JPS60198427A - 静電容量式差圧伝送器 - Google Patents
静電容量式差圧伝送器Info
- Publication number
- JPS60198427A JPS60198427A JP5706384A JP5706384A JPS60198427A JP S60198427 A JPS60198427 A JP S60198427A JP 5706384 A JP5706384 A JP 5706384A JP 5706384 A JP5706384 A JP 5706384A JP S60198427 A JPS60198427 A JP S60198427A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- pressure
- detection
- movable electrode
- pressure chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発明は、各種プロセスにおいて差圧を検出して伝送
する静電容量式差圧伝送器に関する。
する静電容量式差圧伝送器に関する。
幹）従来技術
従来、この種の静電容量式差圧伝送器は、第１図に示す
ように、圧力の検出室ａを備えたハウジングｂの両側に
フランジ０が取付けられ、この検出室ｌの中央に感圧ダ
イヤフラムよりなる回動室１ｉｊｉｄが２両側面に固定
型ｌｉｅが設けられる一方。
ように、圧力の検出室ａを備えたハウジングｂの両側に
フランジ０が取付けられ、この検出室ｌの中央に感圧ダ
イヤフラムよりなる回動室１ｉｊｉｄが２両側面に固定
型ｌｉｅが設けられる一方。
ハウジングｂの両側部に高圧室ｆと低圧室ｇとが形成さ
れ、この高圧室ｆと低圧室ｇとにシールダイヤフラム１
１が設けられ、このシールダイヤフラムｈの検出側にシ
リコンオイ）ｖｉが連通路ｉを介して検出室ａに亘って
封入されて構成されている。
れ、この高圧室ｆと低圧室ｇとにシールダイヤフラム１
１が設けられ、このシールダイヤフラムｈの検出側にシ
リコンオイ）ｖｉが連通路ｉを介して検出室ａに亘って
封入されて構成されている。
そして、この高圧室ｆ及び低圧室ｇにプロセス圧が導入
され、このプロセス圧がシールダイヤフラム１１及びシ
リコンオイ／Ｉ／１を介して検出室ａに作用し、プロセ
ス圧の差圧によって可動電極ｔ］が変位し、固定電極０
とのギャップが変化し、このギャップ変化による静電容
量変化を検知信号として導出するようになっている。
され、このプロセス圧がシールダイヤフラム１１及びシ
リコンオイ／Ｉ／１を介して検出室ａに作用し、プロセ
ス圧の差圧によって可動電極ｔ］が変位し、固定電極０
とのギャップが変化し、このギャップ変化による静電容
量変化を検知信号として導出するようになっている。
この静電容量式差圧伝送器において、可動電極ｄは全体
に平板状部材で形成され、差圧によって湾曲変位するこ
とになる。従って、静圧（プロセス圧）が作用した際、
可動電極ｄは湾曲すべく張力が変化し、圧力の大きさに
よって感度が変化する所謂スパン変化が生じるという問
題があった。
に平板状部材で形成され、差圧によって湾曲変位するこ
とになる。従って、静圧（プロセス圧）が作用した際、
可動電極ｄは湾曲すべく張力が変化し、圧力の大きさに
よって感度が変化する所謂スパン変化が生じるという問
題があった。
まだ、オーバレンジ圧が左右交互に可動電極ｄに作用す
ると、この可動電極（１は固定電極０に当接してオーバ
レンジ保護を行うので、大きな応力が加わることになり
、圧力が除去されても残留歪が生じて片圧誤差が生じて
いた。更に、可動電極ｄが平板で湾曲変位するだめ、差
圧変化に応じた変位のうち直線的な平行移動する範囲が
狭く、シかも、各部品に高精度が要求されるという問題
があった。
ると、この可動電極（１は固定電極０に当接してオーバ
レンジ保護を行うので、大きな応力が加わることになり
、圧力が除去されても残留歪が生じて片圧誤差が生じて
いた。更に、可動電極ｄが平板で湾曲変位するだめ、差
圧変化に応じた変位のうち直線的な平行移動する範囲が
狭く、シかも、各部品に高精度が要求されるという問題
があった。
（ハ）目的
この発明は、斯かる点に鑑みてなされたもので。
可動電極を平板部と波形部とで形成し、平板部が平行移
動するようにしたことにより、感度変化を防１にすると
共に、残留歪の発生を防止し、且つ直線的に変位するよ
うにした静電容量式差圧伝送器を提供することを目的と
するものである。
動するようにしたことにより、感度変化を防１にすると
共に、残留歪の発生を防止し、且つ直線的に変位するよ
うにした静電容量式差圧伝送器を提供することを目的と
するものである。
に）構成
この発明は、」二連した目的を達成するために。
ハウジングの両側にフランジが取付けられ、このハウジ
ングの内部に圧力の検出室が形成されると共に１両側部
に高圧室と低圧室とがフランジとの間に形成され、前記
検出室の中央に感圧ダイヤフラムよりなる可動電極が設
けられて検出室が高圧側と低圧側とに区画され、この可
動電極の外周縁に少なくとも波形部が形成され、この可
動電極の中央部に対面して固定電極が前記検出室の両側
面に設けられる一方、前記高圧室及び低圧室にシールダ
イヤフラムが設けられてこの高圧室及び低圧室が圧力の
導入側と検出側とに区画され、この高圧室及び低圧室の
検出側が連通路を介１〜で前記検出室に連通されると共
に、この検出側に封入液が検出室に亘って封入されて成
り、前記高圧室と低圧室との差圧によって前記可動電極
の中央部が平行移動するように構成されている。
ングの内部に圧力の検出室が形成されると共に１両側部
に高圧室と低圧室とがフランジとの間に形成され、前記
検出室の中央に感圧ダイヤフラムよりなる可動電極が設
けられて検出室が高圧側と低圧側とに区画され、この可
動電極の外周縁に少なくとも波形部が形成され、この可
動電極の中央部に対面して固定電極が前記検出室の両側
面に設けられる一方、前記高圧室及び低圧室にシールダ
イヤフラムが設けられてこの高圧室及び低圧室が圧力の
導入側と検出側とに区画され、この高圧室及び低圧室の
検出側が連通路を介１〜で前記検出室に連通されると共
に、この検出側に封入液が検出室に亘って封入されて成
り、前記高圧室と低圧室との差圧によって前記可動電極
の中央部が平行移動するように構成されている。
（ホ）実施例
以下、この発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明
する。
する。
第２図に示すように、１は静電容量式差圧伝送器であっ
て、静電容量変化を利用し、各種プロセヌにおいてプロ
セス圧の差圧を検出して伝送するものである。
て、静電容量変化を利用し、各種プロセヌにおいてプロ
セス圧の差圧を検出して伝送するものである。
この差圧伝送器１は、ハウジング２を中央にしてこのハ
ウジング２の両側にフランジ３．５が取付けられて構成
されている。
ウジング２の両側にフランジ３．５が取付けられて構成
されている。
このハウジング２の内部中央には圧力の検出室４が形成
されると共に１両側部に高圧室５と低圧室６とがフラン
ジ５．３との間に形成されている。
されると共に１両側部に高圧室５と低圧室６とがフラン
ジ５．３との間に形成されている。
この検出室４の中央には感圧ダイヤフラムよりなる可動
電極７が９両側面に固定電極８，８がそれぞれ設けられ
ている。
電極７が９両側面に固定電極８，８がそれぞれ設けられ
ている。
この可動型ＦＭ７は、中央部が平板部７ａに、外周縁が
波形部７ｂに形成されて構成され、この波形部７１）の
外端部でハウジング２に支持されている。この可動電極
７に対応して検出室４は中央部が断面矩形に形成され、
外周縁の壁面が波形に形成され、検出室４は可動電極７
によって高圧側と低圧側とに区画されている。また、固
定電極８は可動電極７の平板部７ａに対面し、絶縁体９
を介してハウジング２に取付けられている。この可動型
ｆＩｉ！、７及び固定電極８にはリード線１０が接続さ
れ、検知信号を導出するようになっている。
波形部７ｂに形成されて構成され、この波形部７１）の
外端部でハウジング２に支持されている。この可動電極
７に対応して検出室４は中央部が断面矩形に形成され、
外周縁の壁面が波形に形成され、検出室４は可動電極７
によって高圧側と低圧側とに区画されている。また、固
定電極８は可動電極７の平板部７ａに対面し、絶縁体９
を介してハウジング２に取付けられている。この可動型
ｆＩｉ！、７及び固定電極８にはリード線１０が接続さ
れ、検知信号を導出するようになっている。
前記高圧室５及び低圧室６には波形のシールダイヤフラ
ム１１，１２が設けられ、このシールダイヤフラム１１
，１２によって高圧室５及び低圧室６が圧力の導入側と
検出側とに区画されている。
ム１１，１２が設けられ、このシールダイヤフラム１１
，１２によって高圧室５及び低圧室６が圧力の導入側と
検出側とに区画されている。
この高圧室５及び低圧室乙には圧力導入路５＋ｔ、６ａ
が連通されてプロセス圧が導入側に作用するようになっ
ている。また、高圧室５及び低圧室６の検出側壁面５１
）、６ｂはシールダイヤフラム１１゜１２に対応して波
形に形成されると共に、連通路１３．１４を介して検出
室４に連通している。そして、この検出（Ｉｌｌ Ｋシ
リコンオイル々どの封入液１５が検出室４に亘って封入
されている。
が連通されてプロセス圧が導入側に作用するようになっ
ている。また、高圧室５及び低圧室６の検出側壁面５１
）、６ｂはシールダイヤフラム１１゜１２に対応して波
形に形成されると共に、連通路１３．１４を介して検出
室４に連通している。そして、この検出（Ｉｌｌ Ｋシ
リコンオイル々どの封入液１５が検出室４に亘って封入
されている。
この高圧室５及び低顛室乙の検出側の容積は。
検出室４における高圧側及び低圧側の容積より小さく構
成され、オーバレンジ圧が作用した際、シールダイヤフ
ラム１１，１２が壁面５ｂ、６ｈに当接し、オーバレン
ジ圧以上の圧力が可動電極７に作用しないようになって
いる。
成され、オーバレンジ圧が作用した際、シールダイヤフ
ラム１１，１２が壁面５ｂ、６ｈに当接し、オーバレン
ジ圧以上の圧力が可動電極７に作用しないようになって
いる。
次に、差圧の検出動作について説明する。
先ず、プロセス圧はそれぞれ導入路５ａ、６ａより高圧
室５及び低圧室乙の導入側に作用してシールダイヤフラ
ム１１，１２を押圧する。
室５及び低圧室乙の導入側に作用してシールダイヤフラ
ム１１，１２を押圧する。
そして、このプロセス圧は封入液１５に伝達されて検出
室４に導かれ、可動電極７に両側より作用する。この可
動電極７は各プロセス圧の差圧に応じて変位することに
なる。その際、可動電極の波形部７１）が変形い平板部
７ａは平行移動することになり、張力変化が生じること
なく変位する。
室４に導かれ、可動電極７に両側より作用する。この可
動電極７は各プロセス圧の差圧に応じて変位することに
なる。その際、可動電極の波形部７１）が変形い平板部
７ａは平行移動することになり、張力変化が生じること
なく変位する。
この変位によって固定電極８とのギャップが変化し、こ
のギャップ変化による静電容量変化を検知信号としてリ
ード線１０を介して導出して伝送する。
のギャップ変化による静電容量変化を検知信号としてリ
ード線１０を介して導出して伝送する。
この差圧検出中において、高子室５又は低圧室６にオー
バレンジ圧が作用すると、シールダイヤフラム１１又は
１２が壁面５ｂ又は６ｂに当接しそれ以上の圧力が可動
電極７に作用することがなく、可動電極７は固定電極８
に当ることがない。
バレンジ圧が作用すると、シールダイヤフラム１１又は
１２が壁面５ｂ又は６ｂに当接しそれ以上の圧力が可動
電極７に作用することがなく、可動電極７は固定電極８
に当ることがない。
尚、この実施例において、可動電極７は平板部７ａと波
形部７ｂとで構成したが、全てを波形部で構成してもよ
く、その際、検出室４の壁面と固定電ａｉｉ８とを波形
に形成する。まだ、検出室４の壁面及び固定電極８は可
動電極７の平板部７ａに対面して従来のように湾曲形状
（第１図参照）に形成してもよい。
形部７ｂとで構成したが、全てを波形部で構成してもよ
く、その際、検出室４の壁面と固定電ａｉｉ８とを波形
に形成する。まだ、検出室４の壁面及び固定電極８は可
動電極７の平板部７ａに対面して従来のように湾曲形状
（第１図参照）に形成してもよい。
更にまた。検出室４の外周縁は波形の他、平坦であって
もよい。
もよい。
（へ）効果
以」二のように、この発明の静電容量式差圧伝送器によ
れば、可動電極の外周縁に少なくとも波形部を形成した
ために、差圧によって可動電極が変位した際、張力の変
化がなく、感度変化が生じないので、静圧による所謂ス
パン変化を確実に防止することができる。
れば、可動電極の外周縁に少なくとも波形部を形成した
ために、差圧によって可動電極が変位した際、張力の変
化がなく、感度変化が生じないので、静圧による所謂ス
パン変化を確実に防止することができる。
また、可動電極は外周縁の波形部で変形するので、変位
が直接的な平行移動で行なわれるから。
が直接的な平行移動で行なわれるから。
測定範囲を広げることができると同時に、高精度な測定
を行うことができる。その」−２各部品を高精度に仕上
げる必要がないから、安価に製作することができる。
を行うことができる。その」−２各部品を高精度に仕上
げる必要がないから、安価に製作することができる。
更にまた。オーバレンジ圧が作用した際、波形部を形成
しているため、大なる圧力が可動電極に加わることがな
く、残留歪が生じないので９片圧誤差を防止することが
できる。しかも、高圧室及び低圧室の検出側の容積を検
出室の高圧側と低圧側の容積より小さくすると、シール
ダイヤフラムがオーバレンジ時に壁面に当接し、可動電
極が固定電極に当接することがないから、より過大な圧
力イ」加を確実に防止することができる。
しているため、大なる圧力が可動電極に加わることがな
く、残留歪が生じないので９片圧誤差を防止することが
できる。しかも、高圧室及び低圧室の検出側の容積を検
出室の高圧側と低圧側の容積より小さくすると、シール
ダイヤフラムがオーバレンジ時に壁面に当接し、可動電
極が固定電極に当接することがないから、より過大な圧
力イ」加を確実に防止することができる。
第１図は従来例を示す静電容量式差圧伝送器の中央縦断
面図、第２図はこの発明の一実施例を示す静電容量式差
圧伝送器の中央縦断面図である。 １：静電容量式差圧伝送器。 ２；ハウジング、５：フランジ。 ４：検出室、 ５：高圧室、 ６：低圧室。 ７：可動電極、 ７ａ：平板部、 ７ｂ：波形部、 ８
：固定電極、 １１・１２：シールダイヤフラム、１３
・１４：連通路。 １５：封入液。 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理士 中 村 茂 信
面図、第２図はこの発明の一実施例を示す静電容量式差
圧伝送器の中央縦断面図である。 １：静電容量式差圧伝送器。 ２；ハウジング、５：フランジ。 ４：検出室、 ５：高圧室、 ６：低圧室。 ７：可動電極、 ７ａ：平板部、 ７ｂ：波形部、 ８
：固定電極、 １１・１２：シールダイヤフラム、１３
・１４：連通路。 １５：封入液。 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理士 中 村 茂 信
Claims (2)
- （１）ハウジングの両側にフランジが取付けられ。 このハウジングの内部に圧力の検出室が形成されると共
に９両側部に高圧室と低圧室とがフランジとの間に形成
され、前記検出室の中央に感圧ダイヤフラムよりなる可
動電極が設けられて検出室が高圧側と低圧側とに区画さ
れ、この可動電極の外周縁に少なくとも波形部が形成さ
れ。 この可動電極の中央部に対面して固定電極が前、記検出
室の両側面に設けられる一方、前記高圧室及び低圧室に
シールダイヤフラムが設けられてこの高圧室及び低圧室
が圧力の導入側と検出側とに区画され、この高圧室及び
低圧室の検出側が連通路を介して前記検出室に連通され
ると共に、この検出側に封入液が検出室に亘って封入さ
れて成り、前記高圧室と低圧室との差圧によって前記可
動電極の中央部が平行移動することを特徴とする静電容
量式差圧伝送器。 - （２）前記高圧室及び低圧室における検出側の容積は、
検出室における高圧側及び低圧側の容積より小さく構成
され、オーバレンジ時にシールダイヤフラムが検出側の
壁面に当接し、可動電極の変位が停止することを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の静電容量式差圧伝送器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5706384A JPS60198427A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 静電容量式差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5706384A JPS60198427A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 静電容量式差圧伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60198427A true JPS60198427A (ja) | 1985-10-07 |
Family
ID=13044980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5706384A Pending JPS60198427A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 静電容量式差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60198427A (ja) |
-
1984
- 1984-03-22 JP JP5706384A patent/JPS60198427A/ja active Pending
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