JPS59115645U - 半導体装置用ステム - Google Patents
半導体装置用ステムInfo
- Publication number
- JPS59115645U JPS59115645U JP807483U JP807483U JPS59115645U JP S59115645 U JPS59115645 U JP S59115645U JP 807483 U JP807483 U JP 807483U JP 807483 U JP807483 U JP 807483U JP S59115645 U JPS59115645 U JP S59115645U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stem
- semiconductor devices
- recorded
- electronic filing
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案のステムを使用したボンディング装置の
構成図である。゛ １・・・・・・加熱ステージ、２・・・・・・半導体装
置用ステム、針・・・・・吸着治具、４・・・・・・半
導体素子、５・・・・・・半導体素子受台、６・・・・
・・位置決めライン。
構成図である。゛ １・・・・・・加熱ステージ、２・・・・・・半導体装
置用ステム、針・・・・・吸着治具、４・・・・・・半
導体素子、５・・・・・・半導体素子受台、６・・・・
・・位置決めライン。
Claims (1)
- 表面にグイボンディング位置を示す位置決めマークを設
けたことを特徴とする半導体装置用ステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP807483U JPS59115645U (ja) | 1983-01-24 | 1983-01-24 | 半導体装置用ステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP807483U JPS59115645U (ja) | 1983-01-24 | 1983-01-24 | 半導体装置用ステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59115645U true JPS59115645U (ja) | 1984-08-04 |
Family
ID=30139581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP807483U Pending JPS59115645U (ja) | 1983-01-24 | 1983-01-24 | 半導体装置用ステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59115645U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5651839A (en) * | 1979-10-05 | 1981-05-09 | Nec Corp | Semiconductor device |
-
1983
- 1983-01-24 JP JP807483U patent/JPS59115645U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5651839A (en) * | 1979-10-05 | 1981-05-09 | Nec Corp | Semiconductor device |
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