JPS60183733A - ダイボンデイング装置 - Google Patents
ダイボンデイング装置Info
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- JPS60183733A JPS60183733A JP3950284A JP3950284A JPS60183733A JP S60183733 A JPS60183733 A JP S60183733A JP 3950284 A JP3950284 A JP 3950284A JP 3950284 A JP3950284 A JP 3950284A JP S60183733 A JPS60183733 A JP S60183733A
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- H01L2924/07802—Adhesive characteristics other than chemical not being an ohmic electrical conductor
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、カセットリングに装着され個々のペレット
に分割されたウェハーからペレットを１個ずつ取り出し
、位置ずれを修正した状部で被−ンディング面にボンデ
ィングを行なうようにしたダイ−ぐンディング装置に関
する。
に分割されたウェハーからペレットを１個ずつ取り出し
、位置ずれを修正した状部で被−ンディング面にボンデ
ィングを行なうようにしたダイ−ぐンディング装置に関
する。
半導体集積回路装置（以下ＩＣと称する）は、ウェハー
の状態で形成された複数のペレットを個々に分割し、各
ペレットをリードフレームのアイラインド上にダイボン
ディングした後に（レット上の電極とリードとを電気的
に接続し、この後、グラスチック等の外囲器を形成する
ことによって完成されている。このようなＩＣの製造工
程において、ペレットをリードフレームに対してグイボ
ンディングを行なう際にはダイボンディング装置が用い
られる。
の状態で形成された複数のペレットを個々に分割し、各
ペレットをリードフレームのアイラインド上にダイボン
ディングした後に（レット上の電極とリードとを電気的
に接続し、この後、グラスチック等の外囲器を形成する
ことによって完成されている。このようなＩＣの製造工
程において、ペレットをリードフレームに対してグイボ
ンディングを行なう際にはダイボンディング装置が用い
られる。
第１図は従来のダイぎンデインダ装置の構成図を示す。
ウエハーグロセスが終了し、複数のペレット１が形成さ
れているウェハー互は、粘着シート３上に貼付された後
にダイシングラインに溢りてダイシングされる。この後
、上記ウェハー互はブレーキング工程を経て個々のペレ
ット１に分割される。そして上記粘着シート３は引き押
ばされた状態で、第１図に示すようにカセットリング４
に装着され、さらにグイボンディング装置の図示しない
ワーク供給台に設置される。グイボンディングされるペ
レット１は、たとえばピックアップ等の手段により粘着
シート３から取シ出され、１対のグーソングつめ５゜６
から構成される装置 る。この位置修正部乙の１対のグーソングつめ５、６は
図示矢印で示す方向に移動可能にされており、この位置
修正部乙に移送されたぼレット１はｒ−ソングつめ５．
６が閉じられることによ９位置ずれが修正される。その
後、グージングクめ５，６は元の位置に復帰し（第１図
の状態）、ペレット１は前記ピツクアッグ手段によりリ
ードフレーム８のアイランド９面上まで移送される。こ
のアイランド９面には予め溶解されている半田等の接着
部材が載置されているので、上記ペレット１はその後、
アイランド９面に接合される。
れているウェハー互は、粘着シート３上に貼付された後
にダイシングラインに溢りてダイシングされる。この後
、上記ウェハー互はブレーキング工程を経て個々のペレ
ット１に分割される。そして上記粘着シート３は引き押
ばされた状態で、第１図に示すようにカセットリング４
に装着され、さらにグイボンディング装置の図示しない
ワーク供給台に設置される。グイボンディングされるペ
レット１は、たとえばピックアップ等の手段により粘着
シート３から取シ出され、１対のグーソングつめ５゜６
から構成される装置 る。この位置修正部乙の１対のグーソングつめ５、６は
図示矢印で示す方向に移動可能にされており、この位置
修正部乙に移送されたぼレット１はｒ−ソングつめ５．
６が閉じられることによ９位置ずれが修正される。その
後、グージングクめ５，６は元の位置に復帰し（第１図
の状態）、ペレット１は前記ピツクアッグ手段によりリ
ードフレーム８のアイランド９面上まで移送される。こ
のアイランド９面には予め溶解されている半田等の接着
部材が載置されているので、上記ペレット１はその後、
アイランド９面に接合される。
従来のグイボンディング装置では、１対のグーソングつ
め５，６を用いてペレット１の位置修正を行なっている
ので、ペレット１の種類が異なり外形寸法が異なる毎に
グーソングつめ５。
め５，６を用いてペレット１の位置修正を行なっている
ので、ペレット１の種類が異なり外形寸法が異なる毎に
グーソングつめ５。
６を交換しなければならない。最近では、多品種少量生
産の対象品種が生産ラインに多く流れるようになってお
り、ペレット寸法が異なる毎にグージンダクめ５，６の
交換を行なうと、その交換時間の生産時間に占る割合が
多くなり無視できなくなっている。
産の対象品種が生産ラインに多く流れるようになってお
り、ペレット寸法が異なる毎にグージンダクめ５，６の
交換を行なうと、その交換時間の生産時間に占る割合が
多くなり無視できなくなっている。
また、グーソングつめ５，６の交換回数が多くなると、
その交換および調整はオペレータが行なっているので、
その都度装置性能が変化することになり、製品の歩留シ
の安定化が達成できなくなる。
その交換および調整はオペレータが行なっているので、
その都度装置性能が変化することになり、製品の歩留シ
の安定化が達成できなくなる。
さらにペレット１の位置修正が機械的であるため、位置
ずれ量の大きなペレットが位置修正部乙に移送された場
合には、ペレット１の周辺部、特に角部が欠けたり、ク
ラックが発生する等の機械的ダメージを受ける。
ずれ量の大きなペレットが位置修正部乙に移送された場
合には、ペレット１の周辺部、特に角部が欠けたり、ク
ラックが発生する等の機械的ダメージを受ける。
この発明は上記のような事情を考慮してなされたもので
あり、その目的とするところは、ペレット寸法の変動に
対して汎用性に富み、高精度で安定にペレットの位置修
正が行なえ、かつペレットへの機械的ダメージが軽減で
きるグイボンディング装置を提供することにある。
あり、その目的とするところは、ペレット寸法の変動に
対して汎用性に富み、高精度で安定にペレットの位置修
正が行なえ、かつペレットへの機械的ダメージが軽減で
きるグイボンディング装置を提供することにある。
上記目的を達成するためこの発明にあっては、カセット
リングに装着され個々に分割された各ペレットの位置を
／臂ターン認識手段で認識することによって、基準位置
に対する各ペレットの位置ずれ量を平行移動成分と回動
成分とに分けて検出し、上記位置ずれ量のうち平行移動
成分に基づいて、カセットリングを搭載したＸＹ移動ス
テージを駆動し、また上記位置ずれ量のうち回動成分に
基づいて、ペレットをピックアップするピックアップ部
を回動させることにより、位置ずれを修正した状態で被
ボンデイング面までペレットを移送するようにしたもの
である。
リングに装着され個々に分割された各ペレットの位置を
／臂ターン認識手段で認識することによって、基準位置
に対する各ペレットの位置ずれ量を平行移動成分と回動
成分とに分けて検出し、上記位置ずれ量のうち平行移動
成分に基づいて、カセットリングを搭載したＸＹ移動ス
テージを駆動し、また上記位置ずれ量のうち回動成分に
基づいて、ペレットをピックアップするピックアップ部
を回動させることにより、位置ずれを修正した状態で被
ボンデイング面までペレットを移送するようにしたもの
である。
以下図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。第
２図はこの発明に係るグイボンディング装置の一実施例
の構成図である。
２図はこの発明に係るグイボンディング装置の一実施例
の構成図である。
第２図において、ＸＹ移動ステージ１１上には、粘着シ
ート３が装着されたカセットリング４が載置されている
。上記粘着シート３上にはさらに、ウエノ・−グロセス
が終了し複数のべレット１が形成されたウエハー且が貼
付されており、しかもこのウエハー且は予めダイシング
ラインに泪ってダイシングされ、ブレーキング工程を経
て個々のべレット１に分割されている。
ート３が装着されたカセットリング４が載置されている
。上記粘着シート３上にはさらに、ウエノ・−グロセス
が終了し複数のべレット１が形成されたウエハー且が貼
付されており、しかもこのウエハー且は予めダイシング
ラインに泪ってダイシングされ、ブレーキング工程を経
て個々のべレット１に分割されている。
上記ＸＹ移動ステージ１１はＸ軸方向およびＹ軸方向駆
動用の駆動源たとえばノクルスモータ（図示せず）を備
えており、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能状態にさ
れている。
動用の駆動源たとえばノクルスモータ（図示せず）を備
えており、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能状態にさ
れている。
上記粘着シート３上で互いに分割されている個々のベレ
ット１はたとえば工業用テレビカメラなどからなる光電
変換部１２で順次走査でれ、ここでその画像情報が形成
される。この名ペレット１に対応した画像情報はパター
ン認識処理部１３に供給される。
ット１はたとえば工業用テレビカメラなどからなる光電
変換部１２で順次走査でれ、ここでその画像情報が形成
される。この名ペレット１に対応した画像情報はパター
ン認識処理部１３に供給される。
このパターン認識処理部１３には個々のベレットに灯す
る正規の基準位Ｉｋ情報が予め佳えられており、上記光
電変換部１２から供給これる画像情報に基づいて個々の
ベレットの位置情報を形成した後、この情報と上記基準
位置情報とから対応するベレットの位置ずれ量を、Ｘ方
向およびＹ方向からなる平行移動成分ΔＸ、Δｙと回動
成分Δθとに分けて算出する。そしてここで算出された
位置ずれ剤ΔＸ、ΔｙおよびΔθは制御装置１４に供給
される。
る正規の基準位Ｉｋ情報が予め佳えられており、上記光
電変換部１２から供給これる画像情報に基づいて個々の
ベレットの位置情報を形成した後、この情報と上記基準
位置情報とから対応するベレットの位置ずれ量を、Ｘ方
向およびＹ方向からなる平行移動成分ΔＸ、Δｙと回動
成分Δθとに分けて算出する。そしてここで算出された
位置ずれ剤ΔＸ、ΔｙおよびΔθは制御装置１４に供給
される。
制御装置１４はＸＹ移動ス・テージ制御部１５およびピ
ックアップ制御部１６等を制御するものであり、これら
各制御部１５．１６に制御指令を与えることによって、
前記ＸＹ移動ステージ１１およびこのＸＹ移動ステージ
１ノ上に載置されているベレット１をピックアップして
リードフレーム等の被？ンデイング面１７まで移送する
ピックアップ１８が設けられたベレット移送装置に所定
の動作を繰り返し行なわせる。
ックアップ制御部１６等を制御するものであり、これら
各制御部１５．１６に制御指令を与えることによって、
前記ＸＹ移動ステージ１１およびこのＸＹ移動ステージ
１ノ上に載置されているベレット１をピックアップして
リードフレーム等の被？ンデイング面１７まで移送する
ピックアップ１８が設けられたベレット移送装置に所定
の動作を繰り返し行なわせる。
さらに制御装置１４は上記・！ターン認識処理部１３か
ら構成される装置ずれ量のうち平行移動成分ΔＸ、Δｙ
に相当する制御指令を上記ＸＹ移動ステージ制御部１５
に与えることによって、ＸＹ移動ステージ１１を上記位
置ずれ量に対応した量だけ移動させるとともに、回動成
分Δθに相当する制御指令を上記ピックアップ制御部１
６に与えることによって、上記ピックアップ１８をこの
位置ずれ量に対応した量だけ被Ｈ？ンデイング面に対し
て平行に回動させる。
ら構成される装置ずれ量のうち平行移動成分ΔＸ、Δｙ
に相当する制御指令を上記ＸＹ移動ステージ制御部１５
に与えることによって、ＸＹ移動ステージ１１を上記位
置ずれ量に対応した量だけ移動させるとともに、回動成
分Δθに相当する制御指令を上記ピックアップ制御部１
６に与えることによって、上記ピックアップ１８をこの
位置ずれ量に対応した量だけ被Ｈ？ンデイング面に対し
て平行に回動させる。
上記パターン認識処理部１３には、前記ＸＹ移動ステー
ジｌｌ上に載置されるウェハーＬの種類、ベレット１の
外形寸法等に応じた前記正規の基準位置情報が予め与え
られるとともに、上記制御装置？ｉｚ４では前記ＸＹ移
動ステージ１ノおよびペレット移送装置に所定の動作を
行なわせる際の各種条件がウェハーＬの種々、ベレット
１の外形寸法等に応じて予め設定されるようになってい
る。
ジｌｌ上に載置されるウェハーＬの種類、ベレット１の
外形寸法等に応じた前記正規の基準位置情報が予め与え
られるとともに、上記制御装置？ｉｚ４では前記ＸＹ移
動ステージ１ノおよびペレット移送装置に所定の動作を
行なわせる際の各種条件がウェハーＬの種々、ベレット
１の外形寸法等に応じて予め設定されるようになってい
る。
上記のような構成でなる装置でグイビンディングを行な
う際には、まずＸＹ移動ステージｌｌ上に載置するウェ
ハー且の種類、ベレット１の外形寸法等に応じた正規の
基準位置情報を／母ターン認識処理部１３に与えるとと
もに、：ｕ！制御装置１４に各種条件を設定する。次に
制御装置１４はＸＹ移動ステージｔｉ制御部１５に制御
指令を与えてＸＹ＃動スデステージ１ノテツｆｆｊ、に
動せしめ、任意のベレット１が光電変換部１２の画像走
査領域内に入るようにする。この後、光電変換部１２は
上記ベレット１を順次走査して画像情報を形成する。次
にパターン認識処理部１３は上記画像情報から上記ベレ
ット１の位置情報を形成し、この位置情報と予め与えら
れている基準位置情報とから上記ベレット１の位置ずれ
量を算出する。上記ノ４ターン認識処理部１３はこの位
置ずれ量をたとえば次のような方法で算出する。１つの
ベレット１に対する基準位置がいま第３図において一点
鎖線で衣わされる位置であり、実際のベレット１を走査
して得られた位置が同じく実線で表わされる位置であっ
たとする。このときノ臂ターン認識処理部１３は、上記
２−）のベレット位置の対応する１箇所のＸ方向および
Ｙ方向の位置ずれ量ΔＸ、Δｙを平行移動成分として算
出するとともに、第３図のΔθを回動成分として算出し
、このうちΔＸ、Δｙに相当する制御指令をＸＹ移動ス
テージｆｒｉｌｌ釧部１５に出力する。これによって、
ＸＹ移動ステージ１ノのＸ軸方向およびＹ軸方向の・ぐ
ルスモークが動作してＸＹ移動ステージ１１がΔＸ、Δ
ｙに相当する量だけ移動し、これによってベレット１に
生じていた位置ずれのうち平行移動成分ΔＸ、Δｙだけ
修正される。次に制御装置１４はピックアップ制御部１
６に制御指令を与えて、上記平行移動成分の位置ずれ修
正が行なわれたベレット１をピックアップ１８でピック
アップさせ、この後、被ｇンデイング面１７位置まで移
送させて、さらに被ボンディング而１７上に載置させる
。このとき、制御装置１４は前記位置ずれ量のうち回動
成分Δθに相当する制御指令をピックアップ制御部１６
に出力する。これによって、ピックアップ１８が被づ？
ンデイング面１７に対して平行にΔθに相当する量だけ
回動する。したがって、このピックアップ１８によって
移送されるベレット１がｊｆ、％ 、ノボンデイング面
１７上に載置される前に、この４レツト１に生じていた
位１ｉ９ずれのうちの回動成分がイ１５正される。この
ため、粘着シート３上に分割された状態で貼付され、位
置ずれが生じていたベレット１は、位置ずれが修正され
た状態で被ボンデイング面に載置される。この被ボンデ
イング而１７上には、予め溶解されている半ＩＪＩ等の
接着部材が載置されているので、上記ベレット１はこの
面上に接合される。
う際には、まずＸＹ移動ステージｌｌ上に載置するウェ
ハー且の種類、ベレット１の外形寸法等に応じた正規の
基準位置情報を／母ターン認識処理部１３に与えるとと
もに、：ｕ！制御装置１４に各種条件を設定する。次に
制御装置１４はＸＹ移動ステージｔｉ制御部１５に制御
指令を与えてＸＹ＃動スデステージ１ノテツｆｆｊ、に
動せしめ、任意のベレット１が光電変換部１２の画像走
査領域内に入るようにする。この後、光電変換部１２は
上記ベレット１を順次走査して画像情報を形成する。次
にパターン認識処理部１３は上記画像情報から上記ベレ
ット１の位置情報を形成し、この位置情報と予め与えら
れている基準位置情報とから上記ベレット１の位置ずれ
量を算出する。上記ノ４ターン認識処理部１３はこの位
置ずれ量をたとえば次のような方法で算出する。１つの
ベレット１に対する基準位置がいま第３図において一点
鎖線で衣わされる位置であり、実際のベレット１を走査
して得られた位置が同じく実線で表わされる位置であっ
たとする。このときノ臂ターン認識処理部１３は、上記
２−）のベレット位置の対応する１箇所のＸ方向および
Ｙ方向の位置ずれ量ΔＸ、Δｙを平行移動成分として算
出するとともに、第３図のΔθを回動成分として算出し
、このうちΔＸ、Δｙに相当する制御指令をＸＹ移動ス
テージｆｒｉｌｌ釧部１５に出力する。これによって、
ＸＹ移動ステージ１ノのＸ軸方向およびＹ軸方向の・ぐ
ルスモークが動作してＸＹ移動ステージ１１がΔＸ、Δ
ｙに相当する量だけ移動し、これによってベレット１に
生じていた位置ずれのうち平行移動成分ΔＸ、Δｙだけ
修正される。次に制御装置１４はピックアップ制御部１
６に制御指令を与えて、上記平行移動成分の位置ずれ修
正が行なわれたベレット１をピックアップ１８でピック
アップさせ、この後、被ｇンデイング面１７位置まで移
送させて、さらに被ボンディング而１７上に載置させる
。このとき、制御装置１４は前記位置ずれ量のうち回動
成分Δθに相当する制御指令をピックアップ制御部１６
に出力する。これによって、ピックアップ１８が被づ？
ンデイング面１７に対して平行にΔθに相当する量だけ
回動する。したがって、このピックアップ１８によって
移送されるベレット１がｊｆ、％ 、ノボンデイング面
１７上に載置される前に、この４レツト１に生じていた
位１ｉ９ずれのうちの回動成分がイ１５正される。この
ため、粘着シート３上に分割された状態で貼付され、位
置ずれが生じていたベレット１は、位置ずれが修正され
た状態で被ボンデイング面に載置される。この被ボンデ
イング而１７上には、予め溶解されている半ＩＪＩ等の
接着部材が載置されているので、上記ベレット１はこの
面上に接合される。
以下、同様にしてＸＹ移動ステージ１ノがステップ駆動
された後毎に被レット１の位置ずれ修正が行なわれ、グ
イボンディングが行なわれる。
された後毎に被レット１の位置ずれ修正が行なわれ、グ
イボンディングが行なわれる。
このように上記実施例のグイビンディング装置では、基
準位１１に対する各被レットの位置ずれ量を平行移動成
分と回動成分とに分けて検出し、上記平行移動成分に基
づいてＸＹ移動ステージを修正駆動し、上記回動成分に
基づいてピックアップを被ボンデイング而に対して平行
に回動することによって位置ずれを修正した状態でダイ
デンディングを行なうようにしたものである。このため
次に単げるような４オ々の効果を得ることができる。そ
の１つとしてはベレット寸法の変動に対して簡単に対応
することができるということである。すなわち、従来で
はペレット寸法が変わるとそれに応じてグーソングつめ
を交換し、調整を行なっていたのに対し、上記実ＭＪ１
例装置ではパターン認識処理部１３で自動的に位置ずれ
量を算出し、この位置ずれ量に基づいてにレットの位置
修正をＸＹ移動ステージ１１およびビックアラｆ１Ｂで
行なうようＫしている。このため、４レツト１の寸法を
セルフテーチンダ等の手段により予め入力するだけで簡
単に対応することができる。このため、ペレット寸法の
変動に対する汎用性を高くすることができる。
準位１１に対する各被レットの位置ずれ量を平行移動成
分と回動成分とに分けて検出し、上記平行移動成分に基
づいてＸＹ移動ステージを修正駆動し、上記回動成分に
基づいてピックアップを被ボンデイング而に対して平行
に回動することによって位置ずれを修正した状態でダイ
デンディングを行なうようにしたものである。このため
次に単げるような４オ々の効果を得ることができる。そ
の１つとしてはベレット寸法の変動に対して簡単に対応
することができるということである。すなわち、従来で
はペレット寸法が変わるとそれに応じてグーソングつめ
を交換し、調整を行なっていたのに対し、上記実ＭＪ１
例装置ではパターン認識処理部１３で自動的に位置ずれ
量を算出し、この位置ずれ量に基づいてにレットの位置
修正をＸＹ移動ステージ１１およびビックアラｆ１Ｂで
行なうようＫしている。このため、４レツト１の寸法を
セルフテーチンダ等の手段により予め入力するだけで簡
単に対応することができる。このため、ペレット寸法の
変動に対する汎用性を高くすることができる。
またこの実施例装置では、高循Ｉり１のペレット位置イ
【６正機能が得られるという効果をイ：Ｊることかでき
る。すなわち、この実施例では、ＸＹ移動ステージ１ノ
とビックアラｆｌ／？および／′？ターン認識処理部１
３の情度で位置修正の精ｎ（が決定され、それぞれの４
１７度はパルスモータの１回転当りの入力・やルス数を
増加させること、あるいは演算処理のビット数を多くす
ること、等の方法により高くすることができるためであ
る。
【６正機能が得られるという効果をイ：Ｊることかでき
る。すなわち、この実施例では、ＸＹ移動ステージ１ノ
とビックアラｆｌ／？および／′？ターン認識処理部１
３の情度で位置修正の精ｎ（が決定され、それぞれの４
１７度はパルスモータの１回転当りの入力・やルス数を
増加させること、あるいは演算処理のビット数を多くす
ること、等の方法により高くすることができるためであ
る。
さらにこの実施レリ装置では、ベレット１の欠けやクラ
ックの発生を防ぐことができる。すなわち、この実施例
の位置修正方法は従来のグーソングつめによる方法では
ないので、修正時に欠けやクラックはほとんどなくすこ
とができる。
ックの発生を防ぐことができる。すなわち、この実施例
の位置修正方法は従来のグーソングつめによる方法では
ないので、修正時に欠けやクラックはほとんどなくすこ
とができる。
またさらにこの実施例装置では縮ス被−ス化や高い価格
性能比を得ることができる。すなわち、従来装置におい
て１対のｒ−ソングっめを含むグーソング’ｔ３Ｍ ”
：：’を部を取り除くことができるため縮スペース化が
達成できる。そしてこの位置修正機能をパターン認、識
処理部１３、ピックアップ１Ｂ、ＸＹ移弗カステージＩ
Ｉに持たせることになるが、総合的には高い価格性能比
を得ることができる。
性能比を得ることができる。すなわち、従来装置におい
て１対のｒ−ソングっめを含むグーソング’ｔ３Ｍ ”
：：’を部を取り除くことができるため縮スペース化が
達成できる。そしてこの位置修正機能をパターン認、識
処理部１３、ピックアップ１Ｂ、ＸＹ移弗カステージＩ
Ｉに持たせることになるが、総合的には高い価格性能比
を得ることができる。
なお、この発明は上記した一実施例に限定されるもので
はなく種々の変形が可能であることはいうまでもない。
はなく種々の変形が可能であることはいうまでもない。
たとえば上記実施例ではパターン認識処理部１３に基準
位置情報を直接与える場合について説明したが、これは
ベレットの寸法等が辱えられた際に制御部、１ｉｆｉ
７４がら出力させるようにしてもよい。
位置情報を直接与える場合について説明したが、これは
ベレットの寸法等が辱えられた際に制御部、１ｉｆｉ
７４がら出力させるようにしてもよい。
以上；説明したようにこの発明によれば、（レット寸法
の変動に対して汎用性に富み、高嘗度で安定にペレット
の位置修正が行なえ、かつペレットへの機械的ダメージ
が軽減できるダイゲンデインダ装置を提供することがで
きる。
の変動に対して汎用性に富み、高嘗度で安定にペレット
の位置修正が行なえ、かつペレットへの機械的ダメージ
が軽減できるダイゲンデインダ装置を提供することがで
きる。
第１図は従来装置の構成図、第２図はこの発明の一実施
例に係るグイボンディング装置の構成図、第３図は第２
図装置を説明するだめの図である。 １・・・ペレット、２・・・ウェハー、１１・・・ＸＹ
移動ステージ、１２・・・光電変換部、１３・・・ノタ
ーン認識処理部、１４・・・制御装置、１５・・・ＸＹ
移動ステージ制御部、１６・・・ピツクアッグ制御部、
１７・・・被ホンディング面、１８・・・ピツクアッグ
。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第 ２ 図 第 ３
例に係るグイボンディング装置の構成図、第３図は第２
図装置を説明するだめの図である。 １・・・ペレット、２・・・ウェハー、１１・・・ＸＹ
移動ステージ、１２・・・光電変換部、１３・・・ノタ
ーン認識処理部、１４・・・制御装置、１５・・・ＸＹ
移動ステージ制御部、１６・・・ピツクアッグ制御部、
１７・・・被ホンディング面、１８・・・ピツクアッグ
。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第 ２ 図 第 ３
Claims (1)
- 個々のベレツ）Ｋ分割されたウェハーが載置されるＸＹ
移動ステージと、上記各にレットの基準位置に対する位
置ずれ量を平行移動成分と回動成分とに分けて検出する
位置ずれ量検出手段と、上記位置ずれ量検出手段で検出
される位置ずれ量のうちの平行移動成分に基づき上記π
移動ステージを駆動して対応するペレットの位置修正を
行なうｘｙ移動ステージ制御手段と、上記ＸＹ移動ステ
ージ制御手段で位置修正が行なわれたペレットをピック
アップ部でピックアップして被ボンディンダ面まで移送
するペレット移送手段と、上記位置ずれ量検出手段で検
出される位置ずれ量のうちの回動成分に基づき上記ピッ
クアップ部を被がンディング面に対して平行に回動させ
てペレットの位置修正を行なうピックアップ部制御手段
とを具備したことを特徴とするダイボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3950284A JPS60183733A (ja) | 1984-03-01 | 1984-03-01 | ダイボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3950284A JPS60183733A (ja) | 1984-03-01 | 1984-03-01 | ダイボンデイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60183733A true JPS60183733A (ja) | 1985-09-19 |
Family
ID=12554818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3950284A Pending JPS60183733A (ja) | 1984-03-01 | 1984-03-01 | ダイボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60183733A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01100437U (ja) * | 1987-12-22 | 1989-07-05 | ||
| KR100287319B1 (ko) * | 1996-07-09 | 2001-04-16 | 이시다 아키라 | 피측정 웨이퍼의 회전방향 검출방법과 측정위치 결정방법 및 그 장치 |
| WO2020148980A1 (ja) * | 2019-01-15 | 2020-07-23 | キヤノンマシナリー株式会社 | 半田平坦化装置、ダイボンダ、半田平坦化方法、及びボンディング方法 |
-
1984
- 1984-03-01 JP JP3950284A patent/JPS60183733A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01100437U (ja) * | 1987-12-22 | 1989-07-05 | ||
| KR100287319B1 (ko) * | 1996-07-09 | 2001-04-16 | 이시다 아키라 | 피측정 웨이퍼의 회전방향 검출방법과 측정위치 결정방법 및 그 장치 |
| WO2020148980A1 (ja) * | 2019-01-15 | 2020-07-23 | キヤノンマシナリー株式会社 | 半田平坦化装置、ダイボンダ、半田平坦化方法、及びボンディング方法 |
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