JPS60194457U - ウエハ−研摩装置 - Google Patents
ウエハ−研摩装置Info
- Publication number
- JPS60194457U JPS60194457U JP1984082636U JP8263684U JPS60194457U JP S60194457 U JPS60194457 U JP S60194457U JP 1984082636 U JP1984082636 U JP 1984082636U JP 8263684 U JP8263684 U JP 8263684U JP S60194457 U JPS60194457 U JP S60194457U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- wafer polishing
- polishing equipment
- holder
- reliably
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はウェハーを貼付したプレートの斜視図を、第2
図は従来のウェハー研摩装置の斜視図を、第3図は本考
案のウェハー研摩装置の斜視図を、第4図a % fは
本考案のウェハー研摩装置の側面図による操作手順を示
す説明図である。 1・・・プレート、2・・・ウェハー、3・・・従来法
によるウェハー研摩装置、4・・・ターンテーブル、5
・・・トップリング、6・・・プレートセット位置、ユ
・・・本 。 考案によるウェハー研摩装置、8・・・プレート受台、
9・・・位置決め突起、10・・・真空吸着孔、11・
・・回転軸、12・・・トレー、1゛3・・・プレート
移送具、14・・・ターンテーブル、15・・・走行ガ
イド、16B・・・トップリング、16F・・・トップ
リング。 第3図 第4図
図は従来のウェハー研摩装置の斜視図を、第3図は本考
案のウェハー研摩装置の斜視図を、第4図a % fは
本考案のウェハー研摩装置の側面図による操作手順を示
す説明図である。 1・・・プレート、2・・・ウェハー、3・・・従来法
によるウェハー研摩装置、4・・・ターンテーブル、5
・・・トップリング、6・・・プレートセット位置、ユ
・・・本 。 考案によるウェハー研摩装置、8・・・プレート受台、
9・・・位置決め突起、10・・・真空吸着孔、11・
・・回転軸、12・・・トレー、1゛3・・・プレート
移送具、14・・・ターンテーブル、15・・・走行ガ
イド、16B・・・トップリング、16F・・・トップ
リング。 第3図 第4図
Claims (1)
- ターンテーブルの前面に位置し、位置決め突起と真空吸
着孔とによりプレートを定位置に保持して1000回転
するプレート受台と、担持したトレーを前後上下に移動
させてプレート受台から受は取ったプレートをトップリ
ングに対し確実にローディングし、さらにアンローディ
ングしたプレートを確実にプレート受台に渡すプレート
移送具とからなることを特徴とするウェハー研摩装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984082636U JPS60194457U (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | ウエハ−研摩装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984082636U JPS60194457U (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | ウエハ−研摩装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60194457U true JPS60194457U (ja) | 1985-12-25 |
JPH054275Y2 JPH054275Y2 (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=30630529
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1984082636U Granted JPS60194457U (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | ウエハ−研摩装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60194457U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4829574A (ja) * | 1971-07-16 | 1973-04-19 | ||
JPS596545A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-13 | Hitachi Ltd | ウエハ乾燥装置 |
-
1984
- 1984-06-04 JP JP1984082636U patent/JPS60194457U/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4829574A (ja) * | 1971-07-16 | 1973-04-19 | ||
JPS596545A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-13 | Hitachi Ltd | ウエハ乾燥装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH054275Y2 (ja) | 1993-02-02 |
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