JP2585146Y2

JP2585146Y2 - 基板搬送装置

Info

Publication number: JP2585146Y2
Application number: JP1991052152U
Authority: JP
Inventors: 章仲井; 長市木村; 均佐藤; 光浩石原
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 1991-07-06
Filing date: 1991-07-06
Publication date: 1998-11-11
Anticipated expiration: 2006-07-06
Also published as: JPH056841U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、ＬＣＤ等の基板を所定
の位童に搬送する基板搬送装置に関するものであり、特
に、基板を保持する基板搬送体の構成に改良を加えたも
のに係る。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＬＣＤ等の基板を製造する工程
は、オートメーション化が進んでいる。このオートメー
ション化を実現する上で、基板を各工程に順次搬送する
基板搬送装置は不可欠となっている。基板搬送装置の中
でも、基板に対して加熱あるいは冷却等の熱処理加工を
行う加工台に基板を搬送する場合は、いわゆるリフトア
ンドキャリー方式の基板搬送装置が一般的に使用されて
いる。このリフトアンドキャリー方式とは、基板を保持
する基板搬送体（以下、キャリアと呼ぶ。）を備え、こ
のキャリアを上下方向及び前後方向に交互に往復移動さ
せて、基板を順次、加工台に搬送する方式である。

【０００３】ここで、リフトアンドキャリー方式の基板
搬送装置の構成を、図４〜図９を参照して説明する。図
４及び図９は基板搬送装置の正面図、図５〜図８は図４
及び図９のＡ−Ａ断面図における始端部付近から見た側
面図である。また、図５〜図８において、基板搬送装置
によって搬送される基板ｐの前進方向は、図中右方向と
する。なお、基板ｐはＬＣＤ等に用いられる略長方形の
薄形ガラス基板である。

【０００４】図４において、基板搬送装置が配設される
略直方体状の基台１４は、図示されない室内の床面に固
定されている。基台１４は水平な上面を有しており、こ
の上面の左右両端部付近には互いに平行な２本のガイド
レール１３，１３が敷設されている。ガイドレール１３
上にはスライダ１２が摺動自在に設けられている。

【０００５】スライダ１２上には前記ガイドレール１３
と平行に延びるスライドプレート１１が設置されてい
る。すなわち、スライドプレート１１は平行に２本設置
され、その上にはスライドプレート１１に直交するよう
に支持ベース１０が一定の間隔で固定されている。ま
た、スライドプレート１１には、このスライドプレート
１１を前後方向に往復動させるキャリー機構（図示せ
ず）が取付けられている。

【０００６】支持ベース１０の左右両端部にはＬ字形の
ガイド部９，９が立ち上げられている。このガイド部９
には上下方向に長いガイド溝９ａが開口されている。ガ
イド部９の外側には摺動アーム７が配設されている。こ
の摺動アーム７の自由端（図中下側）には、前記ガイド
溝９ａ内を摺動する摺動レール８が設けられている。

【０００７】また、摺動アーム７の固定端（図中上側）
には前記基台１４の上面に平行な上下動ベース６が固定
されている。この上下動ベース６は、リフト機構（図示
せず）によって上下方向に往復動される。図４の上下動
ベース６は上方に移動している状態である。

【０００８】上下動ベース６の上面の左右両端部には支
持アーム５が一定の間隔で立ち上げられている。この支
持アーム５の先端部にはガイドレール１３の長手方向に
平行に延びる取付プレート４が固定されている。この取
付プレート４には一定の間隔でキャリア３が取付けられ
ている。このキャリア３は略楔形であり、先端には基板
ｐの側縁部を下方から保持する保持爪３ａが形成されて
いる。

【０００９】左右の支持アーム５の間には、例えば発熱
量が異なる複数のヒータ１基台１４に部材（図示せず）
を介してガイドレール１３の長手方向に平行に設けられ
ている。このヒータ１の左右方向の幅寸法は、その左右
両端部が前記キャリア３の先端部と重なり合う程度に設
定されている。

【００１０】更に、ヒータ１の上面には加工台として、
ヒータ１からの熱を均一化して基板ｐを加熱する均熱板
２が設けられている。ところで、ヒータ１の周縁部は発
熱にバラツキがある。そこで、均熱板２の大きさはヒー
タ１の周縁部よりも一回り小さく設定される。これによ
り、均熱板２にはヒータ１より均一な熱が供給される。
また、均熱板２の左右方向の幅寸法は、前記キャリア３
が下降した時、保持爪３ａが当接しない程度に設定され
ている。

【００１１】なお、図５〜図８に示すように、始端の均
熱板２に近接して、搬入ローラ１５が回動自在に設置さ
れている。

【００１２】以上のような構成を有する基板搬送装置
は、次のようにして基板ｐを搬送する。まず、搬入ロー
ラ１５の上端部と均熱板２の上面とが水平位置にある
時、搬入ローラ１５により基板ｐが均熱板２上にスムー
ズに搬入され、基板ｐがヒータ１からの熱を受けて均熱
板２により、最初の加熱処理加工がなされる（図５）。

【００１３】均熱板２上で基板ｐに対する加熱処理加工
が終了すると、リフト機構が動作して、上下動ベース６
が上昇する。この上下動ベース６の上昇に伴い、上下動
ベース６上の支持アーム５、取付プレート４及びキャリ
ア３も一体となって上昇し、向い合う複数のキャリア３
が基板ｐの平行な側縁部を下方から保持して、均熱板２
より基板ｐを持上げる。上下動ベース６の上昇動作は、
摺動アーム７に設けられた摺動レール８がガイド溝９ａ
を摺動することによってガイドされる（図６）。

【００１４】次に、キャリア３が基板ｐを保持したま
ま、キャリー機構が動作して、スライドプレート１１が
図中右方に前進する。スライドプレート１１の前進動作
は、スライダ１２がガイドレール１３上を摺動すること
によってガイドされる。これに伴って、スライドプレー
ト１１上に取付けられている部材は全て前進する（図
７）。

【００１５】次いで、キャリア３が所定の位置まで移動
するとキャリー機構が停止し、代ってリフト機構が先程
とは逆方向に動作して、上下動ベース６及びキャリア３
が下降する。これにより、キャリア３に保持された基板
ｐは、前進した状態で次の均熱板２に載置される。な
お、上下動ベース６の下降動作もまた、摺動アーム７に
設けられた摺動レール８がガイド溝９ａを摺動すること
によってガイドされる。また、キャリア３が前進した段
階で、搬入ローラ１５により基板ｐが搬入される（図
８）。

【００１６】その後、図９に示すように、キャリア３が
ヒータ１に当接する直前でリフト機構が停止し、上下動
ベース６及びキャリア３の下降が停止する。更に、キャ
リー機構が先程とは逆方向に動作してスライドプレート
１１が図中左方に後退し、図５に示した元の水平位置ま
で戻る。

【００１７】この様にして、基板ｐは順次、発熱量の異
なるヒータ１で熱せられた均熱台２上を搬送されてい
き、最終的に終端の均熱板２の終端部に近接して設置さ
れた搬出ローラにまで送られて、次の工程に搬送され
る。

【００１８】

【考案が解決しようとする課題】ところで、基板に熱処
理加工を行う場合、熱のひずみ等により基板が割れるこ
とがある。また、基板を組込む機器の薄形化は最近益々
進んでおり、基板そのものに対しても、かなりの薄形化
が要求されている。そのため、そのため、基板の強度は
低く、基板は破損し易くなっている。また、基板が何ら
かの事由によってずれで搬送されてくることもある。

【００１９】破損した基板の破片が上記の基板搬送装置
によって搬送された場合、次のような不具合が生じる。
図１０及び図１１に破損した基板ｑと破片を搬送した場
合を示す。図１０は基板搬送装置の正面図、図１１はキ
ャリアの拡大正面図である。

【００２０】破損した基板ｑの幅寸法が、対向するキャ
リア３の保持爪３ａの間隔よりも短くなった場合、リフ
ト機構の動作により上下動ベース６及びキャリア３が上
昇しても、キャリア３は破損した基板ｑの一方の側縁部
を保持することができない。また、前述したように、均
熱板２はヒータ１よりも一回り小さく設定されるため、
破損した基板ｑの破片がヒータ１の周縁部に残った状態
になったりする。

【００２１】この様な状態でキャリア３がキャリー機構
により前進し、その後リフト機構により下降した場合、
キャリア３はヒータ１上に落下した破損した基板ｑ上に
下降する。この時、図１１に示すように、破損した基板
ｑの破片によりキャリア３の下降動作が阻まれるため、
キャリア３は図中Ｓ２分下降しただけで動かなくなる。
そのため、破損していない基板ｐを保持している他のキ
ャリア３までも下降が停止される。

【００２２】また、キャリア３の本来の下降ストローク
はＳ１であるため、キヤリア３がフルストローク下がる
まで、リフト機構を動作させると、上下動ベース６や取
付プレート４並びに破損した基板ｑの破片に衝突してい
るキャリア３等に反力（過負荷）が加わる。その結果、
基板搬送装置全体がダメージを受け、装置の破損に繋が
る。また、破損した基板ｑの破片が第１０図に示すよう
に均熱板２上にある場合、キャリア３で保持させるべく
リフト機構でキャリア３を上昇させると、一方のみが保
持された片持ち状態となり、次の均熱板にうまく載せら
れなかったり、破損した基板を残したままになる。ま
た、何らかの事由によって基板がずれて搬送されてく
る。この場合、別の基板を保持したキャリア３がこの破
損した残りの基板やずれた基板に当たって良い基板を破
損させる等の不具合が生ずる。

【００２３】本考案は、以上の問題点を解消するために
提案されたものであり、その目的とするところは、加工
台から落下した破損した基板の破片によるキャリアの移
動の停止やずれて搬送される基板等に別の基板を保持し
たキャリアが当たって基板を破損させることを防ぎ、基
板搬送装置に加わるダメージを回避して装置全体を保護
する基板搬送装置を提供することである。

【００２４】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、請求項１記載の本考案は、ＬＣＤ等の基板を基板
搬送体によって下方から保持し、水平方向に搬送する基
板搬送装置において、前記基板に所定の処理を行う加工
台の近傍には水平方向に移動可能な搬送手段が設けら
れ、この搬送手段には前記加工台に近接した位置で、前
記加工台に対して垂直方向に移動可能な取付部材が設け
られ、前記取付部材には、その上面において基板を支持
する基板搬送体が移動可能に設けられると共に、前記基
板搬送体が前記基板を下方から保持して搬送する位置
で、この基板搬送体の下方向への移動を規制する規制部
が設けられ、前記基板搬送体に下方側から反力が加わっ
た場合、前記基板搬送体が前記規制部から離れて上方向
へ移動可能に設けられていることを特徴とする。また、
請求項２の考案は、前記基板搬送体の規制部から離れた
ことを検知する検知手段を備えることを特徴とする。

【００２５】

【作用】以上のような構成を有する請求項１記載の本考
案では、取付部材に設けられた基板搬送体は、規制部に
よって基板を下方から保持する位置で前記基板搬送体の
下方向への移動を規制される。よって、基板は基板搬送
体によって確実に保持されつつ、基板搬送体が下方向へ
移動されることで、その基板が加工台に搬送される。と
ころで、破損した基板の破片が基板搬送装置に保持され
ず加工台から落下し、その破損した基板の破片に移動す
る基板搬送体が衝突した場合、さらに取付部材の移動が
進むと、基板搬送体に対して基板を保持する方向とは異
なる方向、すなわち基板の破片からの反力が下方側から
加わる。この時、前記基板を保持する基板搬送体が上方
向へ移動可能に設けられているため、取付部材の下方へ
の移動方向に対して逆方向、すなわち上方向に移動す
る。したがって、取付部材自体の移動は妨害されること
がなく、取付部材に取付けられた他の基板搬送体が基板
を保持した状態でその移動が継続される。

【００２６】また、請求項２記載の本考案では、検知手
段によって上記のような破損した基板による基板搬送体
の移動動作を検知することができるため、基板搬送体に
よって保持されない破損した基板が基板搬送装置のどこ
に位置するのか等の情報を即座に得ることができる。従
って、破損した基板の除去作業を簡単に行うことができ
る。更に、破損した基板を除去した後、基板搬送体を逆
方向に再度移動させるだけで、基板搬送体を基板保持が
可能な初期状態に容易に戻すことができる。

【００２７】

【実施例】本考案の一実施例を図１及び図２に基づいて
説明する。なお、図１は本考案の一実施例である基板搬
送装置の要部斜視図、図２は本考案の他の実施例の側面
図である。また、これらの実施例は上記従来技術にて示
した基板搬送装置に採用されるものであり、同一の部材
に関しては同一符号を付し、説明は省略する。

【００２８】図１において、キャリア１６は略楔形状で
あり、絶縁物から構成される。キャリア１６の基端部は
外形が半円形であり、この半円の中心部分に挿通孔１６
ｂが形成されている。また、キャリア１６の先端部には
基板を下方から保持する保持爪１６ａが形成されてい
る。更に、キャリア１６の上面には接点部１６ｃが設け
られている。

【００２９】また、取付プレート４（請求項の取付部材
に相当する）の上面には、図２に示すようにキャリア１
６の幅寸法よりわずかに広い間隔を有して一対の取付部
４１，４１が複数個設けられており、この取付部４１，
４１には前記キャリア１６の挿通孔１６ｂに対応する取
付孔４２が形成されている。取付部４１，４１の間にキ
ャリア１６が嵌込まれ、取付孔４２及び挿通孔１６ｂに
取付軸４３が挿通されることにより、キャリア１６が取
付プレート４に対して上下方向に回動可能に取付けられ
る。

【００３０】更に、取付プレート４の内側縁部には、キ
ャリア１６の下面を支持して、キャリア１６の下方への
回動を規制する規制部１７が内側に延びて設けられてい
る。この規制部１７で、キャリア１６の下方への回動が
規制される。すなわち、この規制部１７により、キャリ
ア１６は下方に対する回動は水平状態で規制され、上方
のみの回動となる。

【００３１】また、取付プレート４の外側縁部には、キ
ャリア１６が上方に回転する際に前記接点部１６ｃが接
触するように、略くの字形の導電板１８が設けられてい
る。この導電板１８と接点部１６ｃとは、キャリア１６
の上方への回動動作を検知する検知手段であり、どのキ
ャリア１６が回動したか等の情報を表示するモニタ（図
示せず）に電気的に接続されている。

【００３２】以上のような構成を有する本実施例におい
て、取付プレート４に取付けられたキャリア１６は通
常、規制部１７によって基板ｐを保持するように水平状
態に規制されるため、キャリア１６が基板ｐを保持し、
取付プレート４の移動に応じて基板を適宜搬送する。

【００３３】一方、破損した基板ｑの破片が均熱板２か
らヒータ１に滑り落ちると、取付プレート４がリフト機
構（図示せず）によって加工した場合、キャリア１６が
この破片上にのり、キャリア１６には下方から強い反力
が加わり、図１の２点鎖線に示すように、キャリア１６
は上方に回動する。そのため、取付プレート４自体の下
降動作は妨害されることがなく、取付プレート４に取付
けられた他のキャリア１６は、基板ｐを保持した状態で
下降動作を継続することができる。

【００３４】この様に、本実施例によれば、下降動作を
とるキャリア１６に対して、破損した基板ｑの破片が障
害物となっても、その部分のキャリア１６が上方に回動
して破損した基板ｑの破片によって装置全体にダメージ
が加わることがない。また、何らかの事由によって基板
がずれて搬送された場合、別の基板を保持したキャリア
１６がこのずれた基板に当たっても、キャリア１６が上
方に回動するため、基板を破損することながない。

【００３５】また、本実施例において、上記のようなキ
ャリア１６の上方への回動によって、キャリア１６の接
点部１６ｃが導電板１８に接触すると、どのキャリア１
６が回動動作を行ったのか等の情報が図示されないモニ
タに表示される。そのため、破損した基板ｑの破片やす
れた基板が基板搬送装置のどこに位置するのかを検知す
ることができ、破損した基板やずれた基板の除去作業を
短時間で簡単に行うことができる。

【００３６】しかも、破損した基板ｑの破片やずれた基
板の除去後、上方に回動したキャリア１６を下方に回動
させるだけで、初期状態に簡単に戻すことができる。そ
のため、基板製造工程の全体を停止させる必要性がな
く、基板製造効率を向上させることができる。

【００３７】なお、本考案は以上のような実施例に限定
されるものではなく、例えば、キャリアの回動の検知手
段としては、図２に示すように、基板搬送方向と平行に
光Ｌを発射する発光部２０と、この発光部２０からの光
Ｌを受光する受光部２１を取付プレート４の左右端に設
けても良い。また、これら発光部２０と受光部２１は、
キャリア１６を１個または複数個挟んで設けても良い。
また、キャリア１６の移動方向も回動に限定されるもの
ではなく、図３に示すキャリア２２のように、上下方向
への直線移動が可能なものでも良い。

【００３８】

【考案の効果】以上述べたように、本考案の基板搬送装
置によれば、移動するキャリアに対して、破損した基板
の破片やずれた基板が障害物となっても、キャリアが移
動してこれを回避するため、装置はダメージを受けるこ
とがない。また、破損した基板の破片やずれた基板の除
去作業およびキャリアの初期状態への復帰作業が容易で
あるため、基板製造工程の全体を停止させる必要がな
く、基板の製造効率が極めて高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の基板搬送装置の一実施例の要部側面
図。

【図２】本考案の基板搬送装置の他の実施例を示す平面
図。

【図３】本考案の基板搬送装置の他の実施例の要部を示
す側面図。

【図４】従来の基板搬送装置の正面図。

【図５】図４及び図９のＡ−Ａ断面図における始端部付
近から見た側面図。

【図６】図４及び図９のＡ−Ａ断面図における始端部付
近から見た側面図。

【図７】図４及び図９のＡ−Ａ断面図における始端部付
近から見た側面図。

【図８】図４及び図９のＡ−Ａ断面図における始端部付
近から見た側面図。

【図９】従来の基板搬送装置の正面図。

【図１０】従来の基板搬送装置の正面図。

【図１１】従来の基板搬送装置の拡大正面図。

【符号の説明】１ヒータ２均熱板３キャリア３ａ保持爪４取付プレート５支持アーム１６キャリア１６ａ保持爪１６ｃ接点部１７規制部１８導電板２０発光部２１受光部２２キャリアｐ基板ｑ破損した基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者石原光浩神奈川県横浜市笠間町1000番地株式会社芝浦製作所大船工場内 (56)参考文献特開昭59−201782（ＪＰ，Ａ) 実開昭58−15353（ＪＰ，Ｕ)

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ＬＣＤ等の基板を基板搬送体によって下
方から保持し、水平方向に搬送する基板搬送装置におい
て、前記基板に所定の処理を行う加工台の近傍には水平方向
に移動可能な搬送手段が設けられ、この搬送手段には前
記加工台に近接した位置で、前記加工台に対して垂直方
向に移動可能な取付部材が設けられ、前記取付部材には、その上面において基板を支持する基
板搬送体が移動可能に設けられると共に、前記基板搬送
体が前記基板を下方から保持して搬送する位置で、この
基板搬送体の下方向への移動を規制する規制部が設けら
れ、前記基板搬送体に下方側から反力が加わった場合、前記
基板搬送体が前記規制部から離れて上方向へ移動可能に
設けられていること、を特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】前記基板搬送体の規制部から離れたこと
を検知する検知手段を備えることを特徴とする請求項１
記載の基板搬送装置。