JP3190337B2 - 圧力変換器のライン圧補償装置 - Google Patents

圧力変換器のライン圧補償装置

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JP3190337B2
JP3190337B2 JP50824892A JP50824892A JP3190337B2 JP 3190337 B2 JP3190337 B2 JP 3190337B2 JP 50824892 A JP50824892 A JP 50824892A JP 50824892 A JP50824892 A JP 50824892A JP 3190337 B2 JP3190337 B2 JP 3190337B2
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    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor

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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は差圧変換器を含む。さらに具体的には、本発
明は静圧の変化に対する圧力センサの補償に関する。
差圧センサは既に多くの応用分野で使用されている。
このようなセンサはしばしば内部チャンバを備えたセン
サハウジングを有する。偏向可能なダイアフラムがチャ
ンバ内に配置され、チャンバを２つの空洞に分割する。
第１の圧力が第１の空洞に供給され、第２の圧力が第２
の空洞に供給される。第１および第２の圧力の差に基づ
いてダイアフラムが偏向する。
ダイアフラムはまた、空洞の内壁上の導電部分から隔
離されているが、これと対向位置にある導電部分を含
む。ダイアフラム上の導電部分はコンデンサ電極を構成
する。同様に、空洞の内壁上の導電部分もコンデンサ電
極を構成する。ダイアフラム上の導電部分は、第１の空
洞の内壁上のコンデンサ電極と共同して第１の可変コン
デンサを形成すると共に、第２の空洞の内壁上のコンデ
ンサ電極と共同して第２の可変コンデンサを形成する。
差圧によってダイアフラムが偏向すると、２つの可変コ
ンデンサの容量が変化する。圧力センサは２つの可変コ
ンデンサの容量比を表わす出力信号を発生し、またこれ
らの容量値に基づいて差圧が決定される。
しかし、このような容量形圧力センサには非直線性が
あるので問題が生ずる。例えば、装置の浮遊容量が非直
線性をもたらすことがあるが、この非直線性は補償され
なければならない。
誤差はまた、静圧の変化によっても生ずる。通常はラ
イン圧とも呼ばれる静圧は、種々の定義を有する。例え
ば、圧力センサの第１および第２の空洞に供給される第
１および第２の圧力が、2990psi（PL）および3000psi
（PH）を持つことがある。この場合の差圧は（3000−29
90）すなわち10psi（ポンド／平方インチ）である。静
圧は、時には、PLとPHとの平均値すなわち2995psiとも
定義される。また静圧は、単にPLあるいはPHと定義され
ることもできる。どのような静圧の定義が用いられると
しても、静圧の変動によって圧力センサの出力信号の誤
差がもたらされる。
静圧の変動によっても影響されない出力を、差圧セン
サが発生することが望ましい。例えば、PHが3000psi、P
Lが2990psiならば、差圧は10psiで、静圧は（その定義
としてPLとPHとの平均値を用いると）2995psiである。
しかし、PHが10psi、PLが0psiならば、差圧は依然とし
て10psiであるが、静圧は5psiである。圧力センサのハ
ウジングに生ずるある応力によって、代表的な差圧セン
サの出力信号は、静圧の1000psiの変動ごとに１％変化
する可能性がある。したがって、上記例の場合には、差
圧センサの出力信号は静圧の変動にともなって著しく変
化することがある。
本出願人に譲渡されたフリック（Frick）の米国特許
第4370890号は差圧センサのための機械的構造を開示
し、そこでは、静圧の変動によって圧力センサハウジン
グに加わる不所望な機械的応力を除去または補償するこ
とが意図されている。これは、静圧の変動による差圧セ
ンサ出力の変動を除去するのに有用である。しかし依然
として、静圧の変動による出力信号の変動を補償し、ま
た機械的手段よりは電気的手段によって調整できるよう
な補償手段に対する要求が存在する。
いずれも本出願人に譲渡されたシュルト（Schult）ら
の米国特許第4878012号およびフリック（Frick）の米国
特許第4791352号が、引用によって本明細書に統合され
ている。
発明の要約 本発明では、容量感知手段が差圧を検知し、これに基
づく差圧信号を発生する。容量形感知手段は静圧の変動
によって変化する容量値を有するので、差圧信号もまた
静圧の変動によって変化する。静圧の変動に対しては固
定的な容量値を有する容量補償手段が、容量形感知手段
に結合される。容量補償手段は、静圧の変動に依存する
差圧信号の変動を補償する。
図面の簡単な説明 図１は１部をブロック図で示した差圧センサの概略図
である。
図２は本発明の１実施例である容量補償手段を備えた
差圧センサの回路ブロック図である。
好ましい実施例の詳細な説明 図１には、誘電率ε０の油を充填された内部チャンバ
９を有するハウジング７を含む差圧センサ５が示され
る。内部チャンバ９は、ダイアフラム15によって第１空
洞11および第２空洞13に分割される。ダイアフラム15は
導電部分17を含み、前記導電部分は空洞11、13の内表面
上の２つの導電部分19、21とほぼ対向整列されるが、こ
れらから隔離されている。
導電部分17、19は可変コンデンサC1の１対の電極を構
成し、これら電極はその中心で距離X1だけ隔離される。
また導電部分17、21は第２可変コンデンサC2の１対の電
極を構成し、これら電極はその中心で距離X2だけ隔離さ
れる。矢印P1、P2で示される２つの圧力が、適当な手段
23、25で空洞11、13に連通される。空洞11、13に圧力
P1、P2を連通する手段23、25は、なるべくはフリックの
米国特許第4370890号に詳細を開示されたものと類似な
ものが望ましい。
２つの圧力P1、P2の差によって、ダイアフラム15はチ
ャンバ11内で電極19または21の方へ偏向する。この偏向
が、可変コンデンサC1、C2の容量値の変化をもたらす。
センサ５は、可変コンデンサC1,C2の容量値および浮遊
容量CS1、CS2を表わす出力信号を発生する。この出力信
号に基づいて差圧が決定される。
しかし、容量形圧力センサ５に加わる静圧が変化する
と、ハウジング７に応力がかかり、可変コンデンサC1,C
2の容量値を変化させる。その結果、容量形センサ５の
出力信号に誤差を生ずる。
図２は、本発明による補償を採用した電荷平衡帰還型
伝送機（charge balanced feedback transmitter）の好
ましい実施例を示す。測定回路10は電荷パケット発生回
路12、積分・比較回路14、帰還回路16、出力回路18およ
び読出回路20を含む。
電荷パケット発生回路12は、模式的に１対の可変コン
デンサC1,C2で代表される容量形圧力センサ５を含む。
上述のように、コンデンサC1,C2は差圧の関数として変
化する容量値を有する。
電荷パケット発生回路12はさらに、直線性補正用のコ
ンデンサCL1,CL2、ノイズ抑制抵抗R1、R2およびスイッ
チS1〜S4を含む。コンデンサCL1,CL2は互いに直列に接
続され、かつ容量形センサ５と並列に接続される。相補
型駆動信号φ０、０がそれぞれノード24、26に供給さ
れる。ノード24はセンサ５のコンデンサ中央電極17に接
続され、一方ノード26はコンデンサCL1,CL2の接続点に
接続される。
抵抗R1の一端はコンデンサC1、CL1に、その他端はス
イッチS1、S4にそれぞれ接続される。同様に、抵抗R2の
一端はコンデンサC2、CL2に、その他端はスイッチS2、S
3にそれぞれ接続される。駆動信号１〜４はそれぞ
れスイッチS1〜S4の導通状態を制御する。
スイッチS1、S2は共に、積分・比較回路14内の積分増
幅器30の反転入力（−）に接続され、スイッチS3、S4は
基準電位VREFおよび積分増幅器30の非反転入力（＋）に
接続される。好ましい実施例では、基準電位VREFは供給
電源VDDとVSSの中点電位である。
積分・比較回路14はさらに、積分コンデンサCI、スイ
ッチS5〜S7、抵抗R3、R4および比較器32を含む。スイッ
チS5〜S7はそれぞれ信号φＩ、φVDDおよびφVSSによっ
て制御され、比較器32の反転入力（−）に積分電圧VI、
電源電圧VDD、あるいは電源電圧VSSを選択供給するため
のマルチプレクサを構成する。抵抗R3が比較器32の出力
と非反転入力（＋）の間に接続され、抵抗R4が比較器32
の非反転入力（＋）と基準電圧VREFの間に接続されてヒ
ステリシスを与える。その結果比較器32は、その出力VC
の状態に応じて決まる２つの異なる閾値レベルを、その
（＋）入力に生成する。
比較器32の出力電圧VCは帰還回路16の入力として供給
される。信号VCの状態に基づいて、帰還回路16は基本の
クロック信号FCLKから10種類の信号φ０、０、
φVDD、φVSS、φＩ、１〜４およびUDを発生する。
帰還回路16は、電荷パケット発生回路12から積分器30
に供給される電荷パケットを制御し、ある時間内での電
荷の平衡を達成する。１信号がスイッチS1を閉じ、し
たがってコンデンサC1、CL1が抵抗R1を介して積分器30
の（−）入力に接続されるとき、第１極性の１または複
数の電荷パケットが供給される。２信号がスイッチS2
を閉じるときには、反対極性の電荷パケットが積分器30
に供給される。
出力回路18は、帰還回路16からUD信号と共に１、
２信号を受ける。UD信号は、積分器が増加傾向にある
か、減少傾向にあるかを表わす。出力回路18は、UD信号
に依存して、増加方向または減少方向に計数することに
より、反対極性のパケットのカウントを累算する。計数
値に基づいて、出力回路18は、容量形センサ５によって
感知された差圧を代表する出力（直線性補正コンデンサ
CL1,CL2で補正されたもの）を読出回路20に与える。測
定回路10の動作およびタイミングは、シェルトらの前記
米国特許第4878012号に詳述されている。
容量型差圧センサの出力に及ぼす静圧の影響は著しい
ものであることが知られている。このようなセンサで
は、静圧の変動がセンサハウジングの変形をもたらす。
この変形は、中央のダイアフラムに応力を与えるのみな
らず、可変コンデンサC1、C2の容量値の変化をももたら
す。したがって、出力信号に誤差が生ずる。例えば、あ
る圧力センサにおいては、1000psiの静圧変動に対して
スパン誤差は読みの約１％であることが知られている。
また静圧が変化すると、微小差圧または零差圧における
出力信号に同様の零誤差も発生する。
これらの誤差を補償するために、CL1,CL2の値は、静
圧の変動によって生ずる零およびスパン誤差を補償する
のに十分な大きさを持つように選定される。CL1,CL2の
適正な値を決定するためには、幾つかの段階が必要であ
る。第１に、変換器を静圧零の状態に保持し、差圧の変
化に対する零およびスパンが測定される。つぎに、セン
サに最大静圧を加え、差圧が零からフルスケール（最大
振れ）まで変化するときの零およびスパンの変化すなわ
ち誤差が測定される。最後に、補償コンデンサCL1,CL2
の値が決定され、これらのコンデンサが、静圧の変動に
よってもたらされる差圧出力の誤差を補償するように回
路の所定位置に接続される。
スパン誤差あるいは零誤差だけが重大な問題となる場
合、その誤差のみが補償され得ること、またコンデンサ
CL1,CL2の値は、浮遊容量CS1、CS2によってもたらされ
る非直線性誤差をも補償するように決定できることは注
意すべきである。この点については、シュルトらの前記
米国特許第4878012号により詳細に記述されている。
センサ５のような、多くの差圧センサで用いられる伝
達関数は式１で表わされる。
ΔＰ∝伝達関数＝（C1−C2−CL1−CL2）／（C1 ＋C2−CL1−CL2） …式１ ここで、 ΔＰ＝差圧 C1＝可変コンデンサC1の容量値 C2＝可変コンデンサC2の容量値 CL1＋CL2＝補償用固定コンデンサの容量値 ライン圧の結果として、これにほぼ比例して空洞の深
さが増大するような、さらにライン圧の結果として、こ
れにほぼ比例して誘電率が増大するようなセンサでは、
式２が成立する。
C1＋C2∝（ε0/X1＋ε0/X2） ＝ε０（1/X1＋1/X2） …式２ ここで （X1＋X2）/2＝X0＝空洞の公称深さ 偏微分は次のようになる。なお、本明細書においては
偏微分記号をδで表わす。
δ（C1＋C2）／（C1＋C2）δPL ＝δε0/ε０δPL−δX0/X0δPL …式３ もしδε0/ε０δPL≠δX0/X0δPLならば、 C1＋C2＝（C01＋C02）｛１＋PL ×δ（C1−C2）／（C1＋C2）δPL｝ であり、（C1＋C2）はPLの１次関数である。
ここで、 ε０＝充填油の誘電率 C01、C02＝PLの変動によっては変化しないC1、C2の容
量値 PL＝静圧（またはライン圧） したがって、静圧の変化による変動を補償するために
採用し得る１つの伝達関数は、 ΔＰ∝（C1−C2−K1）／（C1＋C2−K2） …式４ である。ここでK1、K2はライン圧の補償項であり、K1は
静圧の変化に伴う零誤差を主として補償し、K2がスパン
誤差を補償する。また、 K1＝CL1−CL2 K2＝CL1＋CL2 であり、CL1、CL2はライン圧によっては変化しない固定
コンデンサである。
上記の伝達関数を具現する好ましい方法は、CL1、CL2
の既知の標準値で測定されたライン圧誤差に基づいて、
コンデンサCL1、CL2を選択した後、ライン圧誤差を許容
可能なレベルに低減すると予測できるようなCL1、CL2の
値を新たに選定することである。これらのコンデンサを
取付けた後、差圧および温度変化によって惹起される出
力誤差の関数として、なるべくは既知のデジタル技術
で、伝送機が出力の直線性誤差に対して補償される。
特別な例として、静圧によるセンサ内のシフトが次の
ようにして補償される。容量形圧力センサの出力Output
はつぎの伝達関数で記述され、ΔＰにほぼ比例する。
Output∝（CA1−CA2＋CS1−CS2−CL1＋CL2）／ （CA1＋CA2＋CS1＋CS2−CL1−CL2） …式５ ここで、 CA1＝ΔＰで増加するコンデンサC1の能動（active）
可変容量 CA2＝ΔＰで減少するコンデンサC2の能動可変容量 CS1＝CA1と並列の浮遊容量 CS2＝CA2と並列の浮遊容量 CL1＝C1から減算する直線性補正容量 CL2＝C2から減算する直線性補正容量 PL＝静圧 ΔＰ＝差圧 代表的な金属セルセンサでは、ΔＰはほぼ式６のＲに
比例する。
Ｒ≒（C1−C2）／（C1＋C2） …式６ ここで、Ｒは比出力（ratio output）である。
また代表的なセルでは、 δ（C1＋C2）／（C1＋C2）δPL ＝δε0/ε０δPL−δX0/X0δPL ＝＋0.5％/1000psi−1.5％/1000psi ＝−１％/1000psi であるから、 δ（C1＋C2）／（C1＋C2）δPL ＝−１％（1000psi当り） …式７ である。
例えば、もしも静圧による零シフトがCL1≒CS1、CL2
≒CS2、およびCL1＝CL2で計測されるならば、C1≒C2で
あるから、ΔＰ＝０では次式が成立する。
Ｒ＝（C1−C2）／（C1＋C2）＝0/（C1＋C2） ＝０ …式８ したがって、静圧によって（C1＋C2）が減少するとき
は出力は変化しないであろう。しかし、もしCL1がΔＣ
だけ減少し、CL2がΔＣだけ増加するならば、静圧によ
る零シフトは次のように表わされるであろう。
R0（＠ΔＰ＝０）＝（C1−C2−ΔＣ−ΔＣ） ／（C1＋C2＋ΔＣ−ΔＣ） ＝−２ΔC/（C1＋C2）≠０ …式９ この新たな零出力レベルは、（C1＋C2）が静圧で減少
するときは［例えば、δ（C1＋C2）／（C1＋C2）δPL≒
−１％（静圧の1000psi変動当り）の場合］、変化する
であろう。
今度は分子が零でないから、比の出力（Ｒ）は静圧の
関数となるであろう。ΔＰ＝フルスケール、かつ公称の
比出力（Ｒ）＝＋0.5の場合、フルスケール出力の関数
としてのパーセント変化は、次の式10になる。
％零シフト/1000psi（フルスケールΔＰのパーセント
として） ≒100｛Ｒ（ΔＰ＝０、PL＝1000psiのとき） −Ｒ（ΔＰ＝０、PL＝0psiのとき）｝ /R（フルスケール） ＝100×M/0.50 …式10 ただし、Ｍ＝−２ΔC/（C1＋C2） −２ΔC/［（C1＋C2）｛１ ＋δ（C1−C2）／（C1＋C2）δPL｝］ ここで、δ（C1−C2）／（C1＋C2）δPL ＝−0.01/1000psiならば、 ≒100｛−２ΔC/（C1＋C2） −２ΔＣ（１＋0.01）／（C1＋C2）｝/0.5 …式11 ≒100×（−0.01/0.5） ×２ΔC/（C1＋C2） ＝（−４％/1000psi）×ΔC/（C1＋C2） もし、C1≒C2≒40pfならば、 ≒（−４％/1000psi）×ΔC/（40pf＋40pf） ΔＣ＝1pfの場合は、 ％零シフト/1000psi・pf ＝−４％（1pf/80pf）/1000psi ＝−0.05％/1000psi …式12 したがって、1000psi当り−0.1％の零補正のために
は、ΔＣ＝2pfの補正が必要となる。換言すれば、1000p
si当り−0.1％の補正のための適当な調整は、それぞれ
の公称値から、CL1を2pfだけ増加し、一方CL2を2pfだけ
減少することである。すなわち、 CL1は、前述のように、ΔＰによって増加する可変感
知コンデンサC1に物理的に接続され、かつこれから減算
する直線性コンデンサである。これらの補正は測定回路
10内のコンデンサ・アレイを制御手段の使用によって切
換え、適正レベルが得られるように回路に挿脱すること
によって実現される。
従来技術では、CL1、CL2の値はCS1、CS2に名目上等し
いように設定されている。このことは、ΔＰの関数とし
ての出力の非直線性誤差を最小にし、かつ誘電率を変化
させる温度変動に依存する出力の変動をも最小にする。
この技術は、CL1、CL2をそれらの理想的な値から逸脱さ
せるから、センサ出力はこれらの誤差に対してより多く
の補償を必要とするであろう。従来技術による伝送機は
これらの誤差補正のためのデジタル・アルゴリズムを具
備するので、ライン圧誤差を最小にするように選定され
たCL1、CL2を組み込んだ後で、上記誤差に対して伝送機
を特徴付け、かつ補償することは簡単である。したがっ
て、伝送機の総合特性は高められる。
零補償に加えて、あるいはその代わりにスパン補償が
望まれるならば、K2＝CL1＋CL2の項が同様の手法で調整
される。
Ｒ＝（C1−C2）／（C1＋C2−K2） であるから、それは次のように表わされる。
％スパンシフト/1000psi＝K2/（C1＋C2） ×｛δ（C1＋C2）／（C1＋C2）δPL｝ したがって、もしもK2が2pf（CL1＝＋1pf、CL2＝−1p
f）だけ変化すると、％スパンシフトは、 （2pf/80pf）（−１％/1000psi） ＝−0.025％/1000psi となる。
好ましい実施例においては、CL1、CL2は、充填油の誘
電率の温度係数と等しい温度係数を持つように選定され
ることに留意すべきである。またCL1、CL2はセンサ５の
極く近くに配置されるので、CL1、CL2およびセンサ５の
各温度は非常に接近している。
さらに他の実施例では、容量補償手段は１対のコンデ
ンサCL1、CL2とは違った形態を取り得る。例えば、励起
電圧を変化される単一の補償コンデンサおよびノード選
択スイッチによってもまた、本発明の特徴的な補償が達
成される。
本発明を好ましい実施例に関して説明したが、当業者
は、本発明の精神を逸脱することなしに形式、詳細にお
いて変更をなし得ることを理解するであろう。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−251714（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−263133（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−141512（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−182619（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−93734（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−128321（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 13/06

Claims (20)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】静圧によって変化する容量値を有する差圧
    感知用の容量形感知手段であって、感知された差圧に基
    づいて、静圧の変動によって変動する差圧信号を提供す
    る容量形感知手段と、 静圧の変動によっては実質上変化しない値を有する容量
    補償手段であって、静圧の変動による変動に対して差圧
    信号を補償するように、その値が選定された容量補償手
    段とを具備し、 容量補償手段が、 容量値CL1を有し、容量形感知手段に結合されて、静圧
    の変動によってもたらされる誤差に対して差圧信号を補
    償する第１の容量補償器と、 容量値CL2を有し、容量形感知手段に結合されて、静圧
    の変動によってもたらされる誤差に対して差圧信号を補
    償する第２の容量補償器とを具備した２線式伝送機の差
    圧測定装置。
  2. 【請求項２】CL1、CL2は、（CL1−CL2）が差圧信号に含
    まれる零誤差を補償するような値を有する請求項１記載
    の装置。
  3. 【請求項３】CL1、CL2は、（CL1＋CL2）が差圧信号に含
    まれるスパン誤差を補償するような値を有する請求項１
    記載の装置。
  4. 【請求項４】容量形感知手段が、 差圧および静圧によって変化する容量値C1を有する第１
    の可変コンデンサと、 差圧および静圧によって変化する容量値C2を有する第２
    の可変コンデンサとを具備した請求項１記載の装置。
  5. 【請求項５】差圧信号は、（C1−C2−CL1＋CL2）／（C1
    ＋C2−CL1−CL2）に比例する請求項４記載の装置。
  6. 【請求項６】容量形感知手段が、 空洞を備えたハウジングと、 空洞に充填され、誘電率ε０を有する充填油と、 空洞を横断してこれを第１および第２のチャンバに分割
    するダイアフラムであって、第１の電極を構成する、少
    なくとも１つの導電部分を有するダイアフラムと、 第１チャンバに結合され、ダイアフラムの導電部分から
    距離X1だけ離れて第１の可変コンデンサの第２電極を構
    成する第２の導電部分と、 第２チャンバに結合され、ダイアフラムの導電部分から
    距離X2だけ離れて第２の可変コンデンサの第２電極を構
    成する第３の導電部分とを具備した請求項４記載の装
    置。
  7. 【請求項７】空洞はX0の公称深さを有し、静圧をPLで表
    わすとき、 δ（C1＋C2）／（C1＋C2）δPL ＝δε0/ε０δPL−δX0/X0δPL ≧0.1％（PLの1000psi変動当り） である請求項６記載の装置。
  8. 【請求項８】容量補償手段の熱的特性は容量形感知手段
    のそれと近似しており、容量補償手段が、充填油の誘電
    率の温度係数と事実上等しい温度係数を有する請求項６
    記載の装置。
  9. 【請求項９】差圧信号は温度変動および浮遊容量によっ
    て変化し、さらに 温度および浮遊容量の変動によって変化する差圧信号を
    補償する手段を具備し、容量補償手段が選定された後
    で、前記補償手段が補償ステップを実行する請求項１記
    載の装置。
  10. 【請求項１０】空洞のあるハウジングと、 空洞を横断してこれを第１および第２のチャンバに分割
    するダイアフラムであって、第１の電極を構成する、少
    なくとも１つの導電部分を有するダイアフラムと、 第１チャンバに結合され、ダイアフラムの導電部分から
    隔離されていて、可変容量値C1を有する第１の可変感知
    コンデンサの第２電極を構成する第２の導電部分と、 第２チャンバに結合され、ダイアフラムの導電部分から
    隔離されていて、可変容量値C2を有する第２の可変感知
    コンデンサの第２電極を構成する第３の導電部分と、 第１の圧力を第１のチャンバに、また第２の圧力を第２
    のチャンバに供給してダイアフラムを偏向させると共
    に、静圧の変動によっても変化する第１および第２の可
    変感知コンデンサの可変容量値を、第１および第２の圧
    力の差である差圧に応答して変化させる圧力手段と、 前記静圧の変動によっては事実上影響されない容量値を
    有し、可変感知コンデンサに結合されて、静圧の変動に
    よる可変容量値の変動を補償する容量補償手段と、 前記容量補償手段に設けられた第１のコンデンサとを具
    備し、 前記第１のコンデンサが、少なくとも１つの可変感知コ
    ンデンサに結合され、静圧の変動によってもたらされる
    可変容量値の変動を補償するように選定された容量値C
    L1を有する容量形圧力変換器。
  11. 【請求項１１】容量補償手段が第２のコンデンサを具備
    し、前記第２のコンデンサは少なくとも１つの可変感知
    コンデンサに結合され、静圧の変動によってもたらされ
    る可変容量値の変動を補償するように選定された容量値
    CL2を有する請求項10記載の容量形圧力変換器。
  12. 【請求項１２】第１および第２のコンデンサは、（CL1
    ＋CL2）が静圧の変動によるスパン誤差を補償するよう
    な値を有する請求項11記載の容量形圧力変換器。
  13. 【請求項１３】第１および第２のコンデンサは、（CL1
    −CL2）が静圧の変動による零誤差を補償するような値
    を有する請求項11記載の容量形圧力変換器。
  14. 【請求項１４】容量補償手段が、 可変感知コンデンサに結合され、静圧の変動によって惹
    起される可変感知コンデンサの変動を補償するような容
    量値を有する複数のコンデンサを具備した請求項10記載
    の容量形圧力変換器。
  15. 【請求項１５】容量補償手段が熱的にハウジングに近接
    して配置された請求項10記載の容量形圧力変換器。
  16. 【請求項１６】差圧が（C1−C2−CL1＋CL2）／（C1＋C2
    −CL1−CL2）に比例する請求項11記載の容量形圧力変換
    器。
  17. 【請求項１７】静圧の変動で変化する容量値を有し、第
    １および第２の圧力にさらされるように適合され、静圧
    の変動に基づいて変化する第１および第２圧力間の差圧
    を代表する差圧信号を発生する容量形圧力変換器と、 容量形圧力変換器に結合され、容量値CL1を有する第１
    のコンデンサとを具備し、 容量形圧力変換器に結合され、容量値CL2を有する第２
    のコンデンサと、 第１および第２コンデンサの容量値は静圧の変動によっ
    ては事実上変化せず、静圧の変動によってもたらされる
    変動に対して差圧信号を補償するように結合された２線
    式伝送機の容量形差圧感知装置。
  18. 【請求項１８】第１および第２コンデンサの容量値が、
    静圧の変動によってもたらされるスパン誤差に対して差
    圧信号を補償するようにされた請求項17記載の装置。
  19. 【請求項１９】第１および第２コンデンサの容量値が、
    静圧の変動によってもたらされる零誤差に対して差圧信
    号を補償するようにされた請求項17記載の装置。
  20. 【請求項２０】第１および第２コンデンサの容量値が、
    浮遊容量に対して差圧信号を部分的に補償するようにさ
    れた請求項17記載の装置。
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