JP2012002688A - デュアル物理量センサ - Google Patents

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Abstract

【課題】部品点数やコストを削減する。
【解決手段】第1被測定対象の圧力を検出する圧力センサ3Aと、第2被測定対象の圧力を検出する圧力センサ3Bと、圧力センサ3Aおよび圧力センサ3Bの温度を検出する温度センサ4と、圧力センサ3Aの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第1被測定対象の測定信号として出力する第1補正部と、圧力センサ3Bの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第2被測定対象の測定信号として出力する第2補正部と、を備え、温度センサ4を、圧力センサ3Aおよび圧力センサ3Bと相互に接触した状態で一体化する。
【選択図】図1

Description

本発明はデュアル物理量センサに関する。
下記特許文献1には、被測定対象の圧力を2つの圧力センサでそれぞれ検出するデュアル圧力センサが開示されている。この特許文献1のデュアル圧力センサは、例えば、下記特許文献2に記載されている流量制御弁の弁本体に取り付け、差圧センサとして使用することができる。この場合に、デュアル圧力センサは、弁体より上流側の流体圧力と弁体より下流側の流体圧力とをそれぞれ検出し、流量制御弁を制御する流量測定装置に出力する。流量測定装置は、上流側の流体圧力と下流側の流体圧力との差圧に基づいて流量制御弁の流路内を流れる流体の流量を算出する。
ところで、圧力センサには、出力値が使用時の温度に応じて変動する温度特性を有するものがある。このような温度特性を有する圧力センサを用いて流体の流量を精度良く算出するためには、圧力センサの出力値を的確に温度補正し、出力値から温度変化による変動分を除外する必要がある。このため、特許文献1では、2つの圧力センサにそれぞれ温度センサを搭載し、この温度センサの検出温度を用いて各圧力センサの検出値を補正している。
特開2009−31003号公報 特開2009−115302号公報
上述したように特許文献1のデュアル圧力センサは、1つのデュアル圧力センサに対して2つの温度センサを備える必要があるため、部品点数やコストの削減に対する要求に応えることが難しかった。
そこで本発明は、部品点数やコストを削減することができるデュアル物理量センサを提供することを目的の一つとする。
本発明にかかるデュアル物理量センサは、第1被測定対象の物理量を検出する第1物理量検出素子と、第2被測定対象の物理量を検出する第2物理量検出素子と、第1物理量検出素子および第2物理量検出素子の温度を検出する温度検出素子と、第1物理量検出素子の検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第1被測定対象の測定信号として出力する第1補正部と、第2物理量検出素子の検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第2被測定対象の測定信号として出力する第2補正部と、を備え、温度検出素子は、第1物理量検出素子および第2物理量検出素子と相互に接触した状態で一体化されている。
かかる構成により、一つの温度検出素子を、第1物理量検出素子および第2物理量検出素子と相互に接触した状態で一体化することができるため、第1物理量検出素子および第2物理量検出素子の温度を一つの温度検出素子で検出することが可能となる。
上記デュアル物理量センサにおいて、第1物理量検出素子および第2物理量検出素子の温度を同等にする発熱器を、さらに備えることとしてもよい。
これにより、被測定対象またはデュアル物理量センサの周辺温度が変化した場合であっても、発熱器の発熱により、温度変化による影響を排除できるレベルにまで第1物理量検出素子および第2物理量検出素子の温度を上昇させることができるため、物理量の検出精度を向上させることが可能となる。
上記デュアル物理量センサにおいて、温度検出素子の検出温度が予め定められた所定温度となるように発熱器の発熱量を制御する発熱制御部を、さらに備えることとしてもよい。
これにより、例えば、第1物理量検出素子および第2物理量検出素子が損傷する温度にまで上昇することがないように、発熱器の発熱量を抑制することが可能となる。
本発明によれば、部品点数やコストを削減することができるデュアル物理量センサを提供することができる。
実施形態におけるデュアル圧力センサの片側断面図である。 図1に示すII−II線矢視方向断面図である。 実施形態におけるデュアル圧力センサの機能構成図である。 第1変形例におけるデュアル圧力センサの機能構成図である。 第2変形例におけるデュアル圧力センサの機能構成図である。 第3変形例におけるデュアル圧力センサの機能構成図である。
本発明の実施形態について説明する。以下の図面の記載では、同一または類似の部分を同一または類似の符号で表す。ただし、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明と照らし合わせて判断すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる。
本実施形態では、デュアル物理量センサとして、例えば、2つの圧力センサを有するデュアル圧力センサについて説明する。なお、物理量は圧力に限定されず、他の物理量にも同様に適用できる。
図1は、実施形態におけるデュアル圧力センサ1の片側断面図であり、図2は、図1に示すII−II線矢視方向断面図である。デュアル圧力センサ1は、気密容器2と、2つの圧力センサ3A、3Bと、温度センサ4と、ヒータ5と、基板6と、制御回路7とを含んで構成される。
気密容器2は、合成樹脂等によって形成される容器本体21および蓋体22を有する。以下の記述では、気密容器2のうち、蓋体22のある側を上方とし、容器本体21がある側を下方とする。容器本体21は、上方に開口する有底箱型の容器である。容器本体21の底板には、2つの圧力センサ3A、3Bに対応して挿通孔21hがそれぞれ形成されている。蓋体22は、容器本体21の上面にシール部材(不図示)を介してねじ止め固定されることで、容器本体21の開口部を気密に密封する。
容器本体21の内部には、2つの圧力センサ3A、3Bが互いに密接して並設され、これら圧力センサ3A、3Bの上面に温度センサ4が設けられている。圧力センサ3A、3Bと温度センサ4とは、相互に接触した状態で一体化されている。このように、2つの圧力センサ3A、3B同士を互いに密接させておくことで、圧力センサ3A、3B間の温度差を生じ難くすることができる。
圧力センサ3A、3Bは、それぞれの導入孔3hから取り込まれる被測定対象の圧力をそれぞれ検出する。被測定対象としては、例えば、水やガス等の流体が該当する。圧力センサ3A、3Bとしては、例えば、ダイヤフラム(薄肉感圧部)が形成された半導体基板(シリコン)と、この半導体基板に不純物またはイオンの打ち込み技術によって形成される拡散型歪みゲージとを有する公知の半導体圧力センサが該当する。拡散型歪みゲージは、ダイヤフラムの被測定圧力による歪みを、ピエゾ抵抗効果を利用して検出し、電気信号に変換する。圧力センサ3A、3Bは、出力のゲインやオフセットが使用温度に応じて変化するという温度特性を有する。
温度センサ4は、圧力センサ3A、3Bの温度を検出する。ヒータ5は、圧力センサ3A、3Bの周囲を予め定めた所定温度でムラなく暖める。所定温度は、被測定対象が取り得る温度範囲の上限よりも少し高い温度に設定することが好ましい。例えば、被測定対象が取り得る温度範囲が7℃〜65℃である場合には、その上限である65℃よりも少し高い70℃〜75℃位に設定する。これにより、外気温の変化等によって被測定対象やデュアル圧力センサの周辺温度が変化した場合であっても、ヒータ5の発熱により、温度変化による影響を排除できるレベルにまで圧力センサ3A、3Bの温度を上昇させることができるため、圧力センサ3A、3B間に温度差が生ずる事態を抑止することができる。それゆえに、圧力値の検出精度を向上させることが可能となる。
制御回路7は、基板6上に設けられ、デュアル圧力センサ1の各部の動作を制御する。制御回路7は、以下に記述するデュアル圧力センサ1の各機能を実現する。図3を参照して、実施形態におけるデュアル圧力センサ1の機能構成について説明する。
図3に示すように、デュアル圧力センサ1は、ヒータ部71と、第1圧力検出部72Aと、第2圧力検出部72Bと、温度検出部73と、第1補正部74Aと、第2補正部74Bと、を有する。なお、図3は、デュアル圧力センサ1の後段に、流体の流量を測定する流量測定装置100を設けた場合の構成例を示している。
ヒータ部71は、ヒータ5を駆動させ、圧力センサ3A、3Bを予め定めた所定温度に暖める。
第1圧力検出部72Aは、圧力センサ3Aから検出信号を取得し、取得した検出信号を第1補正部74Aに出力する。第2圧力検出部72Bは、圧力センサ3Bから検出信号を取得し、取得した検出信号を第2補正部74Bに出力する。
温度検出部73は、温度センサ4から検出温度を取得し、取得した検出温度を第1補正部74Aおよび第2補正部74Bに出力する。
第1補正部74Aは、温度検出部73から取得した検出温度に基づいて、第1圧力検出部72Aから取得した検出信号を補正し、補正後の信号を第1測定信号として流量測定装置100に出力する。第2補正部74Bは、温度検出部73から取得した検出温度に基づいて、第2圧力検出部72Bから取得した検出信号を補正し、補正後の信号を第2測定信号として流量測定装置100に出力する。
第1補正部74Aおよび第2補正部74Bは、それぞれ、セレクタ部A1、B1、A/D変換部A2、B2、補正演算部A3、B3および補正式記憶部A4、B4を有する。セレクタ部A1、B1は、例えば、マルチプレクサであり、第1圧力検出部72Aまたは第2圧力検出部72Bと温度検出部73とからそれぞれ信号を受信し、いずれかの信号を選択してA/D変換部A2、B2に出力する。
A/D変換部A2、B2は、セレクタ部A1、B1から受信したアナログ信号をデジタル信号に変換して補正演算部A3、B3に出力する。補正演算部A3、B3は、A/D変換部A2、B2から受信したデジタル信号に対応する圧力値を、補正式記憶部A4、B4に記憶されている補正式を用いて補正処理を実行し、補正処理後の圧力値に対応する信号を測定信号として流量測定装置100に出力する。補正式としては、例えば、温度を変数とする一次式や二次式等を用いることができる。補正式は、例えば、予め実験等を行って温度ごとに基準温度からの温度変化による圧力値の変動を求め、この変動分を検出信号から除外できるような式を準備する。つまり、補正処理は、第1圧力検出部72Aまたは第2圧力検出部72Bの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を行う処理となる。
流量測定装置100は、第1補正部74Aから出力された第1測定信号と、第2補正部74Bから出力された第2測定信号との差分を求めることで、圧力センサ3A、3B間の差圧を算出する。この差圧は、例えばデュアル圧力センサ1を流量制御弁の弁本体に取り付けた場合を例にすると、以下のように用いることができる。なお、この場合には、圧力センサ3Aおよび圧力センサ3Bを、弁体の上流側の流体圧力および下流側の流体圧力をそれぞれ測定できるように配置する。
流量制御弁の流路内を流れる流体の流量Qは、弁体の上流側流路と下流側流路との間の流体の圧力差ΔPと、弁体の開度で定まる流量係数(Cv値)とを用い、下記式(1)によって算出することができる。なお、下記式(1)のAは定数である。
Q=A*Cv*√ΔP ・・・・(1)
つまり、流量測定装置100で算出した差圧を上記式(1)のΔPに代入することで、流体の流量Qを算出することができ、この流量Qに応じて弁体の開度を制御することができる。
デュアル圧力センサ1を流量制御弁に取り付けた場合、デュアル圧力センサ1および流量測定装置100は、例えば、以下のように動作する。
最初に、弁体より上流側の被測定圧力が圧力センサ3Aのダイヤフラムに印加され、弁体より下流側の被測定圧力が圧力センサ3Bのダイヤフラムに印加されると、各圧力センサ3A、3Bのダイヤフラムは、印加された圧力に応じて歪み、この歪みにより拡散型歪みゲージの出力電圧が変化する。
続いて、第1圧力検出部72Aおよび第2圧力検出部72Aは、出力電圧の変化に基づいてそれぞれの圧力を測定し、測定結果を検出信号として第1補正部74Aまたは第2補正部74Bに出力する。この場合、ダイヤフラムには気密容器2内の圧力が基準圧力として印加されているため、各圧力センサ3A、3Bの出力電圧は、それぞれの被測定圧力に相当する絶対圧の出力電圧となる。
続いて、第1補正部74Aおよび第2補正部74Bは、温度検出部73から取得した検出温度を用いて、検出信号に対応する圧力値の補正処理をそれぞれ実行し、その実行結果を測定信号として流量測定装置100にそれぞれ出力する。
続いて、流量測定装置100は、デュアル圧力センサ1から受信した各測定信号に対応する圧力値を用いて差圧ΔPを算出し、算出した差圧ΔPを上記式(1)に代入して演算することで、流量制御弁を流れる流体の流量Qを算出する。
上述したように、本実施形態におけるデュアル圧力センサによれば、温度センサ4を、圧力センサ3A、3Bと相互に接触した状態で一体化することができるため、圧力センサ3A、3Bの温度を一つの温度センサ4で検出することが可能となる。
[変形例]
本発明を、上述した実施形態によって説明したが、この開示の一部をなす記述および図面は、この発明を限定するものではない。この開示から当業者には様々な代替の実施形態や運用技術等が明らかになるはずである。
例えば、上述した実施形態では、ヒータ5を設けているが、ヒータ5を省略してもよい。この第1変形例におけるデュアル圧力センサ1の機能構成を、図4に示す。図4に示すように、第1変形例におけるデュアル圧力センサ1は、図3に示す実施形態におけるヒータ部71を含まない点で上記実施形態におけるデュアル圧力センサ1と異なる。
また、上述した実施形態ではヒータ5の発熱量を制御していないが、圧力センサ3A、3Bの温度が予め設定した所定温度を維持するように、温度検出部73の検出温度を用いてヒータ5の発熱量をフィードバック制御することとしてもよい。この第2変形例におけるデュアル圧力センサ1の機能構成を、図5に示す。図5に示すように、第2変形例におけるデュアル圧力センサ1は、図3に示す実施形態における各部に加え、ヒータ制御部75をさらに含む点で上記実施形態におけるデュアル圧力センサ1と異なる。ヒータ制御部75は、温度検出部73の検出温度が、予め設定した所定温度になるように、ヒータ5の発熱量を制御する。これにより、例えば、圧力センサ3A、3Bが損傷する温度にまで上昇することがないように、ヒータ5の発熱量を抑制することが可能となる。
上記第2変形例においてヒータ5の発熱量をフィードバック制御すると、圧力センサ3A、3Bの温度は所定温度に維持され、その結果、圧力センサ3A、3Bの圧力値を補正する際に用いる補正式の変数も所定温度に維持されることになる。したがって、この場合には、変数を所定温度で固定した補正式を用いて圧力値を補正することとしてもよい。この第3変形例におけるデュアル圧力センサ1の機能構成を、図6に示す。図6に示すように、第3変形例におけるデュアル圧力センサ1は、図3に示す実施形態における各部に加え、ヒータ制御部75をさらに含み、温度検出部73の検出温度を第1補正部74Aおよび第2補正部74Bに入力しない点で上記実施形態におけるデュアル圧力センサ1と異なる。ヒータ制御部75は、上記第2変形例と同様に、温度検出部73の検出温度が予め設定した所定温度になるように、ヒータ5の発熱量を制御する。また、補正式記憶部A4、B4に記憶する補正式の変数には所定温度を予め設定しておく。これにより、補正式を簡素化することができるため、補正式の記憶領域を削減することが可能となる。
1…デュアル圧力センサ、2…気密容器、3A、3B…圧力センサ、3h…導入孔、4…温度センサ、5…ヒータ、6…基板、7…制御回路、21…容器本体、21h…挿通孔、22…蓋体、71…ヒータ部、72A…第1圧力検出部、72B…第2圧力検出部、73…温度検出部、74A…第1補正部、74B…第2補正部、75…ヒータ制御部、100…流量測定装置、A1、B1…セレクタ部、A2、B2…A/D変換部、A3、B3…補正演算部、A4、B4…補正式記憶部。

Claims (5)

  1. 第1被測定対象の物理量を検出する第1物理量検出素子と、
    第2被測定対象の物理量を検出する第2物理量検出素子と、
    前記第1物理量検出素子および前記第2物理量検出素子の温度を検出する温度検出素子と、
    前記第1物理量検出素子の検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を前記第1被測定対象の測定信号として出力する第1補正部と、
    前記第2物理量検出素子の検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を前記第2被測定対象の測定信号として出力する第2補正部と、を備え、
    前記温度検出素子は、前記第1物理量検出素子および前記第2物理量検出素子と相互に接触した状態で一体化されていることを特徴とするデュアル物理量センサ。
  2. 前記第1物理量検出素子および前記第2物理量検出素子の温度を同等にする発熱器を、さらに備えることを特徴とする請求項1記載のデュアル物理量センサ。
  3. 前記温度検出素子の検出温度が予め定められた所定温度となるように前記発熱器の発熱量を制御する発熱制御部を、さらに備えることを特徴とする請求項1または2記載のデュアル物理量センサ。
  4. 前記第1補正部および前記第2補正部は、前記温度検出素子の検出温度を用いて前記補正を実行することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のデュアル物理量センサ。
  5. 前記第1補正部および前記第2補正部は、前記所定温度を用いて前記補正を実行することを特徴とする請求項3記載のデュアル物理量センサ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016531299A (ja) * 2013-09-06 2016-10-06 イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド 絶対圧差圧圧力トランスデューサー
WO2022249769A1 (ja) * 2021-05-27 2022-12-01 株式会社村田製作所 圧力センサ

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5749806B2 (ja) * 2011-11-01 2015-07-15 パナソニックヘルスケアホールディングス株式会社 生体試料測定装置
JP6502769B2 (ja) * 2015-07-02 2019-04-17 旭サナック株式会社 圧力検出器
US11137300B2 (en) * 2017-04-25 2021-10-05 Ati Industrial Automation, Inc. Robotic force/torque sensor with improved temperature compensation
JP6964063B2 (ja) * 2018-11-28 2021-11-10 長野計器株式会社 センサアッシーおよび物理量測定装置
FR3092167B1 (fr) * 2019-01-29 2021-10-22 Arianegroup Sas Capteur pour la mesure d’une première grandeur physique dont la mesure est influencée par une deuxième grandeur physique

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5915944U (ja) * 1982-07-21 1984-01-31 株式会社日立製作所 差圧検出器
JPS6173382A (ja) * 1984-09-18 1986-04-15 Fujikura Ltd 半導体圧力センサの温度補償方法
JPS6355137U (ja) * 1986-09-30 1988-04-13
JPH03122536A (ja) * 1989-09-28 1991-05-24 Endress & Hauser Gmbh & Co 差圧測定装置
JP2003075318A (ja) * 2001-09-06 2003-03-12 Nippon Sanso Corp 流体成分濃度測定方法及び装置
JP2008197001A (ja) * 2007-02-14 2008-08-28 Denso Corp 圧力センサ
JP2009031003A (ja) * 2007-07-24 2009-02-12 Yamatake Corp デュアル圧力センサ

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3896435B2 (ja) 1997-12-17 2007-03-22 アークレイ株式会社 センサおよびセンサ集合体
EP1128168A3 (en) * 2000-02-23 2002-07-03 Hitachi, Ltd. Measurement apparatus for measuring physical quantity such as fluid flow
CN1200254C (zh) * 2003-04-20 2005-05-04 胡永成 内置式气体流量计及温度压力补偿传输法
KR100682941B1 (ko) 2004-03-27 2007-02-15 삼성전자주식회사 생체신호 동시 측정장치 및 방법
CN101184973B (zh) * 2005-06-01 2012-06-13 西铁城控股株式会社 物理量传感器
JP4927683B2 (ja) 2007-11-09 2012-05-09 株式会社山武 流量制御弁
JP4794596B2 (ja) * 2008-04-04 2011-10-19 パナソニック株式会社 物理量検出回路、物理量センサ装置
JP2009281888A (ja) * 2008-05-22 2009-12-03 Panasonic Corp 物理量検出回路およびそれを備える物理量センサ装置、並びに物理量検出方法
JP2010151669A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Panasonic Corp 物理量検出回路、物理量センサ装置
JP2012002741A (ja) * 2010-06-18 2012-01-05 Yamatake Corp 物理量センサ

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5915944U (ja) * 1982-07-21 1984-01-31 株式会社日立製作所 差圧検出器
JPS6173382A (ja) * 1984-09-18 1986-04-15 Fujikura Ltd 半導体圧力センサの温度補償方法
JPS6355137U (ja) * 1986-09-30 1988-04-13
JPH03122536A (ja) * 1989-09-28 1991-05-24 Endress & Hauser Gmbh & Co 差圧測定装置
JP2003075318A (ja) * 2001-09-06 2003-03-12 Nippon Sanso Corp 流体成分濃度測定方法及び装置
JP2008197001A (ja) * 2007-02-14 2008-08-28 Denso Corp 圧力センサ
JP2009031003A (ja) * 2007-07-24 2009-02-12 Yamatake Corp デュアル圧力センサ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016531299A (ja) * 2013-09-06 2016-10-06 イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド 絶対圧差圧圧力トランスデューサー
WO2022249769A1 (ja) * 2021-05-27 2022-12-01 株式会社村田製作所 圧力センサ

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