JP2535549B2 - ウエ−ハ位置決め装置 - Google Patents
ウエ−ハ位置決め装置Info
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- JP2535549B2 JP2535549B2 JP62198625A JP19862587A JP2535549B2 JP 2535549 B2 JP2535549 B2 JP 2535549B2 JP 62198625 A JP62198625 A JP 62198625A JP 19862587 A JP19862587 A JP 19862587A JP 2535549 B2 JP2535549 B2 JP 2535549B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- positioning device
- lifter
- positioning
- orientation flat
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 オリエンテーションフラットによってウエーハの位置
決めを行うウエーハ位置決め装置であって、このオリエ
ンテーションフラットにリフタを当てることにより、ウ
エーハを上方に押し上げ、段階的に異なる高さに上昇さ
せてウエーハに刻印されているウエーハ番号を確認し易
くするようにしたウエーハ位置決め装置。
決めを行うウエーハ位置決め装置であって、このオリエ
ンテーションフラットにリフタを当てることにより、ウ
エーハを上方に押し上げ、段階的に異なる高さに上昇さ
せてウエーハに刻印されているウエーハ番号を確認し易
くするようにしたウエーハ位置決め装置。
本発明は、ウエーハ位置決め装置に係り、特にウエー
ハに刻印されているウエーハ番号を確認し易くする改良
に関するものである。
ハに刻印されているウエーハ番号を確認し易くする改良
に関するものである。
半導体装置の製造工程においては、ハンドリングする
半導体ウエーハの識別のために、ウエーハ番号をウエー
ハ面の周辺部に刻印してあるが、ウエーハをキャリアに
搭載した場合には、このウエーハ番号が確認しにくくな
っている。
半導体ウエーハの識別のために、ウエーハ番号をウエー
ハ面の周辺部に刻印してあるが、ウエーハをキャリアに
搭載した場合には、このウエーハ番号が確認しにくくな
っている。
以上のような状況からキャリアに搭載した状態でもウ
エーハ番号を確認し易くするすることが可能なウエーハ
位置決め装置が要望されている。
エーハ番号を確認し易くするすることが可能なウエーハ
位置決め装置が要望されている。
〔従来の技術〕 従来のウエーハ位置決め装置は、第3図に示すような
ウエーハ2のオリエンテーションフラット2aの位置が不
揃いな状態で第4図に示すキャリア1に搭載したウエー
ハ2を、オリエンテーションフラット2aの位置を基準に
して位置決めする装置である。
ウエーハ2のオリエンテーションフラット2aの位置が不
揃いな状態で第4図に示すキャリア1に搭載したウエー
ハ2を、オリエンテーションフラット2aの位置を基準に
して位置決めする装置である。
第4図に示すようにキャリア1をウエーハ位置決め装
置にセットすると、ウエーハ2の周辺が位置決めローラ
4に当たって、ウエーハ2がキャリア1内での定位置よ
り第3図に示すオリエンテーションフラット2aの弧の高
さhだけ持ち上げられる。
置にセットすると、ウエーハ2の周辺が位置決めローラ
4に当たって、ウエーハ2がキャリア1内での定位置よ
り第3図に示すオリエンテーションフラット2aの弧の高
さhだけ持ち上げられる。
その後モータ3により位置決めローラ4を回転させる
とウエーハ2は位置決めローラ4とは逆方向に回転し、
オリエンテーションフラット2aが位置決めローラ4に当
たると、ウエーハ2のオリエンテーションフラット2aが
位置決めローラ4に接した状態になり、位置決めローラ
4が回転してもウエーハ2が回転しなくなり、ウエーハ
2はその状態で回転を停止し、すべてのウエーハ2がこ
の状態になると、位置決めが完了する。
とウエーハ2は位置決めローラ4とは逆方向に回転し、
オリエンテーションフラット2aが位置決めローラ4に当
たると、ウエーハ2のオリエンテーションフラット2aが
位置決めローラ4に接した状態になり、位置決めローラ
4が回転してもウエーハ2が回転しなくなり、ウエーハ
2はその状態で回転を停止し、すべてのウエーハ2がこ
の状態になると、位置決めが完了する。
この状態ではウエーハ番号2bが一番上に位置するが、
ウエーハ2の間隔が狭いためにウエーハ番号2bを確認す
る場合には、ウエーハ2をエアピンセット等で一枚づつ
持ち上げて確認を行っている。
ウエーハ2の間隔が狭いためにウエーハ番号2bを確認す
る場合には、ウエーハ2をエアピンセット等で一枚づつ
持ち上げて確認を行っている。
以上説明の従来のウエーハ位置決め装置で問題となる
のは、ウエーハ番号を確認する場合には、ウエーハをエ
アピンセット等で一枚づつ持ち上げて確認を行わねばな
らぬことである。
のは、ウエーハ番号を確認する場合には、ウエーハをエ
アピンセット等で一枚づつ持ち上げて確認を行わねばな
らぬことである。
このためにウエーハ番号の確認に手数と時間を必要と
するばかりでなく、ウエーハの表面に傷が付いたり、傷
つけられたウエーハから塵埃が発生したりするので、ウ
エーハの品質を低下させている。
するばかりでなく、ウエーハの表面に傷が付いたり、傷
つけられたウエーハから塵埃が発生したりするので、ウ
エーハの品質を低下させている。
本発明は以上のような問題点を解決する簡単且つ安価
に調達が可能なウエーハ位置決め装置の提供を目的とし
たものである。
に調達が可能なウエーハ位置決め装置の提供を目的とし
たものである。
上記問題点は、キャリアに搭載したウエーハに設けら
れているオリエンテーションフラットによってこのウエ
ーハの位置決めを行うウエーハ位置決め装置であって、
このオリエンテーションフラットに当てることにより、
ウエーハを上方に押し上げ、段階的に異なる高さに上昇
させるリフタを備えた本発明によるウエーハ位置決め装
置によって解決される。
れているオリエンテーションフラットによってこのウエ
ーハの位置決めを行うウエーハ位置決め装置であって、
このオリエンテーションフラットに当てることにより、
ウエーハを上方に押し上げ、段階的に異なる高さに上昇
させるリフタを備えた本発明によるウエーハ位置決め装
置によって解決される。
即ち本発明においては、リフタが下から上昇してくる
と、位置決めローラにより位置決めされたウエーハのオ
リエンテーションフラットにリフタが当たり、リフタに
設けた勾配に応じてウエーハが少しづつ異なる高さに保
持されるので、隣のウエーハに妨げられずにウエーハ番
号を確認することが可能となる。
と、位置決めローラにより位置決めされたウエーハのオ
リエンテーションフラットにリフタが当たり、リフタに
設けた勾配に応じてウエーハが少しづつ異なる高さに保
持されるので、隣のウエーハに妨げられずにウエーハ番
号を確認することが可能となる。
以下第1図〜第3図について本発明の一実施例を説明
する。
する。
第1図に示すようにウエーハ2がオリエンテーション
フラット2aが不揃いな状態でキャリア1に搭載されてお
り、このキャリア1をウエーハ位置決め装置にセットす
ると、ウエーハ2が位置決めローラ4に当たり、第3図
に示すオリエンテーションフラット2aの弧の高さhだけ
持ちあげられる。
フラット2aが不揃いな状態でキャリア1に搭載されてお
り、このキャリア1をウエーハ位置決め装置にセットす
ると、ウエーハ2が位置決めローラ4に当たり、第3図
に示すオリエンテーションフラット2aの弧の高さhだけ
持ちあげられる。
この状態で位置決めローラ4を回転させると、オリエ
ンテーションフラット2aが位置決めローラ4に接した状
態ですべてのウエーハ2が位置決めされる。
ンテーションフラット2aが位置決めローラ4に接した状
態ですべてのウエーハ2が位置決めされる。
次にリフタ5が上昇してしくると、先ずリフタ5の一
番高い部分が図示の右端のウエーハ2に当たる。更にリ
フタ5を上昇させると、次々とウエーハ2がリフタ5に
当たって持ち上げられる。
番高い部分が図示の右端のウエーハ2に当たる。更にリ
フタ5を上昇させると、次々とウエーハ2がリフタ5に
当たって持ち上げられる。
このようにして、リフタ5が全リフト量を完全に上昇
すると、第2図に示すようにウエーハ2がリフタ5の勾
配に応じて一枚づつ異なる高さに保持されるので、ウエ
ーハ2に触れることなくウエーハ番号2bを図示の左方よ
り確認することが可能となる。
すると、第2図に示すようにウエーハ2がリフタ5の勾
配に応じて一枚づつ異なる高さに保持されるので、ウエ
ーハ2に触れることなくウエーハ番号2bを図示の左方よ
り確認することが可能となる。
以上説明したように本発明によれば極めて簡単な構造
のリフタを設けることにより、キャリアに搭載したウエ
ーハのウエーハ番号を確実に且つ容易に確認することが
可能となる利点があり、著しい経済的及び、信頼性向上
の効果が期待でき工業的には極めて有用なものである。
のリフタを設けることにより、キャリアに搭載したウエ
ーハのウエーハ番号を確実に且つ容易に確認することが
可能となる利点があり、著しい経済的及び、信頼性向上
の効果が期待でき工業的には極めて有用なものである。
第1図は本発明による一実施例の構造を示す図、 第2図は本発明による一実施例のリフタが上昇した状態
を示す側断面図 第3図はウエーハの詳細を示す図 第4図は従来のウエーハ位置決め装置を示す図、 である。 図において、 1はキャリア、 2はウエーハ、 2aはオリエンテーションフラット、 2bはウエーハ番号、 3はモータ、 4は位置決めローラ、 5はリフタ、 を示す。
を示す側断面図 第3図はウエーハの詳細を示す図 第4図は従来のウエーハ位置決め装置を示す図、 である。 図において、 1はキャリア、 2はウエーハ、 2aはオリエンテーションフラット、 2bはウエーハ番号、 3はモータ、 4は位置決めローラ、 5はリフタ、 を示す。
Claims (1)
- 【請求項1】キャリア(1)に搭載したウエーハ(2)
に設けられているオリエンテーションフラット(2a)に
よって前記ウエーハ(2)の位置決めを行うウエーハ位
置決め装置であって、前記オリエンテーションフラット
(2a)に当てることにより、前記ウエーハ(2)を上方
に押し上げ、段階的に異なる高さに上昇させるリフタ
(5)を備えたことを特徴とするウエーハ位置決め装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62198625A JP2535549B2 (ja) | 1987-08-08 | 1987-08-08 | ウエ−ハ位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62198625A JP2535549B2 (ja) | 1987-08-08 | 1987-08-08 | ウエ−ハ位置決め装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6442114A JPS6442114A (en) | 1989-02-14 |
JP2535549B2 true JP2535549B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=16394310
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62198625A Expired - Lifetime JP2535549B2 (ja) | 1987-08-08 | 1987-08-08 | ウエ−ハ位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2535549B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111554599B (zh) * | 2020-04-27 | 2022-07-26 | 厦门通富微电子有限公司 | 承载晶圆料盒的治具、晶圆料盒装置及装载晶圆的方法 |
-
1987
- 1987-08-08 JP JP62198625A patent/JP2535549B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6442114A (en) | 1989-02-14 |
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