JPS61102042A - ボンデイングワイヤ用導電性スプ−ルの製造方法 - Google Patents
ボンデイングワイヤ用導電性スプ−ルの製造方法Info
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- JPS61102042A JPS61102042A JP59223061A JP22306184A JPS61102042A JP S61102042 A JPS61102042 A JP S61102042A JP 59223061 A JP59223061 A JP 59223061A JP 22306184 A JP22306184 A JP 22306184A JP S61102042 A JPS61102042 A JP S61102042A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の利用分野）
本発明は、半導体チップの組込みの際に使用されるポン
ディングワイヤ用の導電性スプールに関するものである
。
ディングワイヤ用の導電性スプールに関するものである
。
（発明の背景）
半導体素子と外部リードとの電気的接続には、超音波や
熱圧着全利用する７１°ヤボンデイング法が広く使用さ
れている。然して、ボンディングの際、半導体の静電破
壊を防止するために、通常、アースリード用金線または
導電性スプールを用いてアースを施こすことが必要であ
る。このような目的に使用される導電性スプールとして
、一般に、筒状の本体の両端にフランジ部を一体に形成
したアルミ製のスプール基体の表面にクロムメッキを施
こして成るスプール、および同様のアルミ製のスプール
基体の表面にアルマイト処理を施こして成るスプールが
使用されている。
熱圧着全利用する７１°ヤボンデイング法が広く使用さ
れている。然して、ボンディングの際、半導体の静電破
壊を防止するために、通常、アースリード用金線または
導電性スプールを用いてアースを施こすことが必要であ
る。このような目的に使用される導電性スプールとして
、一般に、筒状の本体の両端にフランジ部を一体に形成
したアルミ製のスプール基体の表面にクロムメッキを施
こして成るスプール、および同様のアルミ製のスプール
基体の表面にアルマイト処理を施こして成るスプールが
使用されている。
これらのスプールの中、クロムメッキを施こしたものは
、導電性の表面全有しているので、そのまま使用できる
が、アルマイト処理を施こしたものは、アルマイト自体
が非導電性であるため、導電性を必要とする部分にはア
ルマイト被覆がないようにしなければならない。このよ
うに、部分的にアルマイト被覆のないスプールを形成す
る方法として、必要部分にアルマイトが形成されないよ
うにアルマイト処理をする方法、あるいはスプール基体
の全面にアルマイト処理を施こした上、必要部分のアル
マイト被覆を除去する処理方法がある。前者の処理方法
は、スプール基体の表面の必要箇所に粘着テープをつけ
た上でアルマイト処理を施こし、アルマイト処理終了後
に上記の粘着テープを剥ぎとるものであるが、この処理
方法はスプール基体にアルマイト処理をする段階におけ
る生産性（加工性）が悪く、実用的でない。また、部分
的な処理のため、導電性が不充分となることが多い。ま
た、後者の方法は、スプール基体の全面にアルマイト処
理を施こしてから、導電性を必要とする部分以外をマス
クによって覆い、カセイソーダ等によって、必要部分の
アルマイト被覆を除去する方法であるが、この方法はマ
スキングが難かしく、アルマイト被覆を残すべき部分の
アルマイトまで除去してしまうというような欠点がある
。
、導電性の表面全有しているので、そのまま使用できる
が、アルマイト処理を施こしたものは、アルマイト自体
が非導電性であるため、導電性を必要とする部分にはア
ルマイト被覆がないようにしなければならない。このよ
うに、部分的にアルマイト被覆のないスプールを形成す
る方法として、必要部分にアルマイトが形成されないよ
うにアルマイト処理をする方法、あるいはスプール基体
の全面にアルマイト処理を施こした上、必要部分のアル
マイト被覆を除去する処理方法がある。前者の処理方法
は、スプール基体の表面の必要箇所に粘着テープをつけ
た上でアルマイト処理を施こし、アルマイト処理終了後
に上記の粘着テープを剥ぎとるものであるが、この処理
方法はスプール基体にアルマイト処理をする段階におけ
る生産性（加工性）が悪く、実用的でない。また、部分
的な処理のため、導電性が不充分となることが多い。ま
た、後者の方法は、スプール基体の全面にアルマイト処
理を施こしてから、導電性を必要とする部分以外をマス
クによって覆い、カセイソーダ等によって、必要部分の
アルマイト被覆を除去する方法であるが、この方法はマ
スキングが難かしく、アルマイト被覆を残すべき部分の
アルマイトまで除去してしまうというような欠点がある
。
（発明の目的）
本発明の目的は、アルミ製のスプール基体の表面にフル
マイト処理を施こした形式のボンディングワイヤ用導電
性スプールにおいて、導電性を必要とする表面部分にお
けるアルマイト被覆を確実に除去して、導電効果を向上
させ、且つ生産性乃至加工性も向上させた導電性スプー
ルの製造方法を提供することにある。
マイト処理を施こした形式のボンディングワイヤ用導電
性スプールにおいて、導電性を必要とする表面部分にお
けるアルマイト被覆を確実に除去して、導電効果を向上
させ、且つ生産性乃至加工性も向上させた導電性スプー
ルの製造方法を提供することにある。
（発明の概要）
本発明によるボンディングワイヤ用導電性スプールの製
造方法は、筒状本体の両端にクランプ部を一体に形成し
たアルミ製のスプール基体全成形し、該スプール基体の
全表面にアルマイト処理を施こし、このアルマイト処理
を施こしたスプール基体の外側を硬質ゴム等のプロテク
タによってカバーした上、サンドブラスト等の機械的剥
離手段によって、上記のプロテクタによりカバーされて
ない該スプール基体の内側面およびフランジ部の端面の
アルマイト被覆を機械的に除去することを特徴とするも
のである。
造方法は、筒状本体の両端にクランプ部を一体に形成し
たアルミ製のスプール基体全成形し、該スプール基体の
全表面にアルマイト処理を施こし、このアルマイト処理
を施こしたスプール基体の外側を硬質ゴム等のプロテク
タによってカバーした上、サンドブラスト等の機械的剥
離手段によって、上記のプロテクタによりカバーされて
ない該スプール基体の内側面およびフランジ部の端面の
アルマイト被覆を機械的に除去することを特徴とするも
のである。
（発明の実施例）
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。
。
第１図は本発明に係る方法によって製造したボンディン
グワイヤ用導電性スプールを示す。図中、１はアルミ製
スプールの筒状本体、２はその両端に一体に形成された
フランジ部を示す。このスプールの筒状本体１およびフ
ランジ部２の外側面にはアルマイト被覆が施こされてい
るが、クランプ部２の端面３および筒状本体の内面４は
アルマイト被覆のない導電面となっている。
グワイヤ用導電性スプールを示す。図中、１はアルミ製
スプールの筒状本体、２はその両端に一体に形成された
フランジ部を示す。このスプールの筒状本体１およびフ
ランジ部２の外側面にはアルマイト被覆が施こされてい
るが、クランプ部２の端面３および筒状本体の内面４は
アルマイト被覆のない導電面となっている。
次に、第１図に示す導電性スプールを製造する本発明方
法の順次の工程を、第２図−第５図を参照して説明する
。
法の順次の工程を、第２図−第５図を参照して説明する
。
第２図はアルミの成形によってつくられたスプール基体
１０を示し、これは筒状本体１１の両端にフランジ部１
２を一体に形成したものである。
１０を示し、これは筒状本体１１の両端にフランジ部１
２を一体に形成したものである。
第３図に示すように、上記のアルミ製のスプール基体１
０にアルマイト処理を施こして、全表面上にアルマイト
被覆１３を形成する。次に、第４図に示すように、上記
のアルマイト処理を施こしたスプール基体の外側を、プ
ロテクタ１４によってカバーする。プ巳テクタ１４は、
例えば、硬質ゴム製のプロテクタ本体１４ａおよびこれ
を取囲む金属カバー１６ｂによって構成され、２つ割り
として、スプール基体の上にクランプするようにしたも
のがよい。プロテクタ本体１４ａとして、硬質ゴム製の
もの以外に、例えばプラスチック製のもの等も使用でき
るが、スプール基体の外側にびったジとフィツトする点
、および次段のアルマイト剥離工程でサンドブラストに
より摩耗しない点で硬質ゴム製のものが最も好ましい。
０にアルマイト処理を施こして、全表面上にアルマイト
被覆１３を形成する。次に、第４図に示すように、上記
のアルマイト処理を施こしたスプール基体の外側を、プ
ロテクタ１４によってカバーする。プ巳テクタ１４は、
例えば、硬質ゴム製のプロテクタ本体１４ａおよびこれ
を取囲む金属カバー１６ｂによって構成され、２つ割り
として、スプール基体の上にクランプするようにしたも
のがよい。プロテクタ本体１４ａとして、硬質ゴム製の
もの以外に、例えばプラスチック製のもの等も使用でき
るが、スプール基体の外側にびったジとフィツトする点
、および次段のアルマイト剥離工程でサンドブラストに
より摩耗しない点で硬質ゴム製のものが最も好ましい。
上記のように２つ割りにしたプロテクタをスプール基体
上にはめた上、第４図に示すように、スプール基体の両
端にサンドブラストのノズル１５を配置し、スプール基
体に対して両サイドからプラストノズル１５により研磨
材をショットし、プロテクタ１４によりカバーされてな
いスプール基体の内側面およびフランジ部１２の端面の
アルマイト被覆１３全機械的に除去する。このようにし
て、第５図に示すように、スプール基体の内側面および
フランジ部端面にアルミを露出させる。このようにアル
マイト被覆を除去した後、スプール基体をプロテクタか
ら取り出し、例えば超音波りＩＪ ＝ングにより、表
面に付着した研磨材全除去して、第１図に示すようなス
プールが得られる。
上にはめた上、第４図に示すように、スプール基体の両
端にサンドブラストのノズル１５を配置し、スプール基
体に対して両サイドからプラストノズル１５により研磨
材をショットし、プロテクタ１４によりカバーされてな
いスプール基体の内側面およびフランジ部１２の端面の
アルマイト被覆１３全機械的に除去する。このようにし
て、第５図に示すように、スプール基体の内側面および
フランジ部端面にアルミを露出させる。このようにアル
マイト被覆を除去した後、スプール基体をプロテクタか
ら取り出し、例えば超音波りＩＪ ＝ングにより、表
面に付着した研磨材全除去して、第１図に示すようなス
プールが得られる。
上記の機械的なアルマイト除去には、研削方法あるいは
パフ研磨等も考えられるが、研削の際には油が使用され
るので、研削または研磨の後に油を除去する後処理が必
要となり、また、油が残ると悪影響が生じるので、機械
的アルマイト除去工程はサンドブラストによるのが最も
よい。
パフ研磨等も考えられるが、研削の際には油が使用され
るので、研削または研磨の後に油を除去する後処理が必
要となり、また、油が残ると悪影響が生じるので、機械
的アルマイト除去工程はサンドブラストによるのが最も
よい。
上記のようにして、外面にアルマイト被覆を有し且つ本
体内面およびフランジ部端面を導電性としたボンディン
グワイヤ用導電性スプールが、簡単な方法で且つ比較的
短時間の処理によって得られる。
体内面およびフランジ部端面を導電性としたボンディン
グワイヤ用導電性スプールが、簡単な方法で且つ比較的
短時間の処理によって得られる。
（発明の効果）
上述のように、本発明による方法は、スプール基体の全
面にアルマイト被覆を形成した後、本体内面および７ラ
ンク部端面のアルマイト被覆ｔ−機械的手段で除去する
ので、従来の粘着テープをとりつけてアルマイト処理後
に粘着テープを除去する方法に比して、導電面の形成を
確実にすることができ、また、その処理工程も簡単且つ
短時間である。また、導電面が確実に形成されるので、
その導電効果も向上し、且つこれをセットする際、どの
ようなセット方法でも導電不完全を生ずる恐−ニング効
果）によって、比較的耐蝕性にも優れたスプールが得ら
れる。（上記のピーニング効果というのは、プラスト研
磨材が金属表面をたたくときに起る表面加工硬化のこと
である。）さらに、本発明によれば、アルマイト被覆の
剥離を、アルマイト処理後に、化学的手段でなく機械的
手段によって行うので、生産性乃至加工性も同上し、比
較的短時間で優れたワイヤボンディング用導電性スプー
ルをつくることができる。
面にアルマイト被覆を形成した後、本体内面および７ラ
ンク部端面のアルマイト被覆ｔ−機械的手段で除去する
ので、従来の粘着テープをとりつけてアルマイト処理後
に粘着テープを除去する方法に比して、導電面の形成を
確実にすることができ、また、その処理工程も簡単且つ
短時間である。また、導電面が確実に形成されるので、
その導電効果も向上し、且つこれをセットする際、どの
ようなセット方法でも導電不完全を生ずる恐−ニング効
果）によって、比較的耐蝕性にも優れたスプールが得ら
れる。（上記のピーニング効果というのは、プラスト研
磨材が金属表面をたたくときに起る表面加工硬化のこと
である。）さらに、本発明によれば、アルマイト被覆の
剥離を、アルマイト処理後に、化学的手段でなく機械的
手段によって行うので、生産性乃至加工性も同上し、比
較的短時間で優れたワイヤボンディング用導電性スプー
ルをつくることができる。
第１図は本発明方法によって製造されたボンディングワ
イヤ用導電性スプールの一例を示す斜視図、第２図ない
し第５図は本発明方法の順次の段階を示す断面図である
。 １・・・筒状本体、２・・・フランジ部、３・・・フラ
ンジ部の端面、４・・・本体の内面、１０・・スプール
基体、１１・・・筒状本体、１２・・・フランジ部、１
３・・・アルマイト被覆、１４・・・プロテクタ、１５
・・・ノズル。 第２図 第３図
イヤ用導電性スプールの一例を示す斜視図、第２図ない
し第５図は本発明方法の順次の段階を示す断面図である
。 １・・・筒状本体、２・・・フランジ部、３・・・フラ
ンジ部の端面、４・・・本体の内面、１０・・スプール
基体、１１・・・筒状本体、１２・・・フランジ部、１
３・・・アルマイト被覆、１４・・・プロテクタ、１５
・・・ノズル。 第２図 第３図
Claims (1)
- 筒状本体の両端にフランジ部を一体に形成したアルミ
製のスプール基体を成形し、該スプール基体の全表面に
アルマイト処理を施こし、このアルマイト処理を施こし
たスプール基体の外側を硬質ゴム等のプロテクタによつ
てカバーした上、サンドブラスト等の機械的剥離手段に
よつて、上記のプロテクタによりカバーされてない該ス
プール基体の内側面およびフランジ部の端面のアルマイ
ト被覆を機械的に除去することを特徴とするボンディン
グワイヤ用導電性スプールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59223061A JPS61102042A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | ボンデイングワイヤ用導電性スプ−ルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59223061A JPS61102042A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | ボンデイングワイヤ用導電性スプ−ルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61102042A true JPS61102042A (ja) | 1986-05-20 |
Family
ID=16792217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59223061A Pending JPS61102042A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | ボンデイングワイヤ用導電性スプ−ルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61102042A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63182829A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-07-28 | Hitachi Ltd | ボンデイング装置及びそれに使用するスプ−ル |
| JPH08330349A (ja) * | 1996-05-02 | 1996-12-13 | Hitachi Ltd | ボンディング装置 |
| KR100639115B1 (ko) | 2005-07-05 | 2006-10-30 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 아노다이징 부품의 국부적인 전기전도성 부여방법 |
| JP2009081437A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-16 | Wc Heraeus Gmbh | ボンディングプロセスに使用される金合金ワイヤが巻き取られたスプール |
-
1984
- 1984-10-25 JP JP59223061A patent/JPS61102042A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63182829A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-07-28 | Hitachi Ltd | ボンデイング装置及びそれに使用するスプ−ル |
| JPH08330349A (ja) * | 1996-05-02 | 1996-12-13 | Hitachi Ltd | ボンディング装置 |
| KR100639115B1 (ko) | 2005-07-05 | 2006-10-30 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 아노다이징 부품의 국부적인 전기전도성 부여방법 |
| JP2009081437A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-16 | Wc Heraeus Gmbh | ボンディングプロセスに使用される金合金ワイヤが巻き取られたスプール |
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