JPS6110038A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPS6110038A JPS6110038A JP59128614A JP12861484A JPS6110038A JP S6110038 A JPS6110038 A JP S6110038A JP 59128614 A JP59128614 A JP 59128614A JP 12861484 A JP12861484 A JP 12861484A JP S6110038 A JPS6110038 A JP S6110038A
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- Japan
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- gas
- optical fiber
- tube
- support tube
- side support
- Prior art date
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- Pending
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01846—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、内付化学気相堆積法による石英系光ファイバ
母材の製造方法に係わり、特に不要酸化物除去方法に関
する。
母材の製造方法に係わり、特に不要酸化物除去方法に関
する。
石英系光ファイバ母材の製造方法としては、内付化学気
相堆積法（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ ｃｈｅｍｉｃａｌ
ＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｍｅｔｈｏｄ）が
今日では、最も広く使用されている。
相堆積法（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ ｃｈｅｍｉｃａｌ
ＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｍｅｔｈｏｄ）が
今日では、最も広く使用されている。
この内付化学気相堆積法とは、ガラスの原料である５ｉ
ＣＬ４． ＧａＣｌ２． ＰＯＣＬ３． ＢＢｒ３
等の原料ガスを酸素と共に、加熱された石英ガラス管
内に送込み、石英ガラス管の内壁面に、外壁よりも屈折
率の大きいコアとなるガラス層を、堆積合成する方法で
ある。
ＣＬ４． ＧａＣｌ２． ＰＯＣＬ３． ＢＢｒ３
等の原料ガスを酸素と共に、加熱された石英ガラス管
内に送込み、石英ガラス管の内壁面に、外壁よりも屈折
率の大きいコアとなるガラス層を、堆積合成する方法で
ある。
斯くして得られた光ファイバ母材は、２０００℃以上に
加熱し、線引きすることにより、所望の線径の光ファイ
バにすることができる。
加熱し、線引きすることにより、所望の線径の光ファイ
バにすることができる。
面この際、光ファイバ母材のコア内に不純物が混入しな
いように留意することが必要である。
いように留意することが必要である。
内付化学気相堆積法による従来の、光ファイバ母材の製
造方法を、第２図のコア層形成工程を示す断面図、第３
図の不要酸化物除去工程を示す要部断面図を参照して説
明する。
造方法を、第２図のコア層形成工程を示す断面図、第３
図の不要酸化物除去工程を示す要部断面図を参照して説
明する。
第２図において、１は光ファイバのグラ・ノドを形成す
る、例えば外径２０ｎ、内径１７ｆｉ、長さ１０００Ｍ
の細長い中空の石英管である。
る、例えば外径２０ｎ、内径１７ｆｉ、長さ１０００Ｍ
の細長い中空の石英管である。
石英管１の両端にはそれぞれ、石英管１をガラス旋盤４
に装着して回転させるためのサポート管（例えば外径３
５ｆｌ、内径３０ｆｉ、長さ４００ｆｌの細長い中空石
英管）が融着されている。この２つのサポート管のうち
、ガラス旋盤４０ベフド７上に装着された駆動側チャッ
ク５に支持される方を、排気側サポート管（符号３で示
す）と呼称し、従動側チャック６に支持される他方を、
投入側サポート管（符号２で示す）と呼称する。
に装着して回転させるためのサポート管（例えば外径３
５ｆｌ、内径３０ｆｉ、長さ４００ｆｌの細長い中空石
英管）が融着されている。この２つのサポート管のうち
、ガラス旋盤４０ベフド７上に装着された駆動側チャッ
ク５に支持される方を、排気側サポート管（符号３で示
す）と呼称し、従動側チャック６に支持される他方を、
投入側サポート管（符号２で示す）と呼称する。
投入側サポート管２の端末は絞られて、回転ジツイント
９を介してガス供給装置１０に連結されている。
９を介してガス供給装置１０に連結されている。
ガス供給装置１０は、ガラスの原料である５ｊＣＬ４、
ＧａＣｌ２． ＰＯＣｌ２． ＢＢｒ３ 等の原
料ガス及び酸素を蓄え、石英管１に供給する装置である
。
ＧａＣｌ２． ＰＯＣｌ２． ＢＢｒ３ 等の原
料ガス及び酸素を蓄え、石英管１に供給する装置である
。
ベッド７上を石英管ｌの軸心に平行して、往復運動する
酸水素バーナ−８は、石英管１の外周面を１３００℃乃
至１６００℃に加熱し、原料ガスに石英管１内で熱酸化
反応を起こさせるものである。
酸水素バーナ−８は、石英管１の外周面を１３００℃乃
至１６００℃に加熱し、原料ガスに石英管１内で熱酸化
反応を起こさせるものである。
この酸水素バーナ−８の前進（投入側サポート管２側よ
り排気側サポート管３側への移動を云う、符号Ｘｉ）速
度は、例えば毎分１８０ｔｍと比較的遅く、後退（符号
Ｘ２）速度は例えば毎分１５００ｆｌで速戻りである。
り排気側サポート管３側への移動を云う、符号Ｘｉ）速
度は、例えば毎分１８０ｔｍと比較的遅く、後退（符号
Ｘ２）速度は例えば毎分１５００ｆｌで速戻りである。
上述のような装置を使用し、ガラス旋盤４を駆動し、石
英管１ （投入側サポート管２．排気側サポート管３も
ともに回転する）を回転しながら、ガス供給装置１０よ
り原料ガスを石英管１内に送風し、且つ酸水素バーナ−
８に往復運動を与えて、石英管１を一様に加熱する。
英管１ （投入側サポート管２．排気側サポート管３も
ともに回転する）を回転しながら、ガス供給装置１０よ
り原料ガスを石英管１内に送風し、且つ酸水素バーナ−
８に往復運動を与えて、石英管１を一様に加熱する。
このことにより、石英管１内での原料ガスの熱酸化反応
によって、ドーパントとしてＧｅ＋Ｐ、Ｂｒ等の酸化物
を含んだＳ＋０２のガラス層が、石英管１の管内壁に堆
積してコア層１１を形成する。
によって、ドーパントとしてＧｅ＋Ｐ、Ｂｒ等の酸化物
を含んだＳ＋０２のガラス層が、石英管１の管内壁に堆
積してコア層１１を形成する。
なお、酸水素バーナ−８の１回の前進により、厚さ数〜
１０μｍ程度のコア膜が堆積されるので、堆積層が光フ
ァイバの外径−コア径比に合った厚みに達するまで、こ
の操作を繰り返す。その後原料ガスの供給を停止し、酸
水素バーナ−８の火力を増加して、石英管１を１７００
℃前後に加熱し軟化させ、表面張力の作用で中空の石英
管１を中実化する。
１０μｍ程度のコア膜が堆積されるので、堆積層が光フ
ァイバの外径−コア径比に合った厚みに達するまで、こ
の操作を繰り返す。その後原料ガスの供給を停止し、酸
水素バーナ−８の火力を増加して、石英管１を１７００
℃前後に加熱し軟化させ、表面張力の作用で中空の石英
管１を中実化する。
一方、この一連のコア層形成工程において、加熱された
原料ガスの一部は、排気側サポート管３側に流出し、排
気側サポート管３内に不要酸化物１２として堆積する。
原料ガスの一部は、排気側サポート管３側に流出し、排
気側サポート管３内に不要酸化物１２として堆積する。
この不要酸化物１２は、排気側サポート管３が加熱され
ていないので、管壁への付着力が弱く、容易に剥離し得
る。
ていないので、管壁への付着力が弱く、容易に剥離し得
る。
しかし、不要酸化物１２の堆積量が多くなると、石英管
１と排気側サポート管３との連結孔部が閉塞状態に近く
なり、原料ガスの流れが乱れ、光ファイバ特性が劣化す
る。
１と排気側サポート管３との連結孔部が閉塞状態に近く
なり、原料ガスの流れが乱れ、光ファイバ特性が劣化す
る。
また、特に多く排気側サポート管３内に堆積すると、石
英管１内に逆流し、コア層１１に混入することになる。
英管１内に逆流し、コア層１１に混入することになる。
このようなことを阻止し、良質な光ファイバ母材を得る
ためには、コア層形成工程中の所望の時期に、不要酸化
物除去工程を挿入することが必要である。
ためには、コア層形成工程中の所望の時期に、不要酸化
物除去工程を挿入することが必要である。
従来の不要酸化物除去方法は第３図の如く、排気側サポ
ート管３内に吸引ファン１４の吸入管１４Ａを挿入して
実施している。
ート管３内に吸引ファン１４の吸入管１４Ａを挿入して
実施している。
即ち、酸水素バーナ−８が排気側サポート管３近傍に達
した際、吸入管１４Ａを挿入、駆動させることにより、
排気側サポート管３内に弱い付着力で堆積している不要
酸化物１２を、排出している。
した際、吸入管１４Ａを挿入、駆動させることにより、
排気側サポート管３内に弱い付着力で堆積している不要
酸化物１２を、排出している。
しかしながら、上記従来の不要酸化物除去方法は、排気
側サポート管内の不要酸化物を吸引し排出する方法であ
って、石英管内の圧力が低下する。
側サポート管内の不要酸化物を吸引し排出する方法であ
って、石英管内の圧力が低下する。
したがって、石英管内の原料ガス、或いは酸化微粉末の
堆積量が部分的に変動して、コア層の乱れが発生し、光
ファイバ特性が低下するという問題点がある。
堆積量が部分的に変動して、コア層の乱れが発生し、光
ファイバ特性が低下するという問題点がある。
上記従来の問題点は、コア層形成工程の合間に実施する
排気側サポート管内の不要酸化物除去手段として、投入
側サポート管側より不活性ガスを送入するようにした、
本発明の手段により解決される。
排気側サポート管内の不要酸化物除去手段として、投入
側サポート管側より不活性ガスを送入するようにした、
本発明の手段により解決される。
上記本発明の手段によれば、排気側サポート管内の不要
酸化物除去方法として、原料ガスの供給を停止し、酸水
素バーナーの後退時に、投入側サポート管側より不活性
ガスを送入するもので、石英管内の圧力の低下がない。
酸化物除去方法として、原料ガスの供給を停止し、酸水
素バーナーの後退時に、投入側サポート管側より不活性
ガスを送入するもので、石英管内の圧力の低下がない。
よって、石英管壁に堆積した酸化物微粉末が排出される
ことがなく、光ファイバ特性は低下しない。
ことがなく、光ファイバ特性は低下しない。
以下図示実施例により、本発明の要旨を具体的に説明す
る。なお全図を通じて同一符号は同一対象物を示す。
る。なお全図を通じて同一符号は同一対象物を示す。
第１図は本発明の１実施例を示す１部破断正面図である
。
。
第１図において、ガラス旋盤４には、投入側サポート管
２及び排気側サポート管３を、それぞれの端部に融着し
た石英管１が装着されている。
２及び排気側サポート管３を、それぞれの端部に融着し
た石英管１が装着されている。
投入側サポート管２の入口側の回転ジヨイント９に連結
された配管には、自動切り換え可能な切り換えバルブ２
１が装着され、切り換えバルブ２１には、原料ガスを供
給するガス供給装置１０と、例えば窒素ガスが蓄圧され
た不活性ガスボンへ２０とが、並列して接続されている
。
された配管には、自動切り換え可能な切り換えバルブ２
１が装着され、切り換えバルブ２１には、原料ガスを供
給するガス供給装置１０と、例えば窒素ガスが蓄圧され
た不活性ガスボンへ２０とが、並列して接続されている
。
このような装置にて、ガス供給装置１０より原料ガスを
供給し、コア層形成工程の合間、例えばコア層形成サイ
クルの５サイクル毎に、不要酸化物除去作業を実施する
。
供給し、コア層形成工程の合間、例えばコア層形成サイ
クルの５サイクル毎に、不要酸化物除去作業を実施する
。
即ち、石英管ｌを加熱する酸水素バーナ−８の往復運動
中で、酸水素バーナ−８が排気側サポート管３との連結
部に達した時に、切り換えバルブ２１を自動的に切り換
え、不活性ガスボンベ２０より不活性ガスを、はぼ２０
ｍ／ｓｅｃの速度で噴出せしめ、排気側サポート管３内
の不要酸化物１２を排出せしめる。
中で、酸水素バーナ−８が排気側サポート管３との連結
部に達した時に、切り換えバルブ２１を自動的に切り換
え、不活性ガスボンベ２０より不活性ガスを、はぼ２０
ｍ／ｓｅｃの速度で噴出せしめ、排気側サポート管３内
の不要酸化物１２を排出せしめる。
次ぎに、不活性ガスの流速を徐々に低下し、酸水素バー
ナ−８が投入側サポート管２との連結部まで後退した時
に、切り換えバルブ２１を切り換え、原料ガスの供給を
再開して、コア層形成を続行する。
ナ−８が投入側サポート管２との連結部まで後退した時
に、切り換えバルブ２１を切り換え、原料ガスの供給を
再開して、コア層形成を続行する。
このように不活性ガスの圧力を徐々に減圧するので、排
気側サポート管３内に浮遊状態で残存している不要酸化
物１２が、石英管ｌ側に逆流することがない。
気側サポート管３内に浮遊状態で残存している不要酸化
物１２が、石英管ｌ側に逆流することがない。
なおまた、投入側サポート管２側より、原料ガスか、或
いは不活性ガスかの何れかが、絶えず送入されていて、
石英管ｌ内は減圧されない。よって、石英管１の管壁に
付着した酸化物微粉末は除去されず、良好なコア層１１
が形成される。
いは不活性ガスかの何れかが、絶えず送入されていて、
石英管ｌ内は減圧されない。よって、石英管１の管壁に
付着した酸化物微粉末は除去されず、良好なコア層１１
が形成される。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、コア層形成工程の合間に
、石英管内の原料ガス等の流れを乱すことなく不要酸化
物除去作業を実施でき、光ファイバ特性が向上するとい
う、実用上で優れた効果がある。
、石英管内の原料ガス等の流れを乱すことなく不要酸化
物除去作業を実施でき、光ファイバ特性が向上するとい
う、実用上で優れた効果がある。
第１図は本発明の１実施例を示す１部破断正面図・
第２図は従来のコア層形成工程を示す断面図、第３図は
従来の不要酸化物除去工程を示す要部断面図である。 図において、 ｌは石英管、 ２は投入側サポート管、 ３は排気側サポート管、 ４はガラス旋盤、 ５は駆動側チャック、 ６は従動側チャック、 ８は酸水素バーナ−， ９は回転ジヨイント、 １０はガス供給装置、 １１はコア層、 １２は不要酸化物、 １４は吸引ファン、 ２０は不活性ガスボンへ、 ２１は切り換えバルブ、 をそれぞれ示す。 −Ｉ酊 拳２叫 峯３閉
従来の不要酸化物除去工程を示す要部断面図である。 図において、 ｌは石英管、 ２は投入側サポート管、 ３は排気側サポート管、 ４はガラス旋盤、 ５は駆動側チャック、 ６は従動側チャック、 ８は酸水素バーナ−， ９は回転ジヨイント、 １０はガス供給装置、 １１はコア層、 １２は不要酸化物、 １４は吸引ファン、 ２０は不活性ガスボンへ、 ２１は切り換えバルブ、 をそれぞれ示す。 −Ｉ酊 拳２叫 峯３閉
Claims (1)
- 内付化学気相堆積法により光ファイバ母材を製造するに
あたり、コア層形成工程の合間に実施する排気側サポー
ト管内の不要酸化物除去手段として、投入側サポート管
側より不活性ガスを送入することを特徴する光ファイバ
母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59128614A JPS6110038A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59128614A JPS6110038A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6110038A true JPS6110038A (ja) | 1986-01-17 |
Family
ID=14989138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59128614A Pending JPS6110038A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6110038A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100334781B1 (ko) * | 1999-10-05 | 2002-05-02 | 윤종용 | 광섬유 모재 제조장치 및 그 제조방법 |
| JP2020090418A (ja) * | 2018-12-06 | 2020-06-11 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法及びこれを用いた光ファイバの製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS456Y1 (ja) * | 1965-03-12 | 1970-01-06 | ||
| JPS52154949A (en) * | 1976-06-16 | 1977-12-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Power transmission device |
-
1984
- 1984-06-22 JP JP59128614A patent/JPS6110038A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS456Y1 (ja) * | 1965-03-12 | 1970-01-06 | ||
| JPS52154949A (en) * | 1976-06-16 | 1977-12-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Power transmission device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100334781B1 (ko) * | 1999-10-05 | 2002-05-02 | 윤종용 | 광섬유 모재 제조장치 및 그 제조방법 |
| JP2020090418A (ja) * | 2018-12-06 | 2020-06-11 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法及びこれを用いた光ファイバの製造方法 |
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