JPS606144U - 基板ホルダ - Google Patents
基板ホルダInfo
- Publication number
- JPS606144U JPS606144U JP1983096839U JP9683983U JPS606144U JP S606144 U JPS606144 U JP S606144U JP 1983096839 U JP1983096839 U JP 1983096839U JP 9683983 U JP9683983 U JP 9683983U JP S606144 U JPS606144 U JP S606144U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board holder
- frame part
- extendable
- substrates
- developing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Packages (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の基板ホルダの構造を示す斜視図、第２図
は本考案に係る基板ホルダの一実施例の斜視図また第３
図はこの平面図である。 １は基板ホルダ、４． ４’は側壁、５はパンタグラフ
状保持枠、６はレール、７は蝶番。
は本考案に係る基板ホルダの一実施例の斜視図また第３
図はこの平面図である。 １は基板ホルダ、４． ４’は側壁、５はパンタグラフ
状保持枠、６はレール、７は蝶番。
Claims (1)
- 複数個の被処理基板を格納したまき洗滌および現像処理
を行うのに使用する保持枠が連続したパンタグラフ構造
で伸縮可能な枠体部と該枠体部がスライドするレール部
とにより構成されてなることを特徴とする基板ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983096839U JPS606144U (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 基板ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983096839U JPS606144U (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 基板ホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS606144U true JPS606144U (ja) | 1985-01-17 |
Family
ID=30230608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983096839U Pending JPS606144U (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 基板ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606144U (ja) |
-
1983
- 1983-06-23 JP JP1983096839U patent/JPS606144U/ja active Pending
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