JPH0218030A - 薄膜張付装置用薄膜供給部材 - Google Patents
薄膜張付装置用薄膜供給部材Info
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- JPH0218030A JPH0218030A JP16932888A JP16932888A JPH0218030A JP H0218030 A JPH0218030 A JP H0218030A JP 16932888 A JP16932888 A JP 16932888A JP 16932888 A JP16932888 A JP 16932888A JP H0218030 A JPH0218030 A JP H0218030A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 122
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract description 8
- 208000018999 crinkle Diseases 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/14—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
- B32B37/16—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating
- B32B37/22—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating involving the assembly of both discrete and continuous layers
- B32B37/223—One or more of the layers being plastic
- B32B37/226—Laminating sheets, panels or inserts between two continuous plastic layers
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- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C31/00—Handling, e.g. feeding of the material to be shaped, storage of plastics material before moulding; Automation, i.e. automated handling lines in plastics processing plants, e.g. using manipulators or robots
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- B29C2791/004—Shaping under special conditions
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- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、薄膜を基板に張付ける技術に関し、特に、基
板に薄膜を供給する薄膜の張付装置用薄膜供給部材に適
用して有効な技術に関するものである。
板に薄膜を供給する薄膜の張付装置用薄膜供給部材に適
用して有効な技術に関するものである。
コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板（以下、単
に基板という）の片面又は両面に形成されたものである
。
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板（以下、単
に基板という）の片面又は両面に形成されたものである
。
この種のプリント配線板の製造工程において、保護フィ
ルム、レジストフィルム等の積層薄膜を基板に張付ける
簿膜張付装置は、例えば、実開昭６０−１６２０１６号
公報、特願昭６１−２６４２３６号明細書及び図面に記
載されるように、積層薄膜（フィルム）付着作業開始時
に、積層薄膜（フィルム）仮付は部材の吸着面に積層薄
膜先端部を真空吸着してこれを保持しながら基板（パネ
ル）に近づけ、積層薄膜前端部に積層薄膜（以下、単に
薄膜というとともに基板を一対°−の圧着ローラ間に搬
送させ、薄膜を基板に付着させるようにしている。
ルム、レジストフィルム等の積層薄膜を基板に張付ける
簿膜張付装置は、例えば、実開昭６０−１６２０１６号
公報、特願昭６１−２６４２３６号明細書及び図面に記
載されるように、積層薄膜（フィルム）付着作業開始時
に、積層薄膜（フィルム）仮付は部材の吸着面に積層薄
膜先端部を真空吸着してこれを保持しながら基板（パネ
ル）に近づけ、積層薄膜前端部に積層薄膜（以下、単に
薄膜というとともに基板を一対°−の圧着ローラ間に搬
送させ、薄膜を基板に付着させるようにしている。
そして、薄膜仮付は部材を支持するブロック部材が、基
板に付着中の走行する連続薄膜を薄膜仮付はステージ目
ンに近接移動できるようになっている。したがって、薄
膜を薄膜仮付は部材と一体となっている薄膜供給部材の
吸着面に真空吸着させた状態でカッターにより前記近接
移動中に薄膜を横方向に切断すれば、薄膜付着作業を中
断させることなく、連続薄膜を基板の大きさに合せて所
定の薄膜シートとすることができる。
板に付着中の走行する連続薄膜を薄膜仮付はステージ目
ンに近接移動できるようになっている。したがって、薄
膜を薄膜仮付は部材と一体となっている薄膜供給部材の
吸着面に真空吸着させた状態でカッターにより前記近接
移動中に薄膜を横方向に切断すれば、薄膜付着作業を中
断させることなく、連続薄膜を基板の大きさに合せて所
定の薄膜シートとすることができる。
このように、薄膜供給部材は、薄膜仮付は時及び切断時
において該薄膜を真空吸着して保持するためのものであ
る。
において該薄膜を真空吸着して保持するためのものであ
る。
また、前記従来の薄膜供給部材は、第８図及び第９図に
示すように、薄膜供給部材１０１の吸着面には薄膜１０
２の長手方向に対して横方向に延びる溝１０３が形成さ
れており、真空吸引用の孔１０４が凸部及び四部の双方
に設けられている。
示すように、薄膜供給部材１０１の吸着面には薄膜１０
２の長手方向に対して横方向に延びる溝１０３が形成さ
れており、真空吸引用の孔１０４が凸部及び四部の双方
に設けられている。
しかしながら、現在、前記レジストフィルム等の薄膜は
、その幅寸法が１９５ｍｍ、 ２４５ｍｍ＋ ２９５ｍ
ｍ、３３０ｍｍ、４００ｍｍ、４９５ｍｍ、６００ａｍ
等の多種類にわたって使用される６前記従来の薄膜供給
部材では、その吸着面に設けられている溝１０３が、薄
膜の基準幅の一定寸法、例えば６００ｎ＋ｍに合せて形
成されているので、その一定寸法よりも狭い寸法の基板
及び薄膜１０２を薄膜供給部材に吸着して、基板に向け
て搬送しようとする時、前記溝１０３と薄膜１０２との
間に隙間が生じる。この隙間から吸引用気体が漏れて、
薄膜を薄膜供給部材に確実に吸着することができないた
め、吸着された状態の薄膜にしわが生じたまま次の工程
に搬送され、不良品を生じるという問題があった。
、その幅寸法が１９５ｍｍ、 ２４５ｍｍ＋ ２９５ｍ
ｍ、３３０ｍｍ、４００ｍｍ、４９５ｍｍ、６００ａｍ
等の多種類にわたって使用される６前記従来の薄膜供給
部材では、その吸着面に設けられている溝１０３が、薄
膜の基準幅の一定寸法、例えば６００ｎ＋ｍに合せて形
成されているので、その一定寸法よりも狭い寸法の基板
及び薄膜１０２を薄膜供給部材に吸着して、基板に向け
て搬送しようとする時、前記溝１０３と薄膜１０２との
間に隙間が生じる。この隙間から吸引用気体が漏れて、
薄膜を薄膜供給部材に確実に吸着することができないた
め、吸着された状態の薄膜にしわが生じたまま次の工程
に搬送され、不良品を生じるという問題があった。
本発明は、前記問題点を解決するためになされたもので
ある。
ある。
本発明の目的は、使用される薄膜の大きさに関係なく、
供給される薄膜を薄膜供給部材にしわなく確実に吸着す
ることができる技術を提供することにある。
供給される薄膜を薄膜供給部材にしわなく確実に吸着す
ることができる技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
前記目的を達成するために、本発明は、基板に薄膜を張
付ける薄膜張付装置用の薄膜供給部材の薄膜吸着面が薄
膜長手方向に沿って凹凸形状に構成され、かつ当該薄膜
吸着面に多数の薄膜吸着孔が所定間隔で設けられている
薄膜張付装置用薄膜供給部材において、前記凹凸形状の
薄膜吸着面の凹状溝を供給される薄膜の幅寸法に応じて
当該薄膜を確実に吸引できるように不連続に構成したこ
とを最も主要な特徴とする。
付ける薄膜張付装置用の薄膜供給部材の薄膜吸着面が薄
膜長手方向に沿って凹凸形状に構成され、かつ当該薄膜
吸着面に多数の薄膜吸着孔が所定間隔で設けられている
薄膜張付装置用薄膜供給部材において、前記凹凸形状の
薄膜吸着面の凹状溝を供給される薄膜の幅寸法に応じて
当該薄膜を確実に吸引できるように不連続に構成したこ
とを最も主要な特徴とする。
また、前記凹凸形状の薄膜吸着面の凹状溝は、付着させ
る薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割して
設けられていることを特徴とする。
る薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割して
設けられていることを特徴とする。
また、前記凹凸形状の薄膜吸着面の吸引室は、付着させ
る薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割して
設けられていることを特徴とする。
る薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割して
設けられていることを特徴とする。
前述した手段によれば、薄膜供給部材の凹凸形状の薄膜
吸着面の凹状溝を、供給される薄膜の幅寸法に応じて当
該薄膜を確実に吸引できるように不連続１例えば、付着
させる薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割
して設けたことにより、吸着された時に、前記薄膜吸着
面の凹状溝と供給される薄膜との間に隙間が生じないの
で、供給される薄膜を薄膜供給部材にしわなく確実に吸
着することができる。
吸着面の凹状溝を、供給される薄膜の幅寸法に応じて当
該薄膜を確実に吸引できるように不連続１例えば、付着
させる薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割
して設けたことにより、吸着された時に、前記薄膜吸着
面の凹状溝と供給される薄膜との間に隙間が生じないの
で、供給される薄膜を薄膜供給部材にしわなく確実に吸
着することができる。
また、前記凹凸形状の薄膜吸着面の吸引室を、付着させ
る薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割して
設けられていることにより、確実に吸引でき、かつ吸引
効率を向上することができる。
る薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割して
設けられていることにより、確実に吸引でき、かつ吸引
効率を向上することができる。
以下、プリント配線用基板に感光性樹脂層と透光性樹脂
フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネートする薄膜
張付装置に適用した本発明の−実施例について、図面を
用いて具体的に説明する。
フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネートする薄膜
張付装置に適用した本発明の−実施例について、図面を
用いて具体的に説明する。
なお、実施例を説明するための全回において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。
本発明の一実施例の薄膜張付装置用薄膜供給部材（以下
、メインバキュームプレートという）の概略構成を第１
図（概略構成図）に示す。なお、本実施例に係る薄膜張
付装置については、前述の特願昭６１−２６４２３６号
明細書及び図面に記載されているものと同じであるので
、ここではその詳細な説明は省略する。
、メインバキュームプレートという）の概略構成を第１
図（概略構成図）に示す。なお、本実施例に係る薄膜張
付装置については、前述の特願昭６１−２６４２３６号
明細書及び図面に記載されているものと同じであるので
、ここではその詳細な説明は省略する。
メインバキュームプレート１０は、第１図（要部概略構
成図）で示すように、基板１１に近接しかつ離反する（
矢印Ｂ方向に移動する）支持部材１２に設けられている
。支持部材１２は、ガイド部材７Ａを矢印Ｂ方向に摺動
可能なように、装置本体（薄膜張付装置の筐体）７に設
けられている。支持部材１２は、基板１１の搬送経路を
中心に、上下、一対に設けられている。上部の支持部材
１２と下部の支持部材１２（図示していない）とは、ラ
ックアンドピニオン機構により連動的に動作する（両者
が同時に近接又は離反する）ように構成されている。
成図）で示すように、基板１１に近接しかつ離反する（
矢印Ｂ方向に移動する）支持部材１２に設けられている
。支持部材１２は、ガイド部材７Ａを矢印Ｂ方向に摺動
可能なように、装置本体（薄膜張付装置の筐体）７に設
けられている。支持部材１２は、基板１１の搬送経路を
中心に、上下、一対に設けられている。上部の支持部材
１２と下部の支持部材１２（図示していない）とは、ラ
ックアンドピニオン機構により連動的に動作する（両者
が同時に近接又は離反する）ように構成されている。
つまり、上下、一対の支持部材１２は、夫々に設けられ
たラック１２Ａと、このラック１２Ａと嵌合するピニオ
ン１２Ｂとで連動的に動作する。この支持部材１２の動
作は、下部の支持部材１２に設けられた駆動源で行われ
る。駆動源は５例えば、エアーシリンダで構成する。ま
た、駆動源は、油圧シリンダ又は電磁シリンダ、或はス
テップモータ及びその変位を支持部材１２に伝達する伝
達機構等で構成することができる。
たラック１２Ａと、このラック１２Ａと嵌合するピニオ
ン１２Ｂとで連動的に動作する。この支持部材１２の動
作は、下部の支持部材１２に設けられた駆動源で行われ
る。駆動源は５例えば、エアーシリンダで構成する。ま
た、駆動源は、油圧シリンダ又は電磁シリンダ、或はス
テップモータ及びその変位を支持部材１２に伝達する伝
達機構等で構成することができる。
前記メインバキュームプレー１・１０は、基板１１に近
接しかつ離反する（矢印Ｃ方向に移動する）ように、支
持部材１２に設けられている。メインバキュームプレー
ト１０は、支持部材１２に設けられた駆動ｇ１２ｃと、
ラックアンドピニオン機構とで動作するように構成され
ている。このラックアンドピニオン機構は、駆動源１２
Ｃに設けられたピニオン１２Ｄ、支持部材１２に設けら
れたラック１２Ｅ、メインバキュームプレート１０に設
けられたラックＩＯＡで構成されている。駆動源１２Ｃ
は、ピニオン１２Ｂの駆動源と同様のもので構成する。
接しかつ離反する（矢印Ｃ方向に移動する）ように、支
持部材１２に設けられている。メインバキュームプレー
ト１０は、支持部材１２に設けられた駆動ｇ１２ｃと、
ラックアンドピニオン機構とで動作するように構成され
ている。このラックアンドピニオン機構は、駆動源１２
Ｃに設けられたピニオン１２Ｄ、支持部材１２に設けら
れたラック１２Ｅ、メインバキュームプレート１０に設
けられたラックＩＯＡで構成されている。駆動源１２Ｃ
は、ピニオン１２Ｂの駆動源と同様のもので構成する。
メインバキュームプレート１０には、第２図（第１図の
メインバキュームプレート部分の平面図）に示すように
、積層体ＩＢの供給方向と略直交する供給幅方向に延在
する溝部１０Ｂが搬送方向に複数設けられている。溝部
１０Ｂの長さ（積層体ＩＢの供給幅方向と同一方向の長
さ）は、適用する積層体の内で、最も幅寸法が大である
積層体ＩＢよりもやや大きい寸法から、最も幅寸法が小
である積層体ＩＢよりもやや大きい寸法まで適正に対応
できるように、所定数に分割して構成されている。
メインバキュームプレート部分の平面図）に示すように
、積層体ＩＢの供給方向と略直交する供給幅方向に延在
する溝部１０Ｂが搬送方向に複数設けられている。溝部
１０Ｂの長さ（積層体ＩＢの供給幅方向と同一方向の長
さ）は、適用する積層体の内で、最も幅寸法が大である
積層体ＩＢよりもやや大きい寸法から、最も幅寸法が小
である積層体ＩＢよりもやや大きい寸法まで適正に対応
できるように、所定数に分割して構成されている。
例えば、幅寸法が１９５ｍｍ、 ２４５ｍｍ、 ２９５
ｍｍ。
ｍｍ。
３３０ｍｍ、４００ｍｍ、４９５ｍｍ、６００ｓ＋ｍの
それぞれの積層体ＩＢと前記溝部１０Ｂとの間に、積層
体ＩＢを吸引した時に、隙間が生じないように溝部１０
Ｂが分割されて配設されている。溝部１０Ｂの底部には
、積層体ＩＢを吸着させるための吸着孔１０Ｃが複数設
けられている。そして、第３図に示すように、吸着孔１
０Ｃは、−個の吸引室５１及び排気管５２を通して、真
空ポンプ等の真空発生源に接続されている。溝部１０Ｂ
の端部１０Ｄは、第４図に示すように、メインバキュー
ムプレート１０の端部から中央部に向けて掘り下げた曲
面形状に構成されている。
それぞれの積層体ＩＢと前記溝部１０Ｂとの間に、積層
体ＩＢを吸引した時に、隙間が生じないように溝部１０
Ｂが分割されて配設されている。溝部１０Ｂの底部には
、積層体ＩＢを吸着させるための吸着孔１０Ｃが複数設
けられている。そして、第３図に示すように、吸着孔１
０Ｃは、−個の吸引室５１及び排気管５２を通して、真
空ポンプ等の真空発生源に接続されている。溝部１０Ｂ
の端部１０Ｄは、第４図に示すように、メインバキュー
ムプレート１０の端部から中央部に向けて掘り下げた曲
面形状に構成されている。
積層体ＩＢの供給方向におけるメインバキュームプレー
ト１０の先端部には、第１図に示すように、積層体ＩＢ
を吸着する面が円孤形状に形成された仮付部材３０が、
フェノール樹脂等のプラスチック等からなる断熱材を介
在して止めねじで着脱自在に取り付けられている。
ト１０の先端部には、第１図に示すように、積層体ＩＢ
を吸着する面が円孤形状に形成された仮付部材３０が、
フェノール樹脂等のプラスチック等からなる断熱材を介
在して止めねじで着脱自在に取り付けられている。
なお、前記溝部１０Ｂの形状は、第５図に示すように、
断面が四角形状（ａ）、半円形状（ｂ）。
断面が四角形状（ａ）、半円形状（ｂ）。
三角形状（ｃ）等に形成してもよい。
また、溝部１０Ｂの端部１０Ｄは、第６図に示すように
、切立形状（ａ）又は中央部に向けて掘り下げたテーパ
形状（ｂ）にしてもよい。
、切立形状（ａ）又は中央部に向けて掘り下げたテーパ
形状（ｂ）にしてもよい。
また、第３図に示す一個の吸引室５１及び排気管５２を
、第７図に示すように、例えば、幅寸法が１９５ｍ＊、
２４５１，２９５ｍｍ、３３０＋ａｍ、４００園ｍ、４
９５ｍ＋ａ、６０領Ｉ等のそれぞれの積層体ＩＢと前記
溝部１０Ｂとの間に、吸引した場合に隙間が生じないよ
うに設けられた溝部１０Ｂに対応して、必要に応じて複
数個に分割して配設してもよい。
、第７図に示すように、例えば、幅寸法が１９５ｍ＊、
２４５１，２９５ｍｍ、３３０＋ａｍ、４００園ｍ、４
９５ｍ＋ａ、６０領Ｉ等のそれぞれの積層体ＩＢと前記
溝部１０Ｂとの間に、吸引した場合に隙間が生じないよ
うに設けられた溝部１０Ｂに対応して、必要に応じて複
数個に分割して配設してもよい。
例えば、第７図に示すように、吸引室５１Ａ〜５１■に
分割されて配設してもよい。
分割されて配設してもよい。
このようにすることにより、幅寸法が１９５ｍｍ。
２４５＋ｕ＋、 ２９５ｍｍ、 ３３０＋ａ＋、
４００ｍｍ、 ４９５＋ａｍ、 ６００ｗｍのよう
に異った積層体ＩＢであっても、供給される積層体ＩＢ
をメインバキュームプレート１０の吸着面に効率良く、
かつ確実に吸着することができる。
４００ｍｍ、 ４９５＋ａｍ、 ６００ｗｍのよう
に異った積層体ＩＢであっても、供給される積層体ＩＢ
をメインバキュームプレート１０の吸着面に効率良く、
かつ確実に吸着することができる。
以上、本発明を前記実施例に基づき具体的に説明したが
、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、そ
の要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ること
は勿論である。
、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、そ
の要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ること
は勿論である。
以上、説明したように、本発明によれば、薄膜供給部材
の凹凸形状の薄膜吸着面の凹状溝を、供給される薄膜の
幅寸法に応じて当該薄膜を確実に吸引できるように不連
続、例えば、付着させる薄膜の幅寸法に応じてその幅方
向に所定数に分割して設けたことにより、吸着された時
に、前記薄膜吸着面の凹状溝と供給される薄膜との間に
隙間が生じないので、供給される薄膜を薄膜供給部材に
確実に吸着することができる。
の凹凸形状の薄膜吸着面の凹状溝を、供給される薄膜の
幅寸法に応じて当該薄膜を確実に吸引できるように不連
続、例えば、付着させる薄膜の幅寸法に応じてその幅方
向に所定数に分割して設けたことにより、吸着された時
に、前記薄膜吸着面の凹状溝と供給される薄膜との間に
隙間が生じないので、供給される薄膜を薄膜供給部材に
確実に吸着することができる。
また、前記凹凸形状の薄膜吸着面の吸引室を、付着させ
る薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割して
設けられていることにり、確実に吸引でき、かつ吸引効
率を向上することができる。
る薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割して
設けられていることにり、確実に吸引でき、かつ吸引効
率を向上することができる。
第１図は、本発明の一実施例の薄膜張付装置用薄膜供給
部材（メインバキュームプレート）の概略構成を説明す
るための斜視図である。 第２図は、第１図のメインバキュームプレート部分の平
面図、 第３図は、第２図の部分断面斜視図。 第４図は、第シ図のＡ−Ａ線で切った断面図。 第５図は、第２図のＢ−Ｂ線で切った断面図、第６図は
、本発明の溝部の他の実施例を示す断面図。 第７図は、本発明の吸引室の他の実施例を説明するため
の平面図である。 第８図及び第９図は、従来の薄膜張付装置用薄膜供給部
材の問題点を説明するための図である。 図中、ＩＢ・・・積層体、７・・・装置本体（薄膜張付
装置の筐体）、１０・・・メインバキュームプレート、
ｌＯＡ・・・メインバキュームプレートに設けられたラ
ック、ＩＯＢ・・・溝部、ＩＯＣ・・・吸着孔、ＩＯＤ
・・・端部、１２Ｃ・・・駆動源、１２Ｄ・・・ピニオ
ン、１２Ｅ・・・支持部材に設けられたラック、５１．
５１Ａ〜５１１・・・吸引室、排気管５２゜ 第１図
部材（メインバキュームプレート）の概略構成を説明す
るための斜視図である。 第２図は、第１図のメインバキュームプレート部分の平
面図、 第３図は、第２図の部分断面斜視図。 第４図は、第シ図のＡ−Ａ線で切った断面図。 第５図は、第２図のＢ−Ｂ線で切った断面図、第６図は
、本発明の溝部の他の実施例を示す断面図。 第７図は、本発明の吸引室の他の実施例を説明するため
の平面図である。 第８図及び第９図は、従来の薄膜張付装置用薄膜供給部
材の問題点を説明するための図である。 図中、ＩＢ・・・積層体、７・・・装置本体（薄膜張付
装置の筐体）、１０・・・メインバキュームプレート、
ｌＯＡ・・・メインバキュームプレートに設けられたラ
ック、ＩＯＢ・・・溝部、ＩＯＣ・・・吸着孔、ＩＯＤ
・・・端部、１２Ｃ・・・駆動源、１２Ｄ・・・ピニオ
ン、１２Ｅ・・・支持部材に設けられたラック、５１．
５１Ａ〜５１１・・・吸引室、排気管５２゜ 第１図
Claims (3)
- （１）基板に薄膜を張付ける薄膜張付装置用の薄膜供給
部材の薄膜吸着面が薄膜長手方向に沿って凹凸形状に構
成され、かつ当該薄膜吸着面に多数の薄膜吸着孔が所定
間隔で設けられている薄膜張付装置用薄膜供給部材にお
いて、前記凹凸形状の薄膜吸着面の凹状溝を、不連続に
構成したことを特徴とする薄膜張付装置用薄膜供給部材
。 - （２）前記凹凸形状の薄膜吸着面の凹状溝は、付着させ
る薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割して
設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の薄膜張付装置用薄膜供給部材。 - （３）前記凹凸形状の薄膜吸着面の吸引室は、付着させ
る薄膜の幅寸法に応じてその幅方向に所定数に分割して
設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の薄膜張付装置用薄膜供結部材。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16932888A JPH0218030A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 薄膜張付装置用薄膜供給部材 |
| EP19890112471 EP0350060A3 (en) | 1988-07-07 | 1989-07-07 | Thin film feed member for thin film adhering apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16932888A JPH0218030A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 薄膜張付装置用薄膜供給部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0218030A true JPH0218030A (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=15884514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16932888A Pending JPH0218030A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 薄膜張付装置用薄膜供給部材 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0350060A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0218030A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107696468A (zh) * | 2017-08-22 | 2018-02-16 | 东莞市蓉工自动化科技有限公司 | 一种用于电路板耦接的热熔胶膜自动贴合机 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4100011A (en) * | 1975-08-04 | 1978-07-11 | Addressograph Multigraph Corp. | Production of laminated card with printed magnetically encodable stripe |
| US4464221A (en) * | 1983-01-28 | 1984-08-07 | Dynachem Corporation | Automatic laminator |
| US4659419A (en) * | 1983-05-11 | 1987-04-21 | Hakuto Co., Ltd. | Laminator for sticking film sheet on panel surface |
| DE3420429A1 (de) * | 1984-06-01 | 1985-12-05 | ELTI Apparatebau und Elektronik GmbH, 6106 Erzhausen | Verfahren zum laminieren eines films unter druck und waerme und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
| DE3787197T2 (de) * | 1986-05-07 | 1993-12-16 | Somar Corp | Gerät zur Herstellung von Schichtpressstoffen. |
| US4909891A (en) * | 1986-11-06 | 1990-03-20 | Somar Corporation | Laminator |
-
1988
- 1988-07-07 JP JP16932888A patent/JPH0218030A/ja active Pending
-
1989
- 1989-07-07 EP EP19890112471 patent/EP0350060A3/en not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0350060A2 (en) | 1990-01-10 |
| EP0350060A3 (en) | 1991-07-24 |
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