JPS6135747U - ウエハ−保持用ピンセツト - Google Patents

ウエハ−保持用ピンセツト

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Publication number
JPS6135747U
JPS6135747U JP12011184U JP12011184U JPS6135747U JP S6135747 U JPS6135747 U JP S6135747U JP 12011184 U JP12011184 U JP 12011184U JP 12011184 U JP12011184 U JP 12011184U JP S6135747 U JPS6135747 U JP S6135747U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer holding
tweezers
holding tweezers
attached
wafer
Prior art date
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Pending
Application number
JP12011184U
Other languages
English (en)
Inventor
靖志 白石
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS6135747U publication Critical patent/JPS6135747U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のピンセットの一例の立体図、第２図ａは
本考案の一実施例であるピンセットの先端の立体図、第
２図ｂはａ図の補足説明図であり上面・正面・下面を示
したものである。 １０：ピンセットを持つ指のすべり止め、２０：ウエハ
ーとの接触面、３０，１３０：ピンセットがウエハー内
部まで入り込み加工部を傷つけることを妨ぐためのスト
ッパー、１１０：表面にすべり止めの凹凸のあるテフロ
ン又は高分子樹脂製の薄平板、１２０：表面にすべり止
めの凹凸のあるテフロン又は高分子樹脂製の二つの突起
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウエハーを取扱うピンセットにおいて、そのウエハーと
    接する部分の一方にテフロン又は高分子樹脂製の薄板を
    他方に同製の２つの突起を取付けたことを特徴とするピ
    ンセット。
JP12011184U 1984-08-03 1984-08-03 ウエハ−保持用ピンセツト Pending JPS6135747U (ja)

Priority Applications (1)

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JP12011184U JPS6135747U (ja) 1984-08-03 1984-08-03 ウエハ−保持用ピンセツト

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12011184U JPS6135747U (ja) 1984-08-03 1984-08-03 ウエハ−保持用ピンセツト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6135747U true JPS6135747U (ja) 1986-03-05

Family

ID=30678951

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12011184U Pending JPS6135747U (ja) 1984-08-03 1984-08-03 ウエハ−保持用ピンセツト

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6135747U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62265739A (ja) * 1986-05-13 1987-11-18 Tokyo Electron Ltd ウエハ垂直搬送装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62265739A (ja) * 1986-05-13 1987-11-18 Tokyo Electron Ltd ウエハ垂直搬送装置

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