JPH05248977A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH05248977A JPH05248977A JP4333265A JP33326592A JPH05248977A JP H05248977 A JPH05248977 A JP H05248977A JP 4333265 A JP4333265 A JP 4333265A JP 33326592 A JP33326592 A JP 33326592A JP H05248977 A JPH05248977 A JP H05248977A
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- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
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- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
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- G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
- G01L23/22—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid for detecting or indicating knocks in internal-combustion engines; Units comprising pressure-sensitive members combined with ignitors for firing internal-combustion engines
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧力センサの測定信号に対する温度の影響を
補償することである。 【構成】 圧力センサはホルダー１に固定され測定すべ
き圧力によって変形可能である、少なくとも間接的に信
号を発生するダイアフラム部分２を備えている。このダ
イアフラム部分は場合によっては圧力測定要素３，４と
協働する。ダイアフラム部分は少なくとも１対の円筒状
領域３，４を備えている。この円筒状領域は短い距離を
おいて互いに同心的に設けられ、かつそれぞれ周方向に
おいて閉じている。一方の円筒状領域３はその直径Ｄ1
を拡大する方向に圧力によって付勢可能あり、他方の円
筒状領域４はその直径Ｄ2 を縮小する方向に圧力によっ
て付勢可能である。温度変化時に両直径Ｄ1 Ｄ2 は同じ
方向に変化する。
補償することである。 【構成】 圧力センサはホルダー１に固定され測定すべ
き圧力によって変形可能である、少なくとも間接的に信
号を発生するダイアフラム部分２を備えている。このダ
イアフラム部分は場合によっては圧力測定要素３，４と
協働する。ダイアフラム部分は少なくとも１対の円筒状
領域３，４を備えている。この円筒状領域は短い距離を
おいて互いに同心的に設けられ、かつそれぞれ周方向に
おいて閉じている。一方の円筒状領域３はその直径Ｄ1
を拡大する方向に圧力によって付勢可能あり、他方の円
筒状領域４はその直径Ｄ2 を縮小する方向に圧力によっ
て付勢可能である。温度変化時に両直径Ｄ1 Ｄ2 は同じ
方向に変化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ホルダーに固定され測
定すべき圧力によって変形可能である、少なくとも間接
的に信号を発生するダイアフラム部分を備え、このダイ
アフラム部分が場合によっては圧力測定要素と協働する
圧力センサに関する。
定すべき圧力によって変形可能である、少なくとも間接
的に信号を発生するダイアフラム部分を備え、このダイ
アフラム部分が場合によっては圧力測定要素と協働する
圧力センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の圧力センサは例えばオーストリ
ア国特許第３７４９２２号明細書によって知られてい
る。このセンサはその変形可能な領域が平らなダイアフ
ラム部分を備えている。このダイアフラム部分は補強さ
れた縁部領域がホルダーまたはケーシングに気密に連結
され、同様に厚く形成された中央部分が棒状の支えを介
在して、ケーシング内に設けられた測定要素に作用す
る。変形可能な範囲は円環状に形成され、ケーシング側
に狭い隙間を備えている。
ア国特許第３７４９２２号明細書によって知られてい
る。このセンサはその変形可能な領域が平らなダイアフ
ラム部分を備えている。このダイアフラム部分は補強さ
れた縁部領域がホルダーまたはケーシングに気密に連結
され、同様に厚く形成された中央部分が棒状の支えを介
在して、ケーシング内に設けられた測定要素に作用す
る。変形可能な範囲は円環状に形成され、ケーシング側
に狭い隙間を備えている。
【０００３】ほとんどすべての圧力センサの場合に生じ
る問題は、信号に対する温度変化の影響、すなわち温度
に依存するダイアフラム部分の変形によって生じる信号
ドリフトである。測定すべき媒体の大きな温度変化を、
ダイアフラムの円環状範囲によって遮るために、オース
トリア国特許第３７４９２２号明細書によって知られて
いるセンサのダイアフラム部分は肉厚の中央部分に設け
られた熱シールドを備えている。この熱シールドはダイ
フラム部分の変形可能な領域を覆っている。しかし、こ
の手段では、短時間の温度変化によって生じる信号擾乱
は一部だけしか防止できず、そして長い時間の温度変化
によって生じる信号擾乱は概して防止できない。
る問題は、信号に対する温度変化の影響、すなわち温度
に依存するダイアフラム部分の変形によって生じる信号
ドリフトである。測定すべき媒体の大きな温度変化を、
ダイアフラムの円環状範囲によって遮るために、オース
トリア国特許第３７４９２２号明細書によって知られて
いるセンサのダイアフラム部分は肉厚の中央部分に設け
られた熱シールドを備えている。この熱シールドはダイ
フラム部分の変形可能な領域を覆っている。しかし、こ
の手段では、短時間の温度変化によって生じる信号擾乱
は一部だけしか防止できず、そして長い時間の温度変化
によって生じる信号擾乱は概して防止できない。
【０００４】更に、ドイツ連邦共和国特許出願公開第２
７３５１７２号明細書から、円筒状ダイアフラム部分、
すなわち導電性層を持つ外側のケーシング周壁を備えた
圧力コンバータが知られている。対向する導電性層は、
問題となる押圧力によって実際には弾性的に変形しない
要素の上に載っている。温度補償のために講じられる手
段はこの文献には開示されていない。
７３５１７２号明細書から、円筒状ダイアフラム部分、
すなわち導電性層を持つ外側のケーシング周壁を備えた
圧力コンバータが知られている。対向する導電性層は、
問題となる押圧力によって実際には弾性的に変形しない
要素の上に載っている。温度補償のために講じられる手
段はこの文献には開示されていない。
【０００５】ドイツ連邦共和国特許出願公開第３０２１
０８８号明細書には、小管コンデンサの形をしたセンサ
装置が記載されている。このコンデンサの円筒状の誘導
体は圧力の作用によって能動的な電気信号を発する。両
電極は電荷搬出の機能のみを有し、円筒状ダイアフラム
の変形のときのような圧力の支持や一次測定信号への変
換には役立たない。ダイアフラムは圧力変形に弾性的に
応答し、押圧力を受け止めることができるが、ドイツ連
邦共和国特許出願公開第３０２１０８８号明細書記載の
小管コンデンサの場合には、この押圧力は誘導体によっ
て受け止められる。
０８８号明細書には、小管コンデンサの形をしたセンサ
装置が記載されている。このコンデンサの円筒状の誘導
体は圧力の作用によって能動的な電気信号を発する。両
電極は電荷搬出の機能のみを有し、円筒状ダイアフラム
の変形のときのような圧力の支持や一次測定信号への変
換には役立たない。ダイアフラムは圧力変形に弾性的に
応答し、押圧力を受け止めることができるが、ドイツ連
邦共和国特許出願公開第３０２１０８８号明細書記載の
小管コンデンサの場合には、この押圧力は誘導体によっ
て受け止められる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、いか
なる場合でも短時間の温度の急激な変化を効果的に補償
することができ、しかも長時間の温度変化をできるだけ
効果的に補償することができるように、冒頭に述べた種
類の圧力センサを形成することである。
なる場合でも短時間の温度の急激な変化を効果的に補償
することができ、しかも長時間の温度変化をできるだけ
効果的に補償することができるように、冒頭に述べた種
類の圧力センサを形成することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題は本発明に従
い、ダイアフラム部分が少なくとも１対の円筒状領域を
備え、この円筒状領域が短い距離をおいて互いに同心的
に設けられ、かつそれぞれ周方向において閉じており、
一方の円筒状領域がその直径を拡大する方向に圧力によ
って付勢可能あり、他方の円筒状領域がその直径を縮小
する方向に圧力によって付勢可能であり、温度変化時に
両直径が同じ方向に変化することによって解決される。
本発明の有利な他の実施形は特許請求の範囲の従属項に
記載してある。
い、ダイアフラム部分が少なくとも１対の円筒状領域を
備え、この円筒状領域が短い距離をおいて互いに同心的
に設けられ、かつそれぞれ周方向において閉じており、
一方の円筒状領域がその直径を拡大する方向に圧力によ
って付勢可能あり、他方の円筒状領域がその直径を縮小
する方向に圧力によって付勢可能であり、温度変化時に
両直径が同じ方向に変化することによって解決される。
本発明の有利な他の実施形は特許請求の範囲の従属項に
記載してある。
【０００８】本発明による圧力センサは、例えば高温媒
体、輻射または圧縮熱によるセンサの加熱に基づく変形
− この変形は従来の簡単な圧力センサでは大きな誤
差信号を生じる − が遮蔽によって縮小しないで充分
に相殺される。一対にまとめられた円筒状の両領域は、
加熱時に、ほぼ同じ大きさ（なぜなら、直径がほぼ同じ
であるから）および同じ方向に変形する。一方、測定圧
力はほぼ同じ大きさで反対向きに作用する変形を生じ
る。従って、圧力に比例する変形を加算する圧力測定の
ための測定要素の配線は、同時に、加熱に比例する変形
を引き算する、すなわち温度エラーを効果的に補償す
る。
体、輻射または圧縮熱によるセンサの加熱に基づく変形
− この変形は従来の簡単な圧力センサでは大きな誤
差信号を生じる − が遮蔽によって縮小しないで充分
に相殺される。一対にまとめられた円筒状の両領域は、
加熱時に、ほぼ同じ大きさ（なぜなら、直径がほぼ同じ
であるから）および同じ方向に変形する。一方、測定圧
力はほぼ同じ大きさで反対向きに作用する変形を生じ
る。従って、圧力に比例する変形を加算する圧力測定の
ための測定要素の配線は、同時に、加熱に比例する変形
を引き算する、すなわち温度エラーを効果的に補償す
る。
【０００９】多数の変形実施例が考えられる。有利な変
形の第１のグループでは、ダイアフラム部分が一体の回
転体として形成され、かつＵ字状横断面を有する少なく
とも一つの環状室を形成し、円筒状範囲が半径方向にお
いて環状室を画成し、円筒状範囲の自由縁部がホルダー
に固定されている。
形の第１のグループでは、ダイアフラム部分が一体の回
転体として形成され、かつＵ字状横断面を有する少なく
とも一つの環状室を形成し、円筒状範囲が半径方向にお
いて環状室を画成し、円筒状範囲の自由縁部がホルダー
に固定されている。
【００１０】これに対して、第２のグループは、ダイア
フラム部分が複数の部材によって形成され、互いに同心
的に配置された円筒状領域のそれぞれ二つがＵ字状横断
面を有する環状室を形成し、かつ少なくともそれぞれ一
つの縁部がホルダーに固定されていることを特徴とす
る。以下、Ｕ字状横断面は丸い形でもよいし、角張った
形でもよいと理解すべきである。
フラム部分が複数の部材によって形成され、互いに同心
的に配置された円筒状領域のそれぞれ二つがＵ字状横断
面を有する環状室を形成し、かつ少なくともそれぞれ一
つの縁部がホルダーに固定されていることを特徴とす
る。以下、Ｕ字状横断面は丸い形でもよいし、角張った
形でもよいと理解すべきである。
【００１１】複数の部材からなるダイアフラムを備えた
変形実施例の場合には、本発明に従い、ホルダーから突
出する円筒状領域の縁部が対をなして支持要素に連結可
能である。円筒状の両領域が異なる電位にある容積形測
定システムの電極である場合には、支持要素は絶縁体と
して形成可能である。
変形実施例の場合には、本発明に従い、ホルダーから突
出する円筒状領域の縁部が対をなして支持要素に連結可
能である。円筒状の両領域が異なる電位にある容積形測
定システムの電極である場合には、支持要素は絶縁体と
して形成可能である。
【００１２】非常に簡単な変形実施例では、互いに同心
的に配置されたそれぞれ二つの円筒状範囲が導電性の材
料からなり、互いに絶縁され、そして容量形測定システ
ムの電極および対向電極として形成されている。
的に配置されたそれぞれ二つの円筒状範囲が導電性の材
料からなり、互いに絶縁され、そして容量形測定システ
ムの電極および対向電極として形成されている。
【００１３】圧力センサの個々の実施例は三つの主グル
ープに分けることができる。この場合、第１のグループ
は、ダイアフラム部分がＵ字状環状室と反対側から、測
定すべき圧力によって付勢可能であり、Ｕ字状環状室内
に少なくとも１個の圧力測定要素が設けられていること
を特徴とする。
ープに分けることができる。この場合、第１のグループ
は、ダイアフラム部分がＵ字状環状室と反対側から、測
定すべき圧力によって付勢可能であり、Ｕ字状環状室内
に少なくとも１個の圧力測定要素が設けられていること
を特徴とする。
【００１４】第２の主グループの実施例はすべて、測定
室の死空間を非常に小さくする。この主グループは、ダ
イアフラム部分がホルダーの環状溝内に設けられ、ダイ
アフラム部分がＵ字形環状室寄りの側から、測定すべき
圧力によって付勢可能であり、ダイアフラム部分の各々
の円筒状領域と環状溝の円筒状壁部との間に、圧力測定
要素が設けられていることを特徴とする。
室の死空間を非常に小さくする。この主グループは、ダ
イアフラム部分がホルダーの環状溝内に設けられ、ダイ
アフラム部分がＵ字形環状室寄りの側から、測定すべき
圧力によって付勢可能であり、ダイアフラム部分の各々
の円筒状領域と環状溝の円筒状壁部との間に、圧力測定
要素が設けられていることを特徴とする。
【００１５】第３のグループは、ダイアフラム部分が円
環面状に閉鎖形成され、円筒状領域が圧力測定要素を収
容する閉じた環状室の同心的な画成面を形成しているこ
とを特徴とする。円筒状測定領域の外側の範囲において
円環状ダイアフラムに作用するホルダーまたは支持部材
は、絶縁ケーブルとして形成してもよい。この絶縁ケー
ブルによって、圧力測定要素の電気的な信号が検出され
る。
環面状に閉鎖形成され、円筒状領域が圧力測定要素を収
容する閉じた環状室の同心的な画成面を形成しているこ
とを特徴とする。円筒状測定領域の外側の範囲において
円環状ダイアフラムに作用するホルダーまたは支持部材
は、絶縁ケーブルとして形成してもよい。この絶縁ケー
ブルによって、圧力測定要素の電気的な信号が検出され
る。
【００１６】異なる変形実施例において、一連の異なる
圧力測定要素または圧力測定システムを使用することが
できる。圧力測定要素または圧力測定システムとは、以
下において、次のような測定装置であると理解すべきで
ある。すなわち、測定すべき圧力によって引き起こされ
る円筒状領域の変形またはこの変形の差を直接的または
間接的に測定し、それによって測定すべき圧力に依存す
る測定信号を供する測定装置であると理解すべきであ
る。
圧力測定要素または圧力測定システムを使用することが
できる。圧力測定要素または圧力測定システムとは、以
下において、次のような測定装置であると理解すべきで
ある。すなわち、測定すべき圧力によって引き起こされ
る円筒状領域の変形またはこの変形の差を直接的または
間接的に測定し、それによって測定すべき圧力に依存す
る測定信号を供する測定装置であると理解すべきであ
る。
【００１７】このような測定要素は、円筒状領域に対し
てそれほど力を作用させずに作動するものでもよい、す
なわち例えば変位を測定するものでもよい（容量形シス
テム、ホールセンサ、光学式センサ等）。円筒状領域の
電圧を測定する測定要素（ストレンゲージ）もほとんど
が力を作用させずに作動する。
てそれほど力を作用させずに作動するものでもよい、す
なわち例えば変位を測定するものでもよい（容量形シス
テム、ホールセンサ、光学式センサ等）。円筒状領域の
電圧を測定する測定要素（ストレンゲージ）もほとんど
が力を作用させずに作動する。
【００１８】他の測定要素はその剛性によって、円筒状
領域に作用する圧力または力の大部分を受け止め、その
際発生する力または圧力から信号を得る（圧電要素、力
によって抵抗が変化する半導体等）かあるいは円筒状領
域の変形が圧力媒体を介して圧力測定要素に報告され
る。
領域に作用する圧力または力の大部分を受け止め、その
際発生する力または圧力から信号を得る（圧電要素、力
によって抵抗が変化する半導体等）かあるいは円筒状領
域の変形が圧力媒体を介して圧力測定要素に報告され
る。
【００１９】測定要素は最も簡単な場合には、容量形測
定システムの同じ電位にある一つまたは二つの電極を備
え、対向電極がそれぞれ隣接する円筒状領域によって形
成可能である。
定システムの同じ電位にある一つまたは二つの電極を備
え、対向電極がそれぞれ隣接する円筒状領域によって形
成可能である。
【００２０】更に、測定要素が、ダイアフラム部分のそ
れぞれ円筒状範囲に、場合によっては導電性絶縁層を介
在して取付けられたストレンゲージであってもよい。測
定要素は本発明に従い、圧力付勢時にその電気的な特性
が変化する要素、例えば圧電要素であり、この要素が互
いに付設されたダイアフラム部分の円筒状領域の間、あ
るいは円筒状領域と環状溝の隣接する円筒状壁との間に
設けられている。圧力測定要素はセグメントに分割可能
であるかあるいは例えば圧電フィルムとして設けること
が可能である。
れぞれ円筒状範囲に、場合によっては導電性絶縁層を介
在して取付けられたストレンゲージであってもよい。測
定要素は本発明に従い、圧力付勢時にその電気的な特性
が変化する要素、例えば圧電要素であり、この要素が互
いに付設されたダイアフラム部分の円筒状領域の間、あ
るいは円筒状領域と環状溝の隣接する円筒状壁との間に
設けられている。圧力測定要素はセグメントに分割可能
であるかあるいは例えば圧電フィルムとして設けること
が可能である。
【００２１】更に、本発明に従い、ダイアフラム部分の
Ｕ字状環状室に圧力伝達媒体が充填され、この圧力伝達
媒体がホルダー内に設けた圧力測定要素に接続されてい
るかまたはダイアフラム部分がホルダーの環状溝内に設
けられ、環状溝とダイアフラム部分の間の環状室に圧力
伝達媒体が充填され、この圧力伝達媒体がホルダー内に
設けた圧力要素に接続されている。この変形実施例は特
に、温度が迅速にかつ周期的に変化するときに使用可能
である。この温度変化は圧力伝達媒体の温度変化を実質
的に生じない。
Ｕ字状環状室に圧力伝達媒体が充填され、この圧力伝達
媒体がホルダー内に設けた圧力測定要素に接続されてい
るかまたはダイアフラム部分がホルダーの環状溝内に設
けられ、環状溝とダイアフラム部分の間の環状室に圧力
伝達媒体が充填され、この圧力伝達媒体がホルダー内に
設けた圧力要素に接続されている。この変形実施例は特
に、温度が迅速にかつ周期的に変化するときに使用可能
である。この温度変化は圧力伝達媒体の温度変化を実質
的に生じない。
【００２２】温度変形ひいてはエラー圧力信号（温度ド
リフト）の補償は、簡単な構造の場合には（円筒状領域
が同じ壁厚および同じ材料の場合には）、ほとんど不可
能である。なぜなら、付設の円筒状の両領域の平均の熱
膨張が直径差だけ異なるからである。
リフト）の補償は、簡単な構造の場合には（円筒状領域
が同じ壁厚および同じ材料の場合には）、ほとんど不可
能である。なぜなら、付設の円筒状の両領域の平均の熱
膨張が直径差だけ異なるからである。
【００２３】両領域の膨張差は本発明に従い、例えば、
それぞれ対をなしてまとめられた、ダイアフラム部分の
円筒状領域が、異なる熱膨張係数の材料からなるかまた
は両領域が異なる壁厚（寸法）を有することによって補
償可能である。
それぞれ対をなしてまとめられた、ダイアフラム部分の
円筒状領域が、異なる熱膨張係数の材料からなるかまた
は両領域が異なる壁厚（寸法）を有することによって補
償可能である。
【００２４】例えば非常に短い時間の温度上昇（例えば
燃焼室内の温度上昇）の場合には、媒体に接触するダイ
アフラム部分だけが温められ、ダイアフラム部分によっ
て遮蔽された中央電極は温められない。このような場合
には、内側の円筒状範囲の壁厚を薄くすることにより、
異なる熱膨張を回避することができる。内側の円筒状領
域の小さな寸法により、円筒状領域は高い温度を有し、
外側の円筒状領域に合った変形をする。
燃焼室内の温度上昇）の場合には、媒体に接触するダイ
アフラム部分だけが温められ、ダイアフラム部分によっ
て遮蔽された中央電極は温められない。このような場合
には、内側の円筒状範囲の壁厚を薄くすることにより、
異なる熱膨張を回避することができる。内側の円筒状領
域の小さな寸法により、円筒状領域は高い温度を有し、
外側の円筒状領域に合った変形をする。
【００２５】異なる直径によって生じる信号部分の補償
は、容量形測定システムでは、容量形測定システムの電
極とそれぞれ隣接する円筒状領域との間の円筒状の隙間
が異なる幅を有することによっても達成可能である。そ
の際、両円筒状領域の壁厚が同じであるときには、小さ
な直径を有する円筒状領域に接する隙間は、他方の隙間
よりも小さい。
は、容量形測定システムでは、容量形測定システムの電
極とそれぞれ隣接する円筒状領域との間の円筒状の隙間
が異なる幅を有することによっても達成可能である。そ
の際、両円筒状領域の壁厚が同じであるときには、小さ
な直径を有する円筒状領域に接する隙間は、他方の隙間
よりも小さい。
【００２６】更に、測定要素がＵ字状の環状室内に設け
られた容量形測定システムの電極である圧力センサの場
合には、対向電極はダイアフラム部分の円筒状領域によ
って形成され、この円筒状領域が電気的絶縁層によって
電極に連結されている。
られた容量形測定システムの電極である圧力センサの場
合には、対向電極はダイアフラム部分の円筒状領域によ
って形成され、この円筒状領域が電気的絶縁層によって
電極に連結されている。
【００２７】更に、測定要素はＵ字状環状室内に設けら
れた容量形測定システムの２個の電極を備え、この電極
は電気的な絶縁層によってそれぞれ隣接する円筒状領域
に連結されている。
れた容量形測定システムの２個の電極を備え、この電極
は電気的な絶縁層によってそれぞれ隣接する円筒状領域
に連結されている。
【００２８】機械的な連結部を備えた実施例は、大きく
て薄い電極またはダイアフラム部分の場合に先ず特に、
機械的に安定した構造となり、更に良好に調和したダイ
アフラム材料、電極材料および絶縁材料並びに個々の要
素の調和した厚さによる適切な実施が、温度ドリフトを
最小にすることができる。
て薄い電極またはダイアフラム部分の場合に先ず特に、
機械的に安定した構造となり、更に良好に調和したダイ
アフラム材料、電極材料および絶縁材料並びに個々の要
素の調和した厚さによる適切な実施が、温度ドリフトを
最小にすることができる。
【００２９】更に、本発明に従い、ダイアフラム部分は
監視すべき圧力室内に挿入された部材、例えば点火プラ
グ、グロープラグ、噴射ノズル等に統合されている。
監視すべき圧力室内に挿入された部材、例えば点火プラ
グ、グロープラグ、噴射ノズル等に統合されている。
【００３０】
【実施例】次に、図に基づいて本発明を詳しく説明す
る。図１は本発明による圧力センサの一部の概略的な軸
方向断面図である。図２〜１５は図１の圧力センサの変
形実施例を示す軸方向断面図である。図１６は円環面状
ダイアフラムを備えた本発明による圧力センサを示す図
である。図１７は点火プラグに統合した圧力センサを示
す図である。
る。図１は本発明による圧力センサの一部の概略的な軸
方向断面図である。図２〜１５は図１の圧力センサの変
形実施例を示す軸方向断面図である。図１６は円環面状
ダイアフラムを備えた本発明による圧力センサを示す図
である。図１７は点火プラグに統合した圧力センサを示
す図である。
【００３１】図１〜１７に示した圧力センサの実施例お
よび変形実施例は、ホルダー１上またはホルダー内に設
けられたダイアフラム部分２を備えている。このダイア
フラム部分は測定すべき圧力によって変形し、圧力に左
右される信号を直接または間接的に発生する。ダイアフ
ラム部分２は互いに同心的に配置された円筒状領域３，
４を備えている。この円筒状領域は一つにまとめられて
いるかあるいは複数の対をなすようまとめられている。
円筒状領域相互の半径方向間隔は円筒直径と比較して小
さい（図には誇張して示してある）。測定すべき圧力に
より、円筒状領域３の直径Ｄ1 は大きくなり、円筒状領
域４の直径Ｄ2 は小さくなる。しかし温度変化の際には
直径Ｄ1 とＤ2 は同じように変化する。それによって、
後述の圧力測定要素を適当に接続すると、温度の影響を
受けない信号が発生し、概略的に示した評価装置または
表示装置５内で処理または表示される。
よび変形実施例は、ホルダー１上またはホルダー内に設
けられたダイアフラム部分２を備えている。このダイア
フラム部分は測定すべき圧力によって変形し、圧力に左
右される信号を直接または間接的に発生する。ダイアフ
ラム部分２は互いに同心的に配置された円筒状領域３，
４を備えている。この円筒状領域は一つにまとめられて
いるかあるいは複数の対をなすようまとめられている。
円筒状領域相互の半径方向間隔は円筒直径と比較して小
さい（図には誇張して示してある）。測定すべき圧力に
より、円筒状領域３の直径Ｄ1 は大きくなり、円筒状領
域４の直径Ｄ2 は小さくなる。しかし温度変化の際には
直径Ｄ1 とＤ2 は同じように変化する。それによって、
後述の圧力測定要素を適当に接続すると、温度の影響を
受けない信号が発生し、概略的に示した評価装置または
表示装置５内で処理または表示される。
【００３２】圧力センサは例えばホルダー１に設けられ
たねじ６を介して測定穴に挿着可能である。図１〜９お
よび１７の実施例の場合には、ほぼＵ字形の環状室７を
画成するダイアフラム部分２が外側からホルダー１に固
定され、そして測定すべき圧力によって外側からまたは
環状室７と反対の側から付勢される。これに対して、図
１０〜１５の実施例の場合には、ダイアフラム部分２が
ホルダー１のリング状の溝８内に設けられている。ダイ
アフラム部分２は測定すべき媒体の方へ向かって開放し
ており、内側からまたは環状室の方へ向いた側から、測
定すべき圧力によって付勢される。ダイアフラム部分２
は例えば図１，５，１２または１６に示すように一体の
回転体として形成してもよいし、あるいは例えば図２，
６または１０のように複数の部材によって形成してもよ
い。
たねじ６を介して測定穴に挿着可能である。図１〜９お
よび１７の実施例の場合には、ほぼＵ字形の環状室７を
画成するダイアフラム部分２が外側からホルダー１に固
定され、そして測定すべき圧力によって外側からまたは
環状室７と反対の側から付勢される。これに対して、図
１０〜１５の実施例の場合には、ダイアフラム部分２が
ホルダー１のリング状の溝８内に設けられている。ダイ
アフラム部分２は測定すべき媒体の方へ向かって開放し
ており、内側からまたは環状室の方へ向いた側から、測
定すべき圧力によって付勢される。ダイアフラム部分２
は例えば図１，５，１２または１６に示すように一体の
回転体として形成してもよいし、あるいは例えば図２，
６または１０のように複数の部材によって形成してもよ
い。
【００３３】図１に示した実施例の場合には、ダイアフ
ラム部分２はその自由縁部９がホルダー１に固定され、
そしてそのＵ字形の環状室内に容量形測定システムの円
筒状電極１０を備えている。この電極は導線１１を介し
て評価または表示装置５に接続されている。容量形測定
システムの第２の電極は、零電位にありかつそれぞれ周
方向が閉じたダイアフラム部分２の円筒状領域３，４に
よって形成されている。円筒状の両領域３，４は圧力上
昇時に、電極１０に近接するよう押され、その際その信
号部分は加算される。温度が同時に上昇すると、両直径
Ｄ1 ，Ｄ2 は同じ方向に大きくなり、従って最初の近接
時に、少しだけ異なる直径Ｄ2 ，Ｄ1 を無視すると、温
度上昇が信号に影響を与えることは期待されない。
ラム部分２はその自由縁部９がホルダー１に固定され、
そしてそのＵ字形の環状室内に容量形測定システムの円
筒状電極１０を備えている。この電極は導線１１を介し
て評価または表示装置５に接続されている。容量形測定
システムの第２の電極は、零電位にありかつそれぞれ周
方向が閉じたダイアフラム部分２の円筒状領域３，４に
よって形成されている。円筒状の両領域３，４は圧力上
昇時に、電極１０に近接するよう押され、その際その信
号部分は加算される。温度が同時に上昇すると、両直径
Ｄ1 ，Ｄ2 は同じ方向に大きくなり、従って最初の近接
時に、少しだけ異なる直径Ｄ2 ，Ｄ1 を無視すると、温
度上昇が信号に影響を与えることは期待されない。
【００３４】図１と類似の実施が図５に示してある。こ
の場合、複数の対をなした同心の領域３，４が一つのダ
イアフムラム部分２にまとめられている。個々の環状室
７内に沈められた円筒状電極１０の複数の信号部分は、
合計されて一つの出力信号となる。ダイアフラム部分２
はその縁部９および湾曲した領域９′をホルダー１に連
結可能である。
の場合、複数の対をなした同心の領域３，４が一つのダ
イアフムラム部分２にまとめられている。個々の環状室
７内に沈められた円筒状電極１０の複数の信号部分は、
合計されて一つの出力信号となる。ダイアフラム部分２
はその縁部９および湾曲した領域９′をホルダー１に連
結可能である。
【００３５】ダイアフラム部分２は図２，６に示すよう
に、複数の部材によって形成可能である。この場合、円
筒状領域３，４のそれぞれ一方の縁部９がホルダー１に
固定され、ホルダーから突出する縁部１２（またはホル
ダーの溝８に挿入された縁部）が対を成して支持要素１
３に連結されている。図２，６の簡単な変形実施例で
は、円筒状領域３，４がそれぞれ容量形測定システムの
円筒状の電極または対向電極を形成している。支持要素
１３は同時に電気的な絶縁体としての働きをする。
に、複数の部材によって形成可能である。この場合、円
筒状領域３，４のそれぞれ一方の縁部９がホルダー１に
固定され、ホルダーから突出する縁部１２（またはホル
ダーの溝８に挿入された縁部）が対を成して支持要素１
３に連結されている。図２，６の簡単な変形実施例で
は、円筒状領域３，４がそれぞれ容量形測定システムの
円筒状の電極または対向電極を形成している。支持要素
１３は同時に電気的な絶縁体としての働きをする。
【００３６】図３は機械的に非常に安定した変形実施例
を示している。この場合、環状室７内にある円筒状電極
４′が絶縁層１４を介在して円筒状領域４に接続されて
いる。
を示している。この場合、環状室７内にある円筒状電極
４′が絶縁層１４を介在して円筒状領域４に接続されて
いる。
【００３７】図４の実施例の場合には、金属製ダイアフ
ラム部分２がその円筒状領域３，４の内面に、それぞれ
絶縁層１６，１７を備えている。この絶縁層は容量形測
定システムの電極３′，４′を持っている。この構造に
より、外側の電界が電極３′，４′によって遮蔽され
る。電極３′，４′は導線１１，１１′を介して評価装
置または表示装置５に接続されている。絶縁層は電極
３′，４′の代わりに、ストレンゲージ１８を圧力測定
要素として持っていてもよい。
ラム部分２がその円筒状領域３，４の内面に、それぞれ
絶縁層１６，１７を備えている。この絶縁層は容量形測
定システムの電極３′，４′を持っている。この構造に
より、外側の電界が電極３′，４′によって遮蔽され
る。電極３′，４′は導線１１，１１′を介して評価装
置または表示装置５に接続されている。絶縁層は電極
３′，４′の代わりに、ストレンゲージ１８を圧力測定
要素として持っていてもよい。
【００３８】ダイアフラム部分２は電気的な絶縁体から
なっていてもよい。この絶縁体の円筒状領域３，４は容
量形測定システムの電極を持っている。更に、円筒状領
域３，４の異なる直径Ｄ1 とＤ2 によって生じる温度ド
リフトを最小にするために、異なる手段が考えられる。
例えば、図７に示した実施例に従って、温度変化による
信号の影響を或る範囲内で相殺するように、円筒状領域
３または４と円筒状電極１０の間の隙間ａ1 とａ2 を異
なる幅に形成することができる。更に、図７に示すよう
に、ダイアフラム部分２の円筒状の両領域３，４を、異
なる熱膨張係数を有する材料で作ることができるし、ま
た両領域にとって異なる壁厚または寸法を選択すること
ができる。異なる両領域３，４は互いに溶接可能である
（溶接継ぎ目１５参照）かあるいは図２に従って既述の
絶縁支持要素１３によって圧力を漏らさぬように連結可
能である。
なっていてもよい。この絶縁体の円筒状領域３，４は容
量形測定システムの電極を持っている。更に、円筒状領
域３，４の異なる直径Ｄ1 とＤ2 によって生じる温度ド
リフトを最小にするために、異なる手段が考えられる。
例えば、図７に示した実施例に従って、温度変化による
信号の影響を或る範囲内で相殺するように、円筒状領域
３または４と円筒状電極１０の間の隙間ａ1 とａ2 を異
なる幅に形成することができる。更に、図７に示すよう
に、ダイアフラム部分２の円筒状の両領域３，４を、異
なる熱膨張係数を有する材料で作ることができるし、ま
た両領域にとって異なる壁厚または寸法を選択すること
ができる。異なる両領域３，４は互いに溶接可能である
（溶接継ぎ目１５参照）かあるいは図２に従って既述の
絶縁支持要素１３によって圧力を漏らさぬように連結可
能である。
【００３９】他の圧力測定要素として、図８に従って、
圧力に敏感な要素、例えば圧電要素１９を用いることが
できる。この圧電要素はセグメントをなしてあるいは圧
電フィルムまたは箔として、ダイアフラム部分２の円筒
状要素３，４の間または円筒状領域３，４のそれぞれ一
方と環状溝８の隣接する円筒状壁の間（図１４参照）に
設けられている。しかし、圧力付勢時に電気特性を変え
る他の要素を使用することができる。これは例えば、機
械的な負荷によって抵抗が変わる半導体である。
圧力に敏感な要素、例えば圧電要素１９を用いることが
できる。この圧電要素はセグメントをなしてあるいは圧
電フィルムまたは箔として、ダイアフラム部分２の円筒
状要素３，４の間または円筒状領域３，４のそれぞれ一
方と環状溝８の隣接する円筒状壁の間（図１４参照）に
設けられている。しかし、圧力付勢時に電気特性を変え
る他の要素を使用することができる。これは例えば、機
械的な負荷によって抵抗が変わる半導体である。
【００４０】図９に示した変形実施例の場合には、ダイ
アフラム部分２の円筒状の両領域３，４の間の環状室７
に、圧力伝達媒体２０が設けられている。圧力伝達媒体
はホルダー１内に設けた圧力測定要素２１に接続されて
いる。ホルダー１の環状溝８内に設けたダイアフラム部
分２を備えた類似の変形実施例が図１５に示してある。
この場合、圧力伝達媒体３０は環状溝８とその中に設け
たダイアフラム部分２とによって画成された環状室２７
内にある。
アフラム部分２の円筒状の両領域３，４の間の環状室７
に、圧力伝達媒体２０が設けられている。圧力伝達媒体
はホルダー１内に設けた圧力測定要素２１に接続されて
いる。ホルダー１の環状溝８内に設けたダイアフラム部
分２を備えた類似の変形実施例が図１５に示してある。
この場合、圧力伝達媒体３０は環状溝８とその中に設け
たダイアフラム部分２とによって画成された環状室２７
内にある。
【００４１】すべて死空間が非常に小さい図１０〜１５
の実施例の場合には、ダイアフラム部分２はセンサケー
シングを形成するホルダー１の環状溝８内に設けられて
いる。溝８は、ダイアフラム部分２を保持する狭い縁部
領域２３に接続して、拡大部または凹部を備えている。
この拡大部または凹部は、円筒状領域３，４を開放する
ためおよびまたは圧力測定要素を収容するために役立
つ。
の実施例の場合には、ダイアフラム部分２はセンサケー
シングを形成するホルダー１の環状溝８内に設けられて
いる。溝８は、ダイアフラム部分２を保持する狭い縁部
領域２３に接続して、拡大部または凹部を備えている。
この拡大部または凹部は、円筒状領域３，４を開放する
ためおよびまたは圧力測定要素を収容するために役立
つ。
【００４２】例えば図１０，１１および１４に示すよう
に、円筒状領域３，４は溝８の下側範囲の縁部１２のと
ころで付加的に固定可能である。それにより、頑丈で振
動に敏感でない圧力センサが生じる。図１０では円筒状
の両領域３，４が容量形測定システムの電極＋対向電極
を形成している。そのうち、一方は零電位にあり、他方
はホルダー１に対して電気的に絶縁されている。図１１
では、ダイアフラム部分２は全体が零電位にあり、絶縁
層１６，１７上の二つの電極１０，１０′が容量形測定
システムの二つの電極を形成している。ケーシングまた
はホルダー１が電気的な絶縁材料からなるときには、絶
縁層は省略可能である。
に、円筒状領域３，４は溝８の下側範囲の縁部１２のと
ころで付加的に固定可能である。それにより、頑丈で振
動に敏感でない圧力センサが生じる。図１０では円筒状
の両領域３，４が容量形測定システムの電極＋対向電極
を形成している。そのうち、一方は零電位にあり、他方
はホルダー１に対して電気的に絶縁されている。図１１
では、ダイアフラム部分２は全体が零電位にあり、絶縁
層１６，１７上の二つの電極１０，１０′が容量形測定
システムの二つの電極を形成している。ケーシングまた
はホルダー１が電気的な絶縁材料からなるときには、絶
縁層は省略可能である。
【００４３】図１２または１３の変形実施例は機能原理
の点で図１１または１０の実施例と同じである。この場
合、円筒状領域３，４がそれぞれ一方の縁部９のところ
でのみホルダー１に連結され、他方の縁部は溝８内に自
由に挿入されている。ダイアフラム部分２は図１２では
一体の回転体として形成され、図１３では別個の２個の
円筒状部分からなっている。この円筒状部分は絶縁支持
要素１３によって連結されている。
の点で図１１または１０の実施例と同じである。この場
合、円筒状領域３，４がそれぞれ一方の縁部９のところ
でのみホルダー１に連結され、他方の縁部は溝８内に自
由に挿入されている。ダイアフラム部分２は図１２では
一体の回転体として形成され、図１３では別個の２個の
円筒状部分からなっている。この円筒状部分は絶縁支持
要素１３によって連結されている。
【００４４】図１３に点線で示すように、この実施例の
場合にも、容量形測定システムの代わりにストレンゲー
ジ１８を設けることができる。このストレンゲージは円
筒状の領域３，４に直接取付けられるかあるいは絶縁層
を介在して取付けられる。
場合にも、容量形測定システムの代わりにストレンゲー
ジ１８を設けることができる。このストレンゲージは円
筒状の領域３，４に直接取付けられるかあるいは絶縁層
を介在して取付けられる。
【００４５】図１６に示した変形実施例は、閉じた円環
面状ダイアフラム部分２を備えた圧力センサを示してい
る。円筒状領域３，４は閉じた環状室２４を半径方向に
おいて画成している。この環状室は圧力測定要素、図示
例では容量形測定システムの電極１０を収容している。
円筒状電極１０は電気的に絶縁された支持要素２５を介
してダイアフラム部分２に支持されている。ホルダー１
が絶縁されたケーブルとして形成されているときには、
ダイアフラム部分２と電極１０に接触する導線１１，１
１′がこのケーブルに収容される。
面状ダイアフラム部分２を備えた圧力センサを示してい
る。円筒状領域３，４は閉じた環状室２４を半径方向に
おいて画成している。この環状室は圧力測定要素、図示
例では容量形測定システムの電極１０を収容している。
円筒状電極１０は電気的に絶縁された支持要素２５を介
してダイアフラム部分２に支持されている。ホルダー１
が絶縁されたケーブルとして形成されているときには、
ダイアフラム部分２と電極１０に接触する導線１１，１
１′がこのケーブルに収容される。
【００４６】本発明に基づく測定原理は、同心の二つの
球面を備えたダイアフラム部分に適用可能である。この
場合、一方の球面は外側から圧力によって付勢され、他
方の球面は球面に設けた少なくとも一つの穴を経て内側
から圧力で付勢される。両球面の間には、前述の実施例
に基づいて述べた圧力測定要素の一つが設けられてい
る。
球面を備えたダイアフラム部分に適用可能である。この
場合、一方の球面は外側から圧力によって付勢され、他
方の球面は球面に設けた少なくとも一つの穴を経て内側
から圧力で付勢される。両球面の間には、前述の実施例
に基づいて述べた圧力測定要素の一つが設けられてい
る。
【００４７】圧力センサの上記実施例は、図１７に示す
ように、例えば内燃機関の圧力室内に突出する点火プラ
グ（グロープラグ、噴射ノズル等でもよい）の前方部分
に統合可能である。この場合、ダイアフラム部分の実施
例は図１または図７と類似のものが選択されている。
ように、例えば内燃機関の圧力室内に突出する点火プラ
グ（グロープラグ、噴射ノズル等でもよい）の前方部分
に統合可能である。この場合、ダイアフラム部分の実施
例は図１または図７と類似のものが選択されている。
【００４８】
【発明の効果】本発明による圧力センサは、いかなる場
合でも短時間の温度の急激な変化を効果的に補償するこ
とができるという利点がある。
合でも短時間の温度の急激な変化を効果的に補償するこ
とができるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による圧力センサの一部の概略的な軸方
向断面図である。
向断面図である。
【図２】図１の圧力センサの変形実施例を示す軸方向断
面図である。
面図である。
【図３】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸方
向断面図である。
向断面図である。
【図４】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸方
向断面図である。
向断面図である。
【図５】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸方
向断面図である。
向断面図である。
【図６】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸方
向断面図である。
向断面図である。
【図７】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸方
向断面図である。
向断面図である。
【図８】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸方
向断面図である。
向断面図である。
【図９】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸方
向断面図である。
向断面図である。
【図１０】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸
方向断面図である。
方向断面図である。
【図１１】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸
方向断面図である。
方向断面図である。
【図１２】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸
方向断面図である。
方向断面図である。
【図１３】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸
方向断面図である。
方向断面図である。
【図１４】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸
方向断面図である。
方向断面図である。
【図１５】図１の圧力センサの他の変形実施例を示す軸
方向断面図である。
方向断面図である。
【図１６】円環面状ダイアフラムを備えた本発明による
圧力センサを示す図である。
圧力センサを示す図である。
【図１７】図１７は点火プラグに統合した圧力センサを
示す図である。
示す図である。
１ ホルダー ２ ダイアフラム部分 ３，４ ダイアフラム部分の円筒状領域 ３′，４′，１０，１８，１９ 圧力測定要素 Ｄ1 ，Ｄ2 ダイアフラム部分の円筒状領域の直径
Claims (20)
- 【請求項１】 ホルダー（１）に固定され測定すべき圧
力によって変形可能である、少なくとも間接的に信号を
発生するダイアフラム部分（２）を備え、このダイアフ
ラム部分が場合によっては圧力測定要素（３′，４′；
１０；１８；１９）と協働する圧力センサにおいて、ダ
イアフラム部分（２）が少なくとも１対の円筒状領域
（３，４）を備え、この円筒状領域が短い距離をおいて
互いに同心的に設けられ、かつそれぞれ周方向において
閉じており、一方の円筒状領域（３）がその直径
（Ｄ1 ）を拡大する方向に圧力によって付勢可能あり、
他方の円筒状領域（４）がその直径（Ｄ2 ）を縮小する
方向に圧力によって付勢可能であり、温度変化時に両直
径（Ｄ1 Ｄ2 ）が同じ方向に変化することを特徴とする
圧力センサ。 - 【請求項２】 ダイアフラム部分（２）が一体の回転体
として形成され、かつＵ字状横断面を有する少なくとも
一つの環状室（７）を形成し、円筒状範囲（３，４）が
半径方向において環状室（７）を画成し、円筒状範囲
（３，４）の自由縁部（９）がホルダー（１）に固定さ
れていることを特徴とする請求項１の圧力センサ。 - 【請求項３】 ダイアフラム部分（２）が複数の部材に
よって形成され、互いに同心的に配置された円筒状領域
（３，４）のそれぞれ二つがＵ字状横断面を有する環状
室（７）を形成し、かつ少なくともそれぞれ一つの縁部
（９）がホルダー（１）に固定されていることを特徴と
する請求項１の圧力センサ。 - 【請求項４】 ホルダー（１）から突出する円筒状領域
（３，４）の縁部（１２）が対をなして支持要素（１
３）に連結されていることを特徴とする請求項３の圧力
センサ。 - 【請求項５】 互いに同心的に配置されたそれぞれ二つ
の円筒状範囲（３，４）が導電性の材料からなり、互い
に絶縁され、そして容量形測定システムの電極および対
向電極として形成されていることを特徴する請求項３ま
たは４の圧力センサ。 - 【請求項６】 ダイアフラム部分（２）がＵ字状環状室
（７）と反対の側から、測定すべき圧力によって付勢可
能であり、Ｕ字状環状室（７）内に少なくとも１個の圧
力測定要素（３′，４′；１０；１８；１９）が設けら
れていることを特徴とする請求項２から４までのいずれ
か一つの圧力センサ。 - 【請求項７】 測定要素がＵ字状の環状室（７）内に設
けられた容量形測定システムの電極（４′）であり、対
向電極がダイアフラム部分の円筒状領域（３，４）によ
って形成され、この円筒状領域が電気的絶縁層（１４）
によって電極（４′）に連結されていることを特徴とす
る請求項６の圧力センサ。 - 【請求項８】 測定要素がＵ字状環状室（７）内に設け
られた容量形測定システムの２個の電極（３′，４′）
を備え、この電極が電気的な絶縁層（１６，１７）によ
ってそれぞれ隣接する円筒状領域（３，４）に連結され
ていることを特徴とする請求項６の圧力センサ。 - 【請求項９】 ダイアフラム部分（２）がホルダー
（１）の環状溝（８）内に設けられ、ダイアフラム部分
（２）がＵ字形環状室（７）寄りの側から、測定すべき
圧力によって付勢可能であり、ダイアフラム部分（２）
の各々の円筒状領域（３，４）と環状溝（８）の円筒状
壁部との間に、圧力測定要素（１０；１８；１９）が設
けられていることを特徴とする請求項２から４までのい
ずれか一つの圧力センサ。 - 【請求項１０】 ダイアフラム部分（２）が円環面状に
閉鎖形成され、円筒状領域（３，４）が圧力測定要素
（１０；１８；１９）を収容する閉じた環状室（２４）
の同心的な画成面を形成していることを特徴とする請求
項１の圧力センサ。 - 【請求項１１】 測定要素が容量形測定システムの電極
（１０）であり、この電極が電気的な絶縁を行う支持要
素（２５）を介して円環面状のダイアフラム部分（２）
に支持されていることを特徴とする請求項１０の圧力セ
ンサ。 - 【請求項１２】 測定要素が容量形測定システムの同じ
電位にある一つの電極（１０）または二つの電極（１
０，１０′）を備え、対向電極がそれぞれ隣接する円筒
状領域（３，４）によって形成されていることを特徴と
する請求項６または９の圧力センサ。 - 【請求項１３】 容量形測定システムの電極（１０，１
０′）とそれぞれ隣接する円筒状領域（３，４）の間の
円筒状隙間（ａ1 ，ａ2 ）の幅が異なっていることを特
徴とする請求項１２の圧力センサ。 - 【請求項１４】 測定要素が、ダイアフラム部分（２）
のそれぞれ円筒状範囲（３，４）に、場合によっては導
電性絶縁層（１８，１７）を介在して取付けられたスト
レンゲージであることを特徴とする請求項６，９，１０
のいずれか一つの圧力センサ。 - 【請求項１５】 測定要素が圧力付勢時にその電気的な
特性が変化する要素、例えば圧電要素（１９）であり、
この要素が互いに付設されたダイアフラム部分（２）の
円筒状領域（３，４）の間、あるいは円筒状領域（３，
４）と環状溝（８）の隣接する円筒状壁との間に設けら
れていることを特徴とする請求項６，９，１０のいずれ
か一つの圧力センサ。 - 【請求項１６】 ダイアフラム部分（２）のＵ字状環状
室（７）に圧力伝達媒体（２０）が充填され、この圧力
伝達媒体がホルダー（１）内に設けた圧力測定要素（２
１）に接続されていることを特徴とする請求項２から４
までのいずれか一つの圧力センサ。 - 【請求項１７】 ダイアフラム部分（２）がホルダー
（１）の環状溝（８）内に設けられ、環状溝（８）とダ
イアフラム部分（２）の間の環状室（２２）に圧力伝達
媒体（２０）が充填され、この圧力伝達媒体がホルダー
（１）内に設けた圧力要素（２１）に接続されているこ
とを特徴とする請求項２から４までのいずれか一つの圧
力センサ。 - 【請求項１８】 それぞれ対をなしてまとめられたダイ
アフラム部分（２）の円筒状領域（３，４）が熱膨張係
数の異なる材料からなっていることを特徴とする請求項
１から１７までのいずれか一つの圧力センサ。 - 【請求項１９】 それぞれ対をなしてまとめられたダイ
アフラム部分（２）の円筒状領域（３，４）が異なる壁
厚を有することを特徴とする請求項２から１８までのい
ずれか一つの圧力センサ。 - 【請求項２０】 ダイアフラム部分（２）が監視すべき
圧力室内に挿入された部材（２６）、例えば点火プラ
グ、グロープラグ、噴射ノズル等に統合されていること
を特徴とする請求項２から１９までのいずれか一つの圧
力センサ。
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|---|---|---|---|
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960213 |