JPH03255327A - 差圧検出器 - Google Patents
差圧検出器Info
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- JPH03255327A JPH03255327A JP5196390A JP5196390A JPH03255327A JP H03255327 A JPH03255327 A JP H03255327A JP 5196390 A JP5196390 A JP 5196390A JP 5196390 A JP5196390 A JP 5196390A JP H03255327 A JPH03255327 A JP H03255327A
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- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 72
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 45
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、差圧検出部と静圧検出部とを具備し、静圧
の影響を補償して正確な差圧を求めるための差圧、静圧
の各検出信号が得られる差圧検出器に関する。なお、こ
の差圧検出器は、導入圧力の一方が大気圧または真空で
あることによって、ゲージ圧用または絶対圧用になる。
の影響を補償して正確な差圧を求めるための差圧、静圧
の各検出信号が得られる差圧検出器に関する。なお、こ
の差圧検出器は、導入圧力の一方が大気圧または真空で
あることによって、ゲージ圧用または絶対圧用になる。
【従来の技術１
従来の差圧検出器は基本的に、１個の測定用ダイヤフラ
ムと、これを中間に置く形で各側に近接対向して配設さ
れる固定電極とで構成される。測定用ダイヤフラムの各
側に異なる圧力（静圧）を作用させたときの測定用ダイ
ヤフラムの変位によって、測定用ダイヤフラムと各固定
電極との間の静電容量を変化させ、この変化に基づいて
各圧力（静圧）の差、つまり差圧を測定する。 第６図は従来例の断面図である。第６図において、差圧
測定用ダイヤフラム１１の両側に各固定電極５．１０が
配設される。左側の固定電極５は主として、ダイヤフラ
ム１１に近接対向する導電性板２と、これのダイヤフラ
ム１１とは逆側の面に固着される絶縁板３と、これの導
電性板２とは逆側の面に固着される導電性板４とからな
る。また、導電性板２を囲む形で円環状支持体１３が、
絶縁板３に固着され、かつ支持体１３はダイヤフラム１
１の周縁部に、ガラス接合部ｌを介して絶縁的に固着さ
れる。固定電極５の中心部を直角に貫通して一方の圧力
Ｐ１に係る導圧孔１５があけられ、この導圧孔工５の内
周面に導体膜１７が被覆され、これによって各導電性板
２．４が電気的に接続される。ダイヤフラム１１と導電
性板２との対向する各面間に空隙１９が形成される。 右側の固定電極１０も同様に、導電性板７．絶縁板８．
導電性板９．支持体１４．他方の圧力Ｐ２に係る導圧孔
１６．導体膜１８からなる。ダイヤフラム１１と支持体
１４とがガラス接合部６を介して絶縁的に固着され、ダ
イヤフラム１１と導電性板７との対向する各面間に空隙
２０が形成される。 各静電容量は、電極３７．電極３５から各リードビンＣ
，ＡＩを介して、また電極３７．電極３６から各リード
ピンＣ，Ｂを介してそれぞれ取り出されることになる。 なお、この従来例は、各ガラス接合部１，６の静電容量
の影響を除去するとともに、検出信号を差圧に比例させ
るための工夫がなされた周知の技術に基づくものである
。 【発明が解決しようとする課題】 以上説明したような従来の差圧検出器では、測定差圧が
、この差圧を生じるべき各圧力（以後、静圧という）に
よって若干変化する。すなわち、各静圧が高圧のときに
は特に著しいが、各静圧側の測定室、つまり従来例にお
ける各空隙１９．２０に係る空間が外方に膨張し、同時
に測定用ダイヤフラム１１が半径方向に引っ張られて、
その変位特性が剛めになる。したがって、差圧が同じで
あっても、各静圧の大きさに応じてダイヤフラム１１の
変位が若干異なり、ひいては静電容量も若干異なってく
る。そのために、差圧の測定値が若干変化することにな
る。 たとえば、各静圧をＰｉ、Ｐ２としたとき、Ｐ１＝５０
ｋｇ／ ｃｄ、 Ｐ２ ＝４９（以下、単位は同じ）
の場合と、Ｐｉ ＝１００．Ｐ２ ＝９９ の場合と
では、同じ差圧であっても、後者の方の差圧測定値が前
者のそれより見掛は上小さくなる。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、静圧の影響を補償して正確な差圧を求めるための
差圧、静圧の各検出信号が得られる差圧検出器を提供す
ることにある。
ムと、これを中間に置く形で各側に近接対向して配設さ
れる固定電極とで構成される。測定用ダイヤフラムの各
側に異なる圧力（静圧）を作用させたときの測定用ダイ
ヤフラムの変位によって、測定用ダイヤフラムと各固定
電極との間の静電容量を変化させ、この変化に基づいて
各圧力（静圧）の差、つまり差圧を測定する。 第６図は従来例の断面図である。第６図において、差圧
測定用ダイヤフラム１１の両側に各固定電極５．１０が
配設される。左側の固定電極５は主として、ダイヤフラ
ム１１に近接対向する導電性板２と、これのダイヤフラ
ム１１とは逆側の面に固着される絶縁板３と、これの導
電性板２とは逆側の面に固着される導電性板４とからな
る。また、導電性板２を囲む形で円環状支持体１３が、
絶縁板３に固着され、かつ支持体１３はダイヤフラム１
１の周縁部に、ガラス接合部ｌを介して絶縁的に固着さ
れる。固定電極５の中心部を直角に貫通して一方の圧力
Ｐ１に係る導圧孔１５があけられ、この導圧孔工５の内
周面に導体膜１７が被覆され、これによって各導電性板
２．４が電気的に接続される。ダイヤフラム１１と導電
性板２との対向する各面間に空隙１９が形成される。 右側の固定電極１０も同様に、導電性板７．絶縁板８．
導電性板９．支持体１４．他方の圧力Ｐ２に係る導圧孔
１６．導体膜１８からなる。ダイヤフラム１１と支持体
１４とがガラス接合部６を介して絶縁的に固着され、ダ
イヤフラム１１と導電性板７との対向する各面間に空隙
２０が形成される。 各静電容量は、電極３７．電極３５から各リードビンＣ
，ＡＩを介して、また電極３７．電極３６から各リード
ピンＣ，Ｂを介してそれぞれ取り出されることになる。 なお、この従来例は、各ガラス接合部１，６の静電容量
の影響を除去するとともに、検出信号を差圧に比例させ
るための工夫がなされた周知の技術に基づくものである
。 【発明が解決しようとする課題】 以上説明したような従来の差圧検出器では、測定差圧が
、この差圧を生じるべき各圧力（以後、静圧という）に
よって若干変化する。すなわち、各静圧が高圧のときに
は特に著しいが、各静圧側の測定室、つまり従来例にお
ける各空隙１９．２０に係る空間が外方に膨張し、同時
に測定用ダイヤフラム１１が半径方向に引っ張られて、
その変位特性が剛めになる。したがって、差圧が同じで
あっても、各静圧の大きさに応じてダイヤフラム１１の
変位が若干異なり、ひいては静電容量も若干異なってく
る。そのために、差圧の測定値が若干変化することにな
る。 たとえば、各静圧をＰｉ、Ｐ２としたとき、Ｐ１＝５０
ｋｇ／ ｃｄ、 Ｐ２ ＝４９（以下、単位は同じ）
の場合と、Ｐｉ ＝１００．Ｐ２ ＝９９ の場合と
では、同じ差圧であっても、後者の方の差圧測定値が前
者のそれより見掛は上小さくなる。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、静圧の影響を補償して正確な差圧を求めるための
差圧、静圧の各検出信号が得られる差圧検出器を提供す
ることにある。
この課題を解決するために、第１の発明に係る差圧検出
器は、 差圧に応じて変位する差圧測定用ダイヤフラムと、これ
の各側に配設され導圧孔をもつ第１．第２の各固定電極
との間に各々形成される静電容量に基づき、前記差圧が
測定される差圧検出部と；前記差圧を生じるべき一方の
圧力が一方の側に、大気圧が他方の側にそれぞれ作用す
る静圧測定用ダイヤフラムと、これの前記一方の側に配
設され前記一方の圧力用導圧孔をもつ第３の固定電極と
の間に形成される静電容量に基づき、前記一方の圧力が
測定される静圧検出部と；を備える。 第２の発明に係る差圧検出器は、 差圧に応じて変位する差圧測定用ダイヤフラムと、これ
の各側に配設され導圧孔をもつ第１．第２の各固定電極
との間に各々形成される静電容量に基づき、前記差圧が
測定される差圧検出部と；前記差圧を生じるべき一方の
圧力が一方の側に、大気圧が他方の側にそれぞれ作用す
る静圧測定用ダイヤフラムと、これの前記一方の側に配
設され前記一方の圧力用導圧孔をもつ第３の固定電極と
、前記一方の圧力用導圧孔をもち前記一方の圧力に対応
する第１．第２いずれかの固定電極の前記差圧測定用ダ
イヤフラムとは逆側に配設される第４の固定電極とを具
備し、 前記静圧測定用ダイヤフラム、第３固定電極間の静電容
量と、前記一方の圧力に対応する第１．第２いずれかの
固定電極、第４固定電極間の静電容量とに基づき、前記
一方の圧力が測定される静圧検出部と；を備える。
器は、 差圧に応じて変位する差圧測定用ダイヤフラムと、これ
の各側に配設され導圧孔をもつ第１．第２の各固定電極
との間に各々形成される静電容量に基づき、前記差圧が
測定される差圧検出部と；前記差圧を生じるべき一方の
圧力が一方の側に、大気圧が他方の側にそれぞれ作用す
る静圧測定用ダイヤフラムと、これの前記一方の側に配
設され前記一方の圧力用導圧孔をもつ第３の固定電極と
の間に形成される静電容量に基づき、前記一方の圧力が
測定される静圧検出部と；を備える。 第２の発明に係る差圧検出器は、 差圧に応じて変位する差圧測定用ダイヤフラムと、これ
の各側に配設され導圧孔をもつ第１．第２の各固定電極
との間に各々形成される静電容量に基づき、前記差圧が
測定される差圧検出部と；前記差圧を生じるべき一方の
圧力が一方の側に、大気圧が他方の側にそれぞれ作用す
る静圧測定用ダイヤフラムと、これの前記一方の側に配
設され前記一方の圧力用導圧孔をもつ第３の固定電極と
、前記一方の圧力用導圧孔をもち前記一方の圧力に対応
する第１．第２いずれかの固定電極の前記差圧測定用ダ
イヤフラムとは逆側に配設される第４の固定電極とを具
備し、 前記静圧測定用ダイヤフラム、第３固定電極間の静電容
量と、前記一方の圧力に対応する第１．第２いずれかの
固定電極、第４固定電極間の静電容量とに基づき、前記
一方の圧力が測定される静圧検出部と；を備える。
第１．第２の各発明においては共通に、差圧検出部によ
って差圧検出信号が、静圧検出部によって静圧検出信号
が得られるから、この差圧、静圧の各検出信号に基づい
て、差圧の静圧に係る補正が可能になる。 とくに第１発明においては、差圧測定用ダイヤフラムと
第１．第２の各固定電極との間の静電容量が差動的に取
り出されるから、差圧検出信号を差圧に比例させること
ができる。第２発明においては、第１発明におけると同
様に、差圧検出信号を差圧に比例させることができると
ともに、静圧測定用ダイヤフラム、第３固定電極間の静
電容量と、一方の圧力に対応する第１．第２いずれかの
固定電極、第４固定電極間の基準的な静電容量との比較
によって、静圧検出信号も静圧に比例させることができ
る。
って差圧検出信号が、静圧検出部によって静圧検出信号
が得られるから、この差圧、静圧の各検出信号に基づい
て、差圧の静圧に係る補正が可能になる。 とくに第１発明においては、差圧測定用ダイヤフラムと
第１．第２の各固定電極との間の静電容量が差動的に取
り出されるから、差圧検出信号を差圧に比例させること
ができる。第２発明においては、第１発明におけると同
様に、差圧検出信号を差圧に比例させることができると
ともに、静圧測定用ダイヤフラム、第３固定電極間の静
電容量と、一方の圧力に対応する第１．第２いずれかの
固定電極、第４固定電極間の基準的な静電容量との比較
によって、静圧検出信号も静圧に比例させることができ
る。
第１の発明に係る差圧検出器の二つの実施例について、
以下に図面を参照しながら説明する。第１図はその一実
施例（以下、第１実施例という）の断面図である。第１
実施例の差圧検出器６１は概略的に言えば、差圧検出部
と静圧検出部とからなる。第１図において、差圧検出部
は中央から右側の部分で、第６図に示した従来の差圧検
出器と、電極Ａ１に代えて電極Ａになる外は同しである
。 なお、従来例におけるのと同し部材には同じ符号を付け
である。 第１図において、静圧検出部器マ中央から左側の部分で
、主として静圧測定用ダイヤフラム３０と、これの左側
面の周縁部でガラス接合部３１を介して固着される、大
気圧ＰＯに係る側の基板３２と、ダイヤフラム３０の右
側面の周縁部でガラス接合部２１を介して固着される、
静圧Ｐ１に係る側の固定電極２５とからなる。固定電極
２５は、第１発明における第３固定電極に相当し、差圧
検出部における各固定電極５，１０と同様な構成をとる
。すなわち、ダイヤフラム３０に近接対向する導電性板
２２と、これと固着される絶縁板２３と、これと固着さ
れる導電性板２４とを備え、中心部を直角に貫通し、か
つ固定電極５の左側面に沿って下方に抜ける、静圧Ｐ１
用の導圧孔２７があけられ、その内周面に導体膜２８が
被覆される。なお、導圧孔２７と、固定電極５の導圧孔
１５（第６図参照）とは連通している。 しかも、固定電極２５と固定電極５とは、前者の右側面
と後者の左側面とにおいて接合される。 したがって、差圧に係る静電容量は、電極３７゜電極３
８から各リードビンＣ，Ａを介して、また電極３７．電
極３６から各リードビンＣ，Ｂを介してそれぞれ取り出
される。また、静圧に係る静電容量は、電極３９．電極
３８から各リードビンＤ、Ａを介して取り出される。こ
の差圧、静圧の各静電容量から、詳しく後述するように
、静圧に関する差圧の補正、言いかえれば、差圧の静圧
の影響に対する補償がなされることになる。 第２図は第１発明に係る差圧検出器の別の実施例（以下
、第２実施例という）の断面図である。 第２実施例が第１実施例と異なるのは、差圧検出部と静
圧検出部とが分離された構成をとっている点である。そ
れぞれがユニット化されることに基づく組立上の便利さ
を目的としている。したがって部材的には、第１実施例
における固定ｔｉ２５の代わりに固定電極２５Ａ、同じ
く導電性板２４の代わりに導電性板２４／ｌ 、 を極
３８の代わりに各電極３８ａ。 ３８ｂが用いられるだけの変更である。なお、各リード
ビンＡｌ、Ａ２は、各電極３８ａ、３８ｂにそれぞれ対
応する。この第２実施例の動作は、第１実施例のそれと
全（同じである。 さて、第３図は第１実施例の差圧検出器６１を組み込ん
だ差圧検出装置の断面図である。第３図において、差圧
検出装置は概略的に言えば、図のほぼ中央に位置する差
圧検出器６１と、図の下部に位置する片圧に対する保護
部と、差圧検出器６１からの、差圧信号および静圧信号
に基づいて、差圧補正をおこなう図の上部に位置する差
圧補正部５０とからなる。 保護部の構成は次のとおりである。保護ダイヤフラム４
３を、各本体４１．４２が左右から挟み、この各本体４
１．４２の逆側の端部には、シールダイヤフラム４４が
溶接され、これに対向してカバー４６が、０リング４５
を介して各本体４１．４２に対して密封的に取り付けら
れる。 差圧検出器６１は、その両側で絶縁板４９を介して格納
ケース４８に格納、固定され、この格納ケース４８はケ
ース４７を介して各本体４１．４２密封的にに取り付け
られる。大気圧Ｐｏは、ケース４７の左側面にあけられ
た導入用孔４７ａを通り、差圧検出器６１の左側（第１
図における基板３２の孔３３）に導入される。 一方の静圧Ｐ１は、保護部の左側のカバー４６の導圧孔
４６ａから導入され、本体４１の内部を通って格納ケー
ス４８の内部を経て、差圧検出器６１の中央部（第１図
における導圧孔２７）から導入される。 また、他方の静圧Ｐ２は、保護部の右側のカバー４６の
導圧孔４６ｂから導入され、本体４２の内部を通７て差
圧検出器６１の右側の固定電極（第１図における固定電
極１０）の導圧孔から導入される。 その結果、第１実施例において既に説明したように、差
圧に係る各静電容量は、各リードビンＣ１Ａと、各リー
ドビンＣ，Ｂとを介してそれぞれ取り出され、静圧に係
る静電容量は、各リードビンＤ、Ａを介して取り出され
る。この差圧、静圧に係る各静電容量に基づいて、差圧
補正部５０によって静圧に関する差圧の補正、つまり差
圧の静圧の影響に対する補償がなされることになる。そ
のために、差圧補正部５０には、模式的に言えば、各差
圧検出値に対し、各静圧検出値ごとの差圧補正値が数表
の形で格納される。なお、この数表は、実験的に求めら
れる。 第４図は第２発明に係る差圧検出器の一実施例（以下、
第３実施例という）の断面図である。第４図において、
第３実施例は概略的に言えば、差圧検出部と静圧検出部
とからなる。差圧検出部は右側の部分で、第６図に示し
た従来の差圧検出器と同じである。なお、従来例におけ
るのと同じ部材には同じ符号を付けるとともに、細部に
符号を付けるのは省略しである。 静圧検出部は、中央部分および左側の部分である。左側
部分は、第１図に示した第１実施例における測定用ダイ
ヤフラム３０と、固定電極２５とからなり、中央部分は
、固定電極５５である。この固定電極５５は、その他の
固定電極と同様な構成をもち、導電性板５２．絶縁板５
３．導電性板５４．支持体５６゜導圧孔５７．導体膜５
８からなり、支持体５６の右側面でガラス接合部５１を
介して固定電極５の左側面に固着される。そのとき、導
電性板５２と、固定電極５の左側面との対向箇所に空隙
５９が形成される。 大気圧Ｐｏは、基板３２の孔３３から導入され、静圧測
定用ダイヤフラム３０の左側に作用する。一方の静圧Ｐ
１は、導圧孔２７から導入されて、ダイヤフラム３０の
右側に作用するとともに、各固定電極５５．５を経て差
圧測定用ダイヤフラム１１の左側に作用する。また、他
方の静圧Ｐ２は、固定電極１０の右側から導入されて、
ダイヤフラム１１の右側に作用する。 したがって、差圧に係る静電容量は、電極３７゜電極３
８ａから各リードビンＣ，ＡＩを介して、また電極３７
．電極３６から各リードビンＣ，Ｂを介してそれぞれ取
り出される。また、淳圧に係る静電容量は、一つには電
極３９．電極４０から各リードビンＤ、Ｅを介して取り
出され、もう一つには電極３８ａ、電極４０から各リー
ドビンＡ１．Ｅを介して取り出される。これは、周知の
演算回路を用いることによって、前者の静電容量と、後
者の基準的な静電容量との比較に基づき、静圧の検出値
を静圧に比例する形にするためである。こうすることに
よって、差圧の検出値が差圧に比例するのとあいまって
、差圧補正演算が容易になり、第４図に示したような差
圧補正部５０の構成がそれだけ簡素になる効果がある。 第５図は第２発明に係る差圧検出器の別の実施例（以下
、第４実施例という）の断面図である。 第４実施例が第３実施例と異なるのは、差圧検出部に静
圧検出部の一部を接合したものと、その他の静圧検出部
とが分離された構成をとっている点である。それぞれが
ユニット化されることに基づく組立上の便利さを目的と
している。 すなわち、第５図において、第６図に示した従来の差圧
検出器に、固定電極５５を結合したユニットが右側に図
示され、第２図に示した第２実施例での左側と同じユニ
ットが左側に図示される。したがって部材的には、第３
実施例における固定電極２５の代わりに固定電極２５Ａ
、同じく導電性板２４の代わりに導電性板２４Ａ、電極
４０の代わりに各電極４０ａ、４０ｂが用いられるだけ
の変更である。なお、各リードビンＥｌ、Ｅ２は、各電
極４０ａ、４０ｂにそれぞれ対応する。この第４実施例
の動作は、第３実施例のそれと全く同じである。
以下に図面を参照しながら説明する。第１図はその一実
施例（以下、第１実施例という）の断面図である。第１
実施例の差圧検出器６１は概略的に言えば、差圧検出部
と静圧検出部とからなる。第１図において、差圧検出部
は中央から右側の部分で、第６図に示した従来の差圧検
出器と、電極Ａ１に代えて電極Ａになる外は同しである
。 なお、従来例におけるのと同し部材には同じ符号を付け
である。 第１図において、静圧検出部器マ中央から左側の部分で
、主として静圧測定用ダイヤフラム３０と、これの左側
面の周縁部でガラス接合部３１を介して固着される、大
気圧ＰＯに係る側の基板３２と、ダイヤフラム３０の右
側面の周縁部でガラス接合部２１を介して固着される、
静圧Ｐ１に係る側の固定電極２５とからなる。固定電極
２５は、第１発明における第３固定電極に相当し、差圧
検出部における各固定電極５，１０と同様な構成をとる
。すなわち、ダイヤフラム３０に近接対向する導電性板
２２と、これと固着される絶縁板２３と、これと固着さ
れる導電性板２４とを備え、中心部を直角に貫通し、か
つ固定電極５の左側面に沿って下方に抜ける、静圧Ｐ１
用の導圧孔２７があけられ、その内周面に導体膜２８が
被覆される。なお、導圧孔２７と、固定電極５の導圧孔
１５（第６図参照）とは連通している。 しかも、固定電極２５と固定電極５とは、前者の右側面
と後者の左側面とにおいて接合される。 したがって、差圧に係る静電容量は、電極３７゜電極３
８から各リードビンＣ，Ａを介して、また電極３７．電
極３６から各リードビンＣ，Ｂを介してそれぞれ取り出
される。また、静圧に係る静電容量は、電極３９．電極
３８から各リードビンＤ、Ａを介して取り出される。こ
の差圧、静圧の各静電容量から、詳しく後述するように
、静圧に関する差圧の補正、言いかえれば、差圧の静圧
の影響に対する補償がなされることになる。 第２図は第１発明に係る差圧検出器の別の実施例（以下
、第２実施例という）の断面図である。 第２実施例が第１実施例と異なるのは、差圧検出部と静
圧検出部とが分離された構成をとっている点である。そ
れぞれがユニット化されることに基づく組立上の便利さ
を目的としている。したがって部材的には、第１実施例
における固定ｔｉ２５の代わりに固定電極２５Ａ、同じ
く導電性板２４の代わりに導電性板２４／ｌ 、 を極
３８の代わりに各電極３８ａ。 ３８ｂが用いられるだけの変更である。なお、各リード
ビンＡｌ、Ａ２は、各電極３８ａ、３８ｂにそれぞれ対
応する。この第２実施例の動作は、第１実施例のそれと
全（同じである。 さて、第３図は第１実施例の差圧検出器６１を組み込ん
だ差圧検出装置の断面図である。第３図において、差圧
検出装置は概略的に言えば、図のほぼ中央に位置する差
圧検出器６１と、図の下部に位置する片圧に対する保護
部と、差圧検出器６１からの、差圧信号および静圧信号
に基づいて、差圧補正をおこなう図の上部に位置する差
圧補正部５０とからなる。 保護部の構成は次のとおりである。保護ダイヤフラム４
３を、各本体４１．４２が左右から挟み、この各本体４
１．４２の逆側の端部には、シールダイヤフラム４４が
溶接され、これに対向してカバー４６が、０リング４５
を介して各本体４１．４２に対して密封的に取り付けら
れる。 差圧検出器６１は、その両側で絶縁板４９を介して格納
ケース４８に格納、固定され、この格納ケース４８はケ
ース４７を介して各本体４１．４２密封的にに取り付け
られる。大気圧Ｐｏは、ケース４７の左側面にあけられ
た導入用孔４７ａを通り、差圧検出器６１の左側（第１
図における基板３２の孔３３）に導入される。 一方の静圧Ｐ１は、保護部の左側のカバー４６の導圧孔
４６ａから導入され、本体４１の内部を通って格納ケー
ス４８の内部を経て、差圧検出器６１の中央部（第１図
における導圧孔２７）から導入される。 また、他方の静圧Ｐ２は、保護部の右側のカバー４６の
導圧孔４６ｂから導入され、本体４２の内部を通７て差
圧検出器６１の右側の固定電極（第１図における固定電
極１０）の導圧孔から導入される。 その結果、第１実施例において既に説明したように、差
圧に係る各静電容量は、各リードビンＣ１Ａと、各リー
ドビンＣ，Ｂとを介してそれぞれ取り出され、静圧に係
る静電容量は、各リードビンＤ、Ａを介して取り出され
る。この差圧、静圧に係る各静電容量に基づいて、差圧
補正部５０によって静圧に関する差圧の補正、つまり差
圧の静圧の影響に対する補償がなされることになる。そ
のために、差圧補正部５０には、模式的に言えば、各差
圧検出値に対し、各静圧検出値ごとの差圧補正値が数表
の形で格納される。なお、この数表は、実験的に求めら
れる。 第４図は第２発明に係る差圧検出器の一実施例（以下、
第３実施例という）の断面図である。第４図において、
第３実施例は概略的に言えば、差圧検出部と静圧検出部
とからなる。差圧検出部は右側の部分で、第６図に示し
た従来の差圧検出器と同じである。なお、従来例におけ
るのと同じ部材には同じ符号を付けるとともに、細部に
符号を付けるのは省略しである。 静圧検出部は、中央部分および左側の部分である。左側
部分は、第１図に示した第１実施例における測定用ダイ
ヤフラム３０と、固定電極２５とからなり、中央部分は
、固定電極５５である。この固定電極５５は、その他の
固定電極と同様な構成をもち、導電性板５２．絶縁板５
３．導電性板５４．支持体５６゜導圧孔５７．導体膜５
８からなり、支持体５６の右側面でガラス接合部５１を
介して固定電極５の左側面に固着される。そのとき、導
電性板５２と、固定電極５の左側面との対向箇所に空隙
５９が形成される。 大気圧Ｐｏは、基板３２の孔３３から導入され、静圧測
定用ダイヤフラム３０の左側に作用する。一方の静圧Ｐ
１は、導圧孔２７から導入されて、ダイヤフラム３０の
右側に作用するとともに、各固定電極５５．５を経て差
圧測定用ダイヤフラム１１の左側に作用する。また、他
方の静圧Ｐ２は、固定電極１０の右側から導入されて、
ダイヤフラム１１の右側に作用する。 したがって、差圧に係る静電容量は、電極３７゜電極３
８ａから各リードビンＣ，ＡＩを介して、また電極３７
．電極３６から各リードビンＣ，Ｂを介してそれぞれ取
り出される。また、淳圧に係る静電容量は、一つには電
極３９．電極４０から各リードビンＤ、Ｅを介して取り
出され、もう一つには電極３８ａ、電極４０から各リー
ドビンＡ１．Ｅを介して取り出される。これは、周知の
演算回路を用いることによって、前者の静電容量と、後
者の基準的な静電容量との比較に基づき、静圧の検出値
を静圧に比例する形にするためである。こうすることに
よって、差圧の検出値が差圧に比例するのとあいまって
、差圧補正演算が容易になり、第４図に示したような差
圧補正部５０の構成がそれだけ簡素になる効果がある。 第５図は第２発明に係る差圧検出器の別の実施例（以下
、第４実施例という）の断面図である。 第４実施例が第３実施例と異なるのは、差圧検出部に静
圧検出部の一部を接合したものと、その他の静圧検出部
とが分離された構成をとっている点である。それぞれが
ユニット化されることに基づく組立上の便利さを目的と
している。 すなわち、第５図において、第６図に示した従来の差圧
検出器に、固定電極５５を結合したユニットが右側に図
示され、第２図に示した第２実施例での左側と同じユニ
ットが左側に図示される。したがって部材的には、第３
実施例における固定電極２５の代わりに固定電極２５Ａ
、同じく導電性板２４の代わりに導電性板２４Ａ、電極
４０の代わりに各電極４０ａ、４０ｂが用いられるだけ
の変更である。なお、各リードビンＥｌ、Ｅ２は、各電
極４０ａ、４０ｂにそれぞれ対応する。この第４実施例
の動作は、第３実施例のそれと全く同じである。
以上説明したように、第１．第２の各発明においては共
通に、差圧検出部によって差圧検出信号が、静圧検出部
によって静圧検出信号が得られるから、この各検出信号
に基づいて静圧の影響を補償することができ、静圧が高
い場合、または静圧変動の激しい場合にも正確な差圧測
定が可能である。しかも差圧検出部と静圧検出部とがコ
ンパクトにまとめられるから、装置の小形化が図れる。 また、とくに第２発明においては、差圧、静圧の各検出
信号が共にそれぞれ差圧、静圧に比例しているから、後
段での差圧補正演算がそれだけ容易に、かつ低コストで
実施できる。
通に、差圧検出部によって差圧検出信号が、静圧検出部
によって静圧検出信号が得られるから、この各検出信号
に基づいて静圧の影響を補償することができ、静圧が高
い場合、または静圧変動の激しい場合にも正確な差圧測
定が可能である。しかも差圧検出部と静圧検出部とがコ
ンパクトにまとめられるから、装置の小形化が図れる。 また、とくに第２発明においては、差圧、静圧の各検出
信号が共にそれぞれ差圧、静圧に比例しているから、後
段での差圧補正演算がそれだけ容易に、かつ低コストで
実施できる。
第１図は第１発明に係る一実施例の断面図、第２図は同
じくその別の実施例の断面図、第３図は一実施例を組み
込んだ差圧検出装置の断面図、 第４図は第２発明に係る一実施例の断面図、第５図は同
じくその別の実施例の断面図、第６図は従来例の断面図
である。 符号説明 ２．４．７，９，２２，２４．２４Ａ、５２，５４
：導電性板、３．８，２３，５３ ：絶縁板、 ５、１０．２５．２５Ａ、 ５５ ：固定電極、１１：
（差圧測定用）ダイヤフラム、 １３．１４，２６，５６ ：支持体、１５．１６，２
７，２７Ａ、３３，５７ ：導圧孔、１７．１８，２８
．２８＾、５８：導体膜、１９，２０，２９，５９
：空隙、３０：（静圧測定用）ダイヤフラム、 ５０：差圧補正部、６１：差圧検出器。 −１７′ ・σ ｄ 不３図
じくその別の実施例の断面図、第３図は一実施例を組み
込んだ差圧検出装置の断面図、 第４図は第２発明に係る一実施例の断面図、第５図は同
じくその別の実施例の断面図、第６図は従来例の断面図
である。 符号説明 ２．４．７，９，２２，２４．２４Ａ、５２，５４
：導電性板、３．８，２３，５３ ：絶縁板、 ５、１０．２５．２５Ａ、 ５５ ：固定電極、１１：
（差圧測定用）ダイヤフラム、 １３．１４，２６，５６ ：支持体、１５．１６，２
７，２７Ａ、３３，５７ ：導圧孔、１７．１８，２８
．２８＾、５８：導体膜、１９，２０，２９，５９
：空隙、３０：（静圧測定用）ダイヤフラム、 ５０：差圧補正部、６１：差圧検出器。 −１７′ ・σ ｄ 不３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）差圧に応じて変位する差圧測定用ダイヤフラムと、
これの各側に配設され導圧孔をもつ第１、第２の各固定
電極との間にそれぞれ形成される静電容量に基づき、前
記差圧が測定される差圧検出部と；前記差圧を生じるべ
き一方の圧力が一方の側に、大気圧が他方の側にそれぞ
れ作用する静圧測定用ダイヤフラムと、これの前記一方
の側に配設され前記一方の圧力用導圧孔をもつ第３の固
定電極との間に形成される静電容量に基づき、前記一方
の圧力が測定される静圧検出部と；を備えることを特徴
とする差圧検出器。 ２）差圧に応じて変位する差圧測定用ダイヤフラムと、
これの各側に配設され導圧孔をもつ第１、第２の各固定
電極との間にそれぞれ形成される静電容量に基づき、前
記差圧が測定される差圧検出部と；前記差圧を生じるべ
き一方の圧力が一方の側に、大気圧が他方の側にそれぞ
れ作用する静圧測定用ダイヤフラムと、これの前記一方
の側に配設され前記一方の圧力用導圧孔をもつ第３の固
定電極と、前記一方の圧力用導圧孔をもち前記一方の圧
力に対応する第１、第２いずれかの固定電極の前記差圧
測定用ダイヤフラムとは逆側に配設される第４の固定電
極とを具備し、前記静圧測定用ダイヤフラム、第３固定
電極間の静電容量と、前記一方の圧力に対応する第１、
第２いずれかの固定電極、第４固定電極間の静電容量と
に基づき、前記一方の圧力が測定される静圧検出部と；
を備えることを特徴とする差圧検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5196390A JPH03255327A (ja) | 1990-03-03 | 1990-03-03 | 差圧検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5196390A JPH03255327A (ja) | 1990-03-03 | 1990-03-03 | 差圧検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03255327A true JPH03255327A (ja) | 1991-11-14 |
Family
ID=12901521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5196390A Pending JPH03255327A (ja) | 1990-03-03 | 1990-03-03 | 差圧検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03255327A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013524215A (ja) * | 2010-03-30 | 2013-06-17 | ローズマウント インコーポレイテッド | 共鳴周波数に基づく圧力センサ |
| JP2013531791A (ja) * | 2010-06-08 | 2013-08-08 | ローズマウント インコーポレイテッド | ライン圧力測定を伴う差圧センサ |
-
1990
- 1990-03-03 JP JP5196390A patent/JPH03255327A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013524215A (ja) * | 2010-03-30 | 2013-06-17 | ローズマウント インコーポレイテッド | 共鳴周波数に基づく圧力センサ |
| JP2013531791A (ja) * | 2010-06-08 | 2013-08-08 | ローズマウント インコーポレイテッド | ライン圧力測定を伴う差圧センサ |
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