JP2535549B2 - ウエ−ハ位置決め装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 オリエンテーションフラットによってウエーハの位置
決めを行うウエーハ位置決め装置であって、このオリエ
ンテーションフラットにリフタを当てることにより、ウ
エーハを上方に押し上げ、段階的に異なる高さに上昇さ
せてウエーハに刻印されているウエーハ番号を確認し易
くするようにしたウエーハ位置決め装置。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、ウエーハ位置決め装置に係り、特にウエー
ハに刻印されているウエーハ番号を確認し易くする改良
に関するものである。

半導体装置の製造工程においては、ハンドリングする
半導体ウエーハの識別のために、ウエーハ番号をウエー
ハ面の周辺部に刻印してあるが、ウエーハをキャリアに
搭載した場合には、このウエーハ番号が確認しにくくな
っている。

以上のような状況からキャリアに搭載した状態でもウ
エーハ番号を確認し易くするすることが可能なウエーハ
位置決め装置が要望されている。

〔従来の技術〕 従来のウエーハ位置決め装置は、第３図に示すような
ウエーハ２のオリエンテーションフラット2aの位置が不
揃いな状態で第４図に示すキャリア１に搭載したウエー
ハ２を、オリエンテーションフラット2aの位置を基準に
して位置決めする装置である。

第４図に示すようにキャリア１をウエーハ位置決め装
置にセットすると、ウエーハ２の周辺が位置決めローラ
４に当たって、ウエーハ２がキャリア１内での定位置よ
り第３図に示すオリエンテーションフラット2aの弧の高
さｈだけ持ち上げられる。

その後モータ３により位置決めローラ４を回転させる
とウエーハ２は位置決めローラ４とは逆方向に回転し、
オリエンテーションフラット2aが位置決めローラ４に当
たると、ウエーハ２のオリエンテーションフラット2aが
位置決めローラ４に接した状態になり、位置決めローラ
４が回転してもウエーハ２が回転しなくなり、ウエーハ
２はその状態で回転を停止し、すべてのウエーハ２がこ
の状態になると、位置決めが完了する。

この状態ではウエーハ番号2bが一番上に位置するが、
ウエーハ２の間隔が狭いためにウエーハ番号2bを確認す
る場合には、ウエーハ２をエアピンセット等で一枚づつ
持ち上げて確認を行っている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

以上説明の従来のウエーハ位置決め装置で問題となる
のは、ウエーハ番号を確認する場合には、ウエーハをエ
アピンセット等で一枚づつ持ち上げて確認を行わねばな
らぬことである。

このためにウエーハ番号の確認に手数と時間を必要と
するばかりでなく、ウエーハの表面に傷が付いたり、傷
つけられたウエーハから塵埃が発生したりするので、ウ
エーハの品質を低下させている。

本発明は以上のような問題点を解決する簡単且つ安価
に調達が可能なウエーハ位置決め装置の提供を目的とし
たものである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点は、キャリアに搭載したウエーハに設けら
れているオリエンテーションフラットによってこのウエ
ーハの位置決めを行うウエーハ位置決め装置であって、
このオリエンテーションフラットに当てることにより、
ウエーハを上方に押し上げ、段階的に異なる高さに上昇
させるリフタを備えた本発明によるウエーハ位置決め装
置によって解決される。

〔作用〕

即ち本発明においては、リフタが下から上昇してくる
と、位置決めローラにより位置決めされたウエーハのオ
リエンテーションフラットにリフタが当たり、リフタに
設けた勾配に応じてウエーハが少しづつ異なる高さに保
持されるので、隣のウエーハに妨げられずにウエーハ番
号を確認することが可能となる。

〔実施例〕

以下第１図〜第３図について本発明の一実施例を説明
する。

第１図に示すようにウエーハ２がオリエンテーション
フラット2aが不揃いな状態でキャリア１に搭載されてお
り、このキャリア１をウエーハ位置決め装置にセットす
ると、ウエーハ２が位置決めローラ４に当たり、第３図
に示すオリエンテーションフラット2aの弧の高さｈだけ
持ちあげられる。

この状態で位置決めローラ４を回転させると、オリエ
ンテーションフラット2aが位置決めローラ４に接した状
態ですべてのウエーハ２が位置決めされる。

次にリフタ５が上昇してしくると、先ずリフタ５の一
番高い部分が図示の右端のウエーハ２に当たる。更にリ
フタ５を上昇させると、次々とウエーハ２がリフタ５に
当たって持ち上げられる。

このようにして、リフタ５が全リフト量を完全に上昇
すると、第２図に示すようにウエーハ２がリフタ５の勾
配に応じて一枚づつ異なる高さに保持されるので、ウエ
ーハ２に触れることなくウエーハ番号2bを図示の左方よ
り確認することが可能となる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば極めて簡単な構造
のリフタを設けることにより、キャリアに搭載したウエ
ーハのウエーハ番号を確実に且つ容易に確認することが
可能となる利点があり、著しい経済的及び、信頼性向上
の効果が期待でき工業的には極めて有用なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例の構造を示す図、 第２図は本発明による一実施例のリフタが上昇した状態
を示す側断面図 第３図はウエーハの詳細を示す図 第４図は従来のウエーハ位置決め装置を示す図、 である。 図において、 １はキャリア、 ２はウエーハ、 2aはオリエンテーションフラット、 2bはウエーハ番号、 ３はモータ、 ４は位置決めローラ、 ５はリフタ、 を示す。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャリア（１）に搭載したウエーハ（２）
   に設けられているオリエンテーションフラット（2a）に
   よって前記ウエーハ（２）の位置決めを行うウエーハ位
   置決め装置であって、前記オリエンテーションフラット
   （2a）に当てることにより、前記ウエーハ（２）を上方
   に押し上げ、段階的に異なる高さに上昇させるリフタ
   （５）を備えたことを特徴とするウエーハ位置決め装
   置。