JPS6068635U - 半導体製造装置 - Google Patents

半導体製造装置

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JPS6068635U
JPS6068635U JP15974183U JP15974183U JPS6068635U JP S6068635 U JPS6068635 U JP S6068635U JP 15974183 U JP15974183 U JP 15974183U JP 15974183 U JP15974183 U JP 15974183U JP S6068635 U JPS6068635 U JP S6068635U
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JP
Japan
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belljar
bell jar
semiconductor manufacturing
base
manufacturing equipment
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Application number
JP15974183U
Other languages
English (en)
Inventor
毛利　幹生
Original Assignee
関西日本電気株式会社
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Publication date
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Publication of JPS6068635U publication Critical patent/JPS6068635U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の半導体製造装置の一例を示す側面図、第
２図は第１図のＡ−Ａ線に沿う断面図、第３図及び第４
図は本考案の一実施例を示す平面図及び正面図、第５図
は第４図のＢ−Ｂ線に沿う断面図、第６図及び第７図は
第４図装置の各動作時の一部断面正面図である。 １・・・・・・基台、８・・・・・・半導体ウェーハ、
２０・・・・・・　　−内ベルジャ、２１・・・・・・
外ベルジャ、２２・・・・・・内ベルジャ駆動機構、２
３・・・・・・外ベルジャ駆動機構。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基台上に逆カップ状の独立した内さルジャと外ベルジャ
    からなる二重構造のベルレヤを着脱可能に被せ、内ベル
    ジャ内部空間で半導体ウェーハを処理する装置において
    、前記内ベルジャを基台上方で上下動及び左右揺動させ
    る内ベルジャ駆動機構と、前記外ベルジャを基台上方で
    上下動させる外ベルジャ駆動機構とを設けたことを特徴
    とする半導体製造装置。
JP15974183U 1983-10-14 1983-10-14 半導体製造装置 Pending JPS6068635U (ja)

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JP15974183U JPS6068635U (ja) 1983-10-14 1983-10-14 半導体製造装置

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JP15974183U JPS6068635U (ja) 1983-10-14 1983-10-14 半導体製造装置

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JPS6068635U true JPS6068635U (ja) 1985-05-15

Family

ID=30351544

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JP15974183U Pending JPS6068635U (ja) 1983-10-14 1983-10-14 半導体製造装置

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