JPS60194457U - ウエハ−研摩装置 - Google Patents

ウエハ−研摩装置

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JPS60194457U
JPS60194457U JP1984082636U JP8263684U JPS60194457U JP S60194457 U JPS60194457 U JP S60194457U JP 1984082636 U JP1984082636 U JP 1984082636U JP 8263684 U JP8263684 U JP 8263684U JP S60194457 U JPS60194457 U JP S60194457U
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JP
Japan
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plate
wafer polishing
polishing equipment
holder
reliably
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Application number
JP1984082636U
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English (en)
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JPH054275Y2 (ja
Inventor
尾身　康行
Original Assignee
不二越機械工業株式会社
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Publication date
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  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウェハーを貼付したプレートの斜視図を、第２
図は従来のウェハー研摩装置の斜視図を、第３図は本考
案のウェハー研摩装置の斜視図を、第４図ａ　％　ｆは
本考案のウェハー研摩装置の側面図による操作手順を示
す説明図である。 １・・・プレート、２・・・ウェハー、３・・・従来法
によるウェハー研摩装置、４・・・ターンテーブル、５
・・・トップリング、６・・・プレートセット位置、ユ
・・・本　　。 考案によるウェハー研摩装置、８・・・プレート受台、
９・・・位置決め突起、１０・・・真空吸着孔、１１・
・・回転軸、１２・・・トレー、１゛３・・・プレート
移送具、１４・・・ターンテーブル、１５・・・走行ガ
イド、１６Ｂ・・・トップリング、１６Ｆ・・・トップ
リング。 第３図 第４図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ターンテーブルの前面に位置し、位置決め突起と真空吸
    着孔とによりプレートを定位置に保持して１０００回転
    するプレート受台と、担持したトレーを前後上下に移動
    させてプレート受台から受は取ったプレートをトップリ
    ングに対し確実にローディングし、さらにアンローディ
    ングしたプレートを確実にプレート受台に渡すプレート
    移送具とからなることを特徴とするウェハー研摩装置。
JP1984082636U 1984-06-04 1984-06-04 ウエハ−研摩装置 Granted JPS60194457U (ja)

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JP1984082636U JPS60194457U (ja) 1984-06-04 1984-06-04 ウエハ−研摩装置

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JP1984082636U JPS60194457U (ja) 1984-06-04 1984-06-04 ウエハ−研摩装置

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Publication Number Publication Date
JPS60194457U true JPS60194457U (ja) 1985-12-25
JPH054275Y2 JPH054275Y2 (ja) 1993-02-02

Family

ID=30630529

Family Applications (1)

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JP1984082636U Granted JPS60194457U (ja) 1984-06-04 1984-06-04 ウエハ−研摩装置

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JP (1) JPS60194457U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4829574A (ja) * 1971-07-16 1973-04-19
JPS596545A (ja) * 1982-07-05 1984-01-13 Hitachi Ltd ウエハ乾燥装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4829574A (ja) * 1971-07-16 1973-04-19
JPS596545A (ja) * 1982-07-05 1984-01-13 Hitachi Ltd ウエハ乾燥装置

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JPH054275Y2 (ja) 1993-02-02

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