JPS60187534U - 自動洗浄装置 - Google Patents

自動洗浄装置

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JPS60187534U
JPS60187534U JP7613284U JP7613284U JPS60187534U JP S60187534 U JPS60187534 U JP S60187534U JP 7613284 U JP7613284 U JP 7613284U JP 7613284 U JP7613284 U JP 7613284U JP S60187534 U JPS60187534 U JP S60187534U
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JP
Japan
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automatic cleaning
cleaning device
cleaned
objects
carrier
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Pending
Application number
JP7613284U
Other languages
English (en)
Inventor
伊藤　吉昭
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
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Publication date
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは従来の自動洗浄装置の平面図、第１図すは、
第１図ａのＡ−Ａ’線に沿った断面図である。第２図ａ
は本考案実施例の平面図であり、第２図すは、第２図ａ
の１３−Ｂ’線に沿った断面図である。 １・・・・・・ハンドル、２・・・・・・キャリア、３
・・・・・・底板、４・・・・・・処理槽、５・・・・
・・ストッパ、６・・・・・・薬液。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）被洗浄物を収納するキャリアを自動的に搬送する
    機構を有する自動洗浄装置において、前記被洗浄物を洗
    浄する処理槽の底面が水平面に対して５°〜４５°傾い
    ていることを特徴とする自動洗浄装置。
  2. （２）前記被洗浄物が半導体基板であることを特徴とす
    る実用新案登録請求の範囲第１項記載の自動洗浄装置。
JP7613284U 1984-05-24 1984-05-24 自動洗浄装置 Pending JPS60187534U (ja)

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JP7613284U JPS60187534U (ja) 1984-05-24 1984-05-24 自動洗浄装置

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JP7613284U JPS60187534U (ja) 1984-05-24 1984-05-24 自動洗浄装置

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JPS60187534U true JPS60187534U (ja) 1985-12-12

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ID=30617992

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