JPH056841U - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 加工台から落下した破損基板によって基板搬
送体が停止することを防止し、基板搬送装置に加わるダ
メージを回避して装置全体を保護する。 【構成】 均熱台２に近接して上下動可能な取付プレー
ト４が配設され、この取付プレート４に、基板ｐを保持
可能な複数のキャリア１６が、上下方向に回転可能に取
付けられている。更に、取付プレート４には、キャリア
１６が基板ｐを保持するようにキャリア１６の回転を規
制する規制部１７が設けられている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ＬＣＤ等の基板を所定の位置に搬送する基板搬送装置に関するもの であり、特に、基板を保持する基板搬送体の構成に改良を加えたものに係る。

【０００２】

【従来の技術】

近年、ＬＣＤ等の基板を製造する工程は、オートメーション化が進んでいる。 このオートメーション化を実現する上で、基板を各工程に順次搬送する基板搬送 装置は不可欠となっている。基板搬送装置の中でも、基板に対して加熱あるいは 冷却等の熱処理加工を行う加工台に基板を搬送する場合は、いわゆるリフトアン ドキャリー方式の基板搬送装置が一般的に使用されている。リフトアンドキャリ ー方式とは、基板を保持する基板搬送体（以下、キャリアと呼ぶ。）を備え、こ のキャリアを上下方向及び前後方向に交互に往復移動させて、基板を順次、加工 台に搬送する方式である。

【０００３】 ここで、リフトアンドキャリー方式の基板搬送装置の構成を図５〜図１０を参 照して説明する。図５及び図１０は基板搬送装置の正面図、図６〜図９は図５及 び図１０のＡ−Ａ断面図における始端部付近から見た側面図である。また、図６ 〜図９において、基板搬送装置によって搬送される基板ｐの前進方向は、図中右 方向に設定されている。なお、基板ｐはＬＣＤ等に用いられる略長方形の薄形基 板である。

【０００４】 図５において、基板搬送装置が配設される略直方体状の基台１４は、図示され ない室内の床面に固定されている。基台１４は水平な上面を有しており、この上 面の左右両端部付近には互いに平行な２本のガイドレール１３，１３が敷設され ている。ガイドレール１３上にはスライダ１２が摺動自在に設けられている。

【０００５】 スライダ１２上には前記ガイドレール１３と平行に延びるスライドプレート１ １が設置されている。すなわち、スライドプレート１１は平行に２本設置され、 その上にはスライドプレート１１に直交するように支持ベース１０が一定の間隔 で固定されている。また、スライドプレート１１には、このスライドプレート１ １を前後方向に往復移動させるキャリー機構（図示せず）が取付けられている。

【０００６】 支持ベース１０の左右両端部にはＬ字形のガイド部９，９が立ち上げられてい る。このガイド部９には上下方向に長いガイド溝９ａが開口されている。ガイド 部９の外側には摺動アーム７が配設されている。摺動アーム７の自由端（図中下 側）には前記ガイド溝９ａ内を摺動する摺動レール８が設けられている。

【０００７】 また、摺動アーム７の固定端（図中上側）には前記基台１４の上面に平行な上 下動ベース６が固定されている。この上下動ベース６には、上下動ベース６を上 下方向に往復移動させるリフト機構（図示せず）が取付けられている。図５の上 下動ベース６は上方に移動している状態である。

【０００８】 上下動ベース６上面の左右両端部には支持アーム５が一定の間隔で立ち上げら れている。支持アーム５の先端部には水平方向に延びる取付プレート４が固定さ れている。この取付プレート４には一定の間隔でキャリア３が取付けられている 。キャリア３は略楔形であり、先端には基板ｐの側縁部を下方から保持する保持 爪３ａが形成されている。

【０００９】 左右の支持アーム５の間には、ヒータ１が水平方向に延びている。このヒータ １の始端部及び終端部は図示されない室内の壁などに取付けられている。また、 ヒータ１の左右方向の幅寸法は左右両端部が前記キャリア３の先端部と重なり合 う程度に設定されている。

【００１０】 更に、ヒータ１の上面には加工台として、ヒータ１からの熱を均一化して基板 ｐを加熱する均熱板２が設けられている。ところで、ヒータ１の周縁部は発熱に バラツキがある。そこで、均熱板２はヒータ１の周縁部に当接しないようにヒー タ１よりも一回り小さく設定される。これにより、均熱板２にはヒータ１より均 一な熱が供給される。また、均熱板２の左右方向の幅寸法は前記キャリア３が下 降した時の保持爪３ａが当接しないように設定されている。

【００１１】 なお、図６〜図９に示すように、均熱板２の始端部に近接して、搬入ローラ１ ５が回動自在に設置されている。

【００１２】 以上のような構成を有する基板搬送装置は、次のようにして基板ｐを搬送する 。まず、搬入ローラ１５の上端部と均熱板２の上面とが水平位置にある時、搬入 ローラ１５により基板ｐが均熱板２上にスムーズに搬入され、基板ｐがヒータ１ からの熱を受けて均熱板２により加熱される（図６）。

【００１３】 均熱板２上で基板ｐに対する加熱加工が終了すると、リフト機構が動作して、 上下動ベース６が上昇する。この上下動ベース６の上昇に伴い、上下動ベース６ 上の支持アーム５、取付プレート４及びキャリア３も一体となって上昇し、向い 合う複数のキャリア３が基板ｐの平行な側縁部を下方から保持して、均熱板２よ り基板ｐを持上げる。上下動ベース６の上昇動作は、摺動アーム７に設けられた 摺動レール８がガイド溝９ａを摺動することによってガイドされる（図７）。

【００１４】 次に、キャリア３が基板ｐを保持したまま、キャリー機構が動作して、スライ ドプレート１１が図中右方に前進する。スライドプレート１１の前進動作は、ス ライダ１２がガイドレール１３上を摺動することによってガイドされる。これに 伴って、スライドプレート１１上に取付けられている部材は全て前進する（図８ ）。

【００１５】 次いで、キャリア３が所定の位置まで移動するとキャリー機構が停止し、代っ てリフト機構が先程とは逆方向に動作して、上下動ベース６及びキャリア３が下 降する。これにより、キャリア３に保持された基板ｐは、前進した状態で再び均 熱板２に載置される。なお、上下動ベース６の下降動作もまた、摺動アーム７に 設けられた摺動レール８がガイド溝９ａを摺動することによってガイドされる。 また、キャリア３が前進した段階で、搬入ローラ１５により基板ｐが搬入される （図９）。

【００１６】 その後、図１０に示すように、キャリア３がヒータ１に当接する直前でリフト 機構が停止し、上下動ベース６及びキャリア３の下降が停止する。更に、キャリ ー機構が先程とは逆方向に動作してスライドプレート１１が図中左方に後退し、 図６に示した元の水平位置まで戻る。

【００１７】 この様にして、基板ｐは順次、均熱台２上を搬送されていき、最終的に均熱板 ２の終端部に近接して設置された搬出ローラにまで送られて、次の工程に搬送さ れる。

【００１８】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、基板に熱処理加工を行う場合、熱のひずみ等により基板が割れるこ とがある。また、基板を組込む機器の薄形化は最近益々進んでおり、基板そのも のに対しても、かなりの薄形化が要求されている。そのため、そのため、基板の 強度は低く、基板は破損し易くなっている。

【００１９】 破損した基板が上記の基板搬送装置によって搬送される場合、次のような不具 合が生じた。図１１及び図１２に破損基板ｑを搬送した場合を示す。図１１は基 板搬送装置の正面図、図１２はキャリアの側面図である。

【００２０】 破損基板ｑの幅寸法が、対向するキャリア３の保持爪３ａの間隔よりも短くな った場合、リフト機構の動作により上下動ベース６及びキャリア３が上昇しても 、キャリア３は破損基板ｑの側縁部を保持することができない。前述したように 、均熱板２はヒータ１の周縁部に当接しないようにヒータ１よりも一回り小さく 設定されるため、ヒータ１の周縁部に基板ｑが均熱板２からヒータ１側に斜めに 滑落した状態になったり、基板ｑの破片がヒータ１の周縁部に積った状態になっ たりする。

【００２１】 この様な状態でキャリア３がキャリー機構により前進し、その後リフト機構に より下降した場合、キャリア３はヒータ１上に落下した破損基板ｑ上に下降する 。この時、図１２に示すように、破損基板ｑによりキャリア３の下降動作が阻ま れるため、キャリア３は図中Ｓ2 分下降しただけで動かなくなる。そのため、破 損していない基板ｐを保持しているキャリア３までも下降が不可能となる。

【００２２】 また、キャリア３の本来の下降ストロークはＳ1 であるため、キャリア３がフ ルストローク下がるまで、リフト機構は動作を停止しない。従って、上下動ベー ス６や取付プレート４並びに破損基板ｑに衝突しているキャリア３等に過負荷が 加わる。その結果、基板搬送装置全体がダメージを受け、装置の破損に繋がる。

【００２３】 本考案は、以上の問題点を解消するために提案されたものであり、その目的と するところは、加工台から落下した破損基板による基板搬送体の移動の停止を防 ぎ、基板搬送装置に加わるダメージを回避して装置全体を保護する基板搬送装置 を提供することである。

【００２４】

【課題を解決するための手段】

以上の課題を解決するために、本考案の基板搬送装置は、ＬＣＤ等の基板に所 定の加工を行う加工台に近接して移動可能な取付プレートが配設され、この取付 プレートに、前記基板を保持する複数の基板搬送体が、取付プレートの移動方向 に対して平行方向に移動可能に取付けられ、更に前記基板搬送体が前記基板を保 持するように基板搬送体の移動を規制する規制部が設けられていることを特徴と する。

【００２５】 また、本考案の基板搬送装置は、前記基板搬送体の移動動作を検知する検知手 段を備えたことを特徴とする。

【００２６】

【作用】

以上のような構成を有する本考案において、取付プレートに取付けられた基板 搬送体は、規制部によって基板を保持するように規制されるため、基板搬送体が 確実に基板を保持し、取付プレートの移動により基板搬送体を移動させて基板を 加工台に搬送することができる。

【００２７】 ところで、破損した基板が基板搬送装置に保持されず加工台から落下し、その 破損基板に移動する基板搬送体が衝突した場合、基板に衝突した状態で取付プレ ートの移動が進むと、基板搬送体に対して基板を保持する方向とは異なる方向か ら負荷が加わる。この時、基板搬送体は取付プレートの移動方向に対して平行方 向に移動可能であるため、取付プレートの移動方向と逆方向に移動する。そのた め、取付プレート自体の移動は妨害されることがなく、取付プレートに取付けら れた他の基板搬送体が基板を保持した状態で移動を継続することができる。

【００２８】 また、本考案においては、検知手段によって上記のような破損基板による基板 搬送体の移動動作を検知することができるため、基板搬送体によって保持されな い破損基板が基板搬送装置のどこに位置するのか等の情報を即座に得ることがで きる。従って、破損基板の除去作業を簡単に行うことができる。更に、破損した 基板を除去した後、基板搬送体を逆方向に再度移動させるだけで、基板搬送体を 基板保持が可能な初期状態に容易に戻すことができる。

【００２９】

【実施例】

進んで、以上述べた本考案の一実施例を図１及び図２に基づいて説明する。

【００３０】 なお、図１は本実施例が使用されている基板搬送装置の要部斜視図、図２は本 実施例の側面図である。また、本実施例は上記従来技術にて示した基板搬送装置 に採用されるものであり、同一の部材に関しては同一符号を付し、説明は省略す る。

【００３１】 図において、キャリア１６は略楔形状であり、絶縁物から構成される。キャリ ア１６の基端部は外形が半円形であり、この半円の中心部分に挿通孔１６ｂが形 成されている。また、キャリア１６の先端部には基板を下方から保持する保持爪 １６ａが形成されている。更に、キャリア１６の上面には接点部１６ｃが設けら れている。

【００３２】 また、取付プレート４の上面にはキャリア１６の幅寸法の間隔を有して取付部 ４１，４１が形成されており、ここには前記挿通孔１６ｂに対応する取付孔４２ が形成されている。取付部４１，４１の間にキャリア１６が嵌込まれ、取付孔４ ２及び挿通孔１６ｂに取付軸４３が挿通されることにより、キャリア１６が取付 プレート４に対して上下方向に回転可能に取付けられる。

【００３３】 更に、取付プレート４の内側縁部には、キャリア１６の下面を支持して、キャ リア１６の下方への回転を規制する規制部１７が内側に延びて設けられている。 この規制部１７に規制されることにより、キャリア１６は水平状態に保ち、回転 方向は水平状態から上方のみとなる。

【００３４】 また、取付プレート４の外側縁部には、キャリア１６が上方に回転する際に前 記接点部１６ｃが接触するように、略くの字形の導体板１８が設けられている。 この導体板１８と接点部１６ｃとは、キャリア１６の上方への回転動作を検知す る検知手段であり、どのキャリア１６が回転したか等の情報を表示するモニタ（ 図示せず）に電気的に接続されている。

【００３５】 以上のような構成を有する本実施例において、取付プレート４に取付けられた キャリア１６は通常、規制部１７によって基板ｐを保持するように規制されるた め、キャリア１６が基板ｐを保持し、取付プレート４の移動に応じて基板を適宜 搬送する。

【００３６】 一方、破損基板ｑがキャリア１６に保持されず均熱板２からヒータ１に滑り落 ち、これがキャリア１６の障害物となった場合、次のように作用する。すなわち 、リフト機構（図示せず）によって、取付プレート４の下降動作に応じて破損基 板ｑ上に下降する時、キャリア１６には下方から強い外力が加わり、図１の２点 鎖線に示すように、キャリア１６は上方に回転する。そのため、取付プレート４ 自体の下降動作は妨害されることがなく、取付プレート４に取付けられた他のキ ャリア１６は、基板ｐを保持した状態で下降動作を継続することができる。

【００３７】 この様に、本実施例によれば、下降動作をとるキャリア１６に対して、破損基板 ｑが障害物となっても、このキャリア１６が上方に回転して破損基板ｑを回避で きるため、装置全体にダメージが加わることがない。

【００３８】 また、本実施例において、上記のようなキャリア１６の上方への回転によって 、キャリア１６の接点部１６ｃが導体板１８に接触すると、どのキャリア１６が 回転動作を行ったのか等の情報が図示されないモニタに表示される。そのため、 破損基板ｑが基板搬送装置のどこに位置するのか検知することができ、破損基板 の除去作業を短時間で簡単に行うことができる。

【００３９】 しかも、破損基板ｑの除去後、キャリア１６を下方に回転させるだけで、これ を初期状態に容易に戻すことができる。そのため、基板製造工程の全体を停止さ せる必要性がなく、優れた基板製造効率を確保することができる。

【００４０】 なお、本考案は以上のような実施例に限定されるものではなく、例えば、基板 搬送体の検知手段としては、図３に示すように、上方に回転したキャリア１６に より遮断されるような基板搬送方向と平行な光を発射する発光部２０と、この発 光部２０からの光を受光する受光部２１とから構成されるものでも良い。

【００４１】 また、基板搬送体の移動方向も回転方向で限定されるものではなく、図４に示 すキャリア２２のように、上下方向への直線移動が可能なものでも良い。

【００４２】

【考案の効果】

以上述べたように、本考案の基板搬送装置によれば、移動する基板搬送体に対 して、破損基板が障害物となっても、基板搬送体が移動してこれを回避するため 、装置はダメージを受けることがない。また、破損基板の除去作業や基板搬送体 の初期状態への復帰作業を容易であるため、基板製造工程の全体を停止させる必 要がなく、基板の製造効率が極めて高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の基板搬送装置の一実施例の要部側面
図。

【図２】本考案の基板搬送装置の他の実施例を示す平面
図。

【図３】図２に示した他の実施例の要部側面図。

【図４】本考案の基板搬送装置の他の実施例の要部を示
す側面図。

【図５】従来の基板搬送装置の正面図。

【図６】図５及び図１０のＡ−Ａ断面図における始端部
付近から見た側面図。

【図７】図５及び図１０のＡ−Ａ断面図における始端部
付近から見た側面図。

【図８】図５及び図１０のＡ−Ａ断面図における始端部
付近から見た側面図。

【図９】図５及び図１０のＡ−Ａ断面図における始端部
付近から見た側面図。

【図１０】従来の基板搬送装置の正面図。

【図１１】従来の基板搬送装置の正面図。

【図１２】従来の基板搬送体の側面図。

【符号の説明】

１ ヒータ ２ 均熱板 ３ キャリア ３ａ 保持爪 ４ 取付プレート ５ 支持アーム １６ キャリア １６ａ 保持爪 １６ｃ 接点部 １７ 規制部 １８ 導体板 ２０ 発光部 ２１ 受光部 ２２ キャリア ｐ 基板 ｑ 破損基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 石原 光浩 神奈川県横浜市笠間町1000番地 株式会社 芝浦製作所大船工場内

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＬＣＤ等の基板に所定の加工を行う加工
   台に近接して移動可能な取付プレートが配設され、この
   取付プレートに前記基板を保持する複数の基板搬送体が
   取付けられ、前記取付プレートの移動により基板搬送体
   を移動させて前記基板を前記加工台に搬送する基板搬送
   装置において、 前記基板搬送体は前記取付プレートの移動方向に対して
   平行方向に移動可能にであり、 前記基板搬送体が前記基板を保持するように基板搬送体
   の移動を規制する規制部が設けられていることを特徴と
   する基板搬送装置。
2. 【請求項２】 前記基板搬送体の移動動作を検知する検
   知手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の基板搬
   送装置。