DE3312385A1 - Druckmessvorrichtung - Google Patents

Druckmessvorrichtung

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DE3312385A1
DE3312385A1 DE19833312385 DE3312385A DE3312385A1 DE 3312385 A1 DE3312385 A1 DE 3312385A1 DE 19833312385 DE19833312385 DE 19833312385 DE 3312385 A DE3312385 A DE 3312385A DE 3312385 A1 DE3312385 A1 DE 3312385A1
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pressure
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measuring
electrical
converting
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DE19833312385
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Tadanori Dipl.-Ing. Hino Tokyo Yuhara
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Fuji Electric Co Ltd
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Fuji Electric Co Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/02Arrangements for preventing, or for compensating for, effects of inclination or acceleration of the measuring device; Zero-setting means

Description

  • Druckmeßvorrichtuns
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Druckmeßvorrichtung zur Umwandlung von Drücken oder Druckdifferenzen in ein elektrisches Ausgangssignal mit zwei Druckanschlußteilen, die jeweils einen Druckeinlaß aufweisen und druckleitend mit zwei hydraulisch parallel geschalteten Differenzdruckaufnehmern unterschiedlicher Druckempfindlichkeit verbunden sind, wobei der weniger druckempfindliche Differenzdruckaufnehmer eine Vorrichtung zur Umwandlung des zu messenden Druckes in eine elektrische Größe aufweist.
  • Bei einer bekannten Druckmeßvorrichtung dieser Art (DE-OS 26 40 235) befinden sich zwei Differenzdruckaufnehmer unterschiedlicher Druckempfindlichkeit in einem Gehäuseteil, das zwischen zwei Druckanschlußteilen angeordnet ist. Jedes der beiden Druckanschlußteile enthält einen Druckeinlaß und einen mit diesem verbundenen Raum, der durch eine Trennmembran abgeschlossen ist. Die Druckanschlußteile sind druckleitend mit den zwei Differenzdruckaufnehmern verbunden. Die Druckübertragung von den Trennmembranen zu den Differenzdruckaufnehmern, die hydraulisch parallel geschaltet sind, erfolgt mit Hilfe einer inkompressiblen Flüssigkeit. Jeder der beiden Differenzdruckaufnehmer enthält eine druckempfindliche Membran, die von dem zu messenden Druck entsprechend der Druck- -empfindlichkeit des jeweiligen Differenzdruckaufnehmers ausgelenkt wird. Der Differenzdruckaufnehmer mit der weniger druckempfindlichen Membran enthält eine Vorrichtung zur Umwandlung der Membranauslenkung und damit des zu messenden Druckes in eine elektrische Größe, während der andere Differenzdruckaufnehmer, dessen Membran vergleichsweise druckempfindlicher ist, die Funktion einer Druckausgleichsvorrichtung für iiberlastfälle hat.
  • Ist eine solche Druckmeßvorrichtung bzw. sind Druckmeßvorrichtungen ähnlicher Art mit einer einzigen Vorrichtung zur Umwandlung des Meßdruckes in eine elektrische Größe für einen weiten Druckmeßbereich ausgelegt, so ist bei niedrigen Drücken die elektrische Größe sehr klein. Das hat zur Folge, daß bei einem der Druckmeßvorrichtung nachgeschalteten Verstärker der Verstärkungsfaktor erhöht werden muß, wobei sich der Nullpunkt des Verstärkers verschiebt. Bekannte Druckmeßvorrichtungen mit hoher Genauigkeit weisen daher nur einen kleinen dynamischen Meßbereich mit einem Verhältnis der Meßdrücke von beispielsweise 1 : 5 auf, so daß mehrere dieser Druckmeßvorrichtungen mit verschiedenen Meßbereichen erforderlich sind, um einen weiten Druckmeßbereich zu erhalten.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, Druckmessungen in einem besonders weiten Druckmeßbereich bei hoher MeEgenauigkeit mit einer einzigen Druckmeßvorrichtung zu ermöglichen.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe weist bei der Druckmeßvorrichtung der eingangs angegebenen Art erfindungsgemäß der druckempfindlichere Differenzdruckaufnehmer eine Vorrichtung zur Umwandlung des zu messenden Druckes in eine weitere elektrische Größe auf; an die Vorrichtungen zur Umwandlung des zu messenden Druckes ist eine elektrische Auswerteeinrichtung angeschlossen, die in Abhängigkeit von der Größe des zu messenden Druckes das elektrische Ausgangssignal entweder aus der einen elektrischen Größe oder aus der weiteren elektrischen Größe erzeugt.
  • Ein Vorteil der erfindungsgemäßen Druckmeßvorrichtung besteht darin, daß im wesentlichen allein durch die Vorrichtung des zu messenden Druckes in eine elektrische Größe an dem weiteren Differenzdruckaufnehmer zur Umwandlung der Druckmeßbereich gegenüber der zuvor beschriebenen bekannten Meßvorrichtung unter Erzielung einer hohen Meßgenauigkeit erheblich erweitert ist. Ein weiterer Vorteil besteht in dem vergleichsweise kleinen Aufbau der erfindungsgemäßen Druckmeßvorrichtung; dieser ist dadurch erreicht, daß nur zwei Druckanschlußteile für zwei Differenzdruckaufnehmer vorgesehen sind.
  • Die beiden Differenzdruckaufnehmer der erfindungsgemäßen Druckmeßvorrichtung können in bekannter Weise Membranen unterschiedlicher Druckempfindlichkeit enthalten, so daß die Umwandlung niedriger Drücke in eine elektrische Größe weitestgehend in dem Differenzdruckaufnehmer mit der druckempfindlicheren Membran erfolgt, wobei die druckunempfindlichere Membran des anderen Differenzdruckaufnehmers kaum ausgelenkt wird; der Differenzdruckaufnehmer mit der druckempfindlicheren Membran weist eine Vorrichtung zur Begrenzung der Membranauslenkung auf, so daß bei Überschreiten eines vorgegebenen Druckes diese Membran keine weitere Auslenkung mehr vollführen kann und größere Drücke nur noch die druckunempfindlichere Membran des unempfindlicheren Differenzdruckaufnehmers auslenken. Der gesamte Druckmeßbereich der erfindungsgemäßen Druckmeßvorrichtung setzt sich also aus dem Meßbereichen der beiden Differenzdruckaufnehmer zusammen; wenn beide Differenzdruckaufnehmer jeweils einen dynamischen Meßbereich mit dem Druckverhältnis von 1 : 10 aufweisen, dann erhält man für die gesamte Druckmeßvorrichtung einen Meßbereich mit dem Druckverhältnis 1 : 100. Beispielsweise ergibt sich bei einem Meßbereich des einen Differenzdruckaufnehmers von 10 bar bis 100 bar und des weiteren Differenzdruckaufnehmers von 100 bar bis 1000 bar für die Druckmeßvorrichtung ein gesamter Meßbereich von 10 bar bis 1000 bar.
  • Anstelle von Membranen unterschiedlicher Druckempfindlichkeit können beispielsweise auch Balse entsprechender Empfindlichkeit in den Differenzdruckaufnehmern verwendet werden.
  • Bei der erfindungsgemäßen Druckmeßvorrichtung läßt sich mit der elektrischen Auswerteeinrichtung ein einziges elektrisches Ausgangssignal der erfindungsgemäßen Druckmeßvorrichtung unabhängig davon erzeugen, in welchem Bereich der zu messende Druck jeweils liegt. Bei Messung von niedrigen Drücken erzeugt die Auswerteeinrichtung das Ausgangssignal aus der elektrischen Größe, die der druckempfindlichere Differenzdruckaufnehmer liefert, während bei höheren Drücken das Ausgangssignal von dem druckunempfindlicheren Differenzdruckaufnehmer stammt. Daher stehen auch bei Messungen von niedrigeren Drücken ausreichend hohe Meßsignale zur Verfügung.
  • Bei einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Druckmeßvorrichtung bilden die beiden Druckanschlußteile, beiderseits an einer Trennwand anliegend, eine Einheit; an jedem Druckanschlußteil ist eine Trennmembran angebracht, die in engem Abstand von der Trennwand liegt und gemeinsam mit dieser jeweils einen Raum für den Druckeinlaß begrenzt. Durch den engen Abstand der Trennmembranen voneinander werden weitgehend die Meßfehler reduziert, die durch die jeweilige Schräglage der Druckmeßvorrichtung verursacht werden.
  • Entsprechend der Schräglage der Druckmeßvorrichtung übt nämlich die Druckübertragungsflüssigkeit auf die Differenzdruckaufnehmer einen zusätzlichen Druck aus, der vom gegenseitigen Abstand der Trennmembranen abhängig ist.
  • Zur Erläuterung der Erfindung ist in Figur 1 ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Druckmeßvorrichtung und in den Figuren 2A und 2B ein bekannter Differenzdruckaufnehmer mit Trennmembranen in unterschiedlicher Lage dargestellt.
  • In Figur 1 ist eine Druckmeßvorrichtung dargestellt, die einen Differenzdruckaufnehmer 1 zur Messung von hohen Drücken und einen weiteren Differenzdruckaufnehmer 2 zur Messung von niedrigen Drücken enthält. Die Druckmeßvorrichtung enthält weiterhin zwei Druckanschlußteile 7a und 7b mit zwei Trennmembranen 5 und 6. Die beiden Druckanschlußteile 7a und 7b bilden mit einer dazwischen liegenden Trennwand 12 eine Einheit, wobei sie über jeweils zwei Druckleitungen 13 und 15 mit den Differenzdruckaufnehmern 1 und 2 verbunden sind; die Differenzdruckaufnehmer 1 und 2 sind über eine Druckleitung 14 miteinander verbunden. Die Druckleitungen 13 bis 15 enthalten eine Druckübertragungsflüssigkeit 8. Weiterhin sind eine Membran 3 zur Erfassung von hohen Drücken und eine Membran 4 zur Aufnahme von niedrigen Drücken vorhanden.
  • Der zu messende Druck gelangt durch einen Druckeinlaß 11a bzw.
  • 11b in die Druckanschlußteile 7a und 7b und bewirkt eine Auslenkung der Trennmembranen 5 und 6. Das hat eine Verschiebung der Druckübertragungsflüssigkeit 8 in den Druckleitungen 13 und 15 zur Folge, wobei der zu messende Druck auf die Membranen 3 und 4 in den jeweiligen Differenzdruckaufnehmern 1 und 2 übertragen wird und die Membranen auslenkt.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel befinden sich beiderseits der jeweiligen Membran 3 bzw. 4 zwei feste Elektroden 9, zwischen denen die jeweilige Membran als bewegliche dritte Elektrode angeordnet ist; jede Membran 3 bzw. 4 bildet mit den ihnen zugeordneten festen Elektroden 9 eine Vorrichtung zur Umwandlung des zu messenden Druckes in eine elektrische Größe. Bei Änderung der jeweiligen druckproportionalen Membranauslenkung variiert entsprechend die Kapazität der Elektrodenanordnung, wobei die Kapazitätsänderungen von der elektrischen Auswerteeinrichtung 10 erfaßt werden. Diese liefert ein elektrisches Ausgangssignal, das in Abhängigkeit von der Höhe des zu messenden Druckes entweder von dem Differenzdruckaufnehmer 2 zur Erfassung von niedrigen Drücken oder von dem Differenzdruckaufnehmer 1 zur Erfassung von hohen Drücken stammt.
  • Der zu messende Druck wird von den Druckanschlußteilen 7a und 7b mit Hilfe der Druckübertragungsflüssigkeit 8 in den Druckleitungen 13 und 15 zu den Differenzdruckaufnehmern 1 und 2 geleitet. Dabei bewirken niedrige Drücke eine druckproportionale Auslenkung der Membran 4, während die Membran 3 kaum ausgelenkt wird. Andererseits ist die Auslenkung der Membran 4 bei hohen Drücken so groß, daß sie sich gegen eine der festen Elektroden 9 abstützt, wodurch eine weitere Auslenkung der Membran 4 verhindert wird. Das hat zur Folge, daß nur noch die Membran 3 druckproportional ausgelenkt wird. Auf diese Weise kann die Verschiebung der Druckübertragungsflüssigkeit 8 in den Druckleitungen 13 bis 15 klein gehalten werden, weil die Druckanschlußteile 7a und 7b mit den Differenzdruckaufnehmern 1 und 2 über die Druckübertragungsflüssigkeit 8 druckleitend verbunden sind und weil der Abstand zwischen den Druckanschlußteilen 7a und 7b bzw. ihren Trennmembranen 5, 6 klein gehalten werden kann. Dadurch wirken sich Meßfehler, die durch eine Schräglage der Druckmeßvorrichtung verursacht werden, nur gering aus.
  • Werden zur Messung von Differenzdrücken den Druckanschlußteilen 7a und 7b jeweils verschiedene Drücke zugeführt, so wird der Differenzdruck entsprechend seiner Größe entweder von dem einen oder dem anderen Differenzdruckaufnehmer erfaßt, wobei eine hohe Meßgenauigkeit erzielt werden kann.
  • Im folgenden wird dargelegt, auf welche Weise bei der erfindungsgemäßen Druckmeßvorrichtung Meßfehler reduziert werden, die durch die jeweilige Lage der Druckmeßvorrichtung verursacht werden.
  • In den Figuren 2A und 2B ist jeweils ein bekannter Differenzdruckaufnehmer mit-einer Meßmembran dargestellt, wobei die Lage dieser Meßmembran in Figur 2A vertikal und in Figur 2B horizontal ist Der Differenzdruckaufnehmer selbst besteht aus zwei Metallringen 20 und 21, die zwei Isolationskörper 22 und 23 umgeben.
  • Die Meßmembran 28 ist zwischen den miteinander verschweißten Metall ringen 20 und 21 angeordnet. Die Isolationskörper 22 und 23 weisen an ihren der Meßmembran 28 gegenüberliegenden Seiten konkave Aussparungen auf, an denen zwei Elektroden 29 und 30 angeordnet sind. An den Metallringen 20 und 21 sind weiterhin zwei Trennmembranen 26 und 27 angebracht. Jeder der beiden Isolationskörper 22 und 23 enthält eine Durchlaßöffnung 24 bzw. 25. Innerhalb des Differenzdruckaufnehmers ist der Raum zwischen der Meßmembran 28 und den Trennmembranen 26 und 27 mit einer Druckübertragungsflüssigkeit gefüllt. Wirken auf die Stirnseiten des Differenzdruckaufnehmers verschiedene Drücke Pl und P2, so wird die Meßmembran 28 entsprechend dem Differenzdruck P = P2 - P1 ausgelenkt und eine entsprechende Kapazitätsänderung hervorgerufen. Bei einer vertikalen Lage der Meßmembran 28 erfaßt diese nur die Druckdifferenz P.
  • Ein Meßfehler, verursacht durch die Lage des Differenzdruckaufnehmers, tritt nicht auf.
  • Bei einer waagerechten Lage der Meßmembran 28, wie sie in Figur 2B dargestellt ist, wirkt zusätzlich auf die Meßmembran 28 eine Schwerkraft, deren Größe von der bis zu 50 mm betragenden Höhendifferenz H abhängt. Die Schwerkraft lenkt die Meßmembran 28 zusätzlich aus und verursacht so einen Lagefehler. Auch bei einer schrägen Lage der Meßmembran 28 tritt eine Höhendifferenz auf, die einen entsprechenden Meßfehler verursacht.
  • Wird die erfindungsgemäße Druckmeßvorrichtung nach Figur 1 in eine solche Lage gebracht, daß die Membranen 3 und 4 horizontal liegen, so wirkt durch die Druckleitung 14 auf jede Seite der Membranen 3 und 4 der gleiche Druck. Daher verursacht die Höhendifferenz zwischen den Differenzdruckaufnehmern 1 und 2 keinen lagebedingten Meßfehler. Die zwischen den Trennmem- branen 5 und 6 bestehende Höhendifferenz kann mit einer Größenordnung von 4 bis 5 mm sehr klein gehalten werden, so daß der dadurch verursachte Meßfehler vernachlässigbar ist.
  • Die erfindungsgemäße Druckmeßvorrichtung läßt sich als industrielles Meßinstrument zur Messung von Drücken oder Druckdifferenzen, die sich in einem sehr weiten Bereich ändern können, einsetzen. Bei einer weiteren Anwendungsmöglichkeit kann die Druckmeßvorrichtung als Vergleichsinstrument zur Kalibrierung von Industrie- oder Labormeßgeräten verwendet werden, indem diese mit dem Vergleichsinstrument in eine gemeinsame Lage gebracht werden und einem gemeinsamen ansteigenden Meßdruck ausgesetzt sind. Entsprechend ihrer Anwendung kann die erfindungsgemäße Druckmeßvorrichtung einen Uberlastungsschutz gegen zu hohe Drücke enthalten und können die Trennmembranen korrosionsfest ausgeführt sein.
  • 3 Figuren 2 Patentansprüche

Claims (2)

  1. Patentansprüche 9 Druckmeßvorrichtung zur Umwandlung von Drücken oder Druckdifferenzen in ein elektrisches Ausgangssignal mit zwei Druckanschlußteilen (7a, 7b), die jeweils einen Druckeinlaß (Ila, leib) aufweisen und druckleitend mit zwei hydraulisch parallel geschalteten Differenzdruckaufnehmern (1, 2) unterschiedlicher Druckempfindlichkeit verbunden sind, wobei der weniger druckempfindliche Differenzdruckaufnehmer (1) eine Vorrichtung (9) zur Umwandlung des zu messenden Druckes in eine elektrische Größe aufweist , d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t r daß der druckempfindlichere Differenzdruckaufnehmer (2) eine Vorrichtung (9) zur Umwandlung des zu messenden Druckes in eine weitere elektrische Größe aufweist und daß an die Vorrichtungen (9) zur Umwandlung des zu messenden Druckes eine elektrische Auswerteeinrichtung (10) angeschlossen ist, die in Abhängigkeit von der Größe des zu messenden Druckes das elektrische Ausgangssignal entweder aus der einen elektrischen Größe oder aus der weiteren elektrischen Größe erzeugt.
  2. 2 Druckmeßvorrichtung nach Anspruch 1 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t Z daß die Druckanschlußteile (7a, 7b), beiderseits an einer Trennwand (12) anliegend, eine Einheit bilden, daß an jedem Druckanschluteil (7a, 7b) eine Trennmembran (5, 6) angebracht ist und daß die Trennmembranen (5, 6) in engem Abstand von der Trennwand (12) angeordnet sind und gemeinsam mit der Trennwand (12) jeweils mit dem Druckeinlaß (11) verbundene Räume der Druckanschlußteile (7a, 7b) begrenzen.
DE19833312385 1982-04-09 1983-03-31 Druckmessvorrichtung Withdrawn DE3312385A1 (de)

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