム基板、セラミックス基板、
ガラスエポキシ基板が用いられ、本実施例ではアルミニ
ウム基板上に抵抗体（１）が形成されている。このアル
ミニウム基板は陽極酸化に依って表面に絶縁性の金属酸
化膜が形成されており、その金属酸化膜上にはエポキシ
系樹脂等の絶縁層が設けられている。また絶縁層はアル
ミニウム基板と銅箔とを絶縁して接着するものであり、
接着された銅箔を所定のパターンにエッチングすること
により絶縁層上に所望形状の導電路（２）が形成され
る。その導電路（２）上には、図中には開示されてない
がチップコンデンサー、トランジスター、ＬＳＩ素子お
よび抵抗体（１）の回路素子が接続されている。
上に形成された導電路間に所定の抵抗値を有した導電材
によって形成される。絶縁基板としては、例えば、絶縁
処理が施されたアルミニウム基板、セラミックス基板、
ガラスエポキシ基板が用いられ、本実施例ではアルミニ
ウム基板上に抵抗体（１）が形成されている。このアル
ミニウム基板は陽極酸化に依って表面に絶縁性の金属酸
化膜が形成されており、その金属酸化膜上にはエポキシ
系樹脂等の絶縁層が設けられている。また絶縁層はアル
ミニウム基板と銅箔とを絶縁して接着するものであり、
接着された銅箔を所定のパターンにエッチングすること
により絶縁層上に所望形状の導電路（２）が形成され
る。その導電路（２）上には、図中には開示されてない
がチップコンデンサー、トランジスター、ＬＳＩ素子お
よび抵抗体（１）の回路素子が接続されている。
【００１０】抵抗体（１）としては、カーボン抵抗ある
いはニッケルメッキ抵抗が用いられ、本実施例ではカー
ボン抵抗を用いるものとする。カーボン抵抗は、例え
ば、エポキシ樹脂１００、カーボン８、無機フィラー３
０〜１００、有機溶剤１００の組成で形成されたカーボ
ンレジンペーストを導電路（２）間にスクリーン印刷し
焼成して形成する。抵抗体（１）と接続される導電路
（２）上にはＡｇペースト層（図示しない）が形成され
ている。
いはニッケルメッキ抵抗が用いられ、本実施例ではカー
ボン抵抗を用いるものとする。カーボン抵抗は、例え
ば、エポキシ樹脂１００、カーボン８、無機フィラー３
０〜１００、有機溶剤１００の組成で形成されたカーボ
ンレジンペーストを導電路（２）間にスクリーン印刷し
焼成して形成する。抵抗体（１）と接続される導電路
（２）上にはＡｇペースト層（図示しない）が形成され
ている。
【００１１】本発明のトリミング方法では図３に示すフ
ローチャートに基づいて行われる。先ず導電路（２）の
両端電極にプローブ等を当接させて抵抗体（１）の初期
抵抗値を測定する。次に、初期抵抗値を測定した後、抵
抗体（１）のシート抵抗ＲSを算出する。抵抗体（１）
のシート抵抗ＲSは、本来、使用する材料によって定ま
るものであるが、スクリーン印刷の印刷精度によって膜
厚の誤差およびにじみ出しが生じ、実際にはスクリーン
印刷の前後ではシート抵抗ＲSは異なっている。本発明
ではシート抵抗ＲSは極めて重要な値であるため、あえ
て、スクリーン印刷後に抵抗体（１）のシート抵抗ＲS
を算出するのである。
ローチャートに基づいて行われる。先ず導電路（２）の
両端電極にプローブ等を当接させて抵抗体（１）の初期
抵抗値を測定する。次に、初期抵抗値を測定した後、抵
抗体（１）のシート抵抗ＲSを算出する。抵抗体（１）
のシート抵抗ＲSは、本来、使用する材料によって定ま
るものであるが、スクリーン印刷の印刷精度によって膜
厚の誤差およびにじみ出しが生じ、実際にはスクリーン
印刷の前後ではシート抵抗ＲSは異なっている。本発明
ではシート抵抗ＲSは極めて重要な値であるため、あえ
て、スクリーン印刷後に抵抗体（１）のシート抵抗ＲS
を算出するのである。
【００１２】シート抵抗ＲSは、次の式により求める。
【００１３】
【数１】
【００１４】シート抵抗ＲSを算出した後、Ｌ字カット
の電流方向にトリミングするｌ2位置Ｗxを算出する。Ｗ
xは、次の式により求める。
の電流方向にトリミングするｌ2位置Ｗxを算出する。Ｗ
xは、次の式により求める。
【００１５】
【数２】
【００１６】電流方向にトリミングするｌ2位置Ｗxを算
出すると、スタートポイントから始まる電流方向に直交
するトリミング距離ｌ1が求められる。ｌ1はＷ−Ｗx＋
Ａによって必然的に定まる。スタートポイントはレーザ
ートリミングをスタートする位置であり、このポイント
は抵抗体（１）の縁より一定の距離Ａだけ離間され一方
の導電路（２）の近傍の位置に定まっている。
出すると、スタートポイントから始まる電流方向に直交
するトリミング距離ｌ1が求められる。ｌ1はＷ−Ｗx＋
Ａによって必然的に定まる。スタートポイントはレーザ
ートリミングをスタートする位置であり、このポイント
は抵抗体（１）の縁より一定の距離Ａだけ離間され一方
の導電路（２）の近傍の位置に定まっている。
【００１７】Ｗxとｌ1とを算出した後、そのデータを座
標に代入してレーザートリミングをする。レーザートリ
ミングを行う場合、本発明では、既にｌ1とｌ2のトリミ
ングする位置および長さが定まっているために、スター
トポイントよりｌ1トリミングを開始しｌ2位置Ｗxに達
したところで連続状態のままで電流方向にターンしてｌ
2トリミングが自動的に行われる。ここで重要なこと
は、本発明では既にトリミングする位置、距離が定まっ
ているために、トリミング時に目標抵抗値をコントロー
ルすることなく自動的にｌ1，ｌ2のトリミングが行われ
る。従って、ｌ2トリミングの終了点は抵抗体の抵抗値
のバラツキに関係なく常に他方の導電路の近傍付近で終
了するように設定され、電流集中は発生しないのであ
る。さらに述べると、この発明のトリミング方法では、
初期抵抗値とシート抵抗ＲSに基づいてトリミングｌ1，
ｌ2の距離、位置をあらかじめ設定して、１回のＬ字カ
ットトリミングで抵抗体（１）を所定の目標抵抗値にト
リミングすることができる。
標に代入してレーザートリミングをする。レーザートリ
ミングを行う場合、本発明では、既にｌ1とｌ2のトリミ
ングする位置および長さが定まっているために、スター
トポイントよりｌ1トリミングを開始しｌ2位置Ｗxに達
したところで連続状態のままで電流方向にターンしてｌ
2トリミングが自動的に行われる。ここで重要なこと
は、本発明では既にトリミングする位置、距離が定まっ
ているために、トリミング時に目標抵抗値をコントロー
ルすることなく自動的にｌ1，ｌ2のトリミングが行われ
る。従って、ｌ2トリミングの終了点は抵抗体の抵抗値
のバラツキに関係なく常に他方の導電路の近傍付近で終
了するように設定され、電流集中は発生しないのであ
る。さらに述べると、この発明のトリミング方法では、
初期抵抗値とシート抵抗ＲSに基づいてトリミングｌ1，
ｌ2の距離、位置をあらかじめ設定して、１回のＬ字カ
ットトリミングで抵抗体（１）を所定の目標抵抗値にト
リミングすることができる。
【００１８】Ｌ字カットトリミングを行った後、再度、
抵抗体（１）の抵抗値を測定し目標抵抗値の許容範囲内
であればトリミングが終了する。
抵抗体（１）の抵抗値を測定し目標抵抗値の許容範囲内
であればトリミングが終了する。
【００１９】
【発明の効果】以上に詳述した如く、本発明に依れば、
初期抵抗値を測定し、その初期抵抗値よりシート抵抗Ｒ
Sを算出してＬカットのｌ1のターン位置を定めた後、ト
リミングを行うために、抵抗体の抵抗値にバラツキがあ
ったとしてもトリミングｌ2の終了点は常に電極の近傍
で終了するために電流集中が全く発生しない。
初期抵抗値を測定し、その初期抵抗値よりシート抵抗Ｒ
Sを算出してＬカットのｌ1のターン位置を定めた後、ト
リミングを行うために、抵抗体の抵抗値にバラツキがあ
ったとしてもトリミングｌ2の終了点は常に電極の近傍
で終了するために電流集中が全く発生しない。
【００２０】また、本発明に依れば、目標抵抗値をコン
トロールすることなく、且つ１回のトリミングで抵抗体
の抵抗値を目標抵抗値にトリミングすることができ、ト
リミングスピードを著しくアップすることができる。
トロールすることなく、且つ１回のトリミングで抵抗体
の抵抗値を目標抵抗値にトリミングすることができ、ト
リミングスピードを著しくアップすることができる。
【図１】抵抗体を示す平面図である。
【図２】トリミングした抵抗体を示す平面図である。
【図３】本発明のトリミング方法を示すフローチャート
である。
である。
（１） 抵抗体 （２） 導電路
Claims (2)
- 【請求項１】 絶縁基板上に形成された電極間に抵抗体
を形成し、その抵抗体を所定の抵抗値にトリミングする
抵抗体のトリミング方法において、 前記抵抗体の初期抵抗値を測定した後、その抵抗体のシ
ート抵抗を算出し、目標抵抗値に基づいて電流方向にト
リミングするｌ2位置を定め、一方の電極近傍、且つ、
前記抵抗体の近傍に設けられたスタートポイントより電
流方向と略直交するｌ1トリミングを開始し、前記ｌ2位
置に達した点で電流方向にターンさせ他方の電極近傍ま
でｌ2トリミングを行うことを特徴とする抵抗体のトリ
ミング方法。 - 【請求項２】 絶縁基板上に形成された電極間に抵抗体
を形成し、その抵抗体を所定の抵抗値にＬ字カットトリ
ミングする抵抗体のトリミング方法において、 前記抵抗体の初期抵抗値を測定した後、その抵抗体のシ
ート抵抗を算出し、目標抵抗値に基づいて電流方向にト
リミングするｌ2位置を定め、一方の電極近傍、且つ、
前記抵抗体の縁より外側に設けられたスタートポイント
より電流方向と略直交するｌ1トリミングを開始し、前
記ｌ2位置に達した点で連続状態のまま電流方向にター
ンさせ他方の電極近傍までｌ2トリミングを行うことを
特徴とする抵抗体のトリミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5127351A JPH06338406A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 抵抗体のトリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5127351A JPH06338406A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 抵抗体のトリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06338406A true JPH06338406A (ja) | 1994-12-06 |
Family
ID=14957785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5127351A Pending JPH06338406A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 抵抗体のトリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06338406A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8240027B2 (en) * | 2008-01-16 | 2012-08-14 | Endicott Interconnect Technologies, Inc. | Method of making circuitized substrates having film resistors as part thereof |
-
1993
- 1993-05-28 JP JP5127351A patent/JPH06338406A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8240027B2 (en) * | 2008-01-16 | 2012-08-14 | Endicott Interconnect Technologies, Inc. | Method of making circuitized substrates having film resistors as part thereof |
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