JPS6075579A - 金色装飾品 - Google Patents

金色装飾品

Info

Publication number
JPS6075579A
JPS6075579A JP18039383A JP18039383A JPS6075579A JP S6075579 A JPS6075579 A JP S6075579A JP 18039383 A JP18039383 A JP 18039383A JP 18039383 A JP18039383 A JP 18039383A JP S6075579 A JPS6075579 A JP S6075579A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gaseous
bcl3
golden
tac
thin film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP18039383A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0442469B2 (ja
Inventor
Yasuhisa Shiraishi
泰久 白石
Takashi Fujita
隆 藤田
Yoshiharu Ochi
越智 義春
Masahiko Hirose
広瀬 昌彦
Katsutaro Ichihara
勝太郎 市原
Takashi Ishigami
隆 石上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP18039383A priority Critical patent/JPS6075579A/ja
Publication of JPS6075579A publication Critical patent/JPS6075579A/ja
Publication of JPH0442469B2 publication Critical patent/JPH0442469B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/38Borides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は表面が炭化タンタル(TaC)と同等の金色光
沢をもつ装飾品に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
TaCの焼結体は、色相が金色に近く彩度が弱く淡い金
色であって、高貴なイメージを与えるので金色装飾品と
しての価値が高い。
しかしながら、TaC焼結体は硬く脆いので研削加工、
穴あけ加工などが困難である。
とのようなことから、既に所望の加工を施しである基材
に各種の薄膜形成法を適用してTaCの薄膜を被覆形成
し上記した色調を出そうといり試みがなされているが、
しかし、いまだ成功した事例はない。
例えば、物理蒸着法(PVD法)の場合、Taはその融
点が高い(約3000℃)ためT’aをイオン化するこ
とが困難であシ、また、化学蒸着法(cvD法)又はプ
ラズマ化学蒸着法(PCVD法)の場合でも、これら方
法に適合するT&のハロダン化物がないのである。
〔発明の目的〕
本発明は、TaCと同等の金色光沢をもつ金色装飾品の
提供を目的とする。
〔発明の概要〕
本発明者らは、TaCと色調が類似する薄膜の形成に関
し鋭意研究を重ねた結果、従来から行なわれている窒化
チタン(TiN )の薄膜形成時に、ホウ素(B)を微
量添加していくと、その薄膜表面は金色から無色の金属
色に色調が変化し、その過程でTaCに酷似した色調に
なるという事実を見出し、本発明の装飾品を開発するに
到った。すなわち、本発明の金色装飾品は、その表面が
ホウ窒化チタン(TiBN )薄膜で被覆されているこ
とを特徴とする。
本発明の装飾品において、基材の表面を被覆するT18
N薄膜は、JISZ 8105−2068で規定する(
 CIE 1976 )L*、 a” 、 b*色空間
において、L’I’ 、 IL * 、 b*はそれぞ
れ、40チ≦い≦80チ。
49≦(a ) +(b ) ≦625.3≦b/−≦
8の関係を満足する色調を有していることを特徴とする
この色調のとき、TIBN薄膜はTaCに酷似した淡い
金色の光沢をもって輝いている。ピが小さすぎると薄膜
表面の明度が低くなって光沢が不満足となシ、またLl
が大きすぎると、明度が高くなシすぎて徒らにキラキラ
するばかりとなシ、ヒは40チ以上80チ以下であるこ
とが好ましい。更に、好ましくは、50q6≦ピ≦7(
lである。
また、薄膜表面の色調において、b/、*が小さすぎる
と赤つぼくなシすぎ、また逆に大きすぎると黄色が強く
なりすぎるし、(IL)+(b) が小さすぎると色彩
がぼんやシしすぎるし、逆に大きいとはつきシしすぎる
ようになるので、したがって(a*ゾ+(b*)2及び
b/*は、それぞれ49≦(a ) +(b )≦62
5.3≦b /、率≦8の関係を満足するのが好ましく
更に、100≦(a )+(b )≦324.3.5≦
b/*≦6の関係を満足するととが好ましい。
本発明にがかるTiBN薄膜は、模式図として例示した
以下の処理装置を用いたプラズマ化学蒸着法(PCVD
法)によって形成することができる。
図で、1は反応室で、室内にはヒータ用電源2に接続し
たヒータ3、その上には放電用直流電源4に接続した負
電極5.負電極5と対向して正電極6が配置されている
。負電極5は表面処理すべき基体7の支持台の機能も兼
ねている。
反応室1には、原料である反応ガスの供給系(図示した
右側の系)が連結されていて、ここから、所定の流量で
各原料が導入される。反応ガスは水素(N2)と四塩化
チタン(TIC44)と三塩化ホウ素(5Ct3)と窒
素(N2)の4種類の混合がスである。図で、8はN2
の供給ボンベである。
9はBCl、のパゾラー恒温槽で、ここに収納されてい
るSCt、は水素ボンベ10から送入されるN2でバブ
リングされ、該恒温槽の温度に相当する蒸気圧のBC/
、3がN2とともに反応室1内に導入される。
このとき、槽9の温度はBCl、の供給量との関係から
決められるが、通常−100〜10℃の範囲の温度であ
る。
11はTiCl2のパゾラー恒温槽で、ここに収納され
ているTiCl4は、上記したBCl、の場合と同様に
、水素ボンベ10′から送入されるN2でバブリングさ
れ、該恒温槽の温度に相当する蒸気圧のTiCl2がN
2とともに反応室1内に導入される。このときの槽11
の温度はTiCl2の供給量との関係から決められるが
、通常は20〜80℃の範囲内にある。
12のアルゴンボンベは基体70表面にTiBN薄膜を
形成するに先立って該基体表面を清浄化するタメのアル
ゴン(Ar )スパッタ用である。13は反応室1内を
所定のガス圧に調節するための真空ポンプ、14は真空
ポンプの油逆流防止、 TIBN薄膜形成時に副生ずる
塩化物を捕捉するためのトラップであシ、これら全体で
排気系が構成されている。
図の装置を用いて、まず、供給系からArガスを適尚量
導入しながら真空ポンプ13で排気し反応室1内を約0
.05 TorrのAr雰囲気に圧力調節し、基体7の
表面を電流密度的0.5mA/−でスパツタして清浄化
する。
その後、反応ガス供給系を切替え反応ガス(H2十T 
1ct4+BCl3+ N2)を反応室1内に導入しな
がら排気し反応ガスの全体圧力を所定の値に調節し、ヒ
ータ3で基体7を加熱して両電極5,6間に電圧印加し
反応室1内にグロー放電を発生させる。
室内のガス圧が0.05 Torr未溝の場合にはグロ
ー放電が発生せず、また5 Torrを超えるとグロー
放電が安定しないばかりではなくアーク放電が発生し始
める。好ましくは0.5〜2 Torrである。
基体の加熱温度は100〜1000℃、好ましくは30
0〜700℃、最も好ましくは500℃である。
また、放電時、基体の単位面積当りに流す電流の電流密
度は0.01〜1 mklct& 、好ましくは0.0
5〜0.5mA/crlである。
装置を運転するに当シ必要な他のパラメータ。
例えば放電維持電圧5反応ガスの流量などは、反応室の
大きさ、基体の表面積が変動すると上記した3つの条件
の変動に対応して変化させなければならないので一義的
には決められない。
本発明にかかるTiBN薄膜の形成時における重要な問
題は、反応ガス中のN2とBCt、の合量に対すに制御
することである。
るように制御される。このような制御は槽9および11
の温度を調節することによって可能である。
この比が小さすぎると、形成されたTiBN薄膜はその
彩度が大きくな如すぎて金色に近くなシ望ましい色調が
得られにくくなり、またこの比が大きすぎると、彩度は
適正であってもTiBN薄膜と基材との密着性が低下し
て該薄膜の剥離現象が発生し40チが好ましい。本発明
にあっては10〜20チであることが更に好ましい。
また、TiBN薄膜が実用的な硬度を得るためには、そ
の膜厚は011μm以上形成されることが好ましい。
なお、表面処理する基材としては、時計の側。
メガネの枠など装飾品の基材となシ得るもので、かつ、
上記した薄膜形成における温度に耐え得るものであれば
いかなるものであってもよい。例えば、金属、セラミッ
ク(含ガラス)等があるが、基材が金属であれば導電性
があυ、TIBNが付着しやすく、一方基材がセラミッ
クであると、基体が硬い為、圧痕ができにくい装飾品を
提供できる。
〔発明の実施例〕
実施例1〜4 図に示した装置を用いかつ表示した条件でN1基硬質合
金グロックおよび時計側の鏡面仕上げした表面に薄膜を
形成した。この薄膜につき、硬度をマイクロヴイツカー
ス計で測定し、まだ膜厚は薄膜をシャドウィングしその
とき形成された段差を表面粗さ計で測定した。更に、各
薄膜表面の色調は、JIS Z 8105−2014 
で規定する標準の光Cを用いてJISZ 8105−1
013で規定すル分光反射率をめ、この値を(CIE 
1976 )L” 、 a*。
b*色空間に変換して定量化した。また、色調について
は肉眼観察を行ない、TaCと比較検討した。
以上の結果を一括して表に示した。
〔発明の効果〕
以上の説明で明らかなように、本発明の金色装飾品はそ
の表面色調がTaCの色調と酷似した淡い金色であシ、
シかも硬度は適正な値である。したがって、従来は困難
であったTaC被覆に代ってTaCと同等の色調の創造
が可能であるので、時計。
メガネなどの高級な金色装飾品を製造することが可能と
なυその価値は高い。
【図面の簡単な説明】
図は、本発明の装飾品を製造する際に用いる装置例の模
式図である。 1・・・反応室、2・・・ヒータ用電源、3・・・ヒー
タ、4・・・グロー放電用直流電源、5・・・負電極兼
支持台、6・・・正電極、7・・・基材、8・・・窒素
ガスはンベ、9・・・三塩化ホウ素パゾラー恒温槽、1
0,10/・・・水素ガス?ンベ、11・・・四塩化チ
タンパゾラー恒温槽、12・・・アルゴン?ンベ、13
・・・真空デンジ、14・・・トラップ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、表面がホウ窒化チタン主体で被覆されていることを
    特徴とする金色装飾品。 2、該ホウ窒化チタンの表面が、JISZ8105−2
    068で規定する( CIE 1976 ) L” r
     a” t b*色空間において、L” e &” *
     b”はそれぞれ、4゜チ≦L*≦80%、49≦(a
    *)2+(b*)2≦625゜3≦b/、*≦8の関係
    を満足する色調を有している特許請求の範囲第1項記載
    の金色装飾品。 3、l*ホウ窒化チタンがプラズマ化学蒸着法で形成さ
    れた特許請求の範囲第1項又は第2項記載の金色装飾品
    。 4、該ホウ窒化チタンの厚みが0.1μm以上である特
    許請求の範囲第1項〜第3項のいずれかに記載の金色装
    飾品。 5、′該7’ラズマ化学蒸着法において、反応がスとし
    て使用されるBCl、及びN2が、5チ≦−BCl、−
    N2+BC23 ≦40チの関係を満足する特許請求の範囲第3項に記載
    の金色装飾品。
JP18039383A 1983-09-30 1983-09-30 金色装飾品 Granted JPS6075579A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18039383A JPS6075579A (ja) 1983-09-30 1983-09-30 金色装飾品

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18039383A JPS6075579A (ja) 1983-09-30 1983-09-30 金色装飾品

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6075579A true JPS6075579A (ja) 1985-04-27
JPH0442469B2 JPH0442469B2 (ja) 1992-07-13

Family

ID=16082448

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18039383A Granted JPS6075579A (ja) 1983-09-30 1983-09-30 金色装飾品

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6075579A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06330295A (ja) * 1993-05-24 1994-11-29 Nippon Laser Denshi Kk プラズマ製膜装置
FR2726834A1 (fr) * 1994-11-07 1996-05-15 Neuville Stephane Procede de depot sur au moins une piece d'un revetement protecteur de grande durete
WO1996014448A1 (fr) * 1994-11-07 1996-05-17 Neuville Stephane Procede de depot d'un revetement protecteur de grande durete

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4841770A (ja) * 1971-09-27 1973-06-18

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4841770A (ja) * 1971-09-27 1973-06-18

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06330295A (ja) * 1993-05-24 1994-11-29 Nippon Laser Denshi Kk プラズマ製膜装置
FR2726834A1 (fr) * 1994-11-07 1996-05-15 Neuville Stephane Procede de depot sur au moins une piece d'un revetement protecteur de grande durete
WO1996014448A1 (fr) * 1994-11-07 1996-05-17 Neuville Stephane Procede de depot d'un revetement protecteur de grande durete
US5846613A (en) * 1994-11-07 1998-12-08 Neuville; Stephane Method for depositing a hard protective coating

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0442469B2 (ja) 1992-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5314652A (en) Method for making free-standing diamond film
JP2001524391A (ja) 切削工具上に微細結晶粒アルミナを堆積する方法
JPH0450386B2 (ja)
Fontana et al. Triode magnetron sputtering TiN film deposition
US4420498A (en) Method of forming a decorative metallic nitride coating
JPS6075579A (ja) 金色装飾品
Lee et al. The large area deposition of diamond by the multi-cathode direct current plasma assisted chemical vapor deposition (DC PACVD) method
US20010008698A1 (en) Brass-colored coating with color-imparting nitride layer
GB2182950A (en) Black-coloured titanium nitride coatings
JPH0442470B2 (ja)
JPH029671B2 (ja)
JPH04103754A (ja) セラミック被覆材料とその製造方法
TWI553137B (zh) 鍍膜物件及其方法
JPS5915983B2 (ja) ホウ素被膜の形成方法
JPH03267361A (ja) 硬質被膜とその製造方法
JP2553059B2 (ja) 外装部品の製造方法
CN1033177C (zh) 具有金色表面涂层的制品
RU2210625C2 (ru) Способ получения декоративных покрытий
TWI496906B (zh) 殼體的製備方法及由該方法製得的殼體
JPH0718469A (ja) 金色めっき装身具
JPS58164777A (ja) 金属化合物被膜の形成方法
JP2020033599A (ja) ホウ窒化バナジウム膜被覆部材およびその製造方法
JPS63118075A (ja) グロ−放電による被覆方法
JPS581069A (ja) 装飾用金属窒化物皮膜形成方法
JPH04141576A (ja) 装飾品およびその製造方法