JPH046890B2 - - Google Patents
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- JPH046890B2 JPH046890B2 JP57058059A JP5805982A JPH046890B2 JP H046890 B2 JPH046890 B2 JP H046890B2 JP 57058059 A JP57058059 A JP 57058059A JP 5805982 A JP5805982 A JP 5805982A JP H046890 B2 JPH046890 B2 JP H046890B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/02—Arrangements for preventing, or for compensating for, effects of inclination or acceleration of the measuring device; Zero-setting means
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は試験または実験用、あるいは一般工
業計測器の校正用圧力計に関するものである。
業計測器の校正用圧力計に関するものである。
従来のワイドレンジ圧力計は、１つのセンサで
ワイドレンジをカバーしているため、低レンジに
おいてはセンサの出力が微少になり、増巾部のゲ
インが高くなつてしまい、ゼロ点の安定性に問題
があつた。また、従来の高精度圧力計はレンジア
ビリテイが小さく（例えば１：５）、したがつて
広い圧力範囲にわたつて使用する場合は各々のレ
ンジの圧力計を数台必要とした。さらに、従来の
圧力計は気体のみならず液体の圧力測定のために
受圧ダイアフラムまたは受圧ベロー等を用い、測
定流体と検出部とを隔離し、検出部内部に封入液
が封入されている場合が多く、この場合には圧力
計を傾けたときの封入液のヘツドによる傾斜誤差
が大となる欠点があつた。
ワイドレンジをカバーしているため、低レンジに
おいてはセンサの出力が微少になり、増巾部のゲ
インが高くなつてしまい、ゼロ点の安定性に問題
があつた。また、従来の高精度圧力計はレンジア
ビリテイが小さく（例えば１：５）、したがつて
広い圧力範囲にわたつて使用する場合は各々のレ
ンジの圧力計を数台必要とした。さらに、従来の
圧力計は気体のみならず液体の圧力測定のために
受圧ダイアフラムまたは受圧ベロー等を用い、測
定流体と検出部とを隔離し、検出部内部に封入液
が封入されている場合が多く、この場合には圧力
計を傾けたときの封入液のヘツドによる傾斜誤差
が大となる欠点があつた。
この発明は、上記の問題点に鑑みなされたもの
で、その目的とするところはレンジアビリテイの
向上を図るとともに装置の姿勢（傾斜）の変化に
起因する誤差の低減を図つた高精度の圧力測定装
置を提供することにある。
で、その目的とするところはレンジアビリテイの
向上を図るとともに装置の姿勢（傾斜）の変化に
起因する誤差の低減を図つた高精度の圧力測定装
置を提供することにある。
上記の目的は、この発明によれば、測定圧力の
大、小に応じて低圧または高圧の圧力測定用セル
から選択的に検出出力を取り出しうるように圧力
測定装置において、 隔壁板１２で分割された２つの空間を有し圧力
導入口１１，１１を介して低圧および高圧が導入
されるフランジ７と、それぞれの圧力導入空間に
おけるフランジ内側面との間にシール室を構成す
るとともに各々の受圧面が対向するようにしかも
互いに近接して配置される一対の受圧ダイアフラ
ム５，６とからなる圧力導入部と、 内部空間を有する絶縁体と、この内部空間を２
つの測定室に分割する剛性の高い高圧検出ダイア
フラム３とを有する高圧測定用セル１と、 内部空間を有する絶縁体と、この内部空間を２
つの測定室に分割する剛性の低い低圧検出ダイア
フラム４とを有する低圧測定用セル２と、 前記高圧測定用セル１の一方の測定室と前記低
圧測定用セル２の一方の測定室と前記圧力導入部
の一方のシール室との間を連通する流体通路１３
と、前記高圧測定用セル１の他方の測定室と前記
低圧測定用セル２の他方の測定室と前記圧力導入
部の他方のシール室との間を連通する流体通路１
４，１５と、 前記流体通路１３，１４，１５内に充填される
非圧縮性の封入液８とを具備することにより達成
される。
大、小に応じて低圧または高圧の圧力測定用セル
から選択的に検出出力を取り出しうるように圧力
測定装置において、 隔壁板１２で分割された２つの空間を有し圧力
導入口１１，１１を介して低圧および高圧が導入
されるフランジ７と、それぞれの圧力導入空間に
おけるフランジ内側面との間にシール室を構成す
るとともに各々の受圧面が対向するようにしかも
互いに近接して配置される一対の受圧ダイアフラ
ム５，６とからなる圧力導入部と、 内部空間を有する絶縁体と、この内部空間を２
つの測定室に分割する剛性の高い高圧検出ダイア
フラム３とを有する高圧測定用セル１と、 内部空間を有する絶縁体と、この内部空間を２
つの測定室に分割する剛性の低い低圧検出ダイア
フラム４とを有する低圧測定用セル２と、 前記高圧測定用セル１の一方の測定室と前記低
圧測定用セル２の一方の測定室と前記圧力導入部
の一方のシール室との間を連通する流体通路１３
と、前記高圧測定用セル１の他方の測定室と前記
低圧測定用セル２の他方の測定室と前記圧力導入
部の他方のシール室との間を連通する流体通路１
４，１５と、 前記流体通路１３，１４，１５内に充填される
非圧縮性の封入液８とを具備することにより達成
される。
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明
する。
する。
第１図はこの発明の実施例を示す構成図であ
る。
る。
この発明による圧力測定装置は、測定圧力を電
気信号に変換する高圧測定用セル１、低圧測定用
セル２、受圧ダイアフラム５，６および隔離板１
２を有するフランジ７、このフランジ部７とセル
部１，２を接続する流体通路としての接続パイプ
１３，１５、高，低圧測定用セル１，２間を接続
する流体通路としての接続パイプ１４等で構成さ
れる。なお、３は高圧検出ダイアフラム、４は低
圧検出ダイアフラム、９は固定電極、１０は電子
回路、１１は圧力導入口で、接続パイプ１３〜１
５の中にはそれぞれ封入液８が封入されている。
気信号に変換する高圧測定用セル１、低圧測定用
セル２、受圧ダイアフラム５，６および隔離板１
２を有するフランジ７、このフランジ部７とセル
部１，２を接続する流体通路としての接続パイプ
１３，１５、高，低圧測定用セル１，２間を接続
する流体通路としての接続パイプ１４等で構成さ
れる。なお、３は高圧検出ダイアフラム、４は低
圧検出ダイアフラム、９は固定電極、１０は電子
回路、１１は圧力導入口で、接続パイプ１３〜１
５の中にはそれぞれ封入液８が封入されている。
したがつて、圧力導入口１１を介して受圧ダイ
アフラム５，６が圧力を受けて変位すると、接続
パイプ１３，１５中の封入液８が移動し、該封入
液８の移動によつて高圧検出セル１の検出ダイア
フラム３および低圧検出セル２の検出ダイアフラ
ム４に測定圧力が伝達され、検出ダイアフラム
３，４は測定圧力に比例して変位する。この実施
例において、圧力検出セル１，２には検出ダイア
フラム３，４に対向して図の如く一対の固定電極
９が設けられており、ダイアフラム３，４は該固
定電極９に対して可動電極を構成する。このため
検出ダイアフラム３，４の変位に応じて該ダイア
フラムと固定電極９との間隔が変化するので、電
子回路１０では静電容量変化として取り出すこと
ができる。このようにすることにより、低圧の場
合は低圧検出セル２より、また高圧の場合は高圧
検出セル１より選択的に出力を取り出すことがで
きる。なお、この場合、圧力導入部と圧力検出部
とは互いに封入液が封入されたパイプによつて連
接されているため、圧力は高圧セル１、低圧セル
２の双方に伝達されるが、低圧の場合は検出ダイ
アフラム３は殆んど変位せず専ら検出ダイアフラ
ム４が有効に働くこととなり、一方高圧の場合は
検出ダイアフラム４が大きく変位し、固定電極９
に接触して無効となる（このため、固定電極９は
ダイアフラムのバツクアツプとしての役目も果し
ている。）ので、検出ダイアフラム３側が有効に
作用することになるものである。このように、接
続パイプ１３〜１５内の封入液によつて圧力導入
口と圧力検出セルとが互いにつながることになる
から、高圧と低圧の圧力導入口の間隔を小さくす
ることと相俟つて、封入液の移動を小さくするこ
とができるので、姿勢による誤差が殆んど生じな
い。
アフラム５，６が圧力を受けて変位すると、接続
パイプ１３，１５中の封入液８が移動し、該封入
液８の移動によつて高圧検出セル１の検出ダイア
フラム３および低圧検出セル２の検出ダイアフラ
ム４に測定圧力が伝達され、検出ダイアフラム
３，４は測定圧力に比例して変位する。この実施
例において、圧力検出セル１，２には検出ダイア
フラム３，４に対向して図の如く一対の固定電極
９が設けられており、ダイアフラム３，４は該固
定電極９に対して可動電極を構成する。このため
検出ダイアフラム３，４の変位に応じて該ダイア
フラムと固定電極９との間隔が変化するので、電
子回路１０では静電容量変化として取り出すこと
ができる。このようにすることにより、低圧の場
合は低圧検出セル２より、また高圧の場合は高圧
検出セル１より選択的に出力を取り出すことがで
きる。なお、この場合、圧力導入部と圧力検出部
とは互いに封入液が封入されたパイプによつて連
接されているため、圧力は高圧セル１、低圧セル
２の双方に伝達されるが、低圧の場合は検出ダイ
アフラム３は殆んど変位せず専ら検出ダイアフラ
ム４が有効に働くこととなり、一方高圧の場合は
検出ダイアフラム４が大きく変位し、固定電極９
に接触して無効となる（このため、固定電極９は
ダイアフラムのバツクアツプとしての役目も果し
ている。）ので、検出ダイアフラム３側が有効に
作用することになるものである。このように、接
続パイプ１３〜１５内の封入液によつて圧力導入
口と圧力検出セルとが互いにつながることになる
から、高圧と低圧の圧力導入口の間隔を小さくす
ることと相俟つて、封入液の移動を小さくするこ
とができるので、姿勢による誤差が殆んど生じな
い。
また、この圧力測定装置において、低圧側に
Ｐ、高圧側にＰ＋ΔPなる圧力を導入してその差
圧ΔPを測定する場合においても、差圧ΔPの大き
さに応じて高圧セルまたは低圧セルを選択するこ
とによつて高精度の測定が可能となる。
Ｐ、高圧側にＰ＋ΔPなる圧力を導入してその差
圧ΔPを測定する場合においても、差圧ΔPの大き
さに応じて高圧セルまたは低圧セルを選択するこ
とによつて高精度の測定が可能となる。
なお、傾斜誤差または姿勢誤差について改善で
きる理由は次の通りである。
きる理由は次の通りである。
まず、従来装置の傾斜誤差または姿勢誤差につ
いて説明する。第２図はこの種の従来の圧力測定
装置の基本構成図を示し、(A)は検出ダイアフラム
を垂直状態にして使用する場合、(B)は検出ダイア
フラムを水平状態にして使用する場合を示す。し
かして、この第２図(A)において、２つの金属リン
グ２０，２１内には絶縁体２２，２３がそれぞれ
充填されており、この金属リング２０，２１は検
出ダイアフラム２８を挟んで溶接接合される。検
出ダイアフラム２８に向く絶縁体２２，２３の面
は凹面状に形成されて、それぞれ電極２９，３０
が設けられている。また、金属リング２０，２１
にはそれぞれ受圧ダイアフラム２６，２７が取付
けられており、絶縁体２２，２３には貫通孔２
４，２５が明けられている。そして、検出ダイア
フラム２８および受圧ダイアフラム２６，２７に
よつて形成された空間には封入液が充填されてい
る。しかして、異なつた圧力P1，P2が両側から
作用すると、その差圧ΔP（＝P2−P1）に応じて
検出ダイアフラム２８が変位し、それが容量変化
として取出される。
いて説明する。第２図はこの種の従来の圧力測定
装置の基本構成図を示し、(A)は検出ダイアフラム
を垂直状態にして使用する場合、(B)は検出ダイア
フラムを水平状態にして使用する場合を示す。し
かして、この第２図(A)において、２つの金属リン
グ２０，２１内には絶縁体２２，２３がそれぞれ
充填されており、この金属リング２０，２１は検
出ダイアフラム２８を挟んで溶接接合される。検
出ダイアフラム２８に向く絶縁体２２，２３の面
は凹面状に形成されて、それぞれ電極２９，３０
が設けられている。また、金属リング２０，２１
にはそれぞれ受圧ダイアフラム２６，２７が取付
けられており、絶縁体２２，２３には貫通孔２
４，２５が明けられている。そして、検出ダイア
フラム２８および受圧ダイアフラム２６，２７に
よつて形成された空間には封入液が充填されてい
る。しかして、異なつた圧力P1，P2が両側から
作用すると、その差圧ΔP（＝P2−P1）に応じて
検出ダイアフラム２８が変位し、それが容量変化
として取出される。
この従来装置においては、たとえば第２図(A)に
示すように、検出ダイアフラム２８を垂直状態に
して使用する場合には、検出ダイアフラム２８は
差圧ΔPのみを受けるので、特に姿勢誤差は生じ
ない。
示すように、検出ダイアフラム２８を垂直状態に
して使用する場合には、検出ダイアフラム２８は
差圧ΔPのみを受けるので、特に姿勢誤差は生じ
ない。
ところが、第２図(B)に示すように、検出ダイア
フラム２８を水平状態にして使用する場合には、
検出ダイアフラム２８には、差圧ΔP（＝P2−P1）
のほかに、ヘツド差Ｈに基づく重力を受ける。こ
の重力によつて検出ダイアフラム２８は変位させ
られ、それが誤差（つまり姿勢誤差）として発生
する。なお、Ｈは約50mm程度である。そして、検
出ダイアフラム２８を傾斜状態で使用すれば、傾
斜誤差が生じる。このように、従来装置において
は、検出ダイアフラムの使用時の姿勢に起因する
誤差（姿勢誤差）が生じる。
フラム２８を水平状態にして使用する場合には、
検出ダイアフラム２８には、差圧ΔP（＝P2−P1）
のほかに、ヘツド差Ｈに基づく重力を受ける。こ
の重力によつて検出ダイアフラム２８は変位させ
られ、それが誤差（つまり姿勢誤差）として発生
する。なお、Ｈは約50mm程度である。そして、検
出ダイアフラム２８を傾斜状態で使用すれば、傾
斜誤差が生じる。このように、従来装置において
は、検出ダイアフラムの使用時の姿勢に起因する
誤差（姿勢誤差）が生じる。
一方、本発明においては、第１図における検出
ダイアフラム３，４が水平状態になるようにして
装置全体を水平設置したとしても、パイプ１４に
よつて検出ダイアフラム３，４のそれぞれの片側
には同じ圧力が作用するので、セル１，２におい
てはヘツド差に起因する誤差（姿勢誤差）は生じ
ない。なお、受圧ダイアフラム５，６間にはヘツ
ド差が生ずるが、このヘツド差は非常に微小、た
とえば４〜５mm程度にすることができるので、こ
のヘツド差に起因する誤差は無視し得る。この点
を第３図及び第４図に基づいてさらに詳細に説明
する。なお、説明を簡略化するために以下におい
ては、受圧ダイアフラムには大気圧のみが作用し
ているものとする。
ダイアフラム３，４が水平状態になるようにして
装置全体を水平設置したとしても、パイプ１４に
よつて検出ダイアフラム３，４のそれぞれの片側
には同じ圧力が作用するので、セル１，２におい
てはヘツド差に起因する誤差（姿勢誤差）は生じ
ない。なお、受圧ダイアフラム５，６間にはヘツ
ド差が生ずるが、このヘツド差は非常に微小、た
とえば４〜５mm程度にすることができるので、こ
のヘツド差に起因する誤差は無視し得る。この点
を第３図及び第４図に基づいてさらに詳細に説明
する。なお、説明を簡略化するために以下におい
ては、受圧ダイアフラムには大気圧のみが作用し
ているものとする。
第３図は、従来装置が水平状態からθ度だけ傾
いている状態を示す図である。
いている状態を示す図である。
いま、大気圧をPO、封入液の比重をρ、受圧
ダイアフラム２６，２６間の距離をＨ、受圧ダイ
アフラム２６の中心（基準点）と検出ダイアフラ
ム２８の中心（基準点）との垂直方向に沿つた距
離をｈ、検出ダイアフラム２８の両側に作用する
力をそれぞれPH，PL、とすれば、 検出ダイアフラム２８には、測定すべき差圧が
発生していないにもかかわらず、 PH−PL＝（PO＋ρh）−（PO−ρh） ＝2ρh＝ρHsinθ ……(1) で表される圧力が作用することになる。
ダイアフラム２６，２６間の距離をＨ、受圧ダイ
アフラム２６の中心（基準点）と検出ダイアフラ
ム２８の中心（基準点）との垂直方向に沿つた距
離をｈ、検出ダイアフラム２８の両側に作用する
力をそれぞれPH，PL、とすれば、 検出ダイアフラム２８には、測定すべき差圧が
発生していないにもかかわらず、 PH−PL＝（PO＋ρh）−（PO−ρh） ＝2ρh＝ρHsinθ ……(1) で表される圧力が作用することになる。
すなわち、従来装置においては、通常の設置状
態からθ度傾いた場合、検出ダイアフラム２８が
(1)式で表される力を受けて変位してしまうことに
なる。
態からθ度傾いた場合、検出ダイアフラム２８が
(1)式で表される力を受けて変位してしまうことに
なる。
これに対して、第４図に示した本発明において
は、 受圧ダイアフラム５，６間の距離をH′、各受
圧ダイアフラム５，６の中心と一方の検出ダイア
フラム４の中心との垂直方向に沿つた距離をh1，
h2、各受圧ダイアフラム５，６の中心ともう一方
の検出ダイアフラム３の中心との垂直方向に沿つ
た距離をh3，h4、 とすれば、 検出ダイアフラム４には、 PH−PL ＝（PO＋ρh1）−（PO＋ρh2） ＝ρ（h1−h2）＝ρH′sinθ ……(2) で表される力が作用し、 同様に、検出ダイアフラム３にも、 PH−PL ＝（PO＋ρh3）−（PO＋ρh4） ＝ρ（h3−h4）＝ρH′sinθ ……(3) で表される力が作用することになる。
は、 受圧ダイアフラム５，６間の距離をH′、各受
圧ダイアフラム５，６の中心と一方の検出ダイア
フラム４の中心との垂直方向に沿つた距離をh1，
h2、各受圧ダイアフラム５，６の中心ともう一方
の検出ダイアフラム３の中心との垂直方向に沿つ
た距離をh3，h4、 とすれば、 検出ダイアフラム４には、 PH−PL ＝（PO＋ρh1）−（PO＋ρh2） ＝ρ（h1−h2）＝ρH′sinθ ……(2) で表される力が作用し、 同様に、検出ダイアフラム３にも、 PH−PL ＝（PO＋ρh3）−（PO＋ρh4） ＝ρ（h3−h4）＝ρH′sinθ ……(3) で表される力が作用することになる。
ここで、本発明においては、圧力導入部の一対
の受圧ダイアフラム５，６が、各々の受圧面が対
向するようにしかも近接配置されているので、い
いかえれば、上記の(2)，(3)式におけるH′が充分
に小さく設定されているので、傾斜に起因して検
出ダイアフラムに作用する力を測定上無視できる
程度の小さな値とすることができる。
の受圧ダイアフラム５，６が、各々の受圧面が対
向するようにしかも近接配置されているので、い
いかえれば、上記の(2)，(3)式におけるH′が充分
に小さく設定されているので、傾斜に起因して検
出ダイアフラムに作用する力を測定上無視できる
程度の小さな値とすることができる。
なお、圧力導入部が上述したとおり構成され、
流体通路により高圧測定用セルおよび低圧測定用
セルと接続されるという条件を満たせば、傾斜誤
差をなくすことができ、圧力導入部と高圧測定用
セル及び低圧測定用セルの位置関係は特に限定さ
れない。このように、本発明においては、可動電
極としての検出ダイアフラムの両側に固定電極を
それぞれ配置した容量式圧力検出器からそれぞれ
成る低圧セルおよび高圧セルを並列配置し、各セ
ルの検出ダイアフラムの一方の面に圧力P1を作
用させ、他方の面に圧力P2を作用させるように
したので、検出ダイアフラムの姿勢に起因する誤
差を除去することができる。
流体通路により高圧測定用セルおよび低圧測定用
セルと接続されるという条件を満たせば、傾斜誤
差をなくすことができ、圧力導入部と高圧測定用
セル及び低圧測定用セルの位置関係は特に限定さ
れない。このように、本発明においては、可動電
極としての検出ダイアフラムの両側に固定電極を
それぞれ配置した容量式圧力検出器からそれぞれ
成る低圧セルおよび高圧セルを並列配置し、各セ
ルの検出ダイアフラムの一方の面に圧力P1を作
用させ、他方の面に圧力P2を作用させるように
したので、検出ダイアフラムの姿勢に起因する誤
差を除去することができる。
以上のように、この発明によれば、低圧の導入
口と高圧の導入口とが間隔板を挟んで一体化され
た圧力導入部に対し、圧力伝達手段によつて低圧
セルと高圧セルとをそれぞれ並列に接続するよう
にしたから、低圧測定用と高圧測定用の圧力計を
個別に設けるものに比して小形にすることができ
る。また、各々のセルが１：10のレンジアビリテ
イ、例えば一方のセルが１〜10mmH2Ｏの測定レ
ンジを有し、他方のセルが10〜100mmH2Ｏの測定
レンジを有しているものとすれば、圧力計全体と
しては１〜100mmH2Ｏの測定レンジ、つまり１：
100のレンジアビリテイを有することとなり、し
たがつてレンジアビリテイが向上する。さらに、
低圧の測定においても低圧測定用セルから充分大
きな出力を得ることができるので、従来のものと
比べて増巾部のゲインをそれ程高くする必要がな
く、したがつてゼロ点の安定性が高くなる。ま
た、一対の受圧ダイアフラム間の距離を充分小さ
くすることができるので、どのように傾けてもヘ
ツド差が殆んどなく、したがつて傾斜誤差または
姿勢誤差を改善することができる利点を有するも
のである。
口と高圧の導入口とが間隔板を挟んで一体化され
た圧力導入部に対し、圧力伝達手段によつて低圧
セルと高圧セルとをそれぞれ並列に接続するよう
にしたから、低圧測定用と高圧測定用の圧力計を
個別に設けるものに比して小形にすることができ
る。また、各々のセルが１：10のレンジアビリテ
イ、例えば一方のセルが１〜10mmH2Ｏの測定レ
ンジを有し、他方のセルが10〜100mmH2Ｏの測定
レンジを有しているものとすれば、圧力計全体と
しては１〜100mmH2Ｏの測定レンジ、つまり１：
100のレンジアビリテイを有することとなり、し
たがつてレンジアビリテイが向上する。さらに、
低圧の測定においても低圧測定用セルから充分大
きな出力を得ることができるので、従来のものと
比べて増巾部のゲインをそれ程高くする必要がな
く、したがつてゼロ点の安定性が高くなる。ま
た、一対の受圧ダイアフラム間の距離を充分小さ
くすることができるので、どのように傾けてもヘ
ツド差が殆んどなく、したがつて傾斜誤差または
姿勢誤差を改善することができる利点を有するも
のである。
なお、この発明は接合部の接合強度を増加さ
せ、受圧ダイアフラムに耐蝕性の部材を使用する
とともに、過大圧保護機構を設けることにより前
述の如き実験用または工業計測器の校正用圧力計
のみならず、差圧変動が非常に大きな一般プロセ
ス測定用の工業計器として使用することができ
る。
せ、受圧ダイアフラムに耐蝕性の部材を使用する
とともに、過大圧保護機構を設けることにより前
述の如き実験用または工業計測器の校正用圧力計
のみならず、差圧変動が非常に大きな一般プロセ
ス測定用の工業計器として使用することができ
る。
第１図は本発明の実施例を示す構成図、第２図
および第３図は従来装置の原理構成図、第４図は
本発明に係る装置の原理構成図である。 符号説明、１……高圧検出セル、２……低圧検
出セル、３……高圧検出ダイアフラム、４……低
圧検出ダイアフラム、５，６……受圧ダイアフラ
ム、７……フランジ、８……封入液、９……固定
電極、１０……電子回路、１１……圧力導入口、
１２……隔離板、１３〜１５……接続パイプ。
および第３図は従来装置の原理構成図、第４図は
本発明に係る装置の原理構成図である。 符号説明、１……高圧検出セル、２……低圧検
出セル、３……高圧検出ダイアフラム、４……低
圧検出ダイアフラム、５，６……受圧ダイアフラ
ム、７……フランジ、８……封入液、９……固定
電極、１０……電子回路、１１……圧力導入口、
１２……隔離板、１３〜１５……接続パイプ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 測定圧力の大、小に応じて低圧または高圧の
圧力測定用セルから選択的に検出出力を取り出し
うるようにした圧力測定装置であつて、 隔壁板１２で分割された２つの空間を有し圧力
導入口１１，１１を介して低圧および高圧が導入
されるフランジ７と、それぞれの圧力導入空間に
おけるフランジ内側面との間にシール室を構成す
るとともに各々の受圧面が対向するようにしかも
互いに近接して配置される一対の受圧ダイアフラ
ム５，６とからなる圧力導入部と、 内部空間を有する絶縁体と、この内部空間を２
つの測定室に分割する剛性の高い高圧検出ダイア
フラム３とを有する高圧測定用セル１と、 内部空間を有する絶縁体と、この内部空間を２
つの測定室に分割する剛性の低い低圧検出ダイア
フラム４とを有する低圧測定用セル２と、 前記高圧測定用セル１の一方の測定室と前記低
圧測定用セル２の一方の測定室と前記圧力導入部
の一方のシール室との間を連通する流体通路１３
と、前記高圧測定用セル１の他方の測定室と前記
低圧測定用セル２の他方の測定室と前記圧力導入
部の他方のシール室との間を連通する流体通路１
４，１５と、 前記流体通路１３，１４，１５内に充填される
非圧縮性の封入液８とを備えたことを特徴とする
圧力測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5805982A JPS58176532A (ja) | 1982-04-09 | 1982-04-09 | 圧力測定装置 |
| DE19833312385 DE3312385A1 (de) | 1982-04-09 | 1983-03-31 | Druckmessvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5805982A JPS58176532A (ja) | 1982-04-09 | 1982-04-09 | 圧力測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58176532A JPS58176532A (ja) | 1983-10-17 |
| JPH046890B2 true JPH046890B2 (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=13073337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5805982A Granted JPS58176532A (ja) | 1982-04-09 | 1982-04-09 | 圧力測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58176532A (ja) |
| DE (1) | DE3312385A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4818994A (en) * | 1987-10-22 | 1989-04-04 | Rosemount Inc. | Transmitter with internal serial bus |
| JPH01203931A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-16 | Toyama Kensa Kk | タンク，パイプ類の小型漏洩試験装置 |
| US4949581A (en) * | 1989-06-15 | 1990-08-21 | Rosemount Inc. | Extended measurement capability transmitter having shared overpressure protection means |
| DE29711759U1 (de) * | 1997-07-04 | 1998-08-06 | Siemens Ag | Differenzdruck-Meßumformer |
| DE10050300A1 (de) * | 2000-10-10 | 2002-04-11 | Endress Hauser Gmbh Co | Druckmeßzelle |
| KR100478854B1 (ko) * | 2002-04-25 | 2005-03-24 | 한국항공우주산업 주식회사 | 튜브 압력테스트 장치 |
-
1982
- 1982-04-09 JP JP5805982A patent/JPS58176532A/ja active Granted
-
1983
- 1983-03-31 DE DE19833312385 patent/DE3312385A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58176532A (ja) | 1983-10-17 |
| DE3312385A1 (de) | 1983-10-20 |
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