JP2016531299A - 絶対圧差圧圧力トランスデューサー - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 55
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 16
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- UOZODPSAJZTQNH-UHFFFAOYSA-N Paromomycin II Natural products NC1C(O)C(O)C(CN)OC1OC1C(O)C(OC2C(C(N)CC(N)C2O)OC2C(C(O)C(O)C(CO)O2)N)OC1CO UOZODPSAJZTQNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- ALEXXDVDDISNDU-JZYPGELDSA-N cortisol 21-acetate Chemical compound C1CC2=CC(=O)CC[C@]2(C)[C@@H]2[C@@H]1[C@@H]1CC[C@@](C(=O)COC(=O)C)(O)[C@@]1(C)C[C@@H]2O ALEXXDVDDISNDU-JZYPGELDSA-N 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000013341 scale-up Methods 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/38—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction the pressure or differential pressure being measured by means of a movable element, e.g. diaphragm, piston, Bourdon tube or flexible capsule
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/48—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by a capillary element
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/50—Correcting or compensating means
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/001—Means for regulating or setting the meter for a predetermined quantity
- G01F15/002—Means for regulating or setting the meter for a predetermined quantity for gases
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0046—Fluidic connecting means using isolation membranes
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
- G01L9/0054—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements integral with a semiconducting diaphragm
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Abstract
Description
200 絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー
202 ノッチ
204 回路基板
208 変換器本体
210 空洞
212 フレキシブルケーブルコネクタ
214 隔離膜
216 圧力ポート
220 絶対圧検知素子
230 差圧検知素子
240 温度センサー
400 質量流量コントローラー
402 電源コネクタ
404 ディスプレイインターフェース
406 通信インターフェース
420 入口
422 流体通路
424 温度センサー
430 出口
440 層流素子
450 流量制御バルブアセンブリ
460 制御電子回路
500 質量流量計
Claims (20)
- 少なくとも第1の空洞および第2の空洞と、
少なくとも第1の圧力ポートおよび第2の圧力ポートと、
前記第1の空洞を前記第1の圧力ポートに印加される第1の流体圧にさらす第1の隔離膜と、
前記第2の空洞を前記第2の圧力ポートに印加される第2の流体圧にさらす少なくとも第2の隔離膜と、
前記第1の空洞および前記第2の空洞の一方において絶対圧にさらされる少なくとも1つの絶対圧検知素子と、
前記第1の空洞と前記第2の空洞との間の差圧にさらされる少なくとも1つの差圧検知素子とを具備する絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。 - 前記第1の空洞および前記第2の空洞の少なくとも一方は液体で満たされる請求項1に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 少なくとも前記第1の空洞および前記第2の空洞は単一の本体内に形成される請求項1に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 少なくとも前記第1の空洞および前記第2の空洞は別々の本体内に形成される請求項1に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 前記第1の空洞および前記第2の空洞の少なくとも一方に熱的に結合される少なくとも1つの感温素子を更に具備する請求項1に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 前記絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサーは、前記感温素子を用いて、任意のゲージ温度係数を補償する請求項5に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 変換器本体に結合される回路基板を更に具備する請求項1に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 前記回路基板は、前記絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサーのための較正データを含むデータを記憶するメモリを更に具備する請求項7に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 前記回路基板は、計測増幅器と、その挙動が前記絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサーによってもたらされる圧力信号の較正に影響を及ぼす回路とを更に具備する請求項8に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 前記回路基板は、前記絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサーがさらされる任意の正味の重力および加速力の大きさおよび方向を示すことができる加速度計を更に具備する請求項7に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 前記第1の隔離膜および前記第2の隔離膜のうちの少なくとも1つは、可撓性の波形金属ダイヤフラムである請求項1に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 前記第1の隔離膜および前記第2の隔離膜のうちの少なくとも1つは、前記絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサーの取り付け面から盛り上がっている厳密に指定された外形を有する請求項1に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 前記絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサーの、プロセス流体に暴露した全ての表面が耐腐食性合金から形成される請求項1に記載の絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー。
- 層流素子と、
少なくとも第1の空洞および第2の空洞と、少なくとも第1の圧力ポートおよび第2の圧力ポートと、前記第1の空洞を前記第1の圧力ポートに印加される第1の流体圧にさらす第1の隔離膜と、前記第2の空洞を前記第2の圧力ポートに印加される第2の流体圧にさらす第2の隔離膜と、前記第1の空洞および前記第2の空洞の一方において絶対圧にさらされる少なくとも1つの絶対圧検知素子と、前記第1の空洞と前記第2の空洞との間の差圧にさらされる少なくとも1つの差圧検知素子とを含む、絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサーと、
前記層流素子内の流体の温度を提供する感温素子と、
前記流体の前記温度と、前記絶対圧と、前記差圧と、流体特性および層流素子特性の知識とを前記層流素子を通り抜ける質量流量を示す信号に変換する処理素子とを具備する質量流量計。 - 前記層流素子内の前記流体の前記温度を提供する前記感温素子は、前記絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー内に組み込まれる請求項14に記載の質量流量計。
- 前記層流素子内の前記流体の前記温度を提供する前記感温素子は、前記第1の空洞および前記第2の空洞の少なくとも一方に熱的に結合される請求項15に記載の質量流量計。
- 前記絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサーは、前記感温素子を用いて、任意のゲージ温度係数を補償する請求項15に記載の質量流量計。
- 層流素子と、
少なくとも第1の空洞および第2の空洞と、少なくとも第1の圧力ポートおよび第2の圧力ポートと、前記第1の空洞を前記第1の圧力ポートに印加される第1の流体圧にさらす第1の隔離膜と、前記第2の空洞を前記第2の圧力ポートに印加される第2の流体圧にさらす第2の隔離膜と、前記第1の空洞および前記第2の空洞の一方において絶対圧にさらされる少なくとも1つの絶対圧検知素子と、前記第1の空洞と前記第2の空洞との間の差圧にさらされる少なくとも1つの差圧検知素子とを含む、絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサーと、
前記層流素子内の流体の温度を提供する感温素子と、
バルブドライブ信号に応答して、前記層流素子を通り抜ける流体の流量を制御する比例制御バルブと、
前記流体の前記温度と、前記絶対圧と、前記差圧と、流体特性および層流素子特徴の知識とを前記層流素子を通り抜ける質量流量を示す信号に変換し、前記層流素子を通り抜ける所望の流量を示す設定点信号を受信し、前記層流素子を通り抜ける質量流量を示す前記信号が前記受信された設定点信号に実質的に一致するように、前記バルブドライブ信号を制御する制御電子回路とを具備する質量流量コントローラー。 - 前記層流素子内の前記流体の前記温度を提供する前記感温素子は、前記絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサー内に組み込まれる請求項18に記載の質量流量コントローラー。
- 前記絶対圧差圧統合型圧力トランスデューサーは、前記感温素子を用いて、任意のゲージ温度係数を補償する請求項19に記載の質量流量計。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201361874830P | 2013-09-06 | 2013-09-06 | |
US61/874,830 | 2013-09-06 | ||
PCT/US2014/051560 WO2015034663A2 (en) | 2013-09-06 | 2014-08-18 | Absolute and differential pressure transducer |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016531299A true JP2016531299A (ja) | 2016-10-06 |
JP2016531299A5 JP2016531299A5 (ja) | 2017-09-28 |
JP6522624B2 JP6522624B2 (ja) | 2019-05-29 |
Family
ID=51688389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016540898A Active JP6522624B2 (ja) | 2013-09-06 | 2014-08-18 | 絶対圧差圧圧力トランスデューサー |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9562796B2 (ja) |
JP (1) | JP6522624B2 (ja) |
KR (1) | KR102240813B1 (ja) |
CN (1) | CN105518419B (ja) |
WO (1) | WO2015034663A2 (ja) |
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KR20160051743A (ko) | 2016-05-11 |
JP6522624B2 (ja) | 2019-05-29 |
CN105518419B (zh) | 2019-10-18 |
CN105518419A (zh) | 2016-04-20 |
WO2015034663A3 (en) | 2015-05-07 |
KR102240813B1 (ko) | 2021-04-14 |
US20160195415A1 (en) | 2016-07-07 |
US9562796B2 (en) | 2017-02-07 |
WO2015034663A2 (en) | 2015-03-12 |
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