JPS6096591A - セラミツク超微粉末の無機材料へのコ−テイング法 - Google Patents
セラミツク超微粉末の無機材料へのコ−テイング法Info
- Publication number
- JPS6096591A JPS6096591A JP20227883A JP20227883A JPS6096591A JP S6096591 A JPS6096591 A JP S6096591A JP 20227883 A JP20227883 A JP 20227883A JP 20227883 A JP20227883 A JP 20227883A JP S6096591 A JPS6096591 A JP S6096591A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inorganic material
- ceramic powder
- ultrafine ceramic
- nozzle
- quartz tube
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は石英管、ガラス管などの無機材料ヘセ２ミッ
ク超微粉末をコーティング法に関する。
ク超微粉末をコーティング法に関する。
たとえば、半導体の製造工程に用いる石英管の純度は、
半導体の純度に影響をおよぼす。近時、半導体技術の進
歩に伴ってその石英管の純度が要求され、その内周面に
セラミック超微粉末をコーティングする方法が知られて
いる。
半導体の純度に影響をおよぼす。近時、半導体技術の進
歩に伴ってその石英管の純度が要求され、その内周面に
セラミック超微粉末をコーティングする方法が知られて
いる。
ところで、セラミック超微粉末を製造するためには、原
料の金属アルコキシドを高温高圧水とともにノズルから
噴射し、霧状にして加水分解反応を起こさせ、これを凍
結乾燥してセラミック超微粉末を造る。つぎに、このセ
ラミック超微粉末をたとえばノズルなどによって石英管
の内部に供給し、セラミック超微粉末を石英管の内周面
に付着させたのち、これを加熱溶融することによシコー
ティングしていた。
料の金属アルコキシドを高温高圧水とともにノズルから
噴射し、霧状にして加水分解反応を起こさせ、これを凍
結乾燥してセラミック超微粉末を造る。つぎに、このセ
ラミック超微粉末をたとえばノズルなどによって石英管
の内部に供給し、セラミック超微粉末を石英管の内周面
に付着させたのち、これを加熱溶融することによシコー
ティングしていた。
しかしながら、上述のように、セラミック超微粉末の製
造工程とコーティング工程とがまったく切シ離され、連
続性がまったくないために各工程間の汚染対策が必要と
なる。また、作業性が悪く、コストアップの原因になっ
ている。
造工程とコーティング工程とがまったく切シ離され、連
続性がまったくないために各工程間の汚染対策が必要と
なる。また、作業性が悪く、コストアップの原因になっ
ている。
この発明は上記事情に着目してなされたもので、その目
的とするところは、気相加水分解して得られたセラミッ
ク超微粉末を無機材料へ付着し、さらにこのセラミック
超微粉末を加熱溶融するコーティングが連続的に行なえ
、作業性の向上を図るとともに汚染対策も簡単なセラミ
ック超微粉末の無機材料へのコーティング法を提供しよ
うとするものである。
的とするところは、気相加水分解して得られたセラミッ
ク超微粉末を無機材料へ付着し、さらにこのセラミック
超微粉末を加熱溶融するコーティングが連続的に行なえ
、作業性の向上を図るとともに汚染対策も簡単なセラミ
ック超微粉末の無機材料へのコーティング法を提供しよ
うとするものである。
以下、この発明の一実施例を図面にもとづいて説明する
。
。
第１図および第２図中１はキャリアがスたとえばｏ、ｊ
ｆスを供給するキャリアガス供給管で、この中途部には
圧力計付パルｆ２が設けられている。このキャリアガス
供給管１はスルシ一式ノスル３の外管４に連通している
。このノズル３の内管５には金属アルコキシド導入管６
が接続され、これは金属アルコキシドタンク７に連通し
ている。壕だ、上記ノズル３は外管４と内管５とが同心
的に設けられ、外管４から噴射するキャリアガスによっ
て金属アルコキシドが吸引され、ノズル３から噴霧され
るようになっている。ノズル３の噴射側には酸水素バー
ナ８が同軸的に設けられている。この酸水素バーナ８は
リング状をなしており、この内リング９が酸素導入管１
０と連通ずる酸素バーナノズル１１に形成され、外リン
グ１２が水素導入管１３と連通ずる水素バーナノズル１
４に形成されている。そして、この酸水素バーナ８から
断面がリング状の酸水素バーナ炎１５が放出し、この酸
水素バーナ炎１５の内部に上記ノズル３からの金属アル
コキシド１４１６が噴射するようになっている。
ｆスを供給するキャリアガス供給管で、この中途部には
圧力計付パルｆ２が設けられている。このキャリアガス
供給管１はスルシ一式ノスル３の外管４に連通している
。このノズル３の内管５には金属アルコキシド導入管６
が接続され、これは金属アルコキシドタンク７に連通し
ている。壕だ、上記ノズル３は外管４と内管５とが同心
的に設けられ、外管４から噴射するキャリアガスによっ
て金属アルコキシドが吸引され、ノズル３から噴霧され
るようになっている。ノズル３の噴射側には酸水素バー
ナ８が同軸的に設けられている。この酸水素バーナ８は
リング状をなしており、この内リング９が酸素導入管１
０と連通ずる酸素バーナノズル１１に形成され、外リン
グ１２が水素導入管１３と連通ずる水素バーナノズル１
４に形成されている。そして、この酸水素バーナ８から
断面がリング状の酸水素バーナ炎１５が放出し、この酸
水素バーナ炎１５の内部に上記ノズル３からの金属アル
コキシド１４１６が噴射するようになっている。
また、１７は無機材料としての石英管であり、これは支
持台１８に設けた回転チャック１９にフランジされてい
る。そして、この石英管１７の一端開口部は上記酸水素
バーナ８に対向している。さらに、石英管１７の他端開
口部には石英製の燃焼バーナ２０が設けられていて、石
英管１７の内周面に付着されたセラミック超微粉末を加
熱溶融するようになっている。
持台１８に設けた回転チャック１９にフランジされてい
る。そして、この石英管１７の一端開口部は上記酸水素
バーナ８に対向している。さらに、石英管１７の他端開
口部には石英製の燃焼バーナ２０が設けられていて、石
英管１７の内周面に付着されたセラミック超微粉末を加
熱溶融するようになっている。
つぎに、セラミック超微粉末のコーティング法を説明す
る。キャリアガス供給管１によってキャリアガスとして
の０．カス（圧力Ｏ１７〜６．０ｋｇ／ｃｄ、流量１１
〜３１ｓｔ／分）を供給し、金属アルコ′キシド導入管
６によって金属アルコキシド（流険９〜４００ＣＣ／分
）を供給すると、これらはノズル３から噴射し、金属ア
ルコキシＰ霧１６となる。一方、これと同時に酸素・々
−ナノズル１ノからｏ、ｉｆス、水素ノ々−ｆ ／ ！
ル１４からＵ、ガスを噴射して酸水素ノ々−す炎１５が
形成される。したがって、全屈アルコキシド霧１６は酸
水素バーナ炎１５によって気相加水分解され、これは石
英管１７の一端開口部からその内部に噴射される。この
とき、石英管１７は回転チャック１９にフランジされ、
１５〜２０回転／分で回転しているため、石英管１１の
内周面にセラミック超微粉末が均一に付着する。セラミ
ック超微粉末の付着工程が完了すると、金属アルコキシ
ド霧１６の噴霧を停止し、石英管１７の他端開口部から
燃焼・ぐ−ナ２０を挿入する。
る。キャリアガス供給管１によってキャリアガスとして
の０．カス（圧力Ｏ１７〜６．０ｋｇ／ｃｄ、流量１１
〜３１ｓｔ／分）を供給し、金属アルコ′キシド導入管
６によって金属アルコキシド（流険９〜４００ＣＣ／分
）を供給すると、これらはノズル３から噴射し、金属ア
ルコキシＰ霧１６となる。一方、これと同時に酸素・々
−ナノズル１ノからｏ、ｉｆス、水素ノ々−ｆ ／ ！
ル１４からＵ、ガスを噴射して酸水素ノ々−す炎１５が
形成される。したがって、全屈アルコキシド霧１６は酸
水素バーナ炎１５によって気相加水分解され、これは石
英管１７の一端開口部からその内部に噴射される。この
とき、石英管１７は回転チャック１９にフランジされ、
１５〜２０回転／分で回転しているため、石英管１１の
内周面にセラミック超微粉末が均一に付着する。セラミ
ック超微粉末の付着工程が完了すると、金属アルコキシ
ド霧１６の噴霧を停止し、石英管１７の他端開口部から
燃焼・ぐ−ナ２０を挿入する。
そして、石英管１７を０．５〜１．０回転／分で回転し
ながら燃焼バーナ２０によってセラミック超微粉末を加
熱浴融すると、透明なセラミックコーティング層が得ら
れ、石英管１７と一体となる。
ながら燃焼バーナ２０によってセラミック超微粉末を加
熱浴融すると、透明なセラミックコーティング層が得ら
れ、石英管１７と一体となる。
なお、金属アルコキシドとしては、テトラエトキシラン
５ｌ（ＯＣｙＨａ）ａ 、テトラメトキシシラン８ ｌ
（ＯＣＨｓ ）４ などがある。
５ｌ（ＯＣｙＨａ）ａ 、テトラメトキシシラン８ ｌ
（ＯＣＨｓ ）４ などがある。
以上説明したように、この発明によれば、金属アルコキ
シドを噴霧し、これを酸水素バーナによって気相加水分
解してセラミック超微粉末を得るとともに、これを石英
管などの無機材料に付着したのち加熱溶融することによ
り、セラミック超微粉末の製造とコーティングが連続的
に行なえ、工程間の汚染対策が不要となり、高純度のセ
ラミックコーティング層を得ることができる。また、作
業性が向上し、廉価に提供できるという効果を奏する。
シドを噴霧し、これを酸水素バーナによって気相加水分
解してセラミック超微粉末を得るとともに、これを石英
管などの無機材料に付着したのち加熱溶融することによ
り、セラミック超微粉末の製造とコーティングが連続的
に行なえ、工程間の汚染対策が不要となり、高純度のセ
ラミックコーティング層を得ることができる。また、作
業性が向上し、廉価に提供できるという効果を奏する。
図面はこの発明の一実施例を示すもので、第１図は概略
的構成図、第２図は要部を拡大した縦断面図である。 ３・・・スゾレ一式ノズル、８・・・酸水素バーナ、１
７・・・石英管（無機材料）、２ｏ・・・燃焼バーナ。
的構成図、第２図は要部を拡大した縦断面図である。 ３・・・スゾレ一式ノズル、８・・・酸水素バーナ、１
７・・・石英管（無機材料）、２ｏ・・・燃焼バーナ。
Claims (1)
- スグレ一式ノズルからキャリアガスとともに金属アルコ
キシドを噴霧し、これを酸水素バーナによって気相加水
分解してセラミック超微粉末を得る第１の工程と、上記
セラミック超微粉末を無機材料へ付着させる第２の工程
と、上記無機材料に付着したセラミック超微粉末を加熱
溶融する第３の工程とからなるセラミック超微粉末の無
機材料へのコーティング法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20227883A JPS6096591A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | セラミツク超微粉末の無機材料へのコ−テイング法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20227883A JPS6096591A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | セラミツク超微粉末の無機材料へのコ−テイング法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6096591A true JPS6096591A (ja) | 1985-05-30 |
Family
ID=16454887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20227883A Pending JPS6096591A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | セラミツク超微粉末の無機材料へのコ−テイング法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6096591A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6283390A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-16 | 三菱鉱業セメント株式会社 | ジルコニアコ−テイング焼結体の製造方法 |
| US5004490A (en) * | 1987-08-10 | 1991-04-02 | Ford Motor Company | Method of making glass substrate coated with tin oxide |
| JP2000502040A (ja) * | 1995-12-19 | 2000-02-22 | コーニング インコーポレイテッド | 液状反応物の燃焼により溶融シリカを作成する方法および装置 |
| WO2002076719A1 (en) * | 2001-03-24 | 2002-10-03 | Cheol-Hwan Cho | Method for coating ceramic on quartz surface |
| WO2011107430A1 (en) | 2010-03-02 | 2011-09-09 | Heraeus Quartz Uk Limited | Manufacture of synthetic silica glass |
-
1983
- 1983-10-28 JP JP20227883A patent/JPS6096591A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6283390A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-16 | 三菱鉱業セメント株式会社 | ジルコニアコ−テイング焼結体の製造方法 |
| US5004490A (en) * | 1987-08-10 | 1991-04-02 | Ford Motor Company | Method of making glass substrate coated with tin oxide |
| JP2000502040A (ja) * | 1995-12-19 | 2000-02-22 | コーニング インコーポレイテッド | 液状反応物の燃焼により溶融シリカを作成する方法および装置 |
| WO2002076719A1 (en) * | 2001-03-24 | 2002-10-03 | Cheol-Hwan Cho | Method for coating ceramic on quartz surface |
| WO2011107430A1 (en) | 2010-03-02 | 2011-09-09 | Heraeus Quartz Uk Limited | Manufacture of synthetic silica glass |
| DE112011100741T5 (de) | 2010-03-02 | 2013-03-14 | Heraeus Quartz UK Ltd. | Herstellung von synthetischem Siliciumdioxid-Glas |
| US8959957B2 (en) | 2010-03-02 | 2015-02-24 | Heraeus Quartz Uk Limited | Manufacture of synthetic silica glass |
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