JPS6094135A - セラミツク超微粉末の製造法 - Google Patents
セラミツク超微粉末の製造法Info
- Publication number
- JPS6094135A JPS6094135A JP20227783A JP20227783A JPS6094135A JP S6094135 A JPS6094135 A JP S6094135A JP 20227783 A JP20227783 A JP 20227783A JP 20227783 A JP20227783 A JP 20227783A JP S6094135 A JPS6094135 A JP S6094135A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic powder
- nozzle
- carrier gas
- ultrafine ceramic
- metal alkoxide
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J12/00—Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor
- B01J12/02—Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor for obtaining at least one reaction product which, at normal temperature, is in the solid state
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はたとえば石英管の内周面にコーティングする
だめのセラミック超微粉末の製造法に関する。
だめのセラミック超微粉末の製造法に関する。
たとえば、半導体の製造工程に用いる石英管の純度は、
半導体の純度に影響をおよぼす。近時、半導体技術の進
歩に伴ってその石英管の純度が要求され、その内周面に
高純度のシリカガラスをコーティングする方法が知られ
ている。
半導体の純度に影響をおよぼす。近時、半導体技術の進
歩に伴ってその石英管の純度が要求され、その内周面に
高純度のシリカガラスをコーティングする方法が知られ
ている。
ところで、このシリカガラスを製造する方法としては、
従来、たとえば特公昭５７−２０５３３４号公報が知ら
れている。これは、アルキルシリケートを加水分解して
得たゾル状溶液をエヤーとともにノズルから噴射して霧
状とし、これを凍結乾燥してシリカガラス粉末を製造す
る方法である。この方法によれば、１０〜１００μｍ粒
径の乾燥シリカガラス粉末が得られ、これを焼結、溶融
することによシ透明なシリカガラスを得ることができる
。
従来、たとえば特公昭５７−２０５３３４号公報が知ら
れている。これは、アルキルシリケートを加水分解して
得たゾル状溶液をエヤーとともにノズルから噴射して霧
状とし、これを凍結乾燥してシリカガラス粉末を製造す
る方法である。この方法によれば、１０〜１００μｍ粒
径の乾燥シリカガラス粉末が得られ、これを焼結、溶融
することによシ透明なシリカガラスを得ることができる
。
しかしながら、従来の方法は、水を使用してアルキルシ
リケートを加水分解し、これを仮焼してシリカガラス粉
末を製造する２工程が必要である。すなわち、アルキル
シリケートを含むガラス形成材料を加水分解して得たゾ
ル状溶液を容器に貯溜し、この容器からゾル状溶液を注
出しつつエヤーとともにノズルから噴霧する工程と、こ
れを凍結乾燥する仮焼工程が必要となシ、高純度のシリ
カガラス粉末を得るためには各工程での汚染対策が必要
となる。したがって、装置の複雑化によシコストアップ
の原因となる。
リケートを加水分解し、これを仮焼してシリカガラス粉
末を製造する２工程が必要である。すなわち、アルキル
シリケートを含むガラス形成材料を加水分解して得たゾ
ル状溶液を容器に貯溜し、この容器からゾル状溶液を注
出しつつエヤーとともにノズルから噴霧する工程と、こ
れを凍結乾燥する仮焼工程が必要となシ、高純度のシリ
カガラス粉末を得るためには各工程での汚染対策が必要
となる。したがって、装置の複雑化によシコストアップ
の原因となる。
この発明は上記事情に着目してなされたもので、その目
的とするところは、金属アルコキシドをキャリアガスと
ともに噴霧し、これを酸水素バーナによって気相加水分
解させることによシ、１工程でセラミック超微粉末が得
られ、装置も簡単で廉価に、しかも高純度のセラミック
超微粉末を得る方法を提供することにある。
的とするところは、金属アルコキシドをキャリアガスと
ともに噴霧し、これを酸水素バーナによって気相加水分
解させることによシ、１工程でセラミック超微粉末が得
られ、装置も簡単で廉価に、しかも高純度のセラミック
超微粉末を得る方法を提供することにある。
以下、この発明の一実施例を図面にもとづいて説明する
。
。
第１図および第２図中１はキャリアガスたとえば０２ガ
スを供給するキャリアガス供給管で、この中途部には圧
力剖伺バルブ２が設けられている。このキャリアガス供
給管ｌはスプレー式ノズル３の外管４に連通している。
スを供給するキャリアガス供給管で、この中途部には圧
力剖伺バルブ２が設けられている。このキャリアガス供
給管ｌはスプレー式ノズル３の外管４に連通している。
このノズル３の内管５には金属アルコキシド導入管６が
接続すれ、これは金属アルコキシドタンク７に連通して
いる。また、上記ノズル３は外管４と内管５とが同心的
に設けられ、外管４から噴射するキャリアガスによって
金属アルコキシドが吸引され、ノズル３から噴霧される
ようになっている。ノズル３の噴射側には酸水素バーナ
８が同軸的に設けられている。この酸水素バーナ８はリ
ング状をなしており、この内リング９が酸素導入管ｌＯ
と連通ずる酸素バーナノズル１ノに形成され、外リング
１２が水素導入管１３と連通する水素バーナノズル１４
に形成されている。そして、この酸水素バーナ８から断
面がリング状の酸水素バーナ炎１５が放出し、この酸水
素バーナ炎１５の内部に上記ノズル３からの金属アルコ
キシド霧１６が噴射するようになっている。
接続すれ、これは金属アルコキシドタンク７に連通して
いる。また、上記ノズル３は外管４と内管５とが同心的
に設けられ、外管４から噴射するキャリアガスによって
金属アルコキシドが吸引され、ノズル３から噴霧される
ようになっている。ノズル３の噴射側には酸水素バーナ
８が同軸的に設けられている。この酸水素バーナ８はリ
ング状をなしており、この内リング９が酸素導入管ｌＯ
と連通ずる酸素バーナノズル１ノに形成され、外リング
１２が水素導入管１３と連通する水素バーナノズル１４
に形成されている。そして、この酸水素バーナ８から断
面がリング状の酸水素バーナ炎１５が放出し、この酸水
素バーナ炎１５の内部に上記ノズル３からの金属アルコ
キシド霧１６が噴射するようになっている。
また、１７は微粉未回収槽で、この上部には導入ダクト
１８と排気ダクト１９が対称的に設けられ、これらの間
には仕切プレート２０が配設され内部にセラミック超微
粉末２２を堆積させるようになっている。また、この微
粉未回収槽１７の下部外周壁には冷却水等を循環する冷
媒循環コイル２１が巻装され、上記微粉未回収槽１７の
破かいを防止するようになっている。
１８と排気ダクト１９が対称的に設けられ、これらの間
には仕切プレート２０が配設され内部にセラミック超微
粉末２２を堆積させるようになっている。また、この微
粉未回収槽１７の下部外周壁には冷却水等を循環する冷
媒循環コイル２１が巻装され、上記微粉未回収槽１７の
破かいを防止するようになっている。
つぎに、セラミック超微粉末の製造方法を説明する。キ
ャリアガス供給管１によってキャリアガスとしての０２
ガス（圧力０．７〜６．０に９／ｃＭ１流量１１〜３１
５１７分）供給し、金属アルコキシド導入管６によって
金属アルコキシド（流量９〜４０ （ｌ ｃｃ／分）を
供給すると、これらはノズル３から噴射し、金属アルコ
キシド霧１６となる。一方、これと同時に酸素バーナノ
ズル１１から０２ガス、水素バーナノズル１４からＨ２
ガスを噴射して酸水素バーナ炎１５が形成される。
ャリアガス供給管１によってキャリアガスとしての０２
ガス（圧力０．７〜６．０に９／ｃＭ１流量１１〜３１
５１７分）供給し、金属アルコキシド導入管６によって
金属アルコキシド（流量９〜４０ （ｌ ｃｃ／分）を
供給すると、これらはノズル３から噴射し、金属アルコ
キシド霧１６となる。一方、これと同時に酸素バーナノ
ズル１１から０２ガス、水素バーナノズル１４からＨ２
ガスを噴射して酸水素バーナ炎１５が形成される。
したがって、金属アルコキシド霧１６は酸水素バーナ炎
１５によって気相加水分解され、セラミック超＠粉末流
となる。これは導入ダクト１８から微粉未回収槽ｌｚ内
に導ひかれ、仕切プレー １−２０に尚接失辻して内部
に堆積し、セラミック超微粉末２２として回収されるこ
とになる。
１５によって気相加水分解され、セラミック超＠粉末流
となる。これは導入ダクト１８から微粉未回収槽ｌｚ内
に導ひかれ、仕切プレー １−２０に尚接失辻して内部
に堆積し、セラミック超微粉末２２として回収されるこ
とになる。
このように、金属アルコキシド霧Ｉ６は酸水素バーナ炎
１５によって気相加水分解され、１工程でセラミック超
微粉末が得られる。
１５によって気相加水分解され、１工程でセラミック超
微粉末が得られる。
なお、金属アルコキシドとしては、テトラエトキシシラ
ンＳ ｉ （００２Ｈ５）４、テトラメトキシシラン５
ｉ（ＯＣＨｓ ）４などがある。
ンＳ ｉ （００２Ｈ５）４、テトラメトキシシラン５
ｉ（ＯＣＨｓ ）４などがある。
以上説明したように、この発明によれば、スプレー式ノ
ズルからキャリアガスとともに金属アルコキシドを噴霧
し、これを酸水素・ぐ−ナによって気相加水分解してセ
ラミック超微粉末を得るようにしだから、１工程でセラ
ミック超微粉末を製造でき、工程削減により装置の簡素
化と工程上の汚染が少なく、高純度のセラミック超微粉
末を得ることができるという効果を奏する。
ズルからキャリアガスとともに金属アルコキシドを噴霧
し、これを酸水素・ぐ−ナによって気相加水分解してセ
ラミック超微粉末を得るようにしだから、１工程でセラ
ミック超微粉末を製造でき、工程削減により装置の簡素
化と工程上の汚染が少なく、高純度のセラミック超微粉
末を得ることができるという効果を奏する。
図面はこの発明の一実施例を示すもので、第１図は概略
的構成図、第２図は要部を拡大した縦断面図である。 ３・・スプレー式ノズル、８・・酸水素バー す出願人
代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 ３
的構成図、第２図は要部を拡大した縦断面図である。 ３・・スプレー式ノズル、８・・酸水素バー す出願人
代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 ３
Claims (1)
- スゾレ一式ノズルからキャリアガスとともに金属アルコ
キシドを噴霧し、これを酸水素バーナによって気相加水
分解してセラミック超微粉末を得ることを竹命とするセ
ラミック超微粉末の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20227783A JPS6094135A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | セラミツク超微粉末の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20227783A JPS6094135A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | セラミツク超微粉末の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6094135A true JPS6094135A (ja) | 1985-05-27 |
Family
ID=16454870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20227783A Pending JPS6094135A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | セラミツク超微粉末の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6094135A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100260015B1 (ko) * | 1990-10-02 | 2000-06-15 | 나루세 스스무 | 액정 표시 장치 및 그 제조방법 |
-
1983
- 1983-10-28 JP JP20227783A patent/JPS6094135A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100260015B1 (ko) * | 1990-10-02 | 2000-06-15 | 나루세 스스무 | 액정 표시 장치 및 그 제조방법 |
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