JPS60174249U - 半導体ウエハのセツト装置 - Google Patents

半導体ウエハのセツト装置

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JPS60174249U
JPS60174249U JP6234684U JP6234684U JPS60174249U JP S60174249 U JPS60174249 U JP S60174249U JP 6234684 U JP6234684 U JP 6234684U JP 6234684 U JP6234684 U JP 6234684U JP S60174249 U JPS60174249 U JP S60174249U
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JP
Japan
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wafer
semiconductor wafer
wafer setting
setting equipment
arm
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Pending
Application number
JP6234684U
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English (en)
Inventor
康雄 山田
Original Assignee
株式会社東芝
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａはバッチ型のＣＶＤ装置の略断面図、同図らは
同図ａの拡大平面図、第２図はバキュームピンセットで
ウェハを移動する状態を説明するための斜視図、第３図
は本考案の一実施例に係る半導体ウェハのセット装置の
平面図、第４図は同装置の斜視図、第５ａ図は同装置の
ウェハ捕獲台の平面図、同図すは同図ａ−のＸ−Ｘ線に
沿う断面図、第６図は同装置のウェハセット機構部の部
分斜視図、第７図は同装置に係るウェハセット機構部の
一部の捕獲端子でウェハを挟持する状態を説明するため
の図である。 １・・・下釜、２・・・上釜、３・・・チャンバ、４・
・・プレート、１１・・・ウェハ捕獲台、１２・・・溝
、１３・・・ウェハ止めピン、１４・・・第１の光セン
サ、１５・・・ウェハキャリアＢＯＸ、１６・・・ウェ
ハ、１７・・・搬送用ワイヤ、１８，２７，２８・・・
回転軸、１９・・・ウェハセット機構部、２０・・・開
口部、２１・・・支持台、２２．２４・・・アーム、２
３・・・挟持部、２５・・・捕獲端子、２６・・・ギア
。 １９）、２１ 、第５図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハキャリアから搬送されるウェハを停止させる停止
    手段と、停止させたウェハの周側部を挟持してこれを所
    定の位置まで搬送する捕獲・搬送手段とを具備し、捕獲
    ・搬送手段が、支持台と、この支持台にもけられ該支持
    台に対して前後及び上下に移動可能なアームと、このア
    ームに設けられたウェハ挟持部とからなることを特徴と
    する半導体ウェハのセット装置。
JP6234684U 1984-04-27 1984-04-27 半導体ウエハのセツト装置 Pending JPS60174249U (ja)

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JP6234684U JPS60174249U (ja) 1984-04-27 1984-04-27 半導体ウエハのセツト装置

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JPS60174249U true JPS60174249U (ja) 1985-11-19

Family

ID=30591477

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