JP2013531791A - ライン圧力測定を伴う差圧センサ - Google Patents
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Abstract
Description
トランスミッタは工業プロセスにおける様々なプロセス変量を測定するためのプロセス監視および制御システムにおいて用いられている。ある種のトランスミッタは、プロセスにおけるプロセス流体の差圧を測定する。そして、この差圧測定値をプロセス流体の流速の計算に用いることができる。そのようなトランスミッタにおいて用いられる圧力センサには様々な技術が採用されてきた。1つの周知の技術は偏向性ダイヤフラムを用いることである。ダイヤフラムがキャパシタの容量性プレートの1つを形成し、このダイヤフラムについて静電容量が測定される。印加される圧力に起因してダイヤフラムが偏向するにつれ、測定される静電容量が変化する。このような構成においては、圧力測定を不正確にする多くの要因が存在する。
本発明は、静電容量型圧力センサのための、ライン圧力および差圧を判定する装置および方法を提供する。多静電容量型圧力センサにおいて割り当てた静電容量の総和の比、または比の総和を演算することにより、プロセス流体の差圧を判定することができる。発明の背景で述べたように、いくつかの設備では、差圧の測定に加えてプロセス流体のライン圧力(絶対圧またはゲージ圧)を測定することが望まれる。そのようなライン圧力を測定する1つの技術が、共に係属中である、Donald E. Harasyn他により2005年5月27日に出願された米国特許出願第11/140,681号、発明の名称「差圧センサを用いたライン圧力測定」、およびDavid A. Broden他により2005年5月26日に出願された米国特許出願第11/138,977号、発明の名称「圧縮性センサボディを用いた圧力センサ」に示され記述されており、これらは本発明と概ね軌を一にし、それらの内容の全体が参照によりここに取り込まれる。
Claims (15)
- センサボディであって、その内部の窪み部と、第一および第二の圧力を印加するように構成される前記窪み部に対する第一および第二の開口とを有するセンサボディ;
前記窪み部で前記第二の開口から前記第一の開口を分離し差圧に対し応答性のあるダイヤフラム;
前記センサボディの外側に取り付けられ当該センサボディと共に第一のキャパシタンスを形成するように配設される第一の電極であって、前記第一のキャパシタンスが前記センサボディの変形に起因しプロセス流体のライン圧力に応じて変化する、第一の電極;および
前記第一のキャパシタンスに基づいてライン圧力を測定するように配設された前記電極が連結される測定回路、
を含む、プロセス流体の圧力を検出するための圧力センサアセンブリ。 - 前記センサボディの外側に取り付けられる第二の電極を含み、第二のキャパシタンスが前記取り付けられる第二の電極と前記センサボディとの間に形成される、請求項1に記載の装置。
- 前記センサボディの外側に取り付けられる第二の電極を含み、前記測定回路が前記第一の電極を用いて測定される第一のキャパシタンスおよび前記第二の電極を用いて測定される第二のキャパシタンスに基づくライン圧力に関連する出力を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記電極を設けるように構成される絶縁板を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記絶縁板が前記センサボディに取り付けられる、請求項4に記載の装置。
- 前記センサボディに取り付けられるサポートに前記絶縁板が取り付けられる、請求項5に記載の装置。
- 前記センサボディに連結される細管に前記絶縁板が取り付けられる、請求項4に記載の装置。
- 前記窪み部内の前記ダイヤフラムの動きに基づく差圧に関連する出力を有する、当該ダイヤフラムを備える差圧センサを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記出力が、前記ダイヤフラムにより形成される可変のキャパシタンスに基づく、請求項8に記載の装置。
- 温度に基づいてライン圧力の測定値が補償される、請求項1に記載の装置。
- 請求項1に記載の圧力センサを含む、プロセス流体の圧力を測定するためのプロセストランスミッタ。
- センサボディにおける窪み部に偏向性ダイヤフラムを取り付けること;
前記窪み部の前記偏向性ダイヤフラムの1つの側にプロセス流体の第一の圧力を印加すること;
前記窪み部の前記偏向性ダイヤフラムのもう1つの側にプロセス流体の第二の圧力を印加すること;
前記偏向性ダイヤフラムの偏向に基づいて差圧を判定すること;
前記センサボディの外側に位置する第一の電極と共に第一のキャパシタンスを形成することであって、前記第一のキャパシタンスが前記電極および前記センサボディの間に形成され、そして前記プロセス流体のライン圧力に起因する前記センサボディの変形に基づいて変化するキャパシタンスを有すること;および
前記キャパシタンスの変化に基づいて前記プロセス流体のライン圧力を判定すること、
を含む、プロセス流体の差圧およびライン圧力を測定するための方法。 - 前記センサボディの外側に取り付けられる第二の電極を含み、前記ライン圧力が前記第一の電極を用いて測定される第一のキャパシタンスおよび前記第二の電極を用いて測定される第二のキャパシタンスに基づいて判定される、請求項12に記載の方法。
- ダイヤフラムキャパシタンスを基礎とし前記窪み部内の前記ダイヤフラムの動きに基づいて測定することにより差圧を判定することを含む、請求項12に記載の方法。
- 温度に基づいてライン圧力の測定値を補償することを含む、請求項12に記載の方法。
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