JPS60262612A - フイルムを熱圧下にキヤリヤ両面に積層する方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 固　産業上の利用分野 （本発明−二、フィルムを加圧および加熱下に。

リ　その２つの面が加熱きれたキャリヤの両面に積４　
層する方法、およびこの方法を実施する装置に面１　関
する。

本発明は、ホトレジスト材料より成る均質な３　フィル
ムを１例えば金属板または、蒸着および牧　／または接
着された金属被膜を両面に有するべ妾　−スブロックで
あるキャリヤの２つの面に被覆こ　する方法である。

尼　従来の技術 粥　積層法は、すでに公開された欧州特許出願第０Ｏ４
−０８４２号９．同第００４０８４３号および同第００
４−１６牛２号から公知であり、かつこれら明細書にお
いて、ベースまたはキャリヤの両面に乾式レジストが加
圧下に積層される。

キャリヤ、例えば印刷回路の特定の面に積層されるべき
乾式レジストが、供給ロールから引取られかつ積層ロー
ラ組に供給され、それらローラのニップを経て、２枚の
乾式レジストフィルムおよび、それらの間に配置された
ギヤリヤが移動する。積層前に、液体層がキャリヤまた
は印刷回路板の面にコーチングされ、かつ印刷回路板の
面および特定の乾式レジストフィルム間に積層操作中に
中間層が形成さ１する。この液体層が、積層中に乾式レ
ジストフィルム中へ吸収てれることにより印刷回路板の
面から除去される。

米国特許明細舎弟４２１．４９３６号は、前方へ連続的
に移動しかつ接触加熱さね、た、水平方向に搬送される
板が両面積層され、積層ローラの円周速度が板の供給速
度よりも大である積層法に関する。センサが、予熱され
た板が積層ローラ間の二ツブに入る直前に板の後縁を検
出すると、直ちに積層ローラが、板抜縁の積層二ソツ通
過を許容する一定の遅延時間後に停止されるにすぎない
。後続の板の前縁が検知婆れると、直ちに再び積層ロー
ラが回転を開始しかつ二ソゾに入った板が積層さねる。

この作動がそれぞれの新たな板で繰返され、かつ従って
個々の積層板間の一定の距離がニップの後に維持される
。

このことが、板が相互に同じ距離をおいて封入された２
縫の乾式レジストフィルムよす成る連続ストリップを生
じる。レジストフィルムの。

２枚の板間の接続長でか１例えば１８　ｍｍ　Ｋ　７”
Ｚる。

公知の積層法の場合、板に積層される乾式レジストフィ
ルムが、積層ステーションに２つの供給コーラから不断
に供給され、その結果２倍の費用が、乾式レジストフィ
ルムのストツクヲ形成するために必要とされる。この米
国特許明細１による積層法の他の欠点は、相対的に多量
の乾式レジスト廃産品を生じることである、それという
のも個々の板が、乾式レジストフィルムより成る接続部
により相〃に結合され、かつこれら接続部が、個々の積
層板に引続く加工が施こさ′ｉｔつるように切断および
切除されなければならないからである。個々の板間の接
続部により、個々の板は、板から接続部への移行部が均
質に積層されるという保証がなく、その結果特定の条件
ドに、接続部が切断された後に、場合によりホトレジス
トが板の縁部で弛緩するに至る。

発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は、例えばホトレジストフィルムのような
フィルムをキャリヤへ積層するため、ホトレジストがキ
ャリヤの２つの面に均質にかつ両面でしわを生ぜずに積
層されることを許容するとともに、同時にホトレジスト
廃産品切断の結果としての損失がたんに極めてわずかで
あることを保証する方法および装置を得ることである。

問題点を解決するだめの手段 本発明によれば、この目的は、以下のに程ｆａ）　キャ
リヤが１両面がその全面にわたり水平位置で加熱され、 （ｂ）　所定長さのフィルムが、１個の供給ロールから
引取られ、垂直に整列された複数の真空テーブルおよび
それらの間に配置された積層ステーションの表面を経て
垂直に導かれ、かつこれら真空テープＡ／ｌｃより垂直
に固定され。

（Ｃ）　このフィルムが、積層ステーション上方に配置
された真空テーブルの上端および積層ステーション間の
範囲内で切断され、 （ｄｊ　水平に搬送される加熱されたキャリ、ヤが、垂
直に固定されたフィルム捷で積層ステーションの高さで
導かれ、 （ｅ）　このキャリヤが、積層ステーション中へ押込寸
れた際に１回転する２つの積層ローラ間のニップ中へフ
ィルムを引込み、かつこれらローラが、キャリヤおよび
、同時にキャリヤの両面に載置され、キャリヤの２つの
面に加圧接触により積層さ肛たフィルムより成る複合構
造体を搬送し去ることを特徴とする方法により達成され
る。

本発明による方法の他の有利な実施例は、特許請求の範
囲第２〜第９項の記載から明白である。

本発明（でよる方法を実施するため、フィルムの形のホ
トレジストの供給ａ−ル、積層されるヘキキャリャを収
容するマガジン、キャリヤのだめの加熱ステーション、
２つの積層ローラより成る積層ステーション、およびホ
トレジストを固定するための真空テーブル、並びにホト
レジストを切断するだめの切断装置を有する装置は、キ
ャリヤが、ローラコンベア上を水平方向に移動して加熱
ステーション、横整列装置およびデードグリッツξを通
り、かつその＠縁により。

ローラコンベアの通路中へ旋回されかつこれから夕）方
へ旋回さｎることのできる平行ストッパを圧迫し、１つ
の垂直吸引板を有する真空テーブルが、それぞれ積層ス
テーションの上方および下方に配置され、かつグリップ
パーが、ストリップに形成された部分のホト７ジストフ
イルムを杷持し、かつ相互に平行な垂直案内ロッドに沿
い、積層ステーション上の調節可能な位置から、積層ス
テーションを経、かつ下部真空テーブルの範囲内の位置
へ垂直に下方へ移動することを％徴とする。

本発明による装置の他の有利な構造は、特許請求の範囲
第１０項に従属する請求項の記載から明白である。

実施例 以下に１本発明を図面実施例につき詳説する。

第１図に斜視図により略示した積層装置１は供給マガジ
ン２中に１例えば、印刷回路板、多層積層板、金属板等
のような、ホトレジストフィルム１牛が両面に積層され
るべきキャリヤ３を含有する。キャリヤ３が、供給マガ
ジン２中に保持され、水平に矢印Ａの方向に旋回され、
かつ矢印Ｂの方向にローラコンベア（図示せず）上を加
熱ステーション中へ搬送される。加熱ステーション牛の
構造および作動方法は以下に詳述する。加熱ステーショ
ン４中で、キャリヤδの２つの面がそれらの全面にわた
り加熱され、かつ加熱の終了した後キャリヤ３が積層ス
テーション９へ向は搬送される。積層ステーション９は
２つの積層ローラ１０および１１より成り、例えばその
下部積層ローラ１１がモーター１２により駆動される。

明白に、また上部積層ロ−ラが、下部積層ローラの代り
にモーターにより駆動烙れてもよい。従って、不断に他
方の積層ローラが、歯車、チェーン付鎖車等により同期
的に駆動される。

積層ステーション９の上方に、垂直に整列された真空テ
ーブル１７が配置され、積層ステーション９の下方に、
他の垂直に整列された真空テーブル１８がある。これら
真空テーブル１７および１８が、相互に引離された展開
図で示きれている。第２図〜第４−図に例示したような
積層装置１の実施例において、真空テーブル１７および
１８が積層ステーション付近に配置され。

かつそれらの相互に対向する縁が、２つの積層ローラ１
．０および１１間の二ソゾよりもわずかに大であるにす
ぎない距離をおいて相互に離されている。

ホトレジストフィルム１４の１個の供給ロール１３が、
上部真空テーブル１７の後方側面に配置さｎている。ホ
トレジストフィルム１４が（１０−ル１３から、偏向お
よびフィルム送りローラ８回りで斜上方へ導かれ、かつ
垂直に真空テーブルエフの吸引板へ、およびこれから下
方へ積層ステーション９を経て真空テーブル１８の吸引
板へ偏向される。これと関連して、第１図は積層装置１
のたんなる略示図であり、この積層装置の構成要素およ
びステーションが。

これらが後続の図面およびこれら図面に関する記載中に
詳述されているところから大巾な簡略化のため省かれて
いることに留意すべきである。

第１図において、切断装置１５は、上部真空テーブル１
７の上縁付近に図示されかつ回転ナイフの形をとるが、
このものは垂直に調節可能でありかつ、真空テーブル１
７を経て二重矢印りの方向に移動されることができる。

記号１５′は下部真空テーブル１８の範囲内の切断装置
の位置を示す。この位置で、同じく切断装置が、横方向
に真空テーブル１８を経て二重矢印Ｄ′の方向に移動さ
れることができる。２つの真空テーブル１７．１８が適
当な位置に固定され、かつそれらの被覆表面が小孔を有
する吸引板により形成されている。この切断装置１５は
、真空テーブル１７および１δの両側面に垂直に延びる
案内ロッド２９および３０に沿い可動である。

案内ロッド２９および３０に沿いスライドする２つのガ
イド３１および３２が横桁３３に結合され、この横桁に
、後述するように切断装置１５用のラックを有する旋回
可能なナイフキャリヤが２つのアームにより固定されて
いる。グリップパー２０がガイド２１および２２に接続
でれ、これらガイドが案内ロッド２９および３０に沿い
二重矢印Ｅの方向に移動可能である。そシストフィルム
１４を把持し、かつ引続き真空テーブル１７および積層
ステー／コン９ｆ：経て下部真空テーブルエ８の下縁へ
向け、積層されるべき板表面の寸法に相応する位置へ移
動される。

この移動中に、真空が真空テーブル１７および］δ中に
適用され、その結果ホトレジストフィルム１４が、真空
テープＡ／１７および１８の吸引板上でおよびそれを経
てしわ形成さ扛ることなく導かれることができる。グリ
ップノζ−２０がその最終位置に達すると、直ちに真空
テーブル１７および１６は吸気を適用したままとなし、
かつそれによりホトレジストフィルム１４がしわ形成な
しに真空テーブルの吸引板に固定され続ける。同時に、
ホトレジストフィルム１牛が積層ローラ１０および１１
間のニップをも被覆する。加熱ステーションΦ中で両面
が加熱されたキャリヤ３が、加熱ステーション牛を出て
から、ゼードストツノぐ（図示せず）で予じめ整列され
た後、２つの積層ローラ１０および１１間の二ツブにま
で水平に搬送される。加熱されたキャリヤが垂直に固定
されたホトレジストフィルム１４に接触すると、直ちに
１回転する積層ローラ１０および１１により把持された
キャリヤ３が、解除されたホトレジストフィルムと一緒
にニップ中へ引込まれる。積層ローラｌＯおよび１１が
、キャリヤ３および、同時にその表面および裏面に載置
されたホトレジストフィルム圭牛より成る複合構造体３
′を積層ステーション９を経て矢印Ｃの方向へ搬送する
。キャリヤ３が積層ステーション９を通過する際に。

ホトレジストフィルム１４が加圧接触によりキャリヤδ
の２つの面に積層され、かつ積層きれたキャリヤδ′が
積層ステーションから走出する。このものは、引続き加
工するか寸たは捕集容器２３中に収容するため水平方向
に搬送し去られる。

第１図による略示図面は、この積層装置の全ての加工ス
テージョンを示すものではなく、これらは第２図〜第９
ｂ図の図面実施例につき詳述する。

第２図〜第９ｂ図において、相応する構成要素は同じ記
号が付きれている。第２図が積層装置］−の側面図、お
よび第３図が共通の平面図を示す。左方から右方−・搬
送埒れるキャリヤ３が。

１つまたはそれ以上の駆動ローラを有するローラコンベ
ア６６に沿い加熱ステーション４を経て搬送される。加
熱ステーション牛が、ローラコンベア６６を完全に包囲
しかつ、そのローラコンベア６Ｇの上側に配置された部
分およびそのローラコンベア６６の下側に配置された部
分の両者の中に、キャリヤ３０表面および裏面を均質に
面加熱するだめのそれぞれ１つの加熱ランエータを有す
る。加熱ステーション手中のファンが、キャリヤを均質
に加熱するため、加熱装置内部の適当な空気循環を保証
する。加熱きれたキャリ・ヤ３が、加熱ステーション牛
から走出しかつはじめに図示せざる方法でローラコンベ
ア６６上で横方向に整列されかつ引続き、第５図および
第６図につき以下に詳述する平行ストッパ３９の方向へ
搬送される。このボートス（・ツノ＋９３９が、キャリ
ヤが積層ステーション９中へ搬送される前に、キャリヤ
３の前縁を整列させるために使用される。加熱ステー／
コン牛および積層ステーション９の間で、ローラコンベ
ア６６の下側に配置されているのが、真空パーの形のグ
リップパー２０に接続された真空導管６９（第４図）用
の巻取り−ル７６である。

モーター８４が、積層装置１の主駆動装置を形成しかつ
１例えば、二重鎖車８２および傘歯車８６および、モー
ター８４の軸に配置でれた歯車を経てエンドレスに導か
れる鎖車チェーン金駆動する。傘歯車８６が、ローラコ
ンベア６６の１つまたはそれ以上のローラを駆動する軸
８１に連結さｔしている。二重釧車８２および、積層ス
テーション９の搬出部、殊に搬出トラック８７始端のロ
ーラ８３を経て導かれるエンドレスチェーンがローラ８
３を駆動し、積層ステーション９から走出する積層され
たキャリヤδ′を搬送し去る。上部真空テーブル１７、
下部真空テーブル１８および、第２図では二重鎖車８２
により隠きれた下部積層ローラだけが示されていル積層
ステーション９が、主フレーム７７に配置されている。

上部積層ローラは第２図に示されていない。主フレーム
７７中で、第４図につき詳述される駆動チェーン２６が
、上部鎖車２５および下部鎖車２８回りでエンドレスに
導かれる。旋回フレーム７８が、主フレーム７７に側面
ヒンジ結合されかつ主フレーム７７にロック装置７９に
より固定されている。第２図において、ロック装置７９
が旋回フレーム７８の頂部に配置されているが、これは
旋回フレーム７８の下部範囲内に備えられてもよい。ホ
トレジストフィルム１４の供給ロール１３および、ホト
レジストフイルム工４を被覆する保護フィルム８００巻
取ローラ６が、旋回フレーム７８に取付けられている。

この保護フィルムδＯは。

第２図において鎖車２５により隠されている偏向および
フィルム送りローラ８の範囲内で加圧および分＠ローラ
７によりホトレジストフィルム１４と分離され、この加
圧および分離ローラ７回りを導かれかつ巻取ローラ６に
巻回される。

第３図による平面図において、加熱ステーション牛の上
部７アン９０は１図面を簡単にするため略示されている
にすぎない。加熱ステーション手の後方で、旋回可能な
送りフィンガ５５が移動することのできるガイド７５が
、０−ラコンベア６６の中心線に沿って延びる。この送
りフィンガ５５は、直立した際に、キャリヤ５の後縁に
接触しかつキャリヤを積層ステーション９の方向へ搬送
する。この平面図は、キャリヤ３を側面整列させるだめ
の整列装置９１．キャリヤ３の前縁を整列させるだめの
平行ストッパ３９、および積層ステーション側近に備え
ら肛たボードグリッパ４３を示す。ガイド３］−および
３２は、案内ロット２９および３０に沿い可動でありか
つ横桁３３により相互に結合されている（第４図９゜ 第４図は、積層装置１の中心部を示す斜視図である。第
２図および第３図による積層装置と比べ、甘たこの積層
装置には、真空テーブル１７および１８を経て下方へ搬
送されるホトレジストフィルム１４の前面に液体層をコ
ーチングスルｆｃめのコーチング装置６０が組込まれて
いる。このコーチング装置６０は、コーチング装置から
突出するワイパブレード６１を含有し、かつこのワイパ
ブレードが、積層中にキャリヤ５の２つの面に接触しか
つ積層後にキャリヤδ）表面および裏面に刺着する、ホ
トレジストフィルム１４のその表面または面に接触する
。１００ミクロン以下の寸法を有する液体層が、ワイパ
ブレード６１によりホトレジストフィルムにコーテング
でれる。との液体層は１例えば、蒸溜水とメタノール、
エタノールまたは、アルコールのフルオルカーフ１？ン
溶液との混合物より成る。捷たこの液体層は、キャリヤ
３の極めてわずかな凹凸のだめの充填剤を形成する。わ
ずかな量の溶解ホトレジスト材料を含有する結合剤の層
であってもよい。ホトレジストフィルム１４がキャリヤ
３０表面および裏面に積層される際に、とりわけこの液
体層の目的は、成形体から空気封入を阻止しかつそれに
より結合を促進および改善することである。

有利ニ、ワイパブレード６１は１例えばフェルト状また
は灯芯状材料のような特定の毛管作用を有する材料より
成る。寸た他のコーチング装置１例えば、スプレー装置
、せき仮作用を有するドクター装置、コーチングローラ
等が使用されることができる。

第４図による積層装置１の場合、すでに加熱および整列
されたギヤリヤ３が、２つの積層ローラ１０および１１
間のニップに入る直前で示きれている。真空テーブル１
７および１８が、それらの垂直吸引板１７′および１８
′とともに積層ステーション９の上方および下方に配置
てれている。真空テーブル１７および１８の構造は以下
に詳述する。この積層ステーション９は。

本願と同日付は出願に係る西ドイツ用％許出願Ｐ３４２
０４０９，１号に記載されている。

真空テーブルの下方に配置されているのが。

真空パーとして形成されたグリッツパー２０であり、か
つこのものはフレキシブルな真空導管６９を経て略示せ
る真空ポンプ２４−に接続てれている。すでに第２図に
つき記載せるように。

このフレキシブル真空導管６９は、第２図に示した巻取
リール７６に巻回されるが１、たけ、グリップ／’−２
０の垂直往復運動中はこのリールにより巻回されなくと
もよい。グリップパー２０が２つのガイド２１および２
２に結合され、これらガイドが案内ロッド２９および３
ｏに沿い駆動チェーン２６により移動されることができ
る。駆動チェーン２６に不固定的に結合されるチェーン
連結部２７が、グリップ・ζ−２０の１方のガイド２２
に取付けられている。この駆動チェーン２６は、鎖車２
５および２８回りでエンドレスに導かれかつ１例えば、
下方の鎖車２８に結合されたモーター８５により起動さ
れる。モーター８５は、有利に、それ自体が駆動モータ
ー５により回転される偏向およびフィルム送りローラ８
の軸に配置されている上部鎖車２５を経て駆動源れる駆
動チェーン２６の唯一の選択的可能性を表わすことを示
すため、第４図中に破線により示されている。言うまで
もなく、駆動モーター５だけかまたはモーター８５だけ
が存在するが、これら２つのモーターが同時に存在する
ことはない。

駆動モーター５は、偏向およびフィルム送す【コーラδ
を１方向にだけ駆動する。他の方向は、グｌ）ノー１パ
ー２０が上昇せる際にホトレジストフィルム］８４が後
方へ送られるのを明１］−するため、逆転ストッパによ
り阻百二されている、７積層装置１のホトレジストフィ
ルム１４−のだめの１個の供給ロール１３が、上部真空
チーノル１７の背後でギヤリヤ乙の送り方向に配置きれ
かつ、第４図では簡単化のため省かれているが、第２お
よび第３図に示されｆｒ旋回ファーム■８に数例けられ
、かつ垂直軸回りで水平に旋回されることができる。そ
の結果、所望の場合には、この旋回フレー１、を主フレ
ームかう旋回し去ることにより供給ロール１３を雑煮な
く交換することが可能である。供給ロールコ、３からの
ポトレジス）・フィルム１４が偏向およびフィルム送り
ローラ８回りに導かれ、かつストリッツ形成位置のホト
レジストフィルム１４が、この時点で押上げら扛ている
グリッツパー２０にヨリ杷持情汎かつ「方へ真空テーブ
ル１７およびｌδの吸引板１７’および１８’を経て送
られる。ホトレジストフィルム１４が偏向およびフィル
ム送りローラ８回りで偏向さ才ｔだ際に、ポトレジスト
フィルム１４に刺着する保護フィルム８０が引剥されか
つ加圧および分離ローラ７を経て、供給ロール１３付近
に配置された巻取ローラ６へ導かれる。ホトレジストフ
ィルム手に接触するワイパブレード６１を有するコーチ
ング装置６０が，偏向およびフィルム送すローラ８下方
のわずかな距離に配置されている。

真空テーブル］７および１８が，真空ポンプ２４−に真
空導管７０および７］．を経て接続されている。ナイフ
キャリヤ３５が，ラック７２を有しかつ、案内ロッド２
９および３ｏに沿い移動可能であるガイド３１および３
２に旋回可能に取付けられている。これらガイド３１お
よび３２が横桁３３により結合さｎ，この横桁に、ホ［
・レジストフィルム１４を横切って延びかつ切刃を有す
るレール１９が，詳示せざる適当な支柱により固定され
ている。ハンドルを有するクランプ部材３４が、１方の
ガイド３２に取イづけられかつ，横桁３３およびこれに
結合された部材を案内ロッド２９および３０上の所望の
高さに固定捷たは把持することを可能にする。機械的に
作動するクランプ部材の代りに、横桁全案内ロッド２９
，３０に沿い移動烙せかつこれに固定する電気的に作動
する位置決め装置を備えるのが有利である。ナイフ駆動
用の歯車３６が、ラック７２に係合し，モーター１６１
／こより駆動ζｎかつホトレジストフィルム１４の１１
１にわたり移動する。歯車３６が，それに結合きれた切
断装置，例えば回転ナイフを駆動し、切断装置を回転さ
せかつこれを切断作動中レール１９の切刃に沿いホトレ
ジストフィルム１４を経て移動させる。ナイフギヤリヤ
３５に配置されたアングルアーム７３が、その自由端で
、内側に向いた，換言すればホトレジストフィルム１牛
の縁に対向するカムローラ７３を支持する。

グリップバー２０の１方のガイド２１に固定埒れたアン
グルカム部材３８が、グリッツ・ご−２０の上昇せる際
にカムローラ３７と接触し、がつこのカムローラが，カ
ム部材３８上で回転しかつそｎによりアングルアーム７
３およヒナイフキャリャを押上げるとともに、切断装置
１５をホトレジストフィルム１４がらａｔ。それにより
グリップパー２０は，ホトレジストフィルム１４の面か
ら押上げられたナイフキャリヤ３５および押上げられた
切断装置１５の下側を。

横桁３３下方のホトレジストフィルム１４のスト　１）
ノブがグリップバー２（Ｉｃ対し真空の適用された際に
吸引および保持されることができる才で上方へ通過する
ことが可能である。

偏向およびフィルム送りローラ８がモーター５により駆
動さｉするので、下方へ移動するグリッツパ−２０によ
る供給ロール１３からのホトレジストフィルム１４の引
取りが相応に助勢されかつ容易になる。この場合有利な
のは，偏向およびフィルム送りローラ８の回転運動とグ
リノ’：ｊパー２０の下降運動とが，駆動チェーン２６
による共通の駆動を介し相互に同調されていることであ
る。

第５図および第６図は、積層ステーション９ノＭＪ方に
配置されかつ、平行ストッパ３９、ローラコンベア６６
およびボードグリッツ８４３とともにそれぞれの作動機
構より成る、積層装置１の他の部材のそれぞれ略示縦断
面図および斜視図である。この積層装置１の場合、第２
図〜第４図による積層装置と対照的に、水平に搬送され
るキャリヤ３の表面および裏面に液体層をコーチングす
るためのコーチング装置６２および６３が、積層ステー
ションおよび、ローラコンベア６６の通路中へ旋回され
る平行ストン２３９間に配置されている。言うまでもな
く、積層装置のこの実施例の場合、真空テーブル１７お
よび１８を経て下方へ搬送されるホトレジストフィルム
１４−の前面へ、ホトレジストフイ／Ｉ／−ムσ）偏向
ローラδ伺近で液体層をコーチングすることを目的とす
る、第４図に包含されたコーチング装置６０が省かれて
いる。他方で、第６図に示された２つのコーチング装置
６２および６３は、第４図による積層装置１で不必要で
ある。これら２つの積層装置は、第２図〜第４図による
積層装置の場合、液体層がホトレジストフィルム１４に
直接にコーチングされるのに対し、第５図および第６図
πよる積層装置ｌの場合、液体層がキャリヤ３の表面お
よび裏面πコーチングされることにおいて、相互に簡単
かつ明瞭に相異する。実際明白に、積層装置ｌは、ホト
レジストフィルムに、まだはキャリヤ３の表面および裏
面に液体層をコーチングすることなく作動し、かつホト
レジストフィルムがもっばら適用されだ熱および圧力に
より積層されるものも使用さ、＋１７る。

このコーチング装置６２および６３は、前記コーチング
装置６０尾相応する構造を有し、かつワイノξブレー）
ご６４および６５がそれぞれキャリヤ３の表面および裏
面に接触する。コーチングされるべき液体層は、コーチ
ング装置６０につき前記せる液体層に実際に相応する。

平行ストッパ３９が２つのアングルレバ−５７，５７に
固定され、これらレバーは、相互ｖｃｌ端が、円筒形の
接続部材５９を経て結合されるとともに、アングルレ・
々−の他端が平行ストッパ３９を支持１−る。平行スト
ン・ぐ３９し上、例えばＬ形の構造を有し、かつこれに
は水平方向に旋回可能な２つの小形案内ローラ４０．４
０が配置され、こ第１．ら案内ローラが、キャリ゛ヤの
前縁が平行ストン・ξ３９に接触しかつ整列せる際にキ
ャリヤ３の長手縁を圧迫する。接続部材５９の、アング
ルレ・ζ−５７，５７を越えて延長された軸が、軸承４
−　］、　、　４１に回転可能に取付けられている。接
続部材５９にプレート５８が配置され、このプレートに
アングルレバ−５７゜５７用の作動シリンダ゛４２が係
合し、これらアングルレ、Ｓ−および従って平行ストッ
パ３９をキャリヤ３の通路内外へ旋回させる。

水平方向に移動ｄ］゛能なダートグリソバ４３は、上部
に相互に配置された２つの水平クランプジョー６７およ
び６８より成り、か一つこれらジョー間に、引張り棒４
．５および４６を包囲しかつ、ぜ−ドグリッパ４３を開
放するために備えられたスプリング４４．４４が配置さ
れている。これら引張り棒は、ガイド４７および４８中
を通りかつクランプジョー６７および６８を貫通する。

さらに、これら引張り棒４５および４６が、ボードグリ
ッパ４３の横桁７４に接続され、かつそれぞれ上端部に
ねじを有し、これらねじが、それぞれこのねじに属しか
つ上部フランジ２ヨー６フ上に配置された蝶ねじ８８ま
だは８９にねじ込まれている。シリンダ４．９の♂スト
ンが後退された場合、横桁７４が下方へ引かれ、かつ同
時に、引張り棒４５および４６を経て横桁７４に接続さ
れた上部クランプジョー６７が、これがギヤリヤ３の表
面を圧迫しかつキャリヤを把持するまで、スプリング４
４．４４の弾力に抗し下方へ移動する。相互に平行であ
りかつ案内軸承５　］、　、　５１を経て延びる２つの
水平案内ロンド５２．５３が、ボードグリッツぐ４３の
、クランプジョー６７．６８下側に配置された支柱５０
に固定されている。作動シリンダ５４が、支柱５０に係
合しかつボードグリッパ４３を水平方向に往復動させる
。

キャリヤ３の送り方向に見てローラコンベア６６の前方
に配置された旋回可能な送りフィンガ５５が、シリンダ
５６により往復移動されかつそのはじめの旋回位置の外
方でその自重の結果として直立する。こ力ことは、キャ
リヤ３の後縁が送りフィンガ５５を通過すると直ちに惹
起される。この旋回直立した送りフィンガ５５が、キャ
リヤ３の後縁に接触しかつ、キャリヤ昌の通路中へ旋回
された平行ストノ・ξ３９にギヤリヤの前縁が接触しか
つ平行ストッパにより整列されるまで、キャリヤ３を前
方へ圧迫する。

こめことが行なわれると、直ちに送りフィンガ５５が、
そのはじめの位置ヘシリンダ５６により後退され、かつ
その上を走行するキャリヤにより旋回される。同時に、
平行ストッパ３９がキャリヤの通路外へ旋回され、ボー
ドグリッパ４３が閉じられ、かつ保持されたキャリヤ３
がさらにボードグリノ・ξ４−３により積層ステーショ
ン９の方向へ送られる。積層ローラ１０および１１がキ
ャリヤ３の前縁を把持すると、直ちにダートグリッパ４
３が、キャリヤ３を開放するために開きかつそのはじめ
の位置へ後退される。

真空・々−の形のグリップパー２０の代すに、歯形断面
を有する・々ラテン（複数）より成り、例えばその上部
バッテンがスプリング装荷された機械的グリップ装置を
備えることも可能である。このグリップ装置は、カムを
有する偏心装置により開閉される。閉鎖位置で、偏心装
置のレバーがストソノξだ当るとともて、その結果偏心
装置が平行に化ノドされ、かつスプリング装荷された」
二部バッテンが押下げられる。開放位置で、レバーが他
のストッパに当り、縁にセットされかつ、上部・ζラテ
ンに作用するばね圧力に抗して２つのバッテンを相互に
押離し、ホトレジストフィルムを解放する。このグリッ
ツ装置は、チェーン駆動装置、ラックまたは空圧装置に
より真空チーゾルを経て垂直に移動される。

この機械的グリップ装置は、本願と同日付は出願に係る
西ドイツ国特許出願明細書に詳述されている。

ＦＴａ図〜第７ｄ図は、真空テーブル１７の、種々の構
造の吸引板１７’を示す。真空テーブル１８およびその
吸引板１８′はこれらと同じ構造を有する。この場合根
底をなす着想は、ホトレジストフィルムを、これを損傷
する惧れなしに容易に吸引面を経て引取ることが可能に
なる程度の大きさにすぎない吸引力を、吸引さ１％だホ
トレジストフィルムに不断に作用させることである。

第４図につき前述せるよ５圧、真空テーブル１７のケー
シング９２が真空ポツプ２４に接続さ牙ｔている。ケー
シング９２に数句げられた薄鈑製り−シング９３は接続
オリフィス９４を有し、これらオリフィスが、孔９８を
経て、ケーシング９２の内部および、吸引板１７中に行
および列をなして配置された造形された凹孔９５間の接
続を形成する。吸引板１７’は、例んば５鴫厚のホスタ
フオーム（Ｈｏｓｔａｆｏｒｍ　）より成るプラスチッ
ク板であり、これには、群中で相互に平行でありかつ深
さ３咽以下である機械加工された溝９６．９７が備えら
れている。相互に平行な２つの隣接する溝９６．９６ま
たば９７．９７の中心線間の距離は１５〜２５咽である
。

これら溝の断面は三角形であるが、直方形、半円形また
は他の形であってもよい。吸引板１７′の平面における
それぞれの溝の巾は、はぼ溝の深さに相応する。造形さ
れた凹孔９５が吸引板１７′にカップ形に造形されたく
ぼみを形成し、これら造形された凹孔の、吸引板面の平
面における直径が１０〜２０ｉｎであり、かつ個々の造
形凹孔９５の縁および、この造形凹孔を方形に包囲する
４つのそれぞれの溝部間に１〜１５命のウェブがある。

それぞれの造形凹孔９５の最深点から、吸引板１７′中
の孔９８が、薄鈑製ケーシング９３中の共通の接続オリ
フィス９４との接続部を形成する。溝９６および９７は
、真空ポンプに接続されずかつもっばら、個々の造形凹
孔９５の面へ向けてホトレジストフィルム］４に作用す
る吸引効果を制限するために役立つ。

換言すればこのことは、これら溝が、造形された凹孔９
５回りに形成される連続的真空面を中断し、その結果１
つの造形凹孔がら他の凹孔に向けて連続的真空が形成さ
れることが不可能であり、かつ従って吸引板１７’の範
囲に作用する総吸引力が、ホトレジストフィルム１４を
真空テーブルを経て移動または引取ることを困難または
不可能にする程度に犬となることがない。

第７ｂ図は真空テーブルの吸引板の他の実施例を示し、
と（にこのものは、もし適用された真空がホトレジスト
フィルムを程度の差こそあれ急激に造形凹孔の内部へ吸
引（〜だ場合に惹起されることのある、造形凹孔の縁に
沿ったポトレジストフイルムの損傷を阻止するため、低
強度の脆性ホトレジストフィルムに適当である。

この損傷を阻止するため、それぞれの造形凹孔９５に、
その終端部の縁が吸引板１７′の表面と同じ面にある十
字形のウェブ９６が備えられ、その結果造形凹孔９５の
範囲内で、ホトレジストフィルム１４が、吸引板表面の
平面に支持され、かつ造形凹孔を自由にわたらねばなら
ないということがない。吸引板１７’ｆ１寸法および他
の構造的利点は、第７ａ図による実施例のそれと同じで
ある。第７Ｃ図は、製造に費用のかからない吸引板１７
′の１実施例であり、かつこの場合直線溝の代りに、環
状溝１００が、それぞれ個々の造形凹孔９５を包囲しか
つ、個々の造形凹孔の表面に適用される真空を制限する
レリーフ溝を形成する。これらレリーフ溝は、適当な構
造の型彫りカッターにより、造形凹孔と一緒て１つの操
作で製造されることができる。造形凹孔９５の縁および
これを包囲する溝１００の縁間に、はぼ１〜１．５咽巾
の環状ウェブ１０１がある。行および列をなして配置さ
れた造形凹孔の隣接する溝１００が、相互に合体および
重複する。この吸引板の他の構造は、第７ａ図によるも
のに相応する。

第７ｄ図て示した吸引板１７′の他の実施例は、造形凹
孔９５を有する吸引板１７′に付加的に、吸引板の表面
に固定されかつ１、行および列をなして配置された同じ
寸法の矩形または正方形の孔１０３を有する有孔板１０
２を包含する。孔１０３の寸法は、例えば、４つの孔が
１つの造形凹孔９５上に配置されるように選択される。

こ槍１．ら孔間のウェブが、相互に分離さｔｔだ真空部
が個々の造形凹孔上の４つの孔の範囲内に形成さ１ｔ、
従ってホトレノストフィルムに作用する吸引力が特定の
強度を上廻らないことを保証する。

第８図は、第２叉の加熱ステーション４に代ることので
きる加熱装置１０牛を略示する縦断面図である。この加
熱装置１０４は、回転する２つのエンドレスコンベアベ
ルト１０５，１０６を有し、そのそれぞれが、それぞれ
２つの口°−ラ１０７　、ｌ○８および１０９　、　ｌ
　１．　Ｏを経て導かれる。

下部コンベアベルト１０６が、送りローラ１０９および
、モーター１１１が駆動する駆動ローラ１１○を経て導
かれる。コンベアベルｌ−１ｃ６の、このコンベアベル
トが回転する際の上部ストランドの下面が、適当な位置
に固定された電気ヒータ部材１１３の平らな熱板１１２
上を接触スライドしかつそれにより加熱される。駆動さ
れない上部コンベアベルト１０５が、送りローラｌ　０
７　、１．０８を経て回転しかつ、下部駆動コンベアベ
ルト１０Ｇとわずかに加圧接触し、その結果これが下部
コンベアベルトによす摩擦の結果としてけん引されかつ
これら２つのコンベアベルトが同期的に走行する。上部
コンベアベルト１０５の下部ストランドが、このコンベ
アベルトを加熱する上部電気ヒータ部材１１５の熱板１
１４上を接触スライドする。この電気ヒータ部材１］、
５の熱板は、部分的にわずか尾上方へ傾斜ｌ−でいるが
、他は平面であり、その結果相互に対向配置された電気
ヒータ部材１１３．１１５またはそれらの熱板が、キャ
リヤ３の送り方向に縮小するギャップ１１７を形成する
。

」二部の電気ヒータ部材１１５は、主としてその自重を
補償する引張りばね１１６，１１６’により弾性的て懸
架され、その結果二ツノ１１７に入った後にこれらコン
ベアベルトにより把持および搬送されるキャリヤ３が、
キャリヤ３が難点なく搬送されることを許容するこれら
コンベアベルト間の間隙またはギャップの形成されるま
で、電気ヒータ部材１１５とともに上部コンベアベルト
１０５を押上げる。この場合有利なのは、これらコンベ
アベルトが、走行通過するキャリヤ３の表面および裏面
と不断に接触し、かつ従ってキャリヤの両面が中断する
ことなく均質に加熱されることである。はじめに、送り
方向に相互に対向配置された送りロー　ラ１０７および
１０９は相互に開いた距離がおかれるのに対し、後方の
送りローラ１０δおよび駆動ローラ１１０は、たんにそ
牙ｔらの間に位置するコンベアベルトにより相互に分離
されて相対向配置されている。加熱装置１０４の」二部
々材および下部々材が、ケーシング１１８および１１９
によりそれぞれ包囲されている。下部々利がそのケーシ
ングｌ〕−８により適当な位置に配置されているの疋対
し、上部々材ばそのケーシング１１９により振動するよ
うに懸架されている。

この目的で、被覆板１２０が、ケーシング１１９の１方
の側面を越えて延長されかつ揺動軸承１２１に取付けら
れている。

加熱装置１０４を経て走行するキャリヤ３が存在しない
場合、矢印Ｇにより示したよ５１Ｃ５死重がケーシング
を押下げる。キャリヤ３が、加熱装置１０４中の送りロ
ーラ１０８および駆動ローラ１１０間を経て走行する場
合、送りローラｌ○８がケーシング１１９とともに押上
げられる、それというのも、その被覆板１２０が揺動軸
承１２１に取付けられているので、ケーシングが揺動軸
承回りで上方へ旋回できるからである。こうして、キャ
リヤ３に所要のギャップを自動的に後方のローラ間に形
成することができる。

加熱ステーション４または加熱装置１０４０代りに、キ
ャリヤ通路の上下に配置された管状の加熱部材が１つま
たは２つのファンにより供給される循環空気を加熱する
加熱装置を使用することも可能である。この場合キャリ
ヤは、ファンによりスリットノズルを経てキャリヤに吹
付けられた熱風により加熱される。

第９ａ図および第９ｂ図は、ホトレジストフィルム１４
のだめの加熱切断ワイヤ１３４を有する切断装置１２２
を示し、この切断装置１２２は、例えば、回転ナイフを
有する切断装置工５（第１図および第４図参照）の代っ
て使用される。この場合、切断装置１５に属する部材、
例えば、第牛図に示した実施例におけるモーター１６、
横桁３３、フランジ部材３４、ナイフギヤリヤ３５、歯
車３６、カムローラ３７、カム部材３８、ラック７２お
よびアングルアーム７３が不必要である。

この切断装置１２２は、モーター１２３が駆動する旋回
軸１２４回りで旋回可能である。旋回軸１２４がガイド
１４３’、１４４に数句けられ、これらガイドは、案内
ロンド２９．３０に沿い位置決め装置１４５により上下
に移動することができかつ所定の位置に固定されること
ができる。旋回軸１２４に２つの支持ブロック１２５．
１２６が配置され、それぞれの支持ブロックに、ｌ端が
この支持ブロックを貫通する支持アーム１２７および１
２８がそれぞれ取付けられている。これら支持アームの
他端が、支柱工２９、例えば中空角管を経て延び、この
支柱が下側にボールベアリング１３２，１３３のための
固定部材１３０，１３１を有し、これらボールベアリン
グを経て加熱切断ワイヤ１３４が導かれる。この切断ワ
イヤの１端が適当な位置に固定して取付けられるととも
に、他端が、固定部材１３１に取付けられたスプリング
１４２に接続されている。このスプリング１４２が、切
断ワイヤ１３４の緊張を不断に維持する。切断ワイヤ１
３４が、その１万の極がスライド接点１３５を経て第１
のボールベアリングと接触する電源１３７により加熱さ
れる。例えば、交流電源または直流電源であってもよい
電源１３７ノ他（７”）　極カ、マイクロスイッチ１３
８の１万の端子に接続され、その他方の端子が、スライ
ド接点１３６を経て第２のゼールベアリング１３３に接
続されている。ガイド１４３，１４４に固定されかつこ
れらから下方に延びる取付部材１４６．１４７の下端に
、支持レール１４０が固定され、この支持シールは、例
えば円錐台形断面を有する胴体中に連続的スロット１４
１を有する。

切断装置、、ｌ　２２のだめの位置決め装置１４５は、
例えばガイド１４４の後側に配置されたスピンドルナツ
ト１５〕、に係合されたスピン１゛ル］、５０よす成る
。スピンドルモーター１５２が、スピンドル１５０を、
必要に応じ時計方向または反時計方向に回転させる。ス
ピンドル１５０に固定されたノスク１５３が、例えばス
リソトジスクまたは有孔ジスクとして形成され、かつ光
ノζリヤ１５４を通過する。スピンドルのそれぞれ全１
回の回転またはジスク１５３のそれぞれ全１回の光・Ｓ
　ＩＪヤ１５４の通過中に、光・々リヤが１つのパルス
を発生し、このノξルスが、光バリヤに接続された計数
装置１５５に表示される。スピンドル１５０のピッチは
、例えば、切断装置１２２の、案内ロッ）’２９．３０
に沿う１ミリメートル上方または下方への移動がスピン
ドル１５０の全１回転に相応するように選択されればよ
く、かつこの場合計数装置１５５の数的表示が、切断装
置の特定の位置、すなわち換言すればはじめのまたは出
発位置からのミリメートル単位の距離を表わす。それぞ
れ新たな位置決め作動の開始時に、切断装置］、２２が
、自動的に七力出発位置へ移動され、その後にこの位置
から新たな位置へ移動する。

当業者に公知の他の位置決め装置は、この切断装置にも
適当である。

＄９ｂ図は、ホトレジストフィルムｌ　４ヲ切断中の切
断装置１２２を略示する断面図である。

切断作動のため、支柱１２９が切断ワイヤ１３４ととも
に、モーター１２３により経路１４９に沿いホトレノス
トフィルム１４の支持シール１４０の方向へ旋回され、
かつ切断ワイヤ１３４が、これが支持レール１４０のス
ロット１４８中へ侵入する際に、支持レール上に載置さ
れているホトレジストフィルム１４を切断する。

切断ワイヤ１３４が切断位置にある場合、マイクロスイ
ッチ１３８の切換えラグ１３９が支持レール１４０に接
触し、その結果マイクロスイッチ１３８が切換えられが
つ切断ワイヤ］３４への給電が停止される。このことは
、切断ワイヤ１３４が第９ａ図による位置へ逆旋回され
る際に、ホトレジストフィルムの切断縁が冷却せる切断
ワイヤに粘着せず、切断ワイヤは、これが逆旋回される
際に切断縁を擦過するように導かれることを保証する。

もし切断ワイヤの加熱が停止されないならば、切断ワイ
ヤは、これがそのはじめの位置へ逆転される際、切断縁
を擦過した際に粘着する程度に高温である。切断ワイヤ
１３４はシールＰにより適当に包囲されるが、このノー
ルドは簡単化のため図示されていない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による方法の工程とともに本発明による
装置の基本的構造を略示する展開斜視図、第２図および
第３図は本発明による装置の１実施例を示すそれぞれ側
面図および平面図、第４図は本発明による装置の真空テ
ーブルおよび積層ステーション周りの構造を例示する斜
視図、第５図および第６図は本発明による装置の積層ス
テーション、グリッパ−および搬送装置周りの構造を例
示するそれぞれ側面図および斜視図、第７ａ図〜第７ｄ
図は本発明による装置の真空テーブルのそれぞれ１実施
例の構造をそれぞれその断面図とともに示す部分切欠斜
視図ないしは部分切欠平面図、第８図は本発明による装
置の加熱装置の１実施例を略示する縦断面図、並びに第
９ａ図および第９ｂ図は本発明による装置のフィルム切
断装置の他の１実施例を示すそれぞれ斜視図およびその
部分的断面図で、ある。 １・・・本発明による積層装置、２・・・キャリヤ供給
マガジン、３・キャリヤ、３′・・・複合構造体、４　
・加熱ステーション、６　・保護フィルムの引取リール
、７・・保護フィルムの加圧および分離ローラ、８　フ
ィルムの偏向および送りローラ、９・・積層ステーショ
ン、１０．　ｌ　ｌ−［層ローラ、１３　ホトレジスト
フィルムの供給ロール、１４・・・ホトレジストフィル
ム、１５　・切断装置（回転ナイフ）、コ−７、１，８
・・真空テーブル、１７’、１８’・・・吸引板、１９
−切刃を有するレール、２０　グリソゾパー、２］、、
２２　グリノゾパーのガイド、２３　捕集容器、２４　
真空ポンプ、２６　・駆動チェーン、２７　ヂエーン連
装置１じ、２９，３０　・案内口ノビ、３１．３２ガイ
ド、３３−横桁、３４　・フランジ部材、３５−・ナイ
フキャリヤ、３６・・ナイフ駆動用歯車、３７　カムロ
ーラ、３８　カム部材、３９・ボード（平行）ストツ・
ξ、４０　小型案内口アングル ーラ、４１−魚形レバー用軸承、４２　平行ストツノぐ
用作動／リンダ、４３・・Ｎ−ドグリノノゼ、４．４・
・開放スゾリ：、・グ、４５　、４６　ボードグリノ・
ξの引張り棒、４７．４８・引張り棒のガイド、４９　
づｅ−Ｆグリッパ用作動／リンダ、５０・・・ボードグ
リツ・ξの支柱、５１　案内軸承、５２．５３・・・案
内ロッド、５４　・ｉ−ドグリノ／ξ用作動シリンダ、
５５　・送りフィンガ、５６・・・送りフィンガ用作動
／リンダ、５７・アングルレバ−１５９・・・接続部材
、６０　・コーチング装置、６１　・ワイ・ξブレード
、６２．６３・・・コーチング装置、６４．６５・・・
ワイパブレード、６６　ローラコンベア、６７　、　’
６８・・クランジノヨー、６９〜７１　真空導管、７２
・・ラック、７３　アングルアーム、７４　横桁、７５
・送りフィンが用ガイド、７６　真空導管巻取ＩＪ−ル
、７７−ＩＥフンーム、７８　・旋回フレーム、７９　
・ロック装置、８０　・保護フィルム、８］−・・軸、
８２・・・二重鎖車、８３・・・ローラ、８７出 搬ｇ　＋−ランク、８δ、８９・・蝶ねじ、９０・・フ
ァン、９１　整列装置、９２・−真空テーブルのケーシ
ング、９３　薄鈑製ケーシング、９４・接続オリフィス
、９５・・・造形凹孔、９６．９７溝２９８・孔、９９
・十字形ウェブ、１００・・環状溝、１０１・・・環状
ウェブ、１０２・有孔板、］○δ　矩形または正方形の
孔、１０手・加熱装ｆｉｔ、１０５，１０６　コンベア
ヘルド、１０７〜］、０９　送りローラ、ｌ］−〇　−
駆動ローラ、１１３　、１１５・・・電気ヒータ部材、
１１２、ｌ］４・・・熱板、１１６．］、１６’・引張
りばね、１１７　ニップ、１１．８，１１９・−ケーシ
ング、１２０−被覆板、１２１　・揺動軸承、１２２切
断装置、１２牛・旋回軸、１２５．１２６支持ブロツク
、１２７，１２８・支軸アーム、１２９・・支柱、１３
０．１３１　・ベアリングσ）固定部材、１３２，１３
３・・＋１ｆｆ−ルベアリング、１３４　加熱切断ワイ
ヤ、］、　３５　、　ｌ　３６　スライド接点、１３７
・・・電諒、］３６　マイクロスイッチ、１３９　切換
えラグ、ｌ　４０　支持レール、］４］−連続スロソ）
・、１４２−スプリング、１４３．１４４　・ガイド、
１４−５−位置決め装置、１．４６，１４７　数句は部
羽、１５０・・・スピンドル、１５トスピンドルナツｌ
−１］５２　スピンドルモーター、１５３　・ノスイ！
、１５４・・・光バリヤ、１５５・・・計数装置呂 ２と

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 エ　フィルムを熱および圧力下に、その２つの面が加熱
   されたキャリヤの両面に積層する方法において、以下の
   工程 （ａ）　キャリヤが、両面がその全面にわたり水指位置
   で加熱され、 （Ｉ））所定長さのフィルムが、１個の供給ロールから
   引取られ、垂直に整列された複数の真空テーブルおよび
   それらの間に配置された積層ステー７ョンの表面を経て
   垂直に導かれ、かつこれら真空テーブルにより垂直に固
   定され、 （Ｃ）　このフィルムが、積層ステーノヨン上方に配置
   された真空テーブルの上端および積層ステー７３７間の
   範囲内で切断され、 （ｃｆ）　水平に搬送される加熱されたギヤリヤが、垂
   直に固定されたフィルン・まで積層ステーションの高さ
   で導かれ、 （ｅ）　このキャリヤが、積層ステーション中へ押込捷
   れた際に、回転する２つの積層ローラ間のニップ中へフ
   ィルムを引込み、かつこれらローラが、キャリヤおよび
   、同時にキャリヤの両面に載置され、ギヤリヤの２つの
   而に加圧接触により積層されたフィルムより成る複合構
   造体を搬送し去ることを特徴とするフィルムを熱圧下に
   キャリヤ両面に積層する方法。 ２　液体層が、フィルムの積層されろ前のキャリヤ面に
   コーチングされることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載のフィルムを熱圧下にキャリヤ両面に積層する方
   法。 ３　積層前に、液体層が、積層中にギヤリヤの２つの面
   に接触しかつ積層後にこれらギヤリヤ面に付着するフィ
   ルムのその面にコーチングされることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のフィルムを熱圧下にキャリヤ両
   面に積層する方法。 ４　液体層が、蒸溜水と、メタノール、エタノールマタ
   ｔｒｉ、　、アルコールのフルオルカーΣビン溶液との
   混合物より成ることを７１′、′ｆ徴とする、特許請求
   の範囲第１項寸たけ第２項のいずれかに記載のフィルム
   を熱川下にキャリヤ両面に積層する方法。 ５　キャリヤが、７０〜１２０℃の温度に加熱され、そ
   の後に積層スデー／ヨンへ向は搬送され、積層ステー／
   コンに入る前に整列さ八、その後に、その土練が回転す
   る積層ローラにより把持される寸で積層ステーションへ
   向ケ措持および移動されることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載のフィルムを熱川下にキャリヤ両面に積
   層する方法。 ６　把持されたキャリヤが解除されかつ導かれろと、直
   ちにさらにその下縁が回転積層ローラにより搬送される
   ことを特徴とする特許請求の範囲第５項記載のフィルム
   を熱川下にキャリヤ両面に積層する方法。 ７　バンド状フィルムが、ストリップの形でその金山に
   わたり把持され、かつ所定の長さだけ垂直に下方へ積層
   ステ−ゾロンを経て搬送岱れることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載のフィルムを熱圧下にキャリヤ両面
   （（積層する方法。 ８　ノイルｌ、が、搬送中に真空により把持および保楯
   されることを特徴とする特許請求の範囲第７項記載のフ
   ィルムを一熱圧下にキャリヤ両面に積層すて）方法。 ９　フィルムが、機械的に杷持されかつ供給ロールから
   引取られることを特徴とする特許請求の範囲第７項記載
   のフィルムを熱圧下にギヤリヤ両面に積層する方法。 １０　フィルムを熱および圧力下に、その２つの面が加
   熱されたキャリヤの両面に積層するだめ、以下の工程。 （ａ）　キャリヤが、両面がその全面にわたし水平位置
   で加熱され、 （ｂ）　所定長さのフィルムが、１個の供給ロールから
   引取らｔｌ、垂直に整列された複数の真空テーブルおよ
   びそれらの間に配置された積層ステ・−ンヨンの表面を
   経て垂直に導かれ、かつこねも真空テーブルにより垂直
   に固定され、 （Ｃ）　このフィルムか、積層ステー／ヨン上方に配置
   された真空テーブルの上端および積層ステ＝／ヨン間の
   範囲内で切断され、 （Ｃｆｌ　水平に搬送される力［熱されたキャリヤが、
   垂直に固定さ；ｉ＋／こフィルム１で積層ステー／コン
   の高さで導かね、 （ｅ）　このギヤリヤが、積層ステー７ヨン中へ押込才
   れた際に、回転する２つの積層ローラ間のニップ中へフ
   ィルトを引込み、かつこれラローラが、キャリヤおまひ
   、同時にキャリヤの両面に載置され、ギヤリヤの２つの
   面に加圧接触により積層されたフィルトより成る複合構
   造体を搬送し去ることより成る方法を実施するための、
   フィルムの形のホトンジス）（１４）の供給ロール（１
   ３）、積層されろべきキャリヤ（３）を収容するマガジ
   ン（２）、キャリヤのための力０熱ステー・ンヨン（４
   ）、２つの積層ローラ（］−〇、１１）より成ル積層ス
   テー／ヨン（９）、およびホトレジストを固定するだめ
   の真空テーブル（エフ、１８）、並びにホトレジストを
   切断するだめの切断装置（１５，１２２）を有する装置
   において、キャリヤ（３）が、ローラコンベア（６６）
   　Ｊ二を水平方向に移動して加熱ステー／コン（４、ｌ
   　Ｏ４）、横整列装置（９工）およびボートゲリソ・ξ
   （４３）を通り、かつその前縁により、ローラコンベア
   （６６）の通路中へ旋回されかつこれから外方へ旋回さ
   れろことのできる平行ス［・ツバ（３９）を圧迫し、１
   つの垂直吸引板（１７’　、　１８”）を有する真空デ
   ープル（１７，１８）が、それぞれ積層ステー／コン（
   ９）の上方および下方に配置され、かつグリツジ・Ｓ−
   （２０）が、ストリップに形成された部分のホトレノス
   トフィルム（１４）を杷持し、かつ相互に平行な垂直案
   内ロンド（２９，３０）に沿い、積層ステー／コン（９
   ）　ｌの調節可能な位置から、積層ステー／コン（９）
   を経かつ下部真空テーブル（１８）の範囲内の位置へ垂
   直に下方へ移動ずろことを特徴とするフィルムを熱圧下
   にキャリヤ両面に積層する装置。 コ−１−水平に搬送されるキャリヤ（，５）の上面およ
   び下面に液体層をコーチングするコーチング装置（６２
   ，６３）が、加熱ステー／コン（４）および積層ステ＝
   ７ヨン（９）間に配置されていることを特徴とする特許
   請求の範囲第１０項記載のフィルムを熱圧下にキャリヤ
   両面に積層する装置。 ］２　液体層を、真空テーブル（１６，工８）を経て下
   方へ搬送されるホトレノストフィルム（］−４）の前面
   へコーチングするだめのコーチング装置（６０）が、ホ
   トレジストフィルム用の偏向ローラ（８）付近に配置さ
   れていることを特徴とする特許請求の範囲第１０項記載
   のフィルトを熱圧下にキャリヤ両面に積層する装置。 ■３　モーター（５）が、ホトレノストフィルム（コ、
   ４）が供給ロール（コ３）から引取られる際にこのフィ
   ルムの送りローラとして使用される偏向ローラ（８）を
   駆動することを特徴とする特許請求の範囲第１０項記載
   のフィルムを熱圧下にキャリヤ両面に積層する装置。 工４　ホトレジストフィルム（１４）に付ｉする保護フ
   ィルム（８０）のための力１圧および分離ローラ（７）
   が、保護フィルムが剥離されうるような方法で偏向ロー
   ラ（８）に対向載置され、かつ保護フィルム（δＯ）が
   加圧および分離ローラ（７）を経て巻取リール（６）に
   巻取られろことができることを特徴とする特許請求の範
   囲第１３項記載のフィルムを熱川下（（ギヤリヤ両面に
   積層する装置。 ■５　供給ロール（］］３が、垂直軸回りで水平方向に
   旋回可能である旋回フレーム（７８）に数例けられてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１３項記載のフィ
   ルムを熱圧下にギヤリヤ両面に積層する装］６゜ ］−６偏向ローラ（８）の軸に釦車（２５）が配置され
   、その回りを、他の鎧車（２８）回りで導かれたエンド
   レス駆動チェーン（２６）が導かれ、かつ、グリップバ
   ー（２０）のがイド（２２）に固定されたチェーン連結
   部材（２’７　）が駆動チェーン（２６）に不固定的に
   連結さノ圭でいることを特徴とする特許請求の範囲第１
   ３項記載のフィル／・を熱川下にギヤリヤ両面に積層す
   る装置。 丁７　グリップバ−（２０）かもう１つのノアイド（２
   工）を有し、かつグリップバー　（２０）が、２つのが
   イド（２０，２１）と−緒になって垂直案内ロンド（２
   ９，３０）に清い、回転する案内チェーン（２６）によ
   り可動であることを特徴とする特許請求の範囲第１６項
   記載のフィルムを熱川下にギヤリヤ両面に積層する装置
   。 謁　グリップ・’−（２０）が、真空ポンプ（２４）に
   フレキンプルな真空導管（６９）を経て接続され′に真
   空パーであることを特徴とする特許請求の範囲第１７項
   記載のフィルムを熱圧下にキャリヤ両面に積層する装置
   。 １９　ランク（７２）を有するナイフホルダー（３５）
   が、相互に横桁（３３）Ｋより接続されたガイド（３］
   、　、　］３２　）に旋回可能に取イ」けられ、かつこ
   れらガイドが、フランジ部月（３４）寸だは電気的な位
   置決め装置によう案内「１ノド（２９，３０）に沿い垂
   直方向に移動および保持されうろことを特徴とする特許
   請求の範囲第１０項記載のフィルムを熱川下にキャリヤ
   両面に積層する装置。 ２０　歯車（３６）が、ランク（７２）に係合され、モ
   ーター（１６）により駆動されかつホトレジストフィル
   ム（１４）の巾にわたり可動てあり、かつ歯車（３６）
   が、ホトレジストフィルムを切断する目的で、この歯車
   に結合されかつ回転ナイフの形を有する切断装置（］、
   　］５）を回転させることを特徴とする特許請求の範囲
   第］−９項記載のフィルムを熱川下にギヤリヤ両ｍ１に
   積層する装置。 ２１　横桁（３３）に取イ」けられかつこれと平行に所
   定の距離をおいて延びる、切刃を有するレール（工９）
   が配置され、これに清い切断装置（１５）が、切断作動
   中ホトし、２ストフィルムを経て移動することを特徴と
   する特許請求の範囲第１重９項またけ第２０項のいずれ
   かに記載のフィルムを熱川下にギヤリヤ両面に積層する
   装置。 ３）が配置され、このカムローラ（ろ７）が、グリノー
   ｆ’−Ｃ２０）が」−昇した際に、グリップパー（２０
   ）の上方のが１Ｆ（２１）に（７３）およびナイフホル
   ダー（３５）を押上げるどともに、切断装置（１５）を
   ポ［・レノストフィルム（１４）から離すことを特徴と
   する特許請求の範囲第１９項記載のフィルムを熱圧下に
   キーヤリヤ両面ＶＣ積層する装置。 ７　、．５７　）ｅ経て延びる回転軸が軸承（４］−、
   ４−］、　）中に回転可能に取付けられていることを特
   徴とする特ａ′Ｉ請求の範囲第］−０項記載のフィルム
   を熱川下にキャリヤ両面に積層する装置。 ２４　平行ス［・）・”（３９）をキャリヤ（３）の通
   路中へおよびそれから外方へ旋回させるだめ、接続部材
   （５９）に、作動／リンダ（４２）と係合するプレー１
   −　（５８）が固定されていることを特徴とする特許請
   求の範囲第２３項記載のフィルムを熱圧下にキャリヤ両
   面に積層する装置。 ２５　平行ストン・８（３９）に、キャリヤ（３）の前
   縁が平行ストン・′？（３ｇ）に接触しかつ整列した際
   に、キャリヤ（３）の長手縁に接触ずく）、水平方向に
   旋し１可能な２つの小型が（ドｏ−ラ（４０，４０）が
   配置さノ１でいイ）ことを特徴とする特許請求の範囲第
   ２３項記載のフィルムを熱圧下にキャリヤ両面に積層す
   る装置。 ２６ホー　ドグリノ・ξ−（４３）が、相互に上部に配
   置さｈ２かつそれらの間に、引張り俸（４゜５．４６）
   を包囲しかつｓ？　−１゛グリッパ−（４−３）の開放
   を目的とするスプリング（４４，４４）が備えられた２
   つの水平クランプジョー（６７，６８）を有し、そねら
   のＦ部りランプノヨー（６７）が、これが戊ヤリャ（３
   ）のに面に接触しかつこのギヤリヤを把持する寸で、ク
   ランプ（４９）によりスフ゛リノグ（４−４−、４−４
   ）の圧迫力に抗し７重直に下ブｊ・＼けん引されろこと
   を特徴とする特許請求の範囲第１０項記載のフィルト、
   を熱圧Ｆにキャリヤ両面に積層する装置。 ２７　−１ｆイト（４７、４８）中を通りかつクランプ
   ジョー（６７，６８）を貫通する引張棒（４５、４６）
   が、ボードグリッパ−（４３）の横方向支柱（７４）に
   結合されかつ上部クランプジョー（６７）上方の蝶ねじ
   （８８゜８９）にねじ込まれ、かつ７す／ダ（４９）が
   横方向支柱（７４）に固定されていることを特徴とする
   特Ｆｆ請求の範囲第２６項記載のフィルトを熱川下にキ
   ャリヤ両面に積層する装置。 ２８　相互に平行でありかつ案、内軸承（５１，５］−
   ）を経て水」２に延びる２つの案内ロンド（５２，５３
   ）が、ボードグリッパのクランゾノヨ〜（６７，６８）
   の下側に配置された、ボー　ドグリノ・ξ（４３）の支
   柱（５０）に固定され、かつ作動／す／ダ（５４）が、
   支柱（５０）に係合しかつボードグリッパ（４３）を前
   後に水平て移動させることを特徴とする特許請求の範囲
   第２６項記載のフィルムを熱圧下にキャリヤ両面に積層
   する装置。 ２９　ギヤリヤ（３）の送り方向に見てローラコノベア
   （６６）の前方に節目可能な送りフインガ（５５）が配
   置され、フリンゾ（５６）がこの送りフィンガを、キャ
   リヤ（３）の後縁に接触させ、このギヤリヤの前縁を半
   行ストッパ（３９）に整列するため前方へ圧迫しかつ引
   続きはじめの位置へ後退させるととを特徴とする特許請
   求の範囲第］−〇項または第２５項のいずれかに記載の
   フィルムを熱川下にキャリヤ両面に積層する装置。 ３０　真空デープル（１７；ｌδ）の吸引板（］７′；
   　］、δ′）が、行および列をなして配置された造形さ
   れた凹孔（９５，！；）５−１を有し、かつこれら凹孔
   が、真空テアプル（１７；１８）の内部に孔（９δ、９
   δ　−）を経て接続さ°れかつ、真空に接続されブエい
   溝（’１１１６．Ｑ６−　；　９７　、９７・；工００
   ，１００−）により包囲されていることを特徴とする特
   許請求の範囲第１０項記載のフィルムを熱圧下にキャリ
   ヤ両面に積層する装置。 、３」−造形されだ凹孔Ｃ９５，９５・）が吸引板１７
   ’；ｌδ′）にカソゾ形に造形された凹孔であるととも
   に、これら造形凹孔の、吸引板表面の平面における直径
   が１０〜２０咽であることを特徴とする特許請求の範囲
   第３０項記載のフィルｌ、を熱圧下にキャリヤ両面に積
   層′寸−ろ装置。 ３２　これらの溝が、相互に垂直な２つの格子群！：ｌ
   　６　、９６　、；９７　、９７　）より成る網目を形
   成し、かつ隣接する２つの平行溝の中心線間の距離か１
   ８５〜２５扉であることを特徴とする特許請求の範囲第
   ３０項記載のフィルムを熱川下にキャリヤ両面に積層す
   る装［樅。 ３３　個々の成形凹孔の縁および包囲する溝の縁間の最
   狭位置のウェブが１〜１．．５ｍｍ厚であることを特徴
   とする特許請求の範囲第３２項記載のフィルムを熱圧下
   にキャリヤ両面に積層する装置。 ３４　そのウェブ終端部の上縁が吸引板（１７’　；１
   ８′）の表面と同じ高さである十字形に形成されたウェ
   ブ（９９）が、それぞれの造形凹孔（９５，９５・・）
   に配置されていることを特徴とする特許請求の範囲第３
   ０項記載のフィルムを熱圧下にギヤリヤ両面に積層する
   装置。 ３５　溝（１００，１００）が造形凹孔（９５，９５・
   ）を環状に包囲し、１−１．５　ｔｉｎ厚の環状ウェブ
   （１０］、　）がそれぞれの造造形化および包囲溝の縁
   間に存在し、かつ隣接する溝が、関連する造形凹孔に最
   近接する範囲内で相互に部分的に重複することを特徴と
   する特許請求の範囲第３１項記載のフィルムを熱圧下に
   キャリヤ両面に積層す７．）装置。 ３６　真空テーブル（１７：１８）の吸引板（１７′；
   ｌδ′）に、同じ寸法の矩形または正方形の穿孔（１０
   ３）を有する有孔板（１，０２’）が固定され、これら
   穿孔が行および列をなすように配置され、かつそれらの
   寸法が、吸引板（１７′　；１δ′）中のそれぞれ１つ
   の〕前影凹孔（９５）　、、ＪＴ、に４つの穿孔が配置
   される程度であることを特徴とする特許請求の範囲第１
   Ｏ項記載のフィルムを熱圧下にギヤリヤ両面に積層する
   装置。 ３７　加熱装置（１〜０４）が、それぞれ２つのローラ
   （１０７，１０８および１０９，１１０）を経て導かれ
   る、水平方向に回転する２つのエンドレスコンベアベ＃
   　ト（１０５：　］、　０６）を有し、かつこれらコン
   ベアベルト力、相互に加圧接触しかつ、キャリヤ（３）
   の送り方向に縮小しかつこれらコンベアベルトの平らな
   接触範囲の前方に配置されたギャップ（工１７）を形成
   することを特徴とする特許請求の範囲第１０項記載のフ
   ィルムを熱圧ｒにキャリヤ両面に積層する装置。 ３δ　それぞれのコンベアベルト（１０５，’１０６）
   が電気ヒータ部相（１１３，１１５）と接触し、丁部電
   気ヒータ部材（１１３）が所定の位置に固定されかつ」
   二部電気ヒータ部材（１１５）が弾性的に懸架され、か
   つこれら電気ヒータ部材（１１３，１１５）が相互に対
   向配置されていることを特徴とする特許請求の範囲第３
   ７項記載のフィルムを熱川下にキャリヤ両面に積層する
   装置。 ３９　上ｓコンベアベルト（ｌＯ５）かケーンラグ（１
   １９）により包囲され、その被覆板（１２０）がケーシ
   ング（ｌ　］、　９　）の１方の側面を越えて延びかつ
   揺動軸承（１２工）に取イ」けられていることを特徴と
   する特許請求の範囲第３７項記載のフィルムを熱圧下に
   ギヤリヤ両面に積層する装め。 ４０　下部コンベアベル）（工０６）が、所定の位置に
   固定されたり一−シング（１１８）により包囲され、後
   部ローラが、モーター（１］。 １）が駆動する５駆動ローラ（↓］０）であり、かつこ
   の下部コンベアベルトが、摩擦の結果として上部コンベ
   アベルト（ｌ　Ｏ５）をけん引しかつこれを回転させる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第３７項記載のフィル
   ムを熱圧下にキャリヤ画面に積層する装置。 ４１　切断装置（１２２）が、旋回軸（１２４−）回り
   で・モーター（ｊ、　２３　）により旋回可能であり、
   かつ旋回軸（１２４）が、位置決め装置（１４５）によ
   り案内ロンド（２９，３０）に沿い上下に可動であるガ
   イド（工４３゜］−４４）に取イ」けられていることを
   特徴とする特許請求の範囲第１０項記載のフィルムを熱
   用下知ギヤリヤ両面に積層する装置。 ４２　切断装置か、２つのボールベアリング（１３２，
   １３，５）を経て導かれかつ電源（’１３７）により力
   目熱されろ切断ワイヤ（：＋−３４）を有することを特
   徴とする特許請求の範囲第４−１項記載のフィルムを熱
   圧下にキャリヤ画面に積層する装置。 ４３ｖＪ断ワ＜ヤ（１３４）の１端が、■方ノ４ソール
   ベアリング（１３２）を支持する第１の固定部相（１３
   ０）に適当な位置に固定され、かつ切断ワイヤの他端が
   、他のボールベアリング（］−３３）用の第２の固定部
   材（１３１）に固定されかつ切断ワイヤの緊張を目的と
   するスプリング（１４２）に接続されていることを特徴
   とする特許請求の範囲第４２項記載のフィルムを熱圧下
   にギヤリヤ両面に積層する装置。 ４４　旋回軸（１２４）に２つの支持ゾロツク（工２５
   　、　］、　２６　）が配置され、これら支持ブロック
   を経て支持アーム（工２７，１２８）が、旋回軸から離
   れだそれらの終端部はより、ド側に固定部拐（１３０，
   １３１）の取付けらねた支柱（１２９）を貫通して延び
   ることを特徴とする特￥１請求の範囲第４１項記載のフ
   ィルムを熱圧下にキャリヤ両面に積層する装置。 ４５軍源（１３７）の１゜方ノ極カ、■方のｚ−ルベア
   リング（１３２）にフライ１゛接点（工３５）を経て接
   続され、かつ他方の極が、他方のボールベアリング（１
   δ６）に、マイクロスイッチ（１，３８）および、これ
   に直列に接続されたスライド接点（１３６）を経て接続
   されていることを特徴とする特許請求の範囲第４２項記
   載のフィルムを熱圧下にキャリヤ両面に積層ずろ装置。 ４６　ホトレノストフィルム ール（１４０）が、ガイド（工４３．１４牛）に固定さ
   れた取付部材（１４６，１４７）に水平に取付けられか
   つ連続スロソ）（１４］）を有し、かつこの連続スロッ
   ト中へ、切断ワイヤ（１３４）が、支持レール（１４０
   ）を被覆するホトレジストフィルム（１４）を切断した
   後に入ることを特徴とする特許請求の範囲第４−１項記
   載のフィルムを熱圧下にキャリヤ両面に積層する装置。 ４７　切断ワイヤ（　１　３　４−　）が切断位置にあ
   る場合、マイクロスイッチ（１３８）の切換えラグ（　
   ：ｉ−　３　９　）が、支持レール（１４０）に接触シ
   、マイクロスイッチ（１３８）を切換えかつ切断ワイヤ
   （１３４）への給電を停止することを特徴とする特許請
   求の範囲第４５項または第４６項のいずれかに記載のフ
   ィルムを熱川下にギヤリヤ両面に積層する装置。 ４８　位置決め装置（１４５）が、スピンドルナンド（
   １５１）と係合するスピンドル（１５０）、スピンドル
   （１５０）を回転させるスピ′ンルモーター（１５２）
   、このスピンドルに定された有孔の甘たｄス）ツノト付
   の２スク］−５３）、および光・ぐｌツヤ−（１５４）
   ｊ成ることを特徴とする特許請求の範囲第］−項記載の
   フィルムを熱川下にキャリヤ両に積層する装置。 ４９　有孔の件だ目、スリソトイＺ１のノスク（１５）
   は、その縁が、それぞれスピンドル回転をデノタル表示
   する刷数装置（１５５）に続された光バリヤ（１５４−
   ）中へ突出するとを特徴とする特許請求の範囲第４−８
   項載のフィルムを熱圧下にキャリヤ両面に積ずろ装置。