JP3329480B2

JP3329480B2 - 差圧測定装置

Info

Publication number: JP3329480B2
Application number: JP06821392A
Authority: JP
Inventors: ランゲユルゲン; ペッパーミューラーアルフレッド; ペテルセンイェンス−カルシュテン; シュニトッカーヴォルフガング
Original assignee: アンヴェクメス−ウントリーガルテクニクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングウントコンパニー
Priority date: 1991-03-29
Filing date: 1992-03-26
Publication date: 2002-09-30
Anticipated expiration: 2017-09-30
Also published as: JPH0587665A; DE4110447A1; DE59202195D1; EP0508517A3; EP0508517B2; EP0508517B1; EP0508517A2

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、測定すべき差圧の作用
と逆方向に静電容量が変化する第１測定コンデンサと、
測定すべき差圧の作用と同一方向に静電容量が変化する
第２測定コンデンサとの、２つの測定コンデンサを有す
る、液体を満たした単室差圧測定セルを具える差圧測定
装置であって、測定信号の演算処理および温度補正量を
盛り込む際の、前記単室差圧測定セルの前記２つの測定
コンデンサに対応する部位に夫々作用する外圧の圧力差
である差圧の計算のための演算処理回路を具える差圧測
定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】差圧測定装置としては、例えばドイツ国
特許DE‐PS3504329 号明細書およびDE‐PS3932443 号明
細書のものが公知になっている。これら両文書によれ
ば、円筒形ボディより成る単室差圧測定セルが用いられ
ており、単室差圧測定セルの両端面には、以下のように
空隙を形成する夫々のダイヤフラムが設けられている。
測定コンデンサは、対向する円筒形ボディの表面および
ダイヤフラムの表面間に設けられた薄膜電極によって形
成される。測定コンデンサは、参照符号C₁およびC₂で示
す。上述のように形成した空洞は、円筒形ボディ内に設
けたダクトを介して連結される。以下のように形成する
共通室の全容積は、本質的に圧縮できない液体で満たさ
れているが、その液体は実際にはそれ自体の圧縮性に関
して厳密に理想的な液体を構成していない。

【０００３】ダイヤフラムに作用する２通りの圧力が異
なる場合、それらダイヤフラムは前記液体による流体継
手によって逆方向に湾曲し、それにより高圧側に位置す
るダイヤフラムが前記円筒形ボディに到達し、暫くして
低圧側に位置するもう一方のダイヤフラムが前記円筒形
ボディから離間する。その結果、これら測定コンデンサ
の静電容量は差圧に応じて互いに逆方向に変化し、その
差圧は次式に基づき逆数値間の差に正比例する値にな
る。 Δｐ＝Ｋ_p（１／Ｃ₁ −１／Ｃ₂ ） ‐ （１）

【０００４】しかしながら、温度変化による熱膨張また
は例えば前記液体の微量の圧縮によって生じる処理圧力
によって充満した液体の容積が変化する際に、前記ダイ
ヤフラムは、一方が前記円筒形ボディに向い他方が前記
円筒形ボディから離間するように同時に移動し、それに
伴い前記コンデンサの静電容量は同時に増減する。上記
差圧値は、比例定数Ｋ_pを伴う上記（１）式に基づいて
計算され、したがって温度および処理圧力に応じたもの
になる。

【０００５】ドイツ国特許DE‐PS3504329 号明細書によ
り公知のアナログ回路またはドイツ国特許DE‐PS393244
3 号明細書により公知のデジタル回路中には、（１）式
に基づいて計算した差圧中の誤差を補正するための補正
量が用いられており、この補正量は次式に基づいて計算
される。 ΔＴ＝（Ｋ_r−Ｋ_s）（１／Ｃ₁ ＋１／Ｃ₂ ） ‐ （２）

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】同一方向に作用する、
温度Ｋ_rおよび処理圧力Ｋ_sの影響を互いに分離するこ
とができないことが上記従来例の最大の欠点であり、そ
のために（１）式に基づいて計算した差圧中には常に誤
差が発生し、その誤差は処理圧力によって課される。ド
イツ国特許DE‐PS3932443 号明細書により公知の補足的
な温度測定装置が上記誤差を認識できず、本質的に差圧
測定セルの測定信号を歪める、温度および他の妨害の認
識に使用されるものであることは注目すべきである。温
度の影響と処理圧力の影響との識別は、この問題に関し
不可能である。また、圧縮性に関し実際に理想的な液体
の場合でさえも、処理圧力は前記円筒形ボディの圧縮に
よって前記液体の容積に僅かな影響を依然として及ぼす
惧れがあり、この僅かな影響が、所定の環境において処
理圧力によって誘導される誤差をも生じる惧れがあるこ
とは注目すべきである。

【０００７】本発明の目的は、誤差を補償した、信頼性
がある差圧値を単純な方法で得られる、上述した種類の
差圧測定装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的は、本発明によ
れば、前記単室差圧測定セル内に形成される共通室内の
処理圧力を測定するために使用され、演算処理回路に接
続される補足的圧力センサを差圧測定セル上に装着する
ことにより達成され、前記演算処理回路は、前記補足的
圧力センサから温度補正量を得るとともに、前記温度補
正量ならびに第１測定コンデンサおよび第２測定コンデ
ンサの測定信号を伴って、完全に誤差補正した差圧信号
をその出力端に発生する。

【０００９】本発明に基づく差圧測定装置は、第一に、
公知の演算処理回路を具え、この演算処理回路は、発振
器と、一端に接続される前記発振器の振幅制御を行うコ
ントローラと、前記発振器の出力端に入力端を接続され
基準コンデンサを伴う基準ローパスフィルタと、前記基
準ローパスフィルタの出力端に入力端を接続され測定信
号入力を含む第１加算増幅器と、前記第１加算増幅器の
出力端および前記コントローラの他端間に接続される第
１整流器とを有する制御回路を具える。この演算処理回
路はさらに、第１測定コンデンサに接続される第１ロー
パスフィルタと、第２測定コンデンサに接続される第２
ローパスフィルタとを具える。第１ローパスフィルタお
よび第２ローパスフィルタの入力端は前記発振器の出力
端に接続され、また、第１ローパスフィルタ、第２ロー
パスフィルタおよび基準ローパスフィルタの出力信号の
夫々は、後段の第２加算増幅器および第２整流器を介し
て出力され、その第２整流器の出力は温度補償した差圧
信号を発生し、その差圧信号には、前記補足的センサか
らの出力信号が少なくとも本発明に基づいて間接的に作
用する。

【００１０】前記制御回路の第１加算増幅器は、入力側
において第１ローパスフィルタ、第２ローパスフィルタ
および基準ローパスフィルタの出力端に接続される。前
記制御回路の第１整流器の出力端における信号の増加
は、コントローラを介して発振器の振幅の減少を確実に
し、この振幅の減少自体は第１ローパスフィルタ、第２
ローパスフィルタおよび基準ローパスフィルタの入力側
に作用する。その結果、同様に第１ローパスフィルタ、
第２ローパスフィルタおよび基準ローパスフィルタの出
力端に接続された第２加算増幅器は、その後段の第２整
流器の出力端に差圧信号を発生し、この差圧信号は、上
述のように温度補償されたものになり、本発明に基づく
補足的センサからの信号に少なくとも間接的に従わせる
ことができる。

【００１１】前記制御回路のローパスフィルタの基準コ
ンデンサは、差圧を零に一致させたときの前記差圧測定
セルの第１測定コンデンサおよび第２測定コンデンサの
加算値の平均値に合わせて選択される。前記演算処理回
路の温度補償のための他の全てのパラメータの決定のた
めに、少なくとも２つの既知の温度および少なくとも２
つの既知の差圧に対し修正がなされる。前記演算処理回
路は、温度補償に関して以下のように操作される。

【００１２】前記修正に関しては、少なくとも２つの温
度および少なくとも２つの差圧に対しなされることは同
様に注目すべきことであり、したがって夫々の測定につ
いて上述した第１ローパスフィルタ、第２ローパスフィ
ルタおよび基準ローパスフィルタの出力電圧が所定の温
度および所定の差圧で測定される。前記制御回路に含ま
れない前記第２加算増幅器の出力端における基準電圧か
ら、その増幅段が必要とする利得係数が前記第１ローパ
スフィルタ、第２ローパスフィルタおよび基準ローパス
フィルタの夫々の印加出力電圧に対し計算される。

【００１３】本発明によれば、上述した演算処理回路
は、前記補足的圧力センサからの信号によって、圧力誤
差に対しても同様に、完全に補償することができる。こ
の目的のため、本発明に基づき、前記演算処理回路は、
入力側において第２整流器の出力端に接続された他の加
算増幅器を具え、この第２整流器には温度補償された差
圧信号が既に与えられている。前記他の加算増幅器は、
前記補足的圧力センサからの信号の形で他の入力信号を
入力され、その結果、完全に誤差補償された差圧信号を
その出力端に発生する。

【００１４】しかしながら、補足的圧力センサに対し他
の加算増幅器を挿入することによる、本発明に基づくこ
の極めて単純な拡張は、補足的圧力センサからの信号が
差圧信号に対応しないばかりでなく処理圧力にも対応せ
ず、したがって処理圧力が厳密に零にならないときは常
に信号を発生することのために、第２整流器の出力端に
おける信号の零点がその近辺で歪められる点で、僅かな
不完全性を有している。

【００１５】上述したことは、本発明に基づく代案によ
って改善することができる。この代案によれば、前記演
算処理回路はさらに他の加算増幅器を具えており、その
加算増幅器は、一方でその入力側において前記制御回路
の第１整流器の出力端に接続され出力側において前記制
御回路のコントローラに接続され、その入力端には前記
補足的圧力センサからの信号が入力される。この本発明
の代案版では、処理圧力は制御回路中に既に盛り込まれ
ており、したがって、予め温度補正された差圧信号のみ
を存在させておいた前記第２整流器の出力端に、完全に
誤差補償された差圧信号が発生する。

【００１６】本発明のこの実施態様では、処理圧力は有
利にも既に制御回路中に取り込まれており、そのため零
点の歪みは発生せず、本発明に基づき温度ばかりでなく
処理圧力についても補償がなされる。前記温度補償に用
いたのと類似する修正を同様にして実施することができ
る。

【００１７】さらに、前記制御回路は、前記コントロー
ラを介して、基準電圧源から電圧を受け取ることができ
る。

【００１８】前記補足的圧力センサは、圧力に比例する
電圧信号を発生し、歪ゲージ等を有する内部構造を具え
ることができる。本発明の好適な実施態様においては、
前記補足的圧力センサは、前記差圧測定セルの第１ダイ
ヤフラムおよび第２ダイヤフラム上に作用する圧力を夫
々検出する、２つの副センサに分割することができ、そ
れら副センサは、例えば、それら圧力の加算値を２等分
したものから、前記演算処理回路に供給するために、処
理圧力を計算する。

【００１９】本発明の特定の実施態様においては、前記
単室差圧測定セルは補足的温度センサを具えることがで
き、その補足的温度センサの出力信号は前記演算処理回
路において誤差表示信号に変換される。さらに、前記演
算処理回路はデジタル構造を有することができる。

【００２０】

【実施例】以下、図面に基づき本発明の実施例を説明す
る。図１は本発明に基づく差圧測定装置10を示し、この
差圧測定装置10は、単室差圧測定セル11と、それに電気
的に接続される演算処理回路12とを具える。補足的圧力
センサ13は単室差圧測定セル11上に装着されており、こ
の補足的圧力センサ13も演算処理回路12に電気的に接続
される。

【００２１】単室差圧測定セル11は、円筒形ボディ14
と、伸縮自在な２つのダイヤフラム15および16とを具
え、ダイヤフラム15および16は夫々、中間の環状スペー
サ17および18を介して円筒形ボディ14の両端面に圧接状
態で結合され、その周囲に沿って伸張する。円筒形ボデ
ィ14およびダイヤフラム15、16は、電気的絶縁金属、好
ましくは金属酸化物セラミック製とする。同様に、環状
スペーサ17、18は、好ましくは、円筒形ボディ14および
ダイヤフラム15、16間に圧接結合を成す電気的絶縁金
属、例えば溶融ガラス製とする。

【００２２】環状スペーサ17、18は、ダイヤフラム15、
16を円筒形ボディ14から所定距離に保持し、それにより
各ダイヤフラム15、16およびそれらが対向する円筒形ボ
ディ14の端面間に平らな空隙46、19が形成される。２個
所の空隙46、19は、円筒形ボディ14内に形成された軸状
ダクト20を介して連結され、以下のようにして圧接状態
において外部から密封された共通室を形成する。この室
の全容積は、それ自体が圧縮できない絶縁液21で満たさ
れている。絶縁液21はシリコン油とすることができる。

【００２３】円筒形ボディ14に対向するダイヤフラム15
の内側面は、円筒形ボディ14の端面に面した環状電極23
と対向する、薄膜電極22で覆われている。同様に、ダイ
ヤフラム16の内周面は、円筒形ボディ14の端面に面した
環状電極25と対向する、薄膜電極24で覆われている。薄
膜電極22〜25は、接続導線26〜29に接続され、さらにそ
れら接続導線を介して演算処理回路12に接続される。こ
れら接続導線を差圧測定セル11の外部に設けるための特
別の手段を取り得ることは、注目すべきことである。

【００２４】薄膜電極22は、対向する薄膜電極23ととも
に、静電容量Ｃ₁ を有する第１測定コンデンサ30を形成
し、この静電容量Ｃ₁ は接続導線26および27間で測定す
ることができる。薄膜電極24は、対向する薄膜電極25と
ともに、静電容量Ｃ₂を有する第２測定コンデンサ31を
形成し、この静電容量Ｃ₂ は接続導線28および29間で測
定することができる。

【００２５】円筒形ボディ14は、例えばその周囲に、補
足的圧力センサ13を設けられており、その補足的圧力セ
ンサ13の測定信号は、接続導線32を介して演算処理回路
12に供給される。補足的圧力センサ13は、歪ゲージ等に
よって構成することができ、また２つの副センサに分割
することができる。さらに、補足的圧力センサ13は、同
時に補足的温度センサを形成することができ、この補足
的温度センサの信号は、ドイツ国特許DE‐PS3932443 号
明細書と同一の警報信号を形成するように処理される。
すなわち、上記補足的温度センサの出力信号は演算処理
回路12において誤差表示信号に変換され、この演算処理
回路12はデジタル構造を有しているので、このデジタル
構造を用いて上記誤差表示信号を表示することにより、
警報信号が形成される。しかし、上記補足的温度センサ
は、上記のように兼用させる代わりに、例えばもう１つ
の補足的温度センサを差圧測定セル11の円筒形ボディ14
の外周に設けることができる。補足的温度センサは図１
および図２には図示していない。差圧測定セル11の上記
記載が、図２に用いられる差圧測定セル11に対しても適
用されることは、注目すべきことである。差圧測定セル
11に作用する処理圧力Ｐ_３は、図１および図２におい
て矢印Ｐ_１およびＰ_２で示される。

【００２６】図１の演算処理回路12は、単室差圧測定セ
ル11の第１および第２測定コンデンサ30、31に対応する
部位であるダイヤフラム15、16の表面に夫々図１に矢印
で示す如く作用する外圧Ｐ_１、Ｐ_２の圧力差である
差圧ΔＰ＝Ｐ_１−Ｐ_２の計算等を行うものであり、
フィードバック回路においてゲインを決定するとともに
接続導線26、27を介して演算処理回路12に接続される測
定コンデンサ30を伴う、第１のローパスフィルタ33を具
え、同様にフィードバック回路においてゲインを決定す
るとともに接続導線28、29を介して演算処理回路12に接
続される測定コンデンサ31を伴う、第２のローパスフィ
ルタ34を具え、同様にフィードバック回路においてゲイ
ンを決定する基準コンデンサ36を伴う、基準ローパスフ
ィルタ35を具える。

【００２７】これら３つのローパスフィルタ33、34、35
は、対応する接続導線を介して、振幅制御可能な発振器
37より電力を供給され、振幅制御は発振器37の前段に位
置するコントローラ38を介してなされ、コントローラ38
の入力側において整流器39の出力電圧は安定基準電圧源
40と絶えず比較される。したがって、３つのローパスフ
ィルタ33、34および35より供給され、適切なファクタに
より重み付けされた出力電圧が加算増幅器41で加算さ
れ、その後、加算増幅器41の出力電圧が整流器39によっ
て整流されるように、前記発振器の振幅を制御すること
ができる。

【００２８】前述した制御は、３つのローパスフィルタ
33、34、35の出力電圧が、（１）式に従う差圧依存成分
に加えて、（２）式に従う温度依存成分を含むことを保
証する。

【００２９】これら３つの出力電圧を、対応する要素を
有しその出力電圧が整流器43により整流される加算増幅
器42において加算および減算することにより、前記測定
セルにおける差圧に比例する、温度補償および標準化し
た出力電圧が整流器43の出力端に生成される。

【００３０】差圧測定セル11、したがって測定コンデン
サ30、31の静電容量に関して、処理圧力Ｐ₃ の影響を補
償するため、補足的圧力センサ13は、ダイヤフラム15に
作用する圧力Ｐ₁ 、ダイヤフラム16に作用する圧力Ｐ₂
を測定するセンサを適宜装着することにより、あるい
は、望ましくは差圧測定セル11上に図示したように適切
に装着することにより、処理圧力を表わす信号を生じ
る。したがって、充満した絶縁液21内の処理圧力Ｐ₃ ＝１／２（Ｐ₁ ＋Ｐ₂ ） ‐ （３）は、直接測定することができる。すなわち、電圧信号に
変換した後、例えば補足的圧力センサ13において直接的
に、処理圧力Ｐ₃ に比例することになり、その電圧信号
は整流器43の次段の加算増幅器44に印加される。

【００３１】整流器43の出力電圧および補足的圧力セン
サ13の出力電圧は、加算増幅器44において適当なファク
タで同一手法により加算または減算され、その結果、加
算増幅器44の出力端に表れる電圧信号は、差圧測定セル
11に作用する差圧ΔＰのみに比例し、温度および処理圧
力の影響を受けないものになる。

【００３２】図２は本質的に同一の構造を示し、したが
って参照符号は図１について付与した記載に合わせて作
成することができる。加算増幅器44に関してのみ相違が
ある。本発明のこの実施例においては、補足的圧力セン
サ13の出力信号は、整流器39とコントローラ38との接続
点に挿入された加算増幅器45に適宜供給される。図１の
加算増幅器44は削除してある。

【００３３】加算増幅器45において整流器39の出力端に
表われる電圧信号には、補足的圧力センサ13から発生さ
れ処理圧力Ｐ₃ に比例する電圧信号が、適当なファクタ
で加算または減算される。差圧測定セル11および発振器
37の振幅に影響を与える温度が処理圧力の影響を受けな
いように、加算増幅器45の出力端に表われる電圧信号は
コントローラ38に印加される。その結果、整流器43の出
力電圧は、再び、差圧測定セル11に作用する差圧ΔＰの
みに比例し、差圧測定セル11上の温度および処理圧力の
影響を受けないものになる。

【００３４】例えば、ドイツ国特許DE‐PS3932443 号明
細書により公知の算術回路は、生じた処理圧力Ｐ₃ に比
例する電圧が、処理圧力に比例して計算した出力量を補
正するために、適宜デジタル化され、上記引用明細書よ
り公知の算術演算により提供されるという点で、本発明
に基づく補足的圧力センサ13によって拡張することがで
きる。

【００３５】本発明に基づく演算処理回路は、アナログ
回路とすることも、また明らかにデジタル回路とするこ
ともできることは注目すべきことであり、またＫ_rを温
度に依存するものとしＫ_sを処理圧力に依存するものと
して（２）式を考慮したとき、整流器43の出力端に生じ
る信号は（１）式を満足させることは注目すべきことで
ある。

【００３６】本発明は上述した例にのみ限定されず、幾
多の変形または変更を加え得ることは勿論である。

【図面の簡単な説明】

【図１】補足的圧力センサを第１の方法で接続した演算
処理回路を具える、本発明に基づく差圧測定装置を示す
図である。

【図２】補足的圧力センサを第２の方法で接続した演算
処理回路を具える、本発明に基づく差圧測定装置を示す
図である。

【符号の説明】

10 差圧測定装置 11 差圧測定セル 12 演算処理回路 13 補足的圧力センサ13 14 円筒形ボディ 15 ダイヤフラム 16 ダイヤフラム 21 絶縁液 22 薄膜電極 23 環状電極 24 薄膜電極 25 環状電極 30 第１測定コンデンサ 31 第２測定コンデンサ 33 ローパスフィルタ 34 ローパスフィルタ 35 基準ローパスフィルタ 36 基準コンデンサ 37 発振器 38 コントローラ 39 整流器 40 基準電圧源 41 加算増幅器 42 加算増幅器 43 整流器 44 加算増幅器 45 加算増幅器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者イェンス−カルシュテンペテルセンドイツ連邦共和国 3500 カッセルヘルネバッハベーク 34 (72)発明者ヴォルフガングシュニトッカードイツ連邦共和国 3502 ヴォルマールエルシェベーク 10 審査官石井哲 (56)参考文献特開昭62−140040（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−300930（ＪＰ，Ａ) 欧州特許出願公開361590（ＥＰ，Ａ１) 欧州特許出願公開420105（ＥＰ，Ａ１) 独国特許出願公開3504329（ＤＥ，Ａ１) 独国特許出願公開3512529（ＤＥ，Ａ１) 独国特許出願公開3839864（ＤＥ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01L 13/06 G01L 19/04

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】測定すべき差圧の作用と逆方向に静電容
量が変化する第１測定コンデンサ(30)と、測定すべき差
圧の作用と同一方向に静電容量が変化する第２測定コン
デンサ(31)との、２つの測定コンデンサを有する、液体
を満たした単室差圧測定セルを具える差圧測定装置であ
って、測定信号の演算処理および温度補正量を盛り込む
際の、前記単室差圧測定セルの前記２つの測定コンデン
サに対応する部位に夫々作用する外圧の圧力差である差
圧の計算のための演算処理回路を具える差圧測定装置に
おいて、前記単室差圧測定セル内に形成される共通室内の処理圧
力(P_３)を測定するために使用され、演算処理回路(12)
に接続される補足的圧力センサ(13)が差圧測定セル(11)
上に装着され、前記演算処理回路は、発振器(37)と、一端に接続される
前記発振器の振幅制御を行うコントローラ(38)と、前記
発振器の出力端に入力端を接続され基準コンデンサ(36)
を伴う基準ローパスフィルタ(35)と、前記基準ローパス
フィルタの出力端に入力端を接続され測定信号入力を含
む第１加算増幅器(41)と、前記第１加算増幅器の出力端
および前記コントローラの他端間に接続される第１整流
器(39)とを有する制御回路を具えるとともに、第１測定
コンデンサ(30)に接続される第１ローパスフィルタ(33)
と、第２測定コンデンサ(31)に接続される第２ローパス
フィルタ(34)とを具え、第１ローパスフィルタ(33)およ
び第２ローパスフィルタ(34)の入力端は前記発振器(37)
の出力端に接続され、第１ローパスフィルタ(33)、第２
ローパスフィルタ(34)および基準ローパスフィルタ(35)
の出力信号の夫々は、後段の第２加算増幅器(42)および
第２整流器(43)を介して、温度補償した差圧信号を発生
し、その差圧信号には補足的圧力センサ(13)からの信号
が少なくとも間接的に作用し、前記演算処理回路は、前記補足的圧力センサから温度補
正量を得るとともに、前記温度補正量ならびに第１測定
コンデンサ(30)および第２測定コンデンサ(31)の測定信
号を伴って、完全に誤差補正した差圧信号をその出力端
に発生することを特徴とする、差圧測定装置。
【請求項２】請求項１記載の差圧測定装置において、第１加算増幅器(41)は入力側において第１ローパスフィ
ルタ(33)、第２ローパスフィルタ(34)および基準ローパ
スフィルタ(35)の出力端に接続され、前記制御回路の第
１整流器(39)の出力端における信号の増加はコントロー
ラ(38)を介して発振器(37)の振幅の減少を生じさせ、こ
の振幅の減少は第１ローパスフィルタ(33)、第２ローパ
スフィルタ(34)および基準ローパスフィルタ(35)の入力
側に作用し、その結果、同様に第１ローパスフィルタ(3
3)、第２ローパスフィルタ(34)および基準ローパスフィ
ルタ(35)の出力端に接続され、第２整流器(43)が後続す
る第２加算増幅器(42)は温度補償した差圧信号（ΔＰ）
を発生し、この差圧信号には補足的圧力センサ(13)から
の信号が間接的に作用することを特徴とする、差圧測定
装置。
【請求項３】請求項２記載の差圧測定装置において、基準コンデンサ(36)は、差圧を零に一致させたときの第
１測定コンデンサ(30)および第２測定コンデンサ(31)の
加算値の平均値に合わせて選択され、前記温度補償は、
少なくとも２つの温度および少なくとも２つの差圧に対
する修正によって達成されることを特徴とする、差圧測
定装置。
【請求項４】請求項３記載の差圧測定装置において、演算処理回路(12)は、入力側において第２整流器(43)の
出力端に接続された他の加算増幅器(44)を具え、この加
算増幅器は補足的圧力センサ(13)からの信号を他の入力
信号として入力され、その結果、完全に誤差補償された
差圧信号がその出力端に発生することを特徴とする、差
圧測定装置。
【請求項５】請求項３記載の差圧測定装置において、演算処理回路(12)は、入力側において第１整流器(39)の
出力端に接続され出力側においてコントローラ(38)に接
続されるさらに他の加算増幅器(45)を具え、この加算増
幅器は補足的圧力センサ(13)からの信号を他の入力信号
として入力され、その結果、前記制御回路に処理圧力(P
_３)が予め盛り込まれ、完全に誤差補償された差圧信号
が第２整流器(43)の出力端に発生することを特徴とす
る、差圧測定装置。
【請求項６】請求項１〜５の何れか１項記載の差圧測
定装置において、前記制御回路は、コントローラ(38)を介して、基準電圧
源(40)から電圧を印加されることを特徴とする、差圧測
定装置。
【請求項７】請求項６記載の差圧測定装置において、補足的圧力センサ(13)は、圧力に比例する電圧信号を出
力し、歪ゲージ等を有する内部構造を具えることを特徴
とする、差圧測定装置。
【請求項８】請求項７記載の差圧測定装置において、補足的圧力センサ(13)は、第１ダイヤフラム(15)および
第２ダイヤフラム(16)上に作用する圧力を夫々測定す
る、２つの副センサに分割され、それら副センサは、そ
れら圧力の加算値の算術平均値から、演算処理回路(12)
に供給するために、処理圧力(P_３)を計算することを特
徴とする、差圧測定装置。
【請求項９】請求項１〜８の何れか１項に記載の差圧
測定装置において、前記単室差圧測定セルは補足的温度センサを具え、その
補足的温度センサの出力信号は前記演算処理回路におい
て誤差表示信号に変換され、前記演算処理回路はデジタ
ル構造を有することを特徴とする、差圧測定装置。