JPS60187077A - キヤツプ - Google Patents
キヤツプInfo
- Publication number
- JPS60187077A JPS60187077A JP59042521A JP4252184A JPS60187077A JP S60187077 A JPS60187077 A JP S60187077A JP 59042521 A JP59042521 A JP 59042521A JP 4252184 A JP4252184 A JP 4252184A JP S60187077 A JPS60187077 A JP S60187077A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- disk
- cap
- polished
- central axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は２発光半導体素子パッケージの気密シールキ
ャップに関するものである。
ャップに関するものである。
光フアイバ通信に使用する光送信装置において。
発光素子から放射される光を効率良く光ファイバに入射
するためにレンズを用いる。一般に、光送信装置を小形
化して、かつ発光素子から放射される光が光ファイバに
入射する効率（以下、結合効率という。）を高めるには
、レンズを発光素子の極めて近くに設ける必要が生ずる
。また１発光素子として半導体素子を用いる場合には、
素子の長期信頼性を得るために素子を窒素ガス封じする
必要がある。
するためにレンズを用いる。一般に、光送信装置を小形
化して、かつ発光素子から放射される光が光ファイバに
入射する効率（以下、結合効率という。）を高めるには
、レンズを発光素子の極めて近くに設ける必要が生ずる
。また１発光素子として半導体素子を用いる場合には、
素子の長期信頼性を得るために素子を窒素ガス封じする
必要がある。
従来の光送信装置においては、素子を出力窓付気密シー
ルキャップを用いて窒素対じし、このキャップの外部に
レンズを設けていたために充分な結合効率を得ることが
できなかった。また、レンズの固定方法も１−ｔＬａ６
等、再現性の少ない方法によっていたため、レンズの位
置設定にバラツキが生じ、安定した結合効率を得ること
はできなかった。
ルキャップを用いて窒素対じし、このキャップの外部に
レンズを設けていたために充分な結合効率を得ることが
できなかった。また、レンズの固定方法も１−ｔＬａ６
等、再現性の少ない方法によっていたため、レンズの位
置設定にバラツキが生じ、安定した結合効率を得ること
はできなかった。
そこで、気密シールキャップの出力窓に、高い結合効率
の得られるシリコン結晶膜（以下、！３ｉ製と記す）半
球もしくは平凸レンズを用いる方法が考えられる。この
キャップを作る方法として。
の得られるシリコン結晶膜（以下、！３ｉ製と記す）半
球もしくは平凸レンズを用いる方法が考えられる。この
キャップを作る方法として。
一旦半球もしくは平凸レンズを作り、このレンズをキャ
ップに固定する方法をとると、レンズの平端面がキャッ
プの中心軸に対して傾くことがある。
ップに固定する方法をとると、レンズの平端面がキャッ
プの中心軸に対して傾くことがある。
仮に、このような傾きが生ずると、収差が生じ。
結合効率を低下させる原因となる。
この発明は、この欠点をなくすために、Ｓｉ製球レンズ
を中央に穴の開いた金属円板に気密固定し、この円板を
厚み方向に研磨した後に円筒を取付けてキャップとした
もので、その詳細につき。
を中央に穴の開いた金属円板に気密固定し、この円板を
厚み方向に研磨した後に円筒を取付けてキャップとした
もので、その詳細につき。
以下９図面を用いて説明する。
第１図から第４図は、この発明の詳細な説明するだめの
図である。
図である。
第１図は、キャップに組込む球レンズの状態を示す図で
ある。Ｓｌ製球レンズ（１）の一部は１球面研磨機によ
って仕上げ研磨された部分（２）となっている。
ある。Ｓｌ製球レンズ（１）の一部は１球面研磨機によ
って仕上げ研磨された部分（２）となっている。
第２図は、レンズを固定したディスクの状態を示す図で
ある。仕上げ研磨された部分（２）の中心にディスクの
中心軸（３）が来るように配置された球レンズ（１）は
ディスク（４）と低融点ガラス（５）によって気密固定
されている。
ある。仕上げ研磨された部分（２）の中心にディスクの
中心軸（３）が来るように配置された球レンズ（１）は
ディスク（４）と低融点ガラス（５）によって気密固定
されている。
第３図は、研磨されたディスクの状態を示す図である。
ディスク（４）はディスクの中心軸（３）に垂直で、か
つ球レンズ（１）の中心軸を通る平面（６）で研磨され
ている。なお、結合レンズとして半球レンズでなく、平
凸レンズを用いる場合は、研磨面の位置が球レンズの中
心を通らないところとなることは言うまでもない。
つ球レンズ（１）の中心軸を通る平面（６）で研磨され
ている。なお、結合レンズとして半球レンズでなく、平
凸レンズを用いる場合は、研磨面の位置が球レンズの中
心を通らないところとなることは言うまでもない。
第４図はキャップの組立て状態を表わす図である。研磨
されたディスク（４）とシリンダ（７）の間は銀ロウ（
８）によって気密固定されている。
されたディスク（４）とシリンダ（７）の間は銀ロウ（
８）によって気密固定されている。
第５図は、この発明に係るキャップを用いて発光素子を
気密封じした状態を表わす図である。発光素子（９）を
付けたヘッダ顛はこの発明に係るキャップαυと接合部
上２において溶接されている。キャップ住υとハンダａ
〔の間の空間αＪは窒素ガスで満たされており、接合部
（１２およびキャップの各部の気密性は確保されている
ので、この空間０が発光素子（９）の寿命を低下させる
気体に置き換わることはない。まだ、レンズの平端面の
クラレがなく、さらに、レンズα尋の平面とキャップの
光軸の垂直性は機械加工精度で保証されるので収差が少
なく。
気密封じした状態を表わす図である。発光素子（９）を
付けたヘッダ顛はこの発明に係るキャップαυと接合部
上２において溶接されている。キャップ住υとハンダａ
〔の間の空間αＪは窒素ガスで満たされており、接合部
（１２およびキャップの各部の気密性は確保されている
ので、この空間０が発光素子（９）の寿命を低下させる
気体に置き換わることはない。まだ、レンズの平端面の
クラレがなく、さらに、レンズα尋の平面とキャップの
光軸の垂直性は機械加工精度で保証されるので収差が少
なく。
高い結合効率が得られる。その上、レンズαａの平面端
に支持物が無いため発光素子（９）をレンズα養に近接
させるときに障害が無い。
に支持物が無いため発光素子（９）をレンズα養に近接
させるときに障害が無い。
以上のように、この発明に係るキャップを用いれば２発
光素子を気密封じするとともに２発光素子から放射され
る光を光ファイバに高い結合効率で入射させることがで
きる。
光素子を気密封じするとともに２発光素子から放射され
る光を光ファイバに高い結合効率で入射させることがで
きる。
なお１以上は、レンズの表面の無反射コートについては
述べなかったが、レンズの外側と内側の両面に無反射コ
ートを施して反射損を低減させることができることはい
うまでもない。また、レンズとディスクならびにディス
クとシリンダ間の気密固定の方法として、上述の方法以
外に接着剤。
述べなかったが、レンズの外側と内側の両面に無反射コ
ートを施して反射損を低減させることができることはい
うまでもない。また、レンズとディスクならびにディス
クとシリンダ間の気密固定の方法として、上述の方法以
外に接着剤。
ろう剤を用いる方法、レーザによるシーム溶接を行なう
方法も考えられる。
方法も考えられる。
第１図〜第４図はこの発明の詳細な説明するだめの図で
あって、第１図はキャップに組込む球レンズの状態を示
す図、第２図はレンズを固定したディスクの状態を示す
図、第３図は研磨されたディスクの状態を示す図、第４
図はキャップの組立て状態を表わす図、第５図はこの発
明に係るキャップを用いて発光素子を気密封じしだ状態
を表わす図である。 図中、（１）はＳｉ製球レンズ、（４）はディスク、（
７）はシリンダを表わす。 なお１図中、同一あるいは相当部分には同一符号を付し
て示しである。 代理人大岩増雄 第１図 第４図
あって、第１図はキャップに組込む球レンズの状態を示
す図、第２図はレンズを固定したディスクの状態を示す
図、第３図は研磨されたディスクの状態を示す図、第４
図はキャップの組立て状態を表わす図、第５図はこの発
明に係るキャップを用いて発光素子を気密封じしだ状態
を表わす図である。 図中、（１）はＳｉ製球レンズ、（４）はディスク、（
７）はシリンダを表わす。 なお１図中、同一あるいは相当部分には同一符号を付し
て示しである。 代理人大岩増雄 第１図 第４図
Claims (1)
- 発光子導体素子を内蔵し、シリコン結晶製生球レンズを
出射窓として持つ気密シール用キャップにおいて、中央
に貫通孔を持つ金属円板の貫通孔部にシリコン結晶製球
を気密固定し、前記シリコン結晶製球を固定した金属製
円板の内側から厚み方向に研磨し、前記研磨した金属製
円板の内側に円筒を気密固定して構成しであることを特
徴とする気密シール用キャップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59042521A JPS60187077A (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | キヤツプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59042521A JPS60187077A (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | キヤツプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60187077A true JPS60187077A (ja) | 1985-09-24 |
Family
ID=12638381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59042521A Pending JPS60187077A (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | キヤツプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60187077A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102017213065B3 (de) | 2017-04-13 | 2018-07-05 | Christian-Albrechts-Universität Zu Kiel | Verfahren zur Herstellung von plankonvexen Linsenelementen und zur Herstellung eines gehäusten Bauelements auf Waferebene |
| JP2019195086A (ja) * | 2019-07-02 | 2019-11-07 | 日亜化学工業株式会社 | 光部品及びその製造方法ならびに発光装置及びその製造方法 |
-
1984
- 1984-03-06 JP JP59042521A patent/JPS60187077A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102017213065B3 (de) | 2017-04-13 | 2018-07-05 | Christian-Albrechts-Universität Zu Kiel | Verfahren zur Herstellung von plankonvexen Linsenelementen und zur Herstellung eines gehäusten Bauelements auf Waferebene |
| US11815699B2 (en) | 2017-04-13 | 2023-11-14 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Method for producing lens elements and packaged radiation-sensitive devices on wafer level |
| JP2019195086A (ja) * | 2019-07-02 | 2019-11-07 | 日亜化学工業株式会社 | 光部品及びその製造方法ならびに発光装置及びその製造方法 |
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