JPS6035569A - 集積化された過負荷保護装置 - Google Patents
集積化された過負荷保護装置Info
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- JPS6035569A JPS6035569A JP59080007A JP8000784A JPS6035569A JP S6035569 A JPS6035569 A JP S6035569A JP 59080007 A JP59080007 A JP 59080007A JP 8000784 A JP8000784 A JP 8000784A JP S6035569 A JPS6035569 A JP S6035569A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0248—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は集積化された過負荷保護装置に関するもので
ある。
ある。
集積回路として構成された共通エミツク増幅器が人力信
号によって駆動される場合、出力信号の極性は入力信号
に対して反転される。第1図に、在来の技術による周知
形式の共通エミッタ増幅回路の概略図が示されている。
号によって駆動される場合、出力信号の極性は入力信号
に対して反転される。第1図に、在来の技術による周知
形式の共通エミッタ増幅回路の概略図が示されている。
代表的な構成においてはこの共通エミッタ増幅器はN
P N )ランジスクQから形成される。トランジスタ
Qのコレクタは負?di抵抗器RLをJ出して正の電源
端子+■に接続されている。トランジスタQのエミッタ
はエミッタ抵抗器REを通して大地に後続されている。
P N )ランジスクQから形成される。トランジスタ
Qのコレクタは負?di抵抗器RLをJ出して正の電源
端子+■に接続されている。トランジスタQのエミッタ
はエミッタ抵抗器REを通して大地に後続されている。
入力信号viは入力抵抗器R8を通ってl・ランジスタ
Qのベースに結合される。生じた入力ベース電流は、こ
の入力ベース電流のベータ倍に等しいコレクタ電流が流
れるようにする。その結果、トランジスタQのコレクタ
と大地の間で測定される出力電圧VOは入力電圧Viの
増幅、反転されたものとなる。
Qのベースに結合される。生じた入力ベース電流は、こ
の入力ベース電流のベータ倍に等しいコレクタ電流が流
れるようにする。その結果、トランジスタQのコレクタ
と大地の間で測定される出力電圧VOは入力電圧Viの
増幅、反転されたものとなる。
エミッタ抵抗器R9を使用する共通エミッタ増幅器のエ
ミッタ電圧は、いわゆるエミッタホロワモードで入力電
圧に追随しようとする。従って、出力信号VOは増加す
る入力信号■工により減少されていてもエミッタ電圧は
増加する。回路素子の相対値と与えられる入力駆動の大
きさによって1人力ピークの11)l Q、が飽和し2
、エミッタ電圧がコレクタ電圧よシ大きくなるに充分な
駆動が存在するようにすることが可能となる。従って、
第1図に示される入力信号(入力側に図示した実線)が
図示の出力信号(出力側に図示した実線)となる間、出
力信号の最も負の部分は鎖線で示される部分におきかえ
られる可能性がある。このような結果は、Rsが小さく
、大きな駆動1aυが存する状況のもとて最も起こりや
すい。
ミッタ電圧は、いわゆるエミッタホロワモードで入力電
圧に追随しようとする。従って、出力信号VOは増加す
る入力信号■工により減少されていてもエミッタ電圧は
増加する。回路素子の相対値と与えられる入力駆動の大
きさによって1人力ピークの11)l Q、が飽和し2
、エミッタ電圧がコレクタ電圧よシ大きくなるに充分な
駆動が存在するようにすることが可能となる。従って、
第1図に示される入力信号(入力側に図示した実線)が
図示の出力信号(出力側に図示した実線)となる間、出
力信号の最も負の部分は鎖線で示される部分におきかえ
られる可能性がある。このような結果は、Rsが小さく
、大きな駆動1aυが存する状況のもとて最も起こりや
すい。
増幅器の変換特性を直線性にするために出力信号の一部
を入力に帰還する負帰還増幅器の場合、過負荷状態の間
、増1喝器が正帰還増幅器として作用することがあり得
る。テレビ回路に使用される形式のビデオ増幅器では、
自動利得制御(AGC’)回路よりも前段にあるビデオ
増幅器を過駆動すると、ロック外れ(ロックアウト)と
して知られている現象を生じ正しくない画像が生ずるこ
とがある。しかし、前述の問題は差動及び演算増幅器に
使われているものも含めた多くの共通エミッタ増幅器に
共通していることに注意すべきである。従って、この現
象の発生を防ぐ保護装置の出現が強く望まれている。
を入力に帰還する負帰還増幅器の場合、過負荷状態の間
、増1喝器が正帰還増幅器として作用することがあり得
る。テレビ回路に使用される形式のビデオ増幅器では、
自動利得制御(AGC’)回路よりも前段にあるビデオ
増幅器を過駆動すると、ロック外れ(ロックアウト)と
して知られている現象を生じ正しくない画像が生ずるこ
とがある。しかし、前述の問題は差動及び演算増幅器に
使われているものも含めた多くの共通エミッタ増幅器に
共通していることに注意すべきである。従って、この現
象の発生を防ぐ保護装置の出現が強く望まれている。
この発明による負帰還増幅器が正帰還増幅器になるのを
防ぐ集積回路化過負荷保護装置は、ある導電型(即ちP
NP )のバイポーラ保護トランジスタによって保護さ
れる上記と反対の導電型(即ちNPN)のバイポーラ増
幅トランジスタを持っている。保護トランジスタのエミ
ッタは被保護トランジスタのベースに接続され、保護ト
ランジスタのベースハ被保護トランジスタのコレクタに
接続されている。保護トランジスタのコレククハ被保護
トランジスタの負荷素子の端子が接続されている電源端
子と反対側の電源端子に接続されている。
防ぐ集積回路化過負荷保護装置は、ある導電型(即ちP
NP )のバイポーラ保護トランジスタによって保護さ
れる上記と反対の導電型(即ちNPN)のバイポーラ増
幅トランジスタを持っている。保護トランジスタのエミ
ッタは被保護トランジスタのベースに接続され、保護ト
ランジスタのベースハ被保護トランジスタのコレクタに
接続されている。保護トランジスタのコレククハ被保護
トランジスタの負荷素子の端子が接続されている電源端
子と反対側の電源端子に接続されている。
以下、図面を参照して詳細に説明する。
図面の第2図には、この発明の好ましい実施例によって
保護された増幅回路12の概略が示されている。増幅回
路12は標準的な共通エミッタ型に接続された増幅NP
N)ランジスタQ1によシ形成されている。この技術分
野において周知のように、共通エミッタ増幅器はしばし
ば抵抗性信号源から駆動され、この場合、信号d6iは
入力信号■1をトランジスタQ1のベースに結合するの
に使用される抵抗器Rs (!: Rpによって形成さ
れている。この発明は。
保護された増幅回路12の概略が示されている。増幅回
路12は標準的な共通エミッタ型に接続された増幅NP
N)ランジスタQ1によシ形成されている。この技術分
野において周知のように、共通エミッタ増幅器はしばし
ば抵抗性信号源から駆動され、この場合、信号d6iは
入力信号■1をトランジスタQ1のベースに結合するの
に使用される抵抗器Rs (!: Rpによって形成さ
れている。この発明は。
ベースヲトツンジヌタQ、1のコレクタに接続L 、工
を ミッタ保護抵抗Rpを通して1ランシスタQ、lのベー
ム スに接続させた第2のトランジスタQ2を含んでいる。
を ミッタ保護抵抗Rpを通して1ランシスタQ、lのベー
ム スに接続させた第2のトランジスタQ2を含んでいる。
この実施例ではトランジスタQ2のコレクタはアークに
接続されている。その理由は、増幅トランジスタQ1カ
N P N)ランシスタであシ、保護トランジスタ睡が
PNP )ランジスタであるからである。もしQlがP
NP )ランジスタであれば、Q、2にはNPN l−
ランジスタが選択され、Q2のコレクタは正の電源電圧
+Vに接続されることになる。
接続されている。その理由は、増幅トランジスタQ1カ
N P N)ランシスタであシ、保護トランジスタ睡が
PNP )ランジスタであるからである。もしQlがP
NP )ランジスタであれば、Q、2にはNPN l−
ランジスタが選択され、Q2のコレクタは正の電源電圧
+Vに接続されることになる。
この発明の上記実施例において、負荷抵抗器」尺。
は正の電源端子+Vに接続され、Q、2のコレクタはブ
対の電源端子即ちアースに接続されている。或いは、も
しQlがPNP)ランジスタであればQ2のコレクタは
正の電源端子に接続されることになる。
対の電源端子即ちアースに接続されている。或いは、も
しQlがPNP)ランジスタであればQ2のコレクタは
正の電源端子に接続されることになる。
動作時に、Qlが飽和されるとトランジスタQ2はター
ンオンしてベース駆動信号をQlの初期飽和電圧の(至
)く僅か上のある電圧にクランプして、出力信号v□の
反転を防止する。この回路が前述のロック外れを効果的
に防ぐように適切に作動するためには、保護トランジス
タQ?のベータが比較的高い値を持つと共に保護抵抗器
Rpが比較的に高いインピーダンス値を有することが必
要である。保護トランシフ・夕明のベータは15以上の
値を持つことが好ましい。同様に、もしl・ランシスタ
の導電型がこ父で述へている型と反対のものであれば、
トランジスタQ1の出力は初期飽和電圧よシ低くなるこ
とはない。
ンオンしてベース駆動信号をQlの初期飽和電圧の(至
)く僅か上のある電圧にクランプして、出力信号v□の
反転を防止する。この回路が前述のロック外れを効果的
に防ぐように適切に作動するためには、保護トランジス
タQ?のベータが比較的高い値を持つと共に保護抵抗器
Rpが比較的に高いインピーダンス値を有することが必
要である。保護トランシフ・夕明のベータは15以上の
値を持つことが好ましい。同様に、もしl・ランシスタ
の導電型がこ父で述へている型と反対のものであれば、
トランジスタQ1の出力は初期飽和電圧よシ低くなるこ
とはない。
第3図および第4図には、この発明の過負荷保護装置の
一実施例装置20の平面図と断面図が示されている。こ
の発明によると、装置2oは、ある導電型の集積化され
た増幅トランジスタと反対導電型の保護トランジスタの
組み合わさったものである。このようにして、増幅NP
N )ランンスタに保護p Np トランジスタが組み
合わされている。
一実施例装置20の平面図と断面図が示されている。こ
の発明によると、装置2oは、ある導電型の集積化され
た増幅トランジスタと反対導電型の保護トランジスタの
組み合わさったものである。このようにして、増幅NP
N )ランンスタに保護p Np トランジスタが組み
合わされている。
この発明の好ましい実施例では、装置20は通常はP型
シリコンよシ成る16導体基板22の上に形成される。
シリコンよシ成る16導体基板22の上に形成される。
このP型基板22の」ユにN型エピタキシャル層24が
形成されている。エピタキシャル層24の一部は、エピ
タキシャル層の残部からそれを完全に囲む高濃度にトー
プされたP十型分離領域38によって分離されている。
形成されている。エピタキシャル層24の一部は、エピ
タキシャル層の残部からそれを完全に囲む高濃度にトー
プされたP十型分離領域38によって分離されている。
P十型分離領域38はまたPNP保i)ランジヌタQ2
のコレクタとして作用する。P型ウェル領域26はN型
エピクキシャル層24内に延長している。このP型ウェ
ル領域26は増幅トランジスタQlのベースとして作用
する。同様に、N十型領域28は、これもまたN型エピ
タキシャル層24中に延長しているが、増幅l・ランシ
スタQ1のコレクタとして作用する。エピタキシャル層
24中の分離されたN型の部分は保護トランジスタQ2
のベースとして作用する。高濃度にドープされた深いP
十型層30は、保護トランジスタQ2のベータを増加さ
せるために装置20に含まれている。P+領域3oはP
ウェル26を貫通してエピタキシャル層24中まで延び
、保護トランジスタQ2のエミッタとして作用する。
のコレクタとして作用する。P型ウェル領域26はN型
エピクキシャル層24内に延長している。このP型ウェ
ル領域26は増幅トランジスタQlのベースとして作用
する。同様に、N十型領域28は、これもまたN型エピ
タキシャル層24中に延長しているが、増幅l・ランシ
スタQ1のコレクタとして作用する。エピタキシャル層
24中の分離されたN型の部分は保護トランジスタQ2
のベースとして作用する。高濃度にドープされた深いP
十型層30は、保護トランジスタQ2のベータを増加さ
せるために装置20に含まれている。P+領域3oはP
ウェル26を貫通してエピタキシャル層24中まで延び
、保護トランジスタQ2のエミッタとして作用する。
高濃度にドープされたN型領域32は増幅トランジスタ
Qlのエミッタとして作用する。高濃度にドープされた
N型ポケット34はP型基板22とエピタキシャル満2
4の間においてP型下層22中に延長し、トランジスタ
嗅のエミッタとコレクタの間の抵抗を減少させるために
使用される。このポケット34はN型領域28と32の
下に延在している。
Qlのエミッタとして作用する。高濃度にドープされた
N型ポケット34はP型基板22とエピタキシャル満2
4の間においてP型下層22中に延長し、トランジスタ
嗅のエミッタとコレクタの間の抵抗を減少させるために
使用される。このポケット34はN型領域28と32の
下に延在している。
特に第3図において、P型領域26は幅の狭い(上から
見た場合)領域36を含んでいることが好ましい。幅の
狭い領域360目的は、第2図で示されるように保護抵
抗器Rp[比較的に高いインピーダンス値を与えること
である。この抵抗値は幅の狭い領域36におけるウェル
材料の抵抗によって得られる。
見た場合)領域36を含んでいることが好ましい。幅の
狭い領域360目的は、第2図で示されるように保護抵
抗器Rp[比較的に高いインピーダンス値を与えること
である。この抵抗値は幅の狭い領域36におけるウェル
材料の抵抗によって得られる。
この発明の装置の製作は、この技術分野でよく知られて
いる形式の標準的な処理段階によって行なわれる。特に
、この発明の装置を単板型(モノリシック)集積回路に
組み入れるのに、標準的なホトエツチング(ホトリソグ
ラフィ)、被着或いは拡散という製造工程の何れをも変
える必要がないということは、この発明の有利な点であ
る。従って、この技術分野の専門家は、P型シリコン基
板22中に高濃度にドープされたN型領域34を拡散す
ることによってこの発明の装置を製造できることが理解
できよう。N型ポケット34は、通常、約40Ω/口の
抵抗率を持つものである。
いる形式の標準的な処理段階によって行なわれる。特に
、この発明の装置を単板型(モノリシック)集積回路に
組み入れるのに、標準的なホトエツチング(ホトリソグ
ラフィ)、被着或いは拡散という製造工程の何れをも変
える必要がないということは、この発明の有利な点であ
る。従って、この技術分野の専門家は、P型シリコン基
板22中に高濃度にドープされたN型領域34を拡散す
ることによってこの発明の装置を製造できることが理解
できよう。N型ポケット34は、通常、約40Ω/口の
抵抗率を持つものである。
次に、1000Ω/口程度の抵抗率を持つN型エピタキ
シャル層24をこ・のP型基板の表面上に成長させる。
シャル層24をこ・のP型基板の表面上に成長させる。
この発明の装置が形成されるN型エピタキシャル層の一
部は高濃度にドープされたP型分離拡散領WJ、 38
によってエピタキシャル層の残部から絶縁される。次に
、高濃度にドープされたP5ベース接触30が画定され
尻形成される。その後、Pウニ/I/26が画定され、
形成される。
部は高濃度にドープされたP型分離拡散領WJ、 38
によってエピタキシャル層の残部から絶縁される。次に
、高濃度にドープされたP5ベース接触30が画定され
尻形成される。その後、Pウニ/I/26が画定され、
形成される。
装置20の製造工程における次の段階は、高濃度にドー
プされたN型領域28.32の形成である。これらも上
記と同様に標準技酌を使用し、て形成される。
プされたN型領域28.32の形成である。これらも上
記と同様に標準技酌を使用し、て形成される。
最後に、保護酸化物(示されていない)が装置の表面」
二に形成され、接触用の開孔(示されていない)がこの
保護酸化物中に明けられ、そして導電性の相互接続用材
料の被着、画定および形成が行なわれる。
二に形成され、接触用の開孔(示されていない)がこの
保護酸化物中に明けられ、そして導電性の相互接続用材
料の被着、画定および形成が行なわれる。
この技術分野の専門家にとっては、」二連した各工程ハ
すべて標準的な周知のホトエツチング(ホトリソグラフ
ィ)、被着、拡散及びエツチング技法を使用して行なわ
れるということが理解できよう。
すべて標準的な周知のホトエツチング(ホトリソグラフ
ィ)、被着、拡散及びエツチング技法を使用して行なわ
れるということが理解できよう。
以上の説明ではP N P保護1−ランシスタと共に、
NPN増幅トランシヌタについて述べたが、第3図およ
び第4図に示されている各領域の導電型を逆にすること
によって、保護N P N )ランジスタと\もにPN
P増幅トランジスタを形成しうろことも、この技術分野
において普通の知識を有する者にとって自明であろう。
NPN増幅トランシヌタについて述べたが、第3図およ
び第4図に示されている各領域の導電型を逆にすること
によって、保護N P N )ランジスタと\もにPN
P増幅トランジスタを形成しうろことも、この技術分野
において普通の知識を有する者にとって自明であろう。
第1図は、典型的な入ノJ及び出力信号と!もに、従来
周知形式の共通エミック増幅回路の概略を示す図、第2
図はこの発明の保護回路を含む保護された増幅回路の概
略図、第3図はこの発明の保1獲装置の好ましい実施例
の平Ir1i図、第4図はこのブこ明による保護装置の
好捷しい実施例の断面図である。 Ql・・・増幅トランジスタ、Q2・・・保護トランジ
スタ、RL・・増幅トランジスタの負荷素子(抵抗器)
、 1IFip・・・保護抵抗器、Rs・・・人力信
υ用抵抗器、RL七・・・エミッタ抵抗器、22・・・
P型1を導体基板、24・・・N型エピタキシャル層、
26・・・ウェル領域、28・・・増幅トランジスタの
コレクタ、30・・・保護トランジスタのエミッタ・3
6・・・ウェル領域中の幅の狭い部分、38・・・保護
トランジスタのコレクタ。 特、yf1MII人 アールシーニー コーポレーショ
ン代 理 人 清 水 哲 ほか2名
周知形式の共通エミック増幅回路の概略を示す図、第2
図はこの発明の保護回路を含む保護された増幅回路の概
略図、第3図はこの発明の保1獲装置の好ましい実施例
の平Ir1i図、第4図はこのブこ明による保護装置の
好捷しい実施例の断面図である。 Ql・・・増幅トランジスタ、Q2・・・保護トランジ
スタ、RL・・増幅トランジスタの負荷素子(抵抗器)
、 1IFip・・・保護抵抗器、Rs・・・人力信
υ用抵抗器、RL七・・・エミッタ抵抗器、22・・・
P型1を導体基板、24・・・N型エピタキシャル層、
26・・・ウェル領域、28・・・増幅トランジスタの
コレクタ、30・・・保護トランジスタのエミッタ・3
6・・・ウェル領域中の幅の狭い部分、38・・・保護
トランジスタのコレクタ。 特、yf1MII人 アールシーニー コーポレーショ
ン代 理 人 清 水 哲 ほか2名
Claims (2)
- (1)第1導電型の半導体基板と、上記基板上に形成さ
れた第2導電型の半導体材料層と、上記の層を貫通して
上記基板まで延長し」二記の層の一部を完全に囲んでこ
の層の残シの部分と分層する上記第1導電型の第1の高
濃度にドープされた領域と、」二記層の表面からその上
記分離された部分中に部分的に延長している上記第1導
電型のウェル領域と、上記層の表面からその上記分離さ
れた部分中に延長し、上記分離された部分によって上記
ウェル領域から隔てられている上記第2導電型の第2の
高濃度にドーグされた領域と、上記ウェル領域の表面か
らその内部に延長しそのウェル領域部分によって四重れ
ている上記第2導電型の第3の高濃度にドープされた領
域と、上記層の上記分離された部分と上記基板の間にし
かも少なくとも上記第2と第3の高濃度にドープされた
領域の下方に延在する第2導電型の第4の高濃度にドー
プされた領域と、上記ウェル領域の表面からこのウェル
領域と」二記層の境界面を貫通して延長し上記ウェル領
域よりも高濃度にドープされた第1導電型の第5の高濃
度にドープされた領域とを具備し、上記の第3の高濃度
に1・′−プされた領域は、」二記表面から見たとき上
記の第2の高濃度にトープされた領域と上記第5の高濃
度に1−一部された領域の間に位置している集積化され
た過負荷保護装置。 - (2)特に請求の範囲第(1)項に記11戊の集積化さ
れた過負荷保護装置であって、上記ウェル領域は、」二
記表面上から見たとき」二記第3の高濃度にドープされ
た領域と第5の高濃度に(・′−デされた領域の間に存
在する幅の狭い部分を自し、」二記第4の高濃度にドー
プされた領域は、上記第2および第3の高濃度にドープ
された領域の下方に延在すると共にその一部がウェル領
域の上記幅の狭い部分の下まで延長している、集積化さ
れた過負荷保護装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US273325 | 1981-06-15 | ||
US06/273,325 US4463369A (en) | 1981-06-15 | 1981-06-15 | Integrated circuit overload protection device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6035569A true JPS6035569A (ja) | 1985-02-23 |
Family
ID=23043453
Family Applications (2)
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