JPS617578U - 液相エピタキシヤル成長装置 - Google Patents
液相エピタキシヤル成長装置Info
- Publication number
- JPS617578U JPS617578U JP8971184U JP8971184U JPS617578U JP S617578 U JPS617578 U JP S617578U JP 8971184 U JP8971184 U JP 8971184U JP 8971184 U JP8971184 U JP 8971184U JP S617578 U JPS617578 U JP S617578U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- epitaxial growth
- liquid phase
- holder
- phase epitaxial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例を説明するためのもので、第１図
は斜視図、第２図及び第３図Ａ， Ｂは断面図である。 １・・・基板ホルダ、２〜７・・・基板保持部、８・・
・メルト保持具、９〜１２・・・メルト溜。
は斜視図、第２図及び第３図Ａ， Ｂは断面図である。 １・・・基板ホルダ、２〜７・・・基板保持部、８・・
・メルト保持具、９〜１２・・・メルト溜。
Claims (1)
- 一生面に複数の基板保持部が形成された基板ホルタと該
基板ホルダの一主面上に位置すると共に複数のメルト溜
が形成されたメルト保持具とを備え、上記基板ホルダと
上記メルト保持具とを相対的に摺動せしめることにより
上記基板保持部の一つに載置された基板上に複数のエビ
タキシャル層を形成せしめる装置であって、上記基板保
持部のうち少なくとも上記メルト溜の数と同数のものは
一方向に配列されていることを特徴とする液相エピタキ
シャル成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8971184U JPS617578U (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8971184U JPS617578U (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS617578U true JPS617578U (ja) | 1986-01-17 |
Family
ID=30644044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8971184U Pending JPS617578U (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS617578U (ja) |
-
1984
- 1984-06-15 JP JP8971184U patent/JPS617578U/ja active Pending
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