JPS60178331A - 静電容量式絶対圧伝送器 - Google Patents
静電容量式絶対圧伝送器Info
- Publication number
- JPS60178331A JPS60178331A JP3492384A JP3492384A JPS60178331A JP S60178331 A JPS60178331 A JP S60178331A JP 3492384 A JP3492384 A JP 3492384A JP 3492384 A JP3492384 A JP 3492384A JP S60178331 A JPS60178331 A JP S60178331A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- chamber
- movable electrode
- vacuum
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発明は、静電容量変化より絶対圧を検出して伝送す
る静電容量式絶対圧伝送器に関する。
る静電容量式絶対圧伝送器に関する。
（ロ）従来技術
従来よりこの種の絶対圧伝送器には、第１図に示すよう
に、静電容量の検出室ａを備えたハウジングｂの両側に
フランジｃ、ｃが取付けられ、この検出室ａの中央に可
動電極ｄが、側面に固定電極ｅが設けられる一方、ハウ
ジングｂの一例部に基準真空室ｆが、他側部に圧力導入
室ｇが形成され、この真空室ｆと導入室ｇとにシールダ
イヤフラムｈ１１１が設けられ、このシールダイヤフラ
ムｈの片側にシリコンオイルｉが連通路Ｌ ｊを介して
検出室ａに亘り封入されて構成されているものがある。
に、静電容量の検出室ａを備えたハウジングｂの両側に
フランジｃ、ｃが取付けられ、この検出室ａの中央に可
動電極ｄが、側面に固定電極ｅが設けられる一方、ハウ
ジングｂの一例部に基準真空室ｆが、他側部に圧力導入
室ｇが形成され、この真空室ｆと導入室ｇとにシールダ
イヤフラムｈ１１１が設けられ、このシールダイヤフラ
ムｈの片側にシリコンオイルｉが連通路Ｌ ｊを介して
検出室ａに亘り封入されて構成されているものがある。
従って、可動電極ｄで仕切られた検出室ａの真空室ｆ側
のシリコンオイルｉは、富にほぼ真空の圧力に保持され
ている。一方、圧力導入室ｇにはプロセス圧が作用し、
このプロセス圧がシールダイヤフラムｈ及びシリコンオ
イルｉを介して検出室ａに作用している。そして、この
プロセス圧と真空室ｆの圧力との間に差圧が生しると、
可動電極ｄが変位し７、固定電極ｅとのギャップが変化
し、つまり、片側のギャップが大きくなると、片側のギ
ャップが小さくなり、このギャップ変化による静電客用
変化を検知信号として導出するようになっている。
のシリコンオイルｉは、富にほぼ真空の圧力に保持され
ている。一方、圧力導入室ｇにはプロセス圧が作用し、
このプロセス圧がシールダイヤフラムｈ及びシリコンオ
イルｉを介して検出室ａに作用している。そして、この
プロセス圧と真空室ｆの圧力との間に差圧が生しると、
可動電極ｄが変位し７、固定電極ｅとのギャップが変化
し、つまり、片側のギャップが大きくなると、片側のギ
ャップが小さくなり、このギャップ変化による静電客用
変化を検知信号として導出するようになっている。
しかし、この絶対圧伝送器においては、シリコンオイル
ｉを封入して圧力を伝達しているため、高６１１．高真
空プＩ−１セスで長時間使用していると、シリコンオイ
ルｉが范気圧以下となり、ガス化し易くなる。このガス
が両電極ｄ、ｅ間に混入すると、誘電率が変化し、静電
容量出力が不安定となるという問題があった。
ｉを封入して圧力を伝達しているため、高６１１．高真
空プＩ−１セスで長時間使用していると、シリコンオイ
ルｉが范気圧以下となり、ガス化し易くなる。このガス
が両電極ｄ、ｅ間に混入すると、誘電率が変化し、静電
容量出力が不安定となるという問題があった。
（ハ）目的
この発明は、斯かる点に鑑メてなされたもので、検出室
等を真空に保持して（メＬ来のシリコンオイルを省略す
ることにより、温度によって誘電率が変化しないように
し、高温状態でも使用できるようにした静電容量式絶対
圧伝送器を提供することを目ｒ白とするものである。
等を真空に保持して（メＬ来のシリコンオイルを省略す
ることにより、温度によって誘電率が変化しないように
し、高温状態でも使用できるようにした静電容量式絶対
圧伝送器を提供することを目ｒ白とするものである。
（ニ）構成
この発明は、上述した目的を達成するために、ハウジン
グの両側にフランジが取（；） ＬＪられ、ハウジング
内に静電容量の検出室が形成され、ハウジングの一例部
に基準真空室が、他側部に圧力の導入室が形成され、こ
の真空室及び導入室が前記検出室に連通されると共に、
導入室に感圧ダイヤフラムが設けられて、この感圧ダイ
ヤフラムより検、出室側が前記真空室に亘って真空に保
持される一方、前記検出室の側面に固定電極が設けられ
ると共に、中央部に板状スプリングより成る可動電極が
設けられ、この可動電極と前記感圧ダイヤフラム間にシ
ャフトが連接されて成り、導入圧力による感圧ダイヤフ
ラムの変動に伴って可動電極が変位するように構成され
ている。
グの両側にフランジが取（；） ＬＪられ、ハウジング
内に静電容量の検出室が形成され、ハウジングの一例部
に基準真空室が、他側部に圧力の導入室が形成され、こ
の真空室及び導入室が前記検出室に連通されると共に、
導入室に感圧ダイヤフラムが設けられて、この感圧ダイ
ヤフラムより検、出室側が前記真空室に亘って真空に保
持される一方、前記検出室の側面に固定電極が設けられ
ると共に、中央部に板状スプリングより成る可動電極が
設けられ、この可動電極と前記感圧ダイヤフラム間にシ
ャフトが連接されて成り、導入圧力による感圧ダイヤフ
ラムの変動に伴って可動電極が変位するように構成され
ている。
（ボ）実施例
以下、この発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明
する。
する。
第２図に示すように、■は静電容量式絶対圧伝送器であ
って、静電容量出力を利用して各種プロセス等にお１．
Ｊる絶対圧を検出し、伝送するものである。
って、静電容量出力を利用して各種プロセス等にお１．
Ｊる絶対圧を検出し、伝送するものである。
この絶対圧伝送器１は、ハウジング２の両側にフランジ
３．４がボルト５とナツト６とでこのハウジング２を挟
持して取（＝Ｊりられて構成されている。ハウジング２
内の中央部には、断面略楕円の静電容量検出室７が形成
されている。更に、この検出室７の中央には可動電極８
が設けられ、両側面に固定電極９が可動電極８と対面し
て設りられている。この可動電極８は板状スプリングで
構成されて左右に変位するようになっており、固定電極
９は絶縁体１０を介して取伺りられ、それぞれ各電極８
．９にばリード線１１．１１が接続されている。
３．４がボルト５とナツト６とでこのハウジング２を挟
持して取（＝Ｊりられて構成されている。ハウジング２
内の中央部には、断面略楕円の静電容量検出室７が形成
されている。更に、この検出室７の中央には可動電極８
が設けられ、両側面に固定電極９が可動電極８と対面し
て設りられている。この可動電極８は板状スプリングで
構成されて左右に変位するようになっており、固定電極
９は絶縁体１０を介して取伺りられ、それぞれ各電極８
．９にばリード線１１．１１が接続されている。
一方、ハウジング２の一側部（第２図において左側）に
は基準真空室１２が、他側部（第２図において右側）に
は圧力導入室１３がそれぞれ各フランジ３．４との間に
形成されている。そして、この真空室１２及び導入室１
３はほぼ中心上に形成された連通路１４．１５により検
出室７に連通されている。
は基準真空室１２が、他側部（第２図において右側）に
は圧力導入室１３がそれぞれ各フランジ３．４との間に
形成されている。そして、この真空室１２及び導入室１
３はほぼ中心上に形成された連通路１４．１５により検
出室７に連通されている。
導入室１３１こは導入路１６が連通されると共に、感圧
ダイヤフラム１７が取ｆ」りられている。この感圧ダイ
ヤフラム１７によって導入室１３がプロセス圧の作用側
と検出側とに区画され、この検出側が連通路１４．１５
及び検出室７を経て真空室１２に亘り真空状態に保持さ
れている。
ダイヤフラム１７が取ｆ」りられている。この感圧ダイ
ヤフラム１７によって導入室１３がプロセス圧の作用側
と検出側とに区画され、この検出側が連通路１４．１５
及び検出室７を経て真空室１２に亘り真空状態に保持さ
れている。
更に、感圧ダイヤフラム１７には中心上にシャツ１−１
８が取付けられており、このシャツ１−１８は連通路１
５を通って可動電極８を貫通しており、感圧グイ−トフ
ラム１７と可動電極８とを接続している。シャフト１８
には可動電極８の両側に連通ずる小孔１９が穿設され、
感圧ダイヤフラム１７より検出側が一室構造に構成され
ている。
８が取付けられており、このシャツ１−１８は連通路１
５を通って可動電極８を貫通しており、感圧グイ−トフ
ラム１７と可動電極８とを接続している。シャフト１８
には可動電極８の両側に連通ずる小孔１９が穿設され、
感圧ダイヤフラム１７より検出側が一室構造に構成され
ている。
次に、絶対圧の検出動作について説明する。
まず、各種プロセス等の圧力は、導入路１６より導入室
１３に導かれ、感圧ダイヤフラム１７に作用する。この
感圧ダイヤフラム１７の片側は真空状態に保持されてい
るので、感圧ダイヤフラム１７の両側の差圧が生じると
、この差圧と感圧ダイヤフラム１７の有効面積との積に
よる力がシャフトＩ８に作用し、このシャフト１８が移
動する。
１３に導かれ、感圧ダイヤフラム１７に作用する。この
感圧ダイヤフラム１７の片側は真空状態に保持されてい
るので、感圧ダイヤフラム１７の両側の差圧が生じると
、この差圧と感圧ダイヤフラム１７の有効面積との積に
よる力がシャフトＩ８に作用し、このシャフト１８が移
動する。
ごのシャツ１−１８の移Ｗ’、Ｉ＋量は、導入圧力によ
り発４二した力と、可動電極８を構成するスプリング及
び（・キ圧タイートフラム１８の剛性による力のバラン
スによって定まることになる。
り発４二した力と、可動電極８を構成するスプリング及
び（・キ圧タイートフラム１８の剛性による力のバラン
スによって定まることになる。
このシャフトＩ８が移動すると、可動電極８が変位し、
両側方の固定電極９．９とのギャップが変化し、このギ
ャップ変化による静電容量変化をソー１−線１１を介し
て導出し、検知信号として絶対圧を伝送する。
両側方の固定電極９．９とのギャップが変化し、このギ
ャップ変化による静電容量変化をソー１−線１１を介し
て導出し、検知信号として絶対圧を伝送する。
尚、この実施例においてはシャツ１−１８に小孔１９を
穿設したが、この発明では、必ずしも設りる必要はない
。
穿設したが、この発明では、必ずしも設りる必要はない
。
（へ）効果
以」二のように、ごの発明の静電容量式絶対圧伝送器に
よれば、圧力導入室に設けた感圧ダイヤフラムにより圧
力の作用側と検出側とに区画し、この検出側を静電容量
検出室及び基準真空室に亘って真空状態に保持し、感圧
ダイ４・フラムの移動をシャフトを介して可動電極に伝
達するようにしたために、従来のようなシリコンオイル
等の封入液を省略することができるので、高温高真空プ
ロセスで使用しζも誘電率が変化することがない。
よれば、圧力導入室に設けた感圧ダイヤフラムにより圧
力の作用側と検出側とに区画し、この検出側を静電容量
検出室及び基準真空室に亘って真空状態に保持し、感圧
ダイ４・フラムの移動をシャフトを介して可動電極に伝
達するようにしたために、従来のようなシリコンオイル
等の封入液を省略することができるので、高温高真空プ
ロセスで使用しζも誘電率が変化することがない。
従って、温度特性の優れた絶対圧を検出して伝送するこ
とができ、安定した動作を行わせることができるから、
高温まで使用可能な機器とすることができる。
とができ、安定した動作を行わせることができるから、
高温まで使用可能な機器とすることができる。
第１図は従来の静電容量式絶対圧伝送器を示す縦断面図
、第２図はこの発明の一実施例を示す静電容量式絶対圧
伝送器の縦断面図である。 １：静電容量式絶対圧伝送器、 ２：ハウジング、 ３・４：フランジ、７；検出室、
８：可動電極、 ９：固定電極、 １２：基準真空室、 １３：圧力導入室、１４・１５：連通路、１７：感圧ダ
イヤフラム、 １８：シャフト。
、第２図はこの発明の一実施例を示す静電容量式絶対圧
伝送器の縦断面図である。 １：静電容量式絶対圧伝送器、 ２：ハウジング、 ３・４：フランジ、７；検出室、
８：可動電極、 ９：固定電極、 １２：基準真空室、 １３：圧力導入室、１４・１５：連通路、１７：感圧ダ
イヤフラム、 １８：シャフト。
Claims (1)
- （＋）ハウジングの両側にフランジが取イ」りられ、ハ
ウジング内に静電容量の検出室が形成され、ハウジング
の一側部に基準真空室が、他側部に圧力の導入室が形成
され、この真空室及び導入室が前記検出室に連通される
と共に、導入室に感圧ダイ４・フラムが設りられて、こ
の感圧ダイヤフラムより検出室側が前記真空室に亘って
真空に保持される一方、前記検出室の側面に固定電極が
設りられると共に、中央部に板状スプリングより成る可
動電極が設りられ、この可動電極と前記感圧ダイヤフラ
ノ、間にシャフトが連接されて成り、導入圧力による感
圧グイ−トフラムの変動に伴って可動電極が変位するこ
とを特徴とする静電容（迂式絶対圧伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3492384A JPS60178331A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 静電容量式絶対圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3492384A JPS60178331A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 静電容量式絶対圧伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60178331A true JPS60178331A (ja) | 1985-09-12 |
Family
ID=12427729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3492384A Pending JPS60178331A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 静電容量式絶対圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60178331A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0706038A1 (en) * | 1994-10-07 | 1996-04-10 | Omron Corporation | Capacitive pressure sensor |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP3492384A patent/JPS60178331A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0706038A1 (en) * | 1994-10-07 | 1996-04-10 | Omron Corporation | Capacitive pressure sensor |
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