JPS60193666A - サ−マルヘツドおよびその製造方法 - Google Patents

サ−マルヘツドおよびその製造方法

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Publication number
JPS60193666A
JPS60193666A JP59050733A JP5073384A JPS60193666A JP S60193666 A JPS60193666 A JP S60193666A JP 59050733 A JP59050733 A JP 59050733A JP 5073384 A JP5073384 A JP 5073384A JP S60193666 A JPS60193666 A JP S60193666A
Authority
JP
Japan
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base plate
insulating substrate
sides
groove
thin
Prior art date
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Pending
Application number
JP59050733A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Terajima
寺島 諒
Kenji Fujino
健治 藤野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Hokushin Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Hokushin Electric Corp filed Critical Yokogawa Hokushin Electric Corp
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Publication of JPS60193666A publication Critical patent/JPS60193666A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N97/00Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野〕 本発明は、サーマルヘッドおよびその製造方法に関する
ものである。
〔従来技術〕
サーマルヘッドの一種に、例えば特公昭4〇−6040
号公報や特公昭50−10654号公報に記載されてい
るように、絶縁基板の端面に発熱抵抗層を被着したもの
がある。
ところで、従来のこの種のサーマルヘッドでは、均一な
板厚(例えば特公昭40−6040号公報のサーマルヘ
ッドでは0.508mm)を有する絶縁基板の端面に発
熱抵抗層を被着することが行われていた。このために、
このようなサーマルヘッドの記録分解能は絶縁基板の板
厚で制限されることになり、浅学やファクシミリなどの
ように8〜10ドツト/mmの高い記録分解能を得るた
めには絶縁基板として板厚が0.08〜0.1mr+の
ものを用いなければならない。
しかし、このように板厚の薄い絶縁基板は、機械的な強
度が劣り、価格の面からも実用化は困難である。
〔発明の目的〕
本発明は、このような点に着目したものであつて、その
目的は、比較的板厚の厚い絶縁基板を用いて高い記録分
解能が得られるサーマルヘッドおよびその製造方法を提
供することにある。
〔発明の概要〕
このような目的を達成するサーマルヘッドは、薄肉部が
形成された絶縁基板と、薄肉部を含む絶縁基板め両面に
形成された電極パターンと、薄肉部の端面およびその近
傍に被着された発熱抵抗層とを含むことを特徴とする。
また、このような目的を達成するサーマルヘッドの製造
方法は、絶縁基板の少なくとも一方の面に少なくともサ
ーマルヘッドの発熱部分に対応した幅の薄肉部を形成す
るように溝部を形成する工程と、この溝部を含む絶縁基
板の両面に電極パターンを形成する工程と、電極パター
ンが形成された絶縁基板を溝部に沿って切断する工程と
、絶縁基板の切断端面およびその近傍に発熱抵抗層を被
着する工程とを含むことを特徴とする。゛ 〔実施例〕 以下、図面を用いて詳細に説明する。
第1図は本発明に係るサーマルヘッドの一実施例の要部
を示す拡大構成説明図である。第1図において、1は薄
肉部2が形成された絶縁基板、3は薄肉部2を含む絶縁
基板1の両面に形成された電極パターン、4は薄肉部2
の端面およびその近傍に被着された発熱抵抗層である。
このようなサーマルヘッドは、例えば次のようにして構
成される。
まず、第2図に示すように、絶縁基板1の表面に溝部5
を形成して薄肉部を形成する。なお、このような溝部5
としては、断面形状を円弧状あるいは7字形にすればよ
い。また、溝部5は第1図に示すように絶縁基板1の両
面に同一形状で形成することが望ましいが、一方の面の
みであってもよい。次に、第3図に示すように、この溝
部5を含む絶縁基板lの両面に電極パターン3を公知の
スパッタとフォトエツチング、厚膜印刷、メッキなどに
より形成する。なお、電極パターン3は、一般的には一
方の面には個別電極パターンを形成して他方の面には共
通電極パターンを形成することが望ましいが、実施例の
ように両面に個別電極パターンを形成してもよい。続い
て、第4図に示すように、電極パターン3が形成された
絶縁基板1を溝部5に沿って切断し、必要に応じて切断
端面を研磨する。これにより、絶縁基板1には、第5図
に示すように、溝部5による薄肉部2が形成されること
になる。その後、第1図に示すように、絶縁基板1の薄
肉部2の切断端面およびその近傍に発熱抵抗層4を被着
する。なお、発熱抵抗層4としては、Ni−Cr 、T
as Nのような薄膜抵抗層やRub、のような厚膜抵
抗層を用いることができる。このような状態において、
絶縁基板1の両面に形成された電極パターン3を選択的
に駆動することにより、選択的に駆動される電極パター
ン3に対応した部分の発熱抵抗層4を選択的に発熱駆動
できるが、発熱部分が拡散する傾向が現われる。このよ
うな発熱部分の拡散を防止するためには、例えば第6図
に示すようにダイシングマシーンで切yI6を設けて発
熱抵抗層4を電極パターン3に対応する部分で切断分離
すればよい。
なお、このようにして構成される発熱抵抗層4の表面に
は、感熱記録紙や熱転写インクリボンなどとの接触摺動
性を高めるとともに発熱抵抗m4の摩耗を防止するため
の公知の耐摩耗層を設けるが図示しない。この@4摩耗
層は、発熱抵抗層4を切断分離する前に設けて発熱抵抗
層4とともに切断分離してもよいし、発熱抵抗層4を切
断分離した後に連続的に設けてもよい。01ノ者の構成
によれば発熱部分の拡散を防止でき、後者の構成によれ
ば発熱抵抗層4の切断分離溝を含めて発熱抵抗層4を外
部雰囲気から遮断することができる。
このようなサーマルヘッドによれば、発熱抵抗層4が絶
縁基板1の薄肉部2の端面に形成されているので、比較
的板厚の厚い絶縁基板でありながら高い記録分解能を得
ることができる。また、これにより、サーマルヘッドを
感熱記録紙や熱転ずインクリボンなどに押し付けるため
の押圧機構や移動機構の簡単化が図れる。また、絶縁基
板1の両面に電極パターン3を形成することから絶縁基
板1に余裕ができ、放熱用フィンや駆動回路などを絶縁
基板1に組み込むこともできる。
そして、このような製造方法によれば、絶縁基板1とし
て比較的板厚の厚いものを用い、その一部に薄肉辺2を
形成しているので、作業時における絶縁基板1の取り扱
いが容易になる。また、発熱抵抗層4の被着や切断分離
にあたっては、フォトリソグラフ技術を用いることなく
機械的手段で行うことができ、安価で量産化が図れ、大
型のライン形ヘッドも同様の工程で作ることができる。
また、絶縁基板1の切断や発熱抵抗層4の切断分離など
をプログラム化された機械的手段で行うことにより省力
化を図ることもできる。
なお、第1図に示すように絶縁基板1の薄肉辺2の切断
端面およびその近傍に発熱抵抗層4を被着するのにあた
っては、例えば第7図に示すように複数枚の絶縁基板1
を薄肉辺2の切断端面が同一方向になるように重ね合わ
せてモジュールとして一体化し、モジュール単位で行う
ようにしてもよい。
また、第6図に示すように発熱抵抗層4を切断分離する
のにあたっても、第8図に示すようにモジュール単位で
行うことにより効率よく作業を行うことができる。そし
て、1枚の絶縁基板1に複数のサーマルヘッドが形成さ
れている場合には、第9図に示すようにモジュール単位
で各サーマルヘッドを切断分離すればよい。
また、上記実施例では、絶縁基板1に連続的に溝部5を
設ける例を示したが、第10図に示すようにサーマルヘ
ッドの発熱抵抗層4に対応した部分のみに断続的に設け
るようにしてもよい。これにより、絶縁基板1の強度の
低下を抑えることができる。
また、上記実施例では、絶縁基板1の平坦な表面に電極
パターン3を形成する例を示したが、第11図に示すよ
うに絶縁基板1の表面に溝部7を設けてこの溝部7に電
極パターン3を埋め込むようにしてもよい。これにより
、電極パターン3の端部が絶縁基板1の端面から露出す
ることになり、電極パターン3と発熱抵抗層4とを確実
に接続でき、信頼性を高めることができる。なおこのよ
うな電極パターン3の埋め込みにあたっては、例えば導
電ペーストを印刷焼成後研磨すればよい。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、比較的板JVの
厚い絶縁基板を用いて高い記録分解能が得られるサーマ
ルヘッドを比較的簡単な方法で安価に作ることができ、
実用上の効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るサーマルヘッドの一実施例の要部
を示す拡大構成説明図、第2図〜第5図は第1図のサー
マルヘッドの製造工程説明図、第6図〜第9図は第1図
のサーマルヘッドの製造工程における具体例の説明図、
第10図は溝部の他の例を示す4j^成説明図、第11
図は電極パターンの他の例を示す110成説明図である
。 1・・・絶縁系板、2・・・薄肉辺、3・・・電極パタ
ーン、4・・・発熱抵抗層、5,7・・・溝部、6・・
・切溝。 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)薄肉辺が形成された絶縁基板と、薄肉辺を含む絶
    縁基板の両面に形成された電極パターンと、薄肉辺の端
    面およびその近傍に被着された発熱抵抗層とを含むサー
    マルヘッド。
  2. (2)絶縁基板の少なくとも一方の面に少なくともサー
    マルヘッドの発熱部分に対応した幅の薄肉部を形成する
    ように溝部を形成する工程と、この溝部を含む絶縁基板
    の両面に電極パターンを形成する工程と、電極パターン
    が形成された絶縁基板を溝部に沿って切断する工程と、
    絶縁基板の切断端面およびその近傍に発熱抵抗層を被着
    する工程とを含むサーマルヘッドの製造方法。
JP59050733A 1984-03-16 1984-03-16 サ−マルヘツドおよびその製造方法 Pending JPS60193666A (ja)

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