JPH03217095A - 電子部品の実装装置及び実装方法 - Google Patents

電子部品の実装装置及び実装方法

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JPH03217095A
JPH03217095A JP2013148A JP1314890A JPH03217095A JP H03217095 A JPH03217095 A JP H03217095A JP 2013148 A JP2013148 A JP 2013148A JP 1314890 A JP1314890 A JP 1314890A JP H03217095 A JPH03217095 A JP H03217095A
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electrode
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は電子部品の実装装置及び実装方法に関し、移載
ヘソドにより電子部品が基板の上方に移送されて、この
基板に搭載される直前に、この電子部品と基板の間に進
入する光学手段により、基板に形成された電極部に対す
る電子部品の位置ずれを検出することにより、高精度で
この電子部品を基板に実装するようにしたものである。
(従来の技術) IC,LSI, コンデンサチップ,抵抗チソプなどの
電子部品(以下チソプという)は、移載ヘソドのノズル
に吸着されて、基板に移送搭載される。このようなチッ
プの実装手段としては、所謂ロータリーヘッド式のもの
や、シングルヘッド式のもの等があるが、何れにせよ、
チップの電極部を基板に形成された電極部に正しく接合
させて搭載する必要がある。このため従来、移載ヘソド
によるチップの移送路の途中と、位置決め部に位置決め
された基板の上方に、CCDカメラなどの光学手段をそ
れぞれ設けて、基板の電極部に対ずるチソプのXYθ方
向の位置ずれを検出し、次いでこの位置ずれを補正した
うえで、チノプを基板に搭載する手段が広く実施されて
いる(例えば特開昭60−28298号)。
(発明が解決しようとする課題) ところが上記従来手段は、チップの観察位置と、搭載位
置は異っており、チップを光学手段3 により観察してその位置ずれを検出した後、更に基板へ
向って移送して、基板に搭載するようになっていたため
、その間にチップに新たな位置ずれが生じ、高い実装精
度が得られない問題があった。殊に、例えばQFPのよ
うな極細のリード(電極部)を4方向に有するチップな
どの場合は、このリードを基板に形成された極細の電極
部に正しく接合させねばならないことから、高い実装精
度が要求されるものであるが、上記従来手段によっては
このような高い実装精度を満足させることは困難であっ
た。
そこで本発明は、高い実装精度が得られるチップの実装
手段を提供することを目的とする。
(課題を解決するための手段) このために本発明は、移載ヘソドの範囲第1項に電子部
品を吸着し、位置決め部に位置決めされた基板に移送搭
載するようにした電子部品実装装置において、駆動手段
に駆動されて、基板に形成された電極部と、この電極部
の直上に移送されてきた電子部品の間に出入し、この〜
4 電極部と電子部品を観察して、この電極部に対する電子
部品の位置ずれを検出する光学手段を設けたものである
(作用) 上記構成において、移載ヘソドの範囲第1項に電子部品
を吸着して、位置決め部に位置決めされた基板の直上に
移送し、この電子部品と基板の間に進入する光学手段に
より、この基板に形成された電極部に対するこの電子部
品のリードのXYθ方向の位置ずれを検出し、次いでこ
の位置ずれを補正したうえで、電子部品を基板に搭載す
る。
(実施例1) 次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説明する。
第1図において、1は移載ヘソド、2はこの移載ヘソド
lに設けられたノズルであり、ノズル2の下端部にチソ
プPを吸着して、位置決め部3に位置決めされた基板4
に移送搭載する。
基板4には、チソブPのリードLを着地させる5 極細の電極部5が形成されている。位置決め部3は、X
テーブル6、Yテーブル7、θテーブル8を段載して構
成されている。MXI,MY1はそれぞれXモータ,Y
モータである。θテーブル8は、角部のピン9を中心に
Xテーブル6上に回転自在に載置されている。Mθはモ
ータであって、送りねじから成る回転軸1lは、Xテー
ブル6に配設されたナット体12に螺合しており、また
その先端部11aは、θテーブル8の角部の長孔13に
係合している。したがってモータMθが駆動して回転軸
11がその長さ方向に進退すると、θテーブル8はピン
9を中心にθ方向に水平回転する。
20は光学手段、30はこの光学手段20を、基板4と
、この基板4の電極部5の直上に移送されてきたチップ
Pの間に出入させるための駆動手段である。光学手段2
0は箱形の本体部2lを主体とし、その内部の先端部に
はミラー22,23が内蔵されており(第2図も参照)
、またその後部には2個のカメラ24.25が設6 けられている。またミラー22.23の直上と直下には
、それぞれ透光ステージ26.27が装着されており、
また上方の透光ステージ26の周囲には、リング状の光
源28が設けられている。また移載ヘソド1の下面には
、光源28から照射された光を、ノズル2の下端部に吸
着されたチソプPへ向って拡散反射させる白色アクリル
板のような反射体29が設けられている。
駆動手段は、Xテーブル31a,Yテーブル3lbと、
このXYテーブル31a,3lbをXY方向に移動させ
るモータMX2,MY2及び送りねじ32a,32bか
ら成っている。モータMX2が駆動すると、光学手段2
0はX方向に移動し、チップPと基板4の間に出入する
また光学手段20が両者P,4の間に進入した状態で、
両モータMX2,MY2が駆動することにより、光学手
段20はXY方向に移動し、チソプPから4方向に延出
するりードLの角部と、基板4の電極部5の角部を観察
する。
本装置は上記のような構成より成り、次に動7 作の説明を行う。
チソプPを吸着した移載ヘソド1が基板4の上方に到来
し、チソプPを電極部5の直上に位置させる。その状態
で、モータMX2が駆動して、光学手段20を前進させ
、チップPと基板4の電極部5の間に位置させる(第1
図鎖線及び第2図参照)。次いで各モータMX2,MY
2を駆動して光学手段20をXY方向に移動させること
により、上方のミラー22とカメラ24によりチップP
の4つの角部Al,A2,A3.A4を、また下方のミ
ラー23とカメラ25で電極部5の4つの角部Bl,B
2,B3,B4をそれぞれ観察し(第3図,第4図参照
)、電極部5に対するリードしのxyθ方向の位置ずれ
を検出する。
次いでモータMX2を駆動して、光学手段20を側方(
第1図実線位置)へ退去させるとともに、モータMXI
,モータMYI,モータMθを駆動して、上記のように
して検出されたXYθ方向の位置ずれを補正し、ノズル
2を下降8 させてチソプPを基板4に搭載する。このように本手段
は、チソプPを基板4に搭載する直前に、その位置ずれ
を検出するようにしているので、リードLを電極部5に
正確に接合させて搭載することができる。
なお本方法は、適宜手順を前後させてもよいものであっ
て、例えば移載ヘノド・1が基板4の上方に到来する前
に、予め光学手段20を基板4の上方に進入させて、ミ
ラー23とカメラ25により電極部5の位置を観察して
おき、次いで移載ヘソド1が基板4の上方に到来したな
らば、ミラー22とカメラ24によりチソプPを観察し
、その位置ずれを検出するようにしてもよい。また従来
、θ方向の補正は、モータによりノズル2をその軸心を
中心に回転させることにより行われていたが、このよう
な手段は、モータの回転量の漱小制御が困難なことから
、精密な補正は期待できない。そこで本実施例のように
θテーブル8を設け、これにより基板4を微小回転させ
るようにすれば、精密なθ補正を9 行うことができる。
(実施例2) 第5図に示す光学手段40は、ミラー22とカメラ24
が各々1個づつ設けられており、ミラー22をモータ等
の駆動手段により回転させることにより、チップPと電
極部5を観察する。
この手段によれば、チソプPと電極部5を同時に観察で
きないので、サイクルタイムが長くなる難点があるが、
光学手段40の構造を簡単化できる利点がある。
(実施例3) また第6図に示すものは、光学手段20は上記第1実施
例と同様であるが、駆動手段50はモータMX2だけか
ら成っている。したがってこのものは、光学手段20を
チソプPと基Fi4の間に出入りさせることはできるが
、XY方向に移動させて、チソプPや電極部504つの
角部を観察することはできない。そこでこのものは、要
求される実装精度がそれ程高くないチソプPについて、
カメラ24.25の倍率ヲ下げ10 て、チップPや電極部5の全体を一括観察する場合に有
利である。
(発明の効果) 以上説明したように本発明は、移載ヘソドにより電子部
品が基板の上方に移送されて、この基板に搭載される直
前に、この電子部品と基板の間に進入する光学手段によ
り、基板に形成された電極部に対する電子部品の位置ず
れを観察するようにしているので、基板の電極部に対す
る電子部品の実装精度を著しく高めることができ、殊に
QFPのような要求される実装精度の高い電子部品の実
装を有利に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の実施例を示すものであって、第1図は全体
の斜視図、第2図は観察中の側面図、第3図は観察中の
チップの平面図、第4図は同電極部の平面図、第5図は
他の実施例の部分側面図、第6図は更に他の実施例の斜
視図である。 1・・・移載ヘソド 2・・・ノズル 3・・・位置決め部 4・・・基板 5・・・電極部 20.40・・・光学手段 30.50・・・駆動手段 31a,32a.X2−X方向に駆動する手段 ・Y方向に駆動す る手段 3lb,  32b,  Y2  ・ ・P・・・電子
部品 L・・・リード

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)移載ヘッドのノズルの下端部に電子部品を吸着し
    、位置決め部に位置決めされた基板に移送搭載するよう
    にした電子部品実装装置において、駆動手段に駆動され
    て、基板に形成された電極部と、この電極部の直上に移
    送されてきた電子部品の間に出入し、この電極部と電子
    部品を観察して、この電極部に対する電子部品の位置ず
    れを検出する光学手段を設けたことを特徴とする電子部
    品の実装装置。
  2. (2)上記光学手段により、電子部品の4方向のリード
    の角部と、基板の電極部の角部を観察するべく、上記駆
    動手段が、この光学手段をX方向とY方向に駆動する手
    段を有していることを特徴とする上記特許請求の範囲第
    1項に記載の電子部品の実装装置。
  3. (3)移載ヘッドのノズルの下端部に電子部品を吸着し
    て、位置決め部に位置決めされた基板の直上に移送し、
    この電子部品と基板の間に進入する光学手段により、こ
    の基板に形成された電極部とこの電子部品のリードを観
    察して、この電極部に対するこのリードのXYθ方向の
    位置ずれを検出し、次いでこの光学手段を退去させると
    ともに、この位置ずれを補正したうえで、電子部品を基
    板に搭載するようにしたことを特徴とする電子部品の実
    装方法。
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