RU2538363C2 - Датчик дифференциального давления с измерением давления в линии - Google Patents

Датчик дифференциального давления с измерением давления в линии Download PDF

Info

Publication number
RU2538363C2
RU2538363C2 RU2012157960/28A RU2012157960A RU2538363C2 RU 2538363 C2 RU2538363 C2 RU 2538363C2 RU 2012157960/28 A RU2012157960/28 A RU 2012157960/28A RU 2012157960 A RU2012157960 A RU 2012157960A RU 2538363 C2 RU2538363 C2 RU 2538363C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pressure
sensor
electrode
diaphragm
cavity
Prior art date
Application number
RU2012157960/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2012157960A (ru
Inventor
Джон П. ШУЛЬТЕ
Дэвид Дж. ТАЙСОН
Эндрю Дж. КЛОСИНСКИ
Original Assignee
Роузмаунт Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роузмаунт Инк. filed Critical Роузмаунт Инк.
Publication of RU2012157960A publication Critical patent/RU2012157960A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2538363C2 publication Critical patent/RU2538363C2/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L15/00—Devices or apparatus for measuring two or more fluid pressure values simultaneously

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относится к датчикам давления, используемым для измерения технологической текучей среды и дифференциального давления. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерений давления. Сборный узел датчика давления для измерения давления технологической текучей среды включает в себя корпус датчика с наличием полости, сформированной в нем, и первое и второе отверстия к полости, сконфигурированные для приложения первого и второго давлений. Диафрагма в полости отделяет первое отверстие от второго отверстия и сконфигурирована с возможностью изгибаться в ответ на перепад давления между первым давлением и вторым давлением. Обеспечивается емкостный датчик деформации, сконфигурированный с возможностью определять величину деформации корпуса датчика в ответ на давление в линии, приложенное к корпусу датчика. 3 н. и 12 з.п. ф-лы, 5 ил.

Description

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ
Настоящее изобретение относится к типу датчиков давления, используемому для измерения давления технологической текучей среды. Более конкретно, настоящее изобретение относится к датчику давления, сконфигурированному для измерения в технологической текучей среде и дифференциального давления и также (рабочего) давления в линии.
Передатчики (преобразователи) используются в системах мониторинга и управления ходом процесса, чтобы измерять различные переменные процесса для технологических процессов. Один тип передатчика измеряет дифференциальное давление технологической текучей среды в ходе процесса. Это измерение дифференциального давления можно затем использовать для вычисления расхода технологической текучей среды. Различные способы были использованы в датчиках давления, используемых в таких передатчиках. Один известный способ состоит в использовании изгибаемой диафрагмы. Емкость измеряется по отношению к диафрагме, причем диафрагма образует одну из емкостных пластин конденсатора. Если диафрагма изгибается вследствие приложенного давления, измеряемая емкость изменяется. В такой конфигурации имеется ряд источников погрешностей в измерениях давления.
Один способ, который рассматривает эти погрешности, излагается в патенте США № 6295875, озаглавленном "PROCESS PRESSURE MEASUREMENT DEVICES WITH IMPROVED ERROR COMPENSATION" (Устройства измерения давления с улучшенной компенсацией погрешностей), выданном 2 октября 2001 изобретателям Frick и др., который полностью включен в документ путем ссылки. Этот патент описывает датчик дифференциального давления, который включает в себя дополнительный электрод для использования в снижении погрешностей измерения. Однако в некоторых установках требуется измерять давление в линии для технологической текучей среды (абсолютное или в масштабе), в дополнение к измерению дифференциального давления.
ОПИСАНИЕ СУЩНОСТИ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Сборный узел датчика давления для измерения давления технологической текучей среды включает в себя корпус датчика, имеющий полость, сформированную в нем, и первое и второе отверстия к полости, сконфигурированные для приложения первого и второго давления. Диафрагма в полости отделяет первое отверстие от второго отверстия и сконфигурирована с возможностью изгибаться в ответ на перепад давления между первым давлением и вторым давлением. Предложен емкостный датчик деформации и сконфигурирован для восприятия (определения величины) деформации корпуса датчика в ответ на давление в линии, приложенное к корпусу датчика.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
Фиг.1 - система измерения параметров процесса с передатчиком параметров процесса, сконструированного в соответствии с настоящим изобретением.
Фиг.2 - схематичный вид передатчика по Фиг.1.
Фиг.3 - вид поперечного сечения части передатчика параметров процесса по Фиг.1.
Фиг.4 - упрощенный вид поперечного сечения датчика давления для использования в иллюстрации действия по настоящему изобретению.
Фиг.5 - вид поперечного сечения датчика давления, включающего в себя электроды, используемые для измерения давления в линии.
ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ СУЩНОСТИ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Настоящее изобретение обеспечивает устройство и способ для определения давления в линии и дифференциального давления для емкостного датчика давления. Путем вычисления отношений сумм, или сумм отношений, для соответственных емкостей (емкостных сопротивлений) в многоемкостном датчике давления, может быть определено дифференциальное давление технологической текучей среды. Как обсуждено в разделе «ПРЕДШЕСТВУЮЩИЙ УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ», в некоторых установках может быть желательным измерять давление в линии (абсолютное или в масштабе) в дополнение к измерению дифференциального давления. Один такой способ для измерения давления в линии показан и описан в находящейся в совместном рассмотрении заявке на патент США № 11/140681, озаглавленной "LINE PRESSURE MEASUREMENT USING DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR" (Измерение давления в линии с использованием датчика дифференциального давления), поданной 27 мая 2005 заявителями Donald E. Harasyn и др., заявкпе на патент США № 11/138977, озаглавленной "PRESSURE SENSOR USING COMPRESSIBLE SENSOR BODY" (Датчик давления, использующий сжимаемый корпус датчика), поданной 26 мая 2005 заявителями David A. Broden и др., которая принадлежит тому же правообладателю с настоящей заявкой, и содержимое которых включается в документ путем ссылки во всей полноте.
На Фиг.1 показана обобщенно среда системы 32 измерения параметров процесса. На Фиг.1 показан технологический трубопровод 30, содержащий текучую среду под давлением, связанный с системой 32 измерения параметров процесса для измерения рабочего давления. Система 32 измерения параметров процесса включает в себя импульсный трубопровод 34, соединенный с трубопроводом 30. Импульсный трубопровод 34 соединен с передатчиком 36 рабочего давления. Первичный измерительный элемент 33, такой как измерительная диафрагма, трубка Вентури, измерительное сопло и тому подобное, входит в контакт с технологической текучей средой в позиции в технологическом трубопроводе 30 между трубками импульсного трубопровода 34. Первичный измерительный элемент 33 вызывает изменение давления в текучей среде, если она проходит мимо первичного измерительного элемента 33. Это изменение давления (изменение дифференциального давления) относится к движению технологической текучей среды. Датчик дифференциального давления может использоваться для измерения этого изменения давления, а измерительная схема - использоваться для обеспечения выходных данных, относящихся к движению технологической текучей среды.
Передатчик 36 является устройством измерения параметров процесса, которое воспринимает рабочие давления через импульсный трубопровод 34. Передатчик 36 воспринимает дифференциальное рабочее давление и преобразовывает его в стандартизированный сигнал передачи, который является функцией последовательности технологических операций (потока).
Контур 38 процесса предпочтительно обеспечивает и сигнал питания на передатчик 36 от аппаратной 40, и двунаправленную связь, и может создаваться в соответствии с рядом протоколов связи процесса. В иллюстрируемом примере контур 38 процесса является двухпроводным контуром. Двухпроводный контур используется, чтобы передавать всю мощность питания и все передачи на передатчик 36, и от него в течение обычных операций с помощью сигнала в 4-20 мА. Компьютер 42 или другая система обработки информации через модем 44, или другой сетевой интерфейс, используется для связи с передатчиком 36. Удаленный источник напряжения 46 питает передатчик 36. Другой пример контура управления процессом представляет беспроводная связь, в которой данные передаются с помощью беспроводных технологий либо непосредственно на централизованное место, или на конфигурацию типа ячеистой сети или с использованием других способов.
Фиг.2 является упрощенной блок-схемой одного варианта осуществления передатчика 36 давления. Передатчик 36 давления включает в себя модуль 52 датчика и плату 72 электроники, связанные вместе через шину данных 66. Электроника 60 модуля датчика связывает с датчиком 56 давления, который принимает приложенное дифференциальное давление 54. Информационное соединение 58 связывает датчик 56 с аналого-цифровым преобразователем 62. Необязательный термодатчик 63 также иллюстрируется наряду с запоминающим устройством 64 модуля датчика. Плата 72 электроники включает в себя микрокомпьютерную систему 74, запоминающее устройство 76 модуля электроники, цифроаналоговое преобразование 78 сигнала и блок 80 цифровой связи. Выход обеспечивается на контуре 38 относящимся к воспринятому давлению. Фиг.2 также схематично иллюстрирует внешний емкостный датчик деформации 59, который размещается внешне по отношению к корпусу датчика 56 давления и выполнен с возможностью обеспечивать емкостную величину. Датчик 59 выполнен с возможностью иметь емкостную величину, которая изменяется в ответ на деформацию корпуса датчика 56 давления вследствие приложенного давления. Как схематично проиллюстрировано на Фиг.2, давление в линии прикладывается к корпусу датчика 56 давления вследствие приложения давления 54.
В соответствии со способами, изложенными в патенте США № 6295875, выданном Frick и др., передатчик 36 давления измеряет дифференциальное давление. Однако настоящее изобретение не ограничивается такой конфигурацией.
На Фиг.3 показан упрощенный вид поперечного сечения для одного варианта осуществления модуля датчика 52, показывающий датчик 56 давления. Датчик 56 давления взаимодействует с технологической текучей средой через изолирующие диафрагмы 90, которые изолируют технологическую текучую среду от полостей 92. Полости 92 взаимодействуют с модулем 56 датчика давления через капиллярные трубки 94. По существу несжимаемая заполняющая текучая среда заполняет полости 92 и капиллярные трубки 94. Когда давление от технологической текучей среды прикладывается к диафрагмам 90, оно передается на датчик 56 давления.
Согласно одному варианту осуществления, датчик 56 давления образован из двух половин 114 и 116 датчика давления и заполнен по существу несжимаемым сплошным материалом 105, таким как стекло или керамика. Центральная диафрагма 106 расположена внутри полости 132, 134, сформированной внутри датчика 56. Внешняя стенка полости 132, 134 несет электроды 144, 146, 148 и 150. Эти электроды обычно именуются первичными электродами 144 и 148 и вторичными электродами 146 и 150. Эти электроды образуют конденсаторы по отношению к подвижной диафрагме 106. Конденсаторы опять именуются первичными и вторичными конденсаторами, соответственно.
Как проиллюстрировано на Фиг.3, различные электроды в датчике 56 соединяются с аналого-цифровым преобразователем 62 по электрическому соединению 103, 104, 108 и 110. Дополнительно, изгибаемая диафрагма 106 соединяется с аналого-цифровым преобразователем 62 через соединение 109.
Как описано в патенте США № 6295875, дифференциальное давление, приложенное к датчику 56, можно измерять, используя электроды 144, 146, 148 и 150. Как обсуждено ниже, на Фиг.3 схематично иллюстрируется емкостный передатчик 56 дифференциального давления, который описан ниже более подробно.
В действии, давления P1 и P2 прижимают изолирующую диафрагму 90, посредством этого нажимая по существу на несжимаемую заполняющую текучую среды, которая заполняет полость между центральной диафрагмой 106 и изолирующей диафрагмой 90. Это заставляет центральную диафрагму 106 изгибаться, приводя к изменению емкости между диафрагмой 106 и электродами 146, 144, 148, и 150. Используя известные способы, изменения в этих емкостях можно измерять и использовать, чтобы определить дифференциальное давление.
На Фиг.4 показан упрощенный вид поперечного сечения датчика 56, используемый для иллюстрации действия по настоящему изобретению. Фиг.4 иллюстрирует различные электрические соединения с электродами 144, 146, 148, и 150.
В течение действия датчика 56 давления, давление в линии, приложенное к датчику давления через капиллярные трубки 94 (см. Фиг.3), вызывает деформацию в корпусе 220 датчика 56 давления. Хотя оба давления P1 и P2 вызывают деформацию датчика. Датчик будет основываться на трех различных условиях. Высокое давление до элемента (точки измерения) и низкое давление после элемента, и низкое давление до элемента и высокое давление после элемента и высокое давление до элемента с высоким давлением после элемента. Датчик будет измерять давление в линии, определенное в виде максимального из давления после элемента или до элемента. Приложенное давление в линии вызывает разность давлений между давлением внутри корпуса 220 и внутренней среды передатчика давления. Этот перепад давлений вызывает деформацию в корпусе 220. В примере, приведенном на Фиг.4, показана значительно преувеличенная деформация. Конкретно, приложенное давление в линии вызывает «выпучивание» наружу наружных стенок 200 и 202 корпуса 220 до позиций, показанных пунктиром в 200' и 202'.
Настоящее изобретение обеспечивает способ измерения давления в линии на основании деформирования, или изгиба, вдоль края датчика 56 давления. Этот изгиб иллюстрируется пунктирными линиями, помеченными 200' и 202'. Около центрального конца датчика 56 величина перемещения иллюстрируется в виде Δd1. Как показано на Фиг.4, перемещение около центра датчика 56 Δd1 больше перемещения около края Δd2. Давление в линии относится к и Δd1, и Δd2, а также относительному измерению, такому как Δd1-Δd2 или Δd1/Δd2.
Фиг.5 представляет упрощенный вид поперечного сечения датчика 56, иллюстрирующий один способ для измерения перемещения Δd1 или Δd2. В примерном варианте осуществления по Фиг.5 осуществляется мониторинг перемещений путем помещения кольцевых емкостных электродов 240 и 242 очень близко к одному концу датчика 56. Электроды 240, 242 выполняются на изолированной несущей пластине 244, поддерживаемой держателем 248. В одной конфигурации держатель 248 содержит трубку или подобное. Держатель 248 может прикрепляться по непрерывной линии (постоянно), или в точках, к датчику 56 и изолированной несущей пластине 244. В другой примерной конфигурации держатель 248 содержит множественные держатели или имеет форму, которая не проходит непрерывно вдоль внешней окружности датчика 56. В другой примерной конфигурации изолированная несущая пластина 244 монтируется к капиллярной трубке 94 с использованием связующего вещества 250. Такая конфигурация может необязательно включать в себя держатель 248. В такой конфигурации, изолирующая несущая пластина 244 может или не может крепиться к держателю 248. Предпочтительно, держатель пластины 244 сконфигурирован, чтобы либо испытывать небольшое деформирование в ответ на давление в линии или деформироваться способом, который вносит вклад в Δd1 и/или Δd2, чтобы посредством этого повысить чувствительность устройства.
Обеспечиваются электрические соединения к электродам 240 и 242 и могут использоваться для измерения емкостей C1 и C2, которые образуются по отношению к корпусу 220 датчика.
Номинальное расстояние d0 между электродами 240 и 242 и датчиком может регулироваться при монтаже изолированной несущей пластины 244 относительно корпуса 220 датчика. Диэлектрическим материалом между электродами 240, 242 и корпусом датчика может быть окружающий газ, который окружает датчик 56, например азот. В одном предпочтительном варианте осуществления конденсаторы C1 и C2 имеют одинаковую величину (то есть, C1=C2) в исходном положении. В такой конфигурации номинальные изменения расстояния d0 или диэлектрической константы газа не влияют на разность между C1 и C2, поскольку в состоянии покоя C1-C2=0. Несколько улучшенную избыточность можно получить, помещая емкостные датчики на обеих сторонах датчика 56. В одной конфигурации термодатчик также обеспечивается и используется, чтобы обеспечивать температурную компенсацию по отношению к измерениям давления в линии вследствие изменений емкости C1, C2 на основе температуры. Датчик 59 деформации, иллюстрируемый на Фиг.2, как таковой образуется электродами, показанными на Фиг.5, которые внешне монтируются к корпусу датчика способом, посредством чего их емкость меняется в ответ на деформацию корпуса датчика.
Хотя настоящее изобретение было описано со ссылкой на предпочтительные варианты осуществления, специалисты в данной области техники признают, что могут делаться изменения по форме и деталям без выхода за рамки существа и объема изобретения. Например, корпус датчика и изолированная несущая пластина не обязательно должны иметь круглую форму. Могут использоваться различные способы крепления, чтобы уменьшить напряжение, которое прикладывается к несущей пластине. Как используется в документе, "текучая среда" включает в себя жидкости и газы, или смеси, которые могут включать в себя твердые вещества.

Claims (15)

1. Датчик давления в сборе для измерения давления технологической текучей среды, содержащий:
корпус датчика, имеющий сформированную в нем полость и первое и второе отверстия к полости, сконфигурированные для приложения первого и второго давлений;
диафрагму в полости, отделяющую первое отверстие от второго отверстия, чувствительную к дифференциальному давлению;
первый электрод, смонтированный наружно к корпусу датчика, выполненный с возможностью формировать первую емкость с корпусом датчика, причем первая емкость меняется в ответ на давление в линии технологической текучей среды вследствие деформации корпуса датчика; и
измерительную схему, связанную с электродом, выполненную с возможностью измерять давление в линии на основе первой емкости.
2. Датчик по п.1, включающий в себя второй электрод, смонтированный наружно к корпусу датчика, и при этом вторая емкость формируется между вторым смонтированным электродом и корпусом датчика.
3. Датчик по п.1, включающий в себя второй электрод, смонтированный наружно к корпусу датчика, и при этом измерительная схема имеет выход, относящийся к давлению в линии, на основании первой емкости, измеренной с использованием первого электрода, и второй емкости, использующей второй электрод.
4. Датчик по п.1, включающий в себя изоляционную пластину, сконфигурированную для несения электрода.
5. Датчик по п.4, в котором изоляционная пластина монтируется к корпусу датчика.
6. Датчик по п.5, в котором изоляционная пластина монтируется к держателю, который монтируется к корпусу датчика.
7. Датчик по п.4, в котором изоляционная пластина монтируется к капиллярной трубке, связанной с корпусом датчика.
8. Датчик по п.1, включающий в себя датчик дифференциального давления, связанный с диафрагмой, имеющей выход, относящийся к дифференциальному давлению, на основании перемещения диафрагмы внутри полости.
9. Датчик по п.8, в котором выход основывается на переменной емкости, которую образует диафрагма.
10. Датчик по п.1, в котором измерение давления в линии является компенсированным на основе температуры.
11. Передатчик параметров процесса для измерения давления технологической текучей среды, включающий в себя датчик давления по п.1.
12. Способ для измерения дифференциального давления и давления в линии технологической текучей среды, содержащий:
монтаж изгибаемой диафрагмы в полости в корпусе датчика;
приложение первого давления технологической текучей среды к одной стороне изгибаемой диафрагмы в полости;
приложение второго давления технологической текучей среды к другой стороне изгибаемой диафрагмы в полости;
определение дифференциального давления на основании прогиба изгибаемой диафрагмы;
формирование первой емкости с помощью первого электрода, позиционированного наружно к корпусу датчика, первая емкость образуется между электродом и корпусом датчика и имеет емкость, которая изменяется на основании деформации корпуса датчика вследствие давления в линии технологической текучей среды; и
определение давления в линии технологической текучей среды на основании изменений емкости.
13. Способ по п.12, включающий в себя обеспечение второго электрода, смонтированного наружно к корпусу датчика, и при этом давление в линии определяется на основании первой емкости, измеренной с использованием первого электрода, и второй емкости, использующей второй электрод.
14. Способ по п.12, включающий в себя определение дифференциального давления путем измерения на основе перемещения диафрагмы внутри полости на основании емкости диафрагмы.
15. Способ по п.12, включающий в себя компенсирование измерения давления в линии на основании температуры.
RU2012157960/28A 2010-06-08 2011-06-01 Датчик дифференциального давления с измерением давления в линии RU2538363C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/796,023 US8234927B2 (en) 2010-06-08 2010-06-08 Differential pressure sensor with line pressure measurement
US12/796,023 2010-06-08
PCT/US2011/038688 WO2011156185A1 (en) 2010-06-08 2011-06-01 Differential pressure sensor with line pressure measurement

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012157960A RU2012157960A (ru) 2014-07-20
RU2538363C2 true RU2538363C2 (ru) 2015-01-10

Family

ID=44259617

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012157960/28A RU2538363C2 (ru) 2010-06-08 2011-06-01 Датчик дифференциального давления с измерением давления в линии

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8234927B2 (ru)
EP (1) EP2580565B1 (ru)
JP (1) JP5409965B2 (ru)
CN (3) CN102279075A (ru)
CA (1) CA2804988C (ru)
MX (1) MX2012013749A (ru)
RU (1) RU2538363C2 (ru)
WO (1) WO2011156185A1 (ru)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8234927B2 (en) * 2010-06-08 2012-08-07 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with line pressure measurement
US9057659B2 (en) 2012-05-22 2015-06-16 Rosemount Inc. Pressure transmitter with hydrogen getter
US20140260645A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Kulite Semiconductor Products, Inc. Differential Sensor Assembly With Both Pressures Applied From One Side
EP2824438A1 (en) * 2013-07-12 2015-01-14 Siemens Aktiengesellschaft Pressure sensor
JP6522624B2 (ja) * 2013-09-06 2019-05-29 イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド 絶対圧差圧圧力トランスデューサー
DE102013113594A1 (de) * 2013-12-06 2015-06-11 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdrucksensor
US9316553B2 (en) * 2014-03-26 2016-04-19 Rosemount Inc. Span line pressure effect compensation for diaphragm pressure sensor
DE102014104831A1 (de) * 2014-04-04 2015-10-08 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdrucksensor
US10635064B2 (en) 2014-06-30 2020-04-28 Rosemount Inc. Hysteretic process variable sensor compensation
DE102014109491A1 (de) * 2014-07-08 2016-02-11 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdruckmesszelle
CN104574796B (zh) * 2015-02-03 2016-11-23 浙江三锋实业股份有限公司 一种链锯的供油监测报警系统
US10386001B2 (en) * 2015-03-30 2019-08-20 Rosemount Inc. Multiple field device flange
EP3112830B1 (en) 2015-07-01 2018-08-22 Sensata Technologies, Inc. Temperature sensor and method for the production of a temperature sensor
US20200204926A1 (en) * 2015-08-18 2020-06-25 Wizedsp Ltd. Ultra-low distortion microphone buffer
US9638559B1 (en) 2016-02-10 2017-05-02 Sensata Technologies Inc. System, devices and methods for measuring differential and absolute pressure utilizing two MEMS sense elements
US10428716B2 (en) 2016-12-20 2019-10-01 Sensata Technologies, Inc. High-temperature exhaust sensor
US10502641B2 (en) 2017-05-18 2019-12-10 Sensata Technologies, Inc. Floating conductor housing
CA3099745A1 (en) 2018-05-17 2019-11-21 Rosemount Inc. Measuring element and measuring device comprising the same
US11480488B2 (en) 2018-09-28 2022-10-25 Rosemount Inc. Industrial process transmitter with radiation shield

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3820878A1 (de) * 1988-06-21 1989-12-28 Wolfgang Dipl Phys Scholl Kapazitives sensorelement zum aufbau mechanisch-elektrischer messwandler
EP1418413A2 (en) * 1999-05-14 2004-05-12 Rosemount Inc. Process pressure measurement devices with improved error compensation
WO2006130425A1 (en) * 2005-05-27 2006-12-07 Rosemount Inc. Line pressure measurement using differential pressure sensor

Family Cites Families (109)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2533339A (en) 1946-06-22 1950-12-12 Jabez Burns & Sons Inc Flammable vapor protection
US3012432A (en) 1957-09-23 1961-12-12 Richard H Moore Leak tester
GB1023042A (en) 1962-05-07 1966-03-16 Wayne Kerr Lab Ltd Improvements in or relating to pressure responsive apparatus
US3232712A (en) 1962-08-16 1966-02-01 Continental Lab Inc Gas detector and analyzer
US3374112A (en) 1964-03-05 1968-03-19 Yeda Res & Dev Method and apparatus for controlled deposition of a thin conductive layer
US3249833A (en) 1964-11-16 1966-05-03 Robert E Vosteen Capacitor transducer
FR1438366A (fr) 1965-03-22 1966-05-13 B A R A Appareil de mesure de force ou pression
DE1932899A1 (de) 1969-06-28 1971-01-07 Rohrbach Dr Christof Messwertgeber zum Umwandeln von Kraeften,mechanischen Spannungen oder Druecken in elektrische Widerstandsaenderungen
US3557621A (en) 1969-07-07 1971-01-26 C G S Scient Corp Inc Variable capacitance detecting devices
US3618390A (en) 1969-10-27 1971-11-09 Rosemount Eng Co Ltd Differential pressure transducer
GB1354025A (en) 1970-05-25 1974-06-05 Medicor Muevek Capacitive pressure transducer
US3924219A (en) 1971-12-22 1975-12-02 Minnesota Mining & Mfg Gas detection device
US3808480A (en) 1973-04-16 1974-04-30 Bunker Ramo Capacitive pressure transducer
US4008619A (en) 1975-11-17 1977-02-22 Mks Instruments, Inc. Vacuum monitoring
US4177496A (en) 1976-03-12 1979-12-04 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer
US4158217A (en) 1976-12-02 1979-06-12 Kaylico Corporation Capacitive pressure transducer with improved electrode
US4120206A (en) 1977-01-17 1978-10-17 Rosemount Inc. Differential pressure sensor capsule with low acceleration sensitivity
US4168518A (en) 1977-05-10 1979-09-18 Lee Shih Y Capacitor transducer
US4172387A (en) * 1978-06-05 1979-10-30 The Foxboro Company Pressure responsive apparatus
US4227419A (en) 1979-09-04 1980-10-14 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer
US4244226A (en) 1979-10-04 1981-01-13 Honeywell Inc. Distance measuring apparatus and a differential pressure transmitter utilizing the same
US4322775A (en) 1979-10-29 1982-03-30 Delatorre Leroy C Capacitive pressure sensor
US4434451A (en) 1979-10-29 1984-02-28 Delatorre Leroy C Pressure sensors
US4287553A (en) 1980-06-06 1981-09-01 The Bendix Corporation Capacitive pressure transducer
US4336567A (en) 1980-06-30 1982-06-22 The Bendix Corporation Differential pressure transducer
US4370890A (en) 1980-10-06 1983-02-01 Rosemount Inc. Capacitive pressure transducer with isolated sensing diaphragm
US4358814A (en) 1980-10-27 1982-11-09 Setra Systems, Inc. Capacitive pressure sensor
US4422335A (en) 1981-03-25 1983-12-27 The Bendix Corporation Pressure transducer
US4458537A (en) 1981-05-11 1984-07-10 Combustion Engineering, Inc. High accuracy differential pressure capacitive transducer
US4389895A (en) 1981-07-27 1983-06-28 Rosemount Inc. Capacitance pressure sensor
US4466290A (en) 1981-11-27 1984-08-21 Rosemount Inc. Apparatus for conveying fluid pressures to a differential pressure transducer
US4455874A (en) 1981-12-28 1984-06-26 Paroscientific, Inc. Digital pressure transducer
US4422125A (en) 1982-05-21 1983-12-20 The Bendix Corporation Pressure transducer with an invariable reference capacitor
US4586382A (en) 1982-09-29 1986-05-06 Schlumberger Technology Corporation Surface acoustic wave sensors
CH658726A5 (de) 1983-01-31 1986-11-28 Standard St Sensortechnik Ag Hydraulischer druckaufnehmer.
DE3340834A1 (de) 1983-11-11 1985-05-23 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Schaltungsanordnung zur konstanthaltung der temperaturabhaengigen empfindlichkeit eines differenzdruckmessgeraetes
US4739666A (en) 1983-12-12 1988-04-26 Pfister Gmbh Flat-spread force measuring device
US4490773A (en) 1983-12-19 1984-12-25 United Technologies Corporation Capacitive pressure transducer
JPS60133320A (ja) 1983-12-22 1985-07-16 Ishida Scales Mfg Co Ltd 荷重検出器
US4542436A (en) 1984-04-10 1985-09-17 Johnson Service Company Linearized capacitive pressure transducer
US4562742A (en) 1984-08-07 1986-01-07 Bell Microcomponents, Inc. Capacitive pressure transducer
US4586108A (en) 1984-10-12 1986-04-29 Rosemount Inc. Circuit for capacitive sensor made of brittle material
US4670733A (en) 1985-07-01 1987-06-02 Bell Microsensors, Inc. Differential pressure transducer
US4860232A (en) 1987-04-22 1989-08-22 Massachusetts Institute Of Technology Digital technique for precise measurement of variable capacitance
US4785669A (en) 1987-05-18 1988-11-22 Mks Instruments, Inc. Absolute capacitance manometers
US4864874A (en) 1987-08-05 1989-09-12 Pfister Gmbh Force measuring device
US4875369A (en) 1987-09-08 1989-10-24 Panex Corporation Pressure sensor system
JPH01141328A (ja) 1987-11-27 1989-06-02 Hitachi Ltd 差圧伝送器
US4878012A (en) 1988-06-10 1989-10-31 Rosemount Inc. Charge balanced feedback transmitter
US4977480A (en) 1988-09-14 1990-12-11 Fuji Koki Mfg. Co., Ltd. Variable-capacitance type sensor and variable-capacitance type sensor system using the same
US4926674A (en) 1988-11-03 1990-05-22 Innovex Inc. Self-zeroing pressure signal generator
US4951174A (en) 1988-12-30 1990-08-21 United Technologies Corporation Capacitive pressure sensor with third encircling plate
US5144841A (en) 1990-02-23 1992-09-08 Texas Instruments Incorporated Device for measuring pressures and forces
JPH03255327A (ja) * 1990-03-03 1991-11-14 Fuji Electric Co Ltd 差圧検出器
US5194819A (en) 1990-08-10 1993-03-16 Setra Systems, Inc. Linearized capacitance sensor system
US5094109A (en) 1990-12-06 1992-03-10 Rosemount Inc. Pressure transmitter with stress isolation depression
ATE147854T1 (de) 1991-01-31 1997-02-15 Pfister Messtechnik Übertragungselement für kraft- oder momentmessvorrichtungen
US5163326A (en) * 1991-03-08 1992-11-17 Rosemount Inc. Line pressure compensator for a pressure transducer
JP2595829B2 (ja) * 1991-04-22 1997-04-02 株式会社日立製作所 差圧センサ、及び複合機能形差圧センサ
US5168419A (en) 1991-07-16 1992-12-01 Panex Corporation Capacitor and pressure transducer
DE4124662A1 (de) 1991-07-25 1993-01-28 Fibronix Sensoren Gmbh Relativdrucksensor
US5230250A (en) 1991-09-03 1993-07-27 Delatorre Leroy C Capacitor and pressure transducer
JP3182807B2 (ja) 1991-09-20 2001-07-03 株式会社日立製作所 多機能流体計測伝送装置及びそれを用いた流体量計測制御システム
GB9121581D0 (en) 1991-10-11 1991-11-27 Caradon Everest Ltd Fire resistant glass
JPH05296867A (ja) 1992-04-23 1993-11-12 Hitachi Ltd 差圧伝送器
US5233875A (en) 1992-05-04 1993-08-10 Kavlico Corporation Stable capacitive pressure transducer system
US5329818A (en) 1992-05-28 1994-07-19 Rosemount Inc. Correction of a pressure indication in a pressure transducer due to variations of an environmental condition
US5492016A (en) 1992-06-15 1996-02-20 Industrial Sensors, Inc. Capacitive melt pressure measurement with center-mounted electrode post
US5471882A (en) 1993-08-31 1995-12-05 Quartzdyne, Inc. Quartz thickness-shear mode resonator temperature-compensated pressure transducer with matching thermal time constants of pressure and temperature sensors
WO1995008759A1 (en) 1993-09-24 1995-03-30 Rosemount Inc. Pressure transmitter isolation diaphragm
US5542300A (en) 1994-01-24 1996-08-06 Setra Systems, Inc. Low cost, center-mounted capacitive pressure sensor
US5642301A (en) 1994-01-25 1997-06-24 Rosemount Inc. Transmitter with improved compensation
US5583294A (en) * 1994-08-22 1996-12-10 The Foxboro Company Differential pressure transmitter having an integral flame arresting body and overrange diaphragm
WO1996017235A1 (en) 1994-11-30 1996-06-06 Rosemount Inc. Pressure transmitter with fill fluid loss detection
US6484585B1 (en) 1995-02-28 2002-11-26 Rosemount Inc. Pressure sensor for a pressure transmitter
US5637802A (en) 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
US5705978A (en) 1995-09-29 1998-01-06 Rosemount Inc. Process control transmitter
DE19648048C2 (de) 1995-11-21 2001-11-29 Fuji Electric Co Ltd Detektorvorrichtung zur Druckmessung basierend auf gemessenen Kapazitätswerten
US5757608A (en) 1996-01-25 1998-05-26 Alliedsignal Inc. Compensated pressure transducer
US6654697B1 (en) 1996-03-28 2003-11-25 Rosemount Inc. Flow measurement with diagnostics
US5668322A (en) 1996-06-13 1997-09-16 Rosemount Inc. Apparatus for coupling a transmitter to process fluid having a sensor extension selectively positionable at a plurality of angles
US20040015069A1 (en) 1996-12-27 2004-01-22 Brown David Lloyd System for locating inflamed plaque in a vessel
US5911162A (en) 1997-06-20 1999-06-08 Mks Instruments, Inc. Capacitive pressure transducer with improved electrode support
US6675656B1 (en) 1998-04-09 2004-01-13 Ploechinger Heinz Pressure or force sensor structure and method for producing the same
US6003219A (en) 1998-04-24 1999-12-21 Rosemount Inc. Method of making a pressure transmitter having pressure sensor having cohered surfaces
US6701274B1 (en) 1999-08-27 2004-03-02 Rosemount Inc. Prediction of error magnitude in a pressure transmitter
US6520020B1 (en) 2000-01-06 2003-02-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor
US6662662B1 (en) 2000-05-04 2003-12-16 Rosemount, Inc. Pressure transmitter with improved isolator system
DE10117142A1 (de) * 2001-04-05 2002-10-10 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Kapazitiver Differenz-Drucksensor
US6516672B2 (en) 2001-05-21 2003-02-11 Rosemount Inc. Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter
US6675655B2 (en) 2002-03-21 2004-01-13 Rosemount Inc. Pressure transmitter with process coupling
EP1576342A2 (en) 2002-11-12 2005-09-21 CiDra Corporation An apparatus having an array of clamp on piezoelectric film sensors for measuring parameters of a process flow within a pipe
US7197942B2 (en) 2003-06-05 2007-04-03 Cidra Corporation Apparatus for measuring velocity and flow rate of a fluid having a non-negligible axial mach number using an array of sensors
EP1646864B1 (en) 2003-07-18 2018-11-07 Rosemount Inc. Process diagnostics
US7215529B2 (en) 2003-08-19 2007-05-08 Schlegel Corporation Capacitive sensor having flexible polymeric conductors
JP2005069705A (ja) * 2003-08-26 2005-03-17 Fuji Electric Systems Co Ltd 差圧・圧力検出器
US6901803B2 (en) * 2003-10-02 2005-06-07 Rosemount Inc. Pressure module
US7523667B2 (en) 2003-12-23 2009-04-28 Rosemount Inc. Diagnostics of impulse piping in an industrial process
US7577543B2 (en) 2005-03-11 2009-08-18 Honeywell International Inc. Plugged impulse line detection
US7401522B2 (en) 2005-05-26 2008-07-22 Rosemount Inc. Pressure sensor using compressible sensor body
US7379792B2 (en) * 2005-09-29 2008-05-27 Rosemount Inc. Pressure transmitter with acoustic pressure sensor
US7543501B2 (en) 2005-10-27 2009-06-09 Advanced Research Corporation Self-calibrating pressure sensor
US7467555B2 (en) * 2006-07-10 2008-12-23 Rosemount Inc. Pressure transmitter with multiple reference pressure sensors
US7624642B2 (en) * 2007-09-20 2009-12-01 Rosemount Inc. Differential pressure sensor isolation in a process fluid pressure transmitter
US7484416B1 (en) 2007-10-15 2009-02-03 Rosemount Inc. Process control transmitter with vibration sensor
US7779698B2 (en) * 2007-11-08 2010-08-24 Rosemount Inc. Pressure sensor
US7954383B2 (en) * 2008-12-03 2011-06-07 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using fill tube
US8429978B2 (en) * 2010-03-30 2013-04-30 Rosemount Inc. Resonant frequency based pressure sensor
US8234927B2 (en) * 2010-06-08 2012-08-07 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with line pressure measurement

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3820878A1 (de) * 1988-06-21 1989-12-28 Wolfgang Dipl Phys Scholl Kapazitives sensorelement zum aufbau mechanisch-elektrischer messwandler
EP1418413A2 (en) * 1999-05-14 2004-05-12 Rosemount Inc. Process pressure measurement devices with improved error compensation
WO2006130425A1 (en) * 2005-05-27 2006-12-07 Rosemount Inc. Line pressure measurement using differential pressure sensor

Also Published As

Publication number Publication date
CN105181224B (zh) 2018-09-11
CN202182796U (zh) 2012-04-04
CN105181224A (zh) 2015-12-23
JP2013531791A (ja) 2013-08-08
MX2012013749A (es) 2013-02-12
EP2580565A1 (en) 2013-04-17
CA2804988C (en) 2016-01-12
EP2580565B1 (en) 2019-03-27
US20110296926A1 (en) 2011-12-08
CN102279075A (zh) 2011-12-14
RU2012157960A (ru) 2014-07-20
WO2011156185A1 (en) 2011-12-15
US8234927B2 (en) 2012-08-07
CA2804988A1 (en) 2011-12-15
JP5409965B2 (ja) 2014-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2538363C2 (ru) Датчик дифференциального давления с измерением давления в линии
JP5416967B2 (ja) 圧力センサアセンブリ、圧力センサおよびライン圧力測定方法
EP2593766B1 (en) Differential pressure transmitter with complimentary dual absolute pressure sensors
EP2761264B1 (en) Process fluid pressure transmitter with separated sensor and sensor electronics
CN104949794B (zh) 针对隔膜压力传感器的跨度线压效应补偿
EP1974195B1 (en) Pressure sensor with deflectable diaphragm

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200602