JPS59187132U - 分子線エピタキシヤル装置用基板加熱保持具 - Google Patents
分子線エピタキシヤル装置用基板加熱保持具Info
- Publication number
- JPS59187132U JPS59187132U JP8353583U JP8353583U JPS59187132U JP S59187132 U JPS59187132 U JP S59187132U JP 8353583 U JP8353583 U JP 8353583U JP 8353583 U JP8353583 U JP 8353583U JP S59187132 U JPS59187132 U JP S59187132U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molecular beam
- beam epitaxial
- substrate heating
- heating holder
- epitaxial equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の基板加熱保持具の一例を用いたＭＢＥ装
置の主要構成要素を模式的に示す図、第２図はこの考案
の一実施例の基板加熱保持具を用いたＭＢＥ装置の主要
構成要素を模式的に示す図である。 図において、４１は基板保持板、４２は保持板加熱台、
４３は保持板加熱ヒータ、５０は半導体基板である。−
なお、囚中同−符号はそれぞれ同一または相当部分を示
す。
置の主要構成要素を模式的に示す図、第２図はこの考案
の一実施例の基板加熱保持具を用いたＭＢＥ装置の主要
構成要素を模式的に示す図である。 図において、４１は基板保持板、４２は保持板加熱台、
４３は保持板加熱ヒータ、５０は半導体基板である。−
なお、囚中同−符号はそれぞれ同一または相当部分を示
す。
Claims (1)
- 一方の主面上に分子線エピタキシャル層が形成される半
導体基板の他方の主面が一方の表面上にはり付けられて
上記半導体基板を保持する基板保” 持板、多角
柱状体からなりその軸線を回転の中心線として回転する
ことができかつ各側面上に上記基板保持板の他方の表面
側が着脱可能なように取り付けられる保持板加熱台、お
よｄこの保持板加熱台の各側面部に設けられた保持板加
熱ヒータを備えた分子線エピタキシャル装置用基板加熱
保持
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8353583U JPS59187132U (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 分子線エピタキシヤル装置用基板加熱保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8353583U JPS59187132U (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 分子線エピタキシヤル装置用基板加熱保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59187132U true JPS59187132U (ja) | 1984-12-12 |
Family
ID=30213492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8353583U Pending JPS59187132U (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 分子線エピタキシヤル装置用基板加熱保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59187132U (ja) |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP8353583U patent/JPS59187132U/ja active Pending
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