DE10055631A1 - Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen elektronischer Bauteile mit Schwenkspiegel - Google Patents

Abstract

Die vorliegende Erfindung offenbart eine Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen mit einer Handhabungseinrichtung (2) und einer Kontakteinrichtung (8) sowie mit einer Vorrichtung (12) zur Reflexion von Schall- oder Lichtwellen, welche in die optische Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) einschiebbar und/oder um eine kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) und eine handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) oder um eine mittige Drehachse (24) translatorisch und/oder rotatorisch einschwenkbar ist, wobei diese mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion die Kontaktseite (4) des zu prüfenden elektronischen Bauteils (3) einerseits und die Kontaktseite (6) der Kontakteinrichtung (8) andererseits und/oder die der Kontakteinrichtung (8) zugewandte Seite der Handhabungseinrichtung (2) vollständig oder teilweise in Richtung einer oder mehrerer außerhalb der optischen Achse (11) vorgesehener Meßvorrichtungen (5) abbildet, wobei die starre oder veränderliche Positionierung und Ausrichtung der Meßvorrichtung (5) unter Beibehaltung der Funktionsfähigkeit in x- und/oder y- und/oder z-Richtung in weiten Bereichen variabel ist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen mit den im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Merk­ malen.

Eine Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektro­ nischen Bauteilen ist beispielsweise in sogenannten "Chip- Handlern" erforderlich, in denen elektronische Bauteile auf einem Tablett angeliefert, vor dort mittels einer Vor­ richtung zum zielgerichteten Bewegen aufgenommen und von dieser Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen an einen Kontaktsockel herangeführt werden.

Hinter dem Kontaktsockel befindet sich dort eine Prüfein­ richtung, welche während der Kontaktzeit zwischen dem elektronischen Bauteil und dem Kontaktsockel die elektri­ sche Funktionsfähigkeit des zu prüfenden elektronischen Bauteils prüft.

Aus dem Stand der Technik geht nun eine Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen her­ vor, bei welcher vor der Herstellung des Kontaktes zwi­ schen dem zu prüfenden elektronischen Bauteil und dem Kon­ taktsockel zumindest die korrekte Ausrichtung des elektro­ nischen Bauteiles über eine separate Betrachtungsvorrich­ tung überprüft werden kann.

Diese aus dem Stand der Technik bekannte Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen weist insbesondere den Nachteil auf, daß sie die automatische Betrachtung der Lage, der Ausrichtung sowie der Beschaf­ fenheit der Kontakte des Kontaktsockels nicht ermöglicht.

Für die automatische Betrachtung der Lage, der Ausrichtung sowie der Beschaffenheit der Kontakte des Kontaktsockels wäre dort vielmehr die aufwendige und teure Installation eines weiteren, auf den Kontaktsockel gerichteten Betrach­ tungssystems erforderlich.

Die Möglichkeit zur Betrachtung der Lage, der Ausrichtung sowie der Beschaffenheit der Kontakte des Kontaktsockels ist insbesondere unter dem Aspekt einer Optimierung der Kontaktierungsqualität zwischen dem zu prüfenden elektro­ nischen Bauteil und dem Kontaktsockel wünschenswert.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher die Bereit­ stellung einer Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen, welche mit einem einzigen, be­ sonders einfach und kostengünstig herzustellenden und kei­ ne exakte Justage erfordernden Betrachtungssystem sowohl die Betrachtung der Kontaktseite der zu prüfenden elektro­ nischen Bauteile als auch die Betrachtung der Kontaktein­ richtung erlaubt.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer gattungsgemä­ ßen Vorrichtung durch die im kennzeichnenden Teil des Pa­ tentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Besonders bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der Unteransprüche.

Einige Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Figuren näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Seitenansicht einer erfindungs­ gemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen elektroni­ scher Bauteile mit einer in die optische Achse zwischen Handhabungseinrichtung und Kontakteinrichtung um eine kon­ takteinrichtungsseitige und eine bauteilseitige Drehachse einschwenkbaren Vorrichtung zur Reflexion, wobei hier die Vorrichtung zur Reflexion um die kontakteinrichtungsseiti­ ge Drehachse in die optische Achse zwischen der Handha­ bungseinrichtung und der Kontakteinrichtung eingeschwenkt ist;

Fig. 2 eine schematische Seitenansicht einer erfindungs­ gemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen elektroni­ scher Bauteile mit einer in die optische Achse zwischen Handhabungseinrichtung und Kontakteinrichtung um eine kon­ takteinrichtungsseitige und eine bauteilseitige Drehachse einschwenkbaren Vorrichtung zur Reflexion, wobei hier die Vorrichtung zur Reflexion um die bauteilseitige Drehachse in die optische Achse zwischen der Handhabungseinrichtung und der Kontakteinrichtung eingeschwenkt ist;

Fig. 3 eine schematische Draufsicht auf eine erfindungs­ gemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elek­ tronischen Bauteilen, wobei auf der Vorrichtung zur Refle­ xion Kalibrierungsmarkierungen dargestellt sind und die um zwei Drehachsen drehbare Aufhängung der Vorrichtung zur Reflexion aus Übersichtlichkeitsgründen nicht dargestellt ist.

Fig. 4 eine schematische Seitenansicht einer um ihre mit­ tige Drehachse drehbaren Vorrichtung zur Reflexion, wobei die mittige Drehachse in Richtung der optischen Achse zwi­ schen der Handhabungseinrichtung und der Kontakteinrich­ tung verschiebbar ist.

Wie bereits aus Fig. 1 hervorgeht, umfaßt die erfindungs­ gemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elek­ tronischen Bauteilen zunächst mindestens eine Handhabungs­ einrichtung (2) zur Aufnahme, zum Schwenken, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x-Achse und/oder y-Achse und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3).

Weiterhin umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen min­ destens eine der Handhabungseinrichtung (2) gegenüberlie­ gende elektrische Kontakteinrichtung (8) zur Herstellung mindestens einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen mindestens einem auf seine Güte zu prüfenden elektroni­ schen Bauteil (3) und einer der Kontakteinrichtung (8) nachgeschalteten Prüfeinrichtung.

Zwischen der Handhabungseinrichtung (3) und der Kon­ takteinrichtung (8) kann sich eine optische Achse (11) ho­ rizontal, vertikal oder schräg erstrecken.

Ein wesentliches Merkmal der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen ist darin zu sehen, daß sie eine, zwei, drei oder mehrere Vorrichtungen (12) zur Reflexion von Schall- oder Licht­ wellen umfaßt.

Diese mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion kann in die optische Achse (11) zwischen der Handhabungsein­ richtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) translatorisch und/oder rotatorisch vollständig oder teilweise einschieb­ bar sein.

Alternativ oder zusätzlich hierzu kann die mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion um eine kontakteinrich­ tungsseitige Drehachse (9) und/oder eine handhabungsein­ richtungsseitige Drehachse (10) translatorisch und/oder rotatorisch vollständig oder teilweise in die optische Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) einschwenkbar gelagert sein.

In der Regel bildet die mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion in einer Endstellung die Kontaktseite (4) des zu testenden elektronischen Bauteils (3) und in einer anderen Endstellung die Kontaktseite (6) der Kontaktein­ richtung (8) in Richtung einer oder mehrerer außerhalb der zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kon­ takteinrichtung (8) verlaufenden optischen Achse (11) vor­ gesehener Meßvorrichtungen (5) ab.

Alternativ oder zusätzlich hierzu bildet die mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion vollständig oder teil­ weise auch die der Kontakteinrichtung (8) zugewandte Seite der Handhabungseinrichtung (2) in Richtung einer oder meh­ rerer außerhalb der zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) verlaufenden optischen Achse (11) vorgesehener Meßvorrichtungen (5) ab.

Das Meßfeld der mindestens einen Meßvorrichtung (5) erfaßt die Vorrichtung (12) zur Reflexion vollständig oder vor­ zugsweise teilweise.

In der Regel ist die mindestens eine Meßvorrichtung (5) von der aus der optischen Achse (11) zwischen der Handha­ bungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) her­ ausgenommenen Vorrichtung (12) zur Reflexion im Bereich von 5 mm bis 50 cm starr oder veränderlich entfernt vorge­ sehen.

Vorzugsweise schneidet die optische Achse (23) der minde­ sten einen Meßvorrichtung (5) die optische Mittenachse (7) der Vorrichtung (12) zur Reflexion gegebenenfalls etwa in Höhe der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungsein­ richtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) starr oder veränderlich unter einem Winkel α. Dieser Winkel α liegt beispielsweise im Bereich von -30° bis +30°.

Alternativ oder zusätzlich hierzu kann die optische Achse (23) der mindestens einen Meßvorrichtung (5) starr oder veränderlich im wesentlichen parallel zu der optischen Mittenachse (7) der Vorrichtung (12) zur Reflexion verlau­ fen oder mit dieser im wesentlichen deckungsgleich sein.

In besonders bevorzugten Ausführungsformen ist die minde­ stens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion von Licht- oder Schallwellen im wesentlichen in Form eines Spiegels (20) ausgebildet.

Wie aus den Fig. 1 bis 3 hervorgeht, kann dieser Spie­ gel (20) beispielsweise um eine kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) und um eine handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) in die optische Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) teilweise oder vollständig schwenkbar oder einschiebbar gelagert sein.

Von besonderem Vorteil ist in diesem Falle, daß mit einem einzigen Spiegel (20) bei einer Drehung um die kontaktein­ richtungsseitige Drehachse (9) in Richtung der zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) verlaufenden optischen Achse (11) die Kontaktseite (4) des von der Handhabungseinrichtung (2) aufgenommenen Bau­ elementes (3) in Richtung der mindestens einen Meßvorrich­ tung (5) abbildbar ist.

Bei einer Drehung des Spiegels (20) um die gegebenenfalls handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) in Richtung der optischen Achse (11) kann die bauelementwärtige Kontaktseite (6) der Kontakteinrichtung (8) in Richtung der mindestens einen Meßvorrichtung (5) abgebildet werden.

Die Fig. 1 und 2 zeigen, daß in bevorzugten Ausfüh­ rungsformen der Spiegel (20) derart um die kontakteinrich­ tungsseitige Drehachse (9) und die handhabungseinrich­ tungsseitige Drehachse (10) jeweils nach unten oder oben drehbar gelagert sein kann, daß eine Schwenkbarkeit des Spiegels (20) aus einer horizontalen Ausgangslage (0°) in die beiden Endpositionen von jeweils 45° gegeben ist.

In seiner im wesentlichen horizontalen Ausgangslage ist der Spiegel (20) vorzugsweise außerhalb der optischen Ach­ se (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) vorgesehen und kann hierbei bei­ spielsweise im wesentlichen parallel zu dieser optischen Achse (11) ausgerichtet sein. In der Regel ragt der Spie­ gel (20) zumindest in seinen jeweiligen 45°-Endpositionen in die optische Achse (11) vollständig oder teilweise hin­ ein.

Aus Fig. 4 geht hervor, daß die beispielsweise in Form eines Spiegels (20) ausgebildete Vorrichtung (12) zur Re­ flexion von Licht- oder Schallwellen beispielsweise ledig­ lich um eine mittige Drehachse (24) drehbar gelagert sein kann.

Vorzugsweise ist diese mittige Drehachse (24) dann so weit in Richtung der optischen Achse (11) zwischen der Handha­ bungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) ver­ stellbar gelagert, daß sich die Vorrichtung (12) zur Re­ flexion zumindest in ihren geschwenkten Endstellungen vollständig oder teilweise in der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kon­ takteinrichtung (8) befindet.

Auch in diesem Falle kann mit einem einzigen Spiegel (20) bei einer Drehung um die mittige Drehachse (24) in einer ersten, beispielsweise 45°-Schwenkendstellung die Kontakt­ seite (4) des von der Handhabungseinrichtung (2) aufgenom­ menen Bauelementes (3) und bei einer Drehung um die mitti­ ge Drehachse (24) in eine entgegengesetzte beispielsweise 45°-Schwenkendstellung die bauelementwärtige Kontaktseite (6) der Kontakteinrichtung (8) in Richtung der mindestens einen Meßvorrichtung (5) abgebildet werden.

In einer bevorzugten derartigen Ausführungsform ist der Spiegel (20) derart um seine mittige Drehachse (24) dreh­ bar gelagert, daß eine Schwenkbarkeit des Spiegels (20) aus einer horizontalen Ausgangslage (0°) in die beiden Endpositionen von jeweils 45° gegeben ist. Hierbei kann der Spiegel (20) in seiner im wesentlichen horizontalen Ausgangslage außerhalb der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) und gegebenenfalls im wesentlichen parallel zu dieser optischen Achse (11) vorgesehen sein. Aufgrund einer Ver­ schiebung seiner mittleren Drehachse (24) in Richtung der optischen Achse (11) sowie aufgrund einer zumindest teil­ weisen Rotation um die mittlere Drehachse (24) kann die Vorrichtung (12) zur Reflexion zumindest in ihren jeweili­ gen 45°-Endpositionen vollständig oder teilweise in die optische Achse (11) hineinragen.

Die drehbare Anbringung der Vorrichtung (12) zur Reflexion an einer mittigen und in Richtung der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kon­ takteinrichtung (8) verfahrbaren Drehachse (24) führt ins­ besondere zu dem Vorteil, daß die Länge L einer derartigen Vorrichtung (12) zur Reflexion im Vergleich zur Länge L einer um eine handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) und eine bauteilseitige Drehachse (9) drehbaren Vor­ richtung (12) zur Reflexion deutlich kürzer gewählt werden kann, beispielsweise um etwa 30%.

Der Abstand L zwischen den Markierungen (17) und (16) der­ selben Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion liegt hier beispielsweise im Bereich von nur 25 mm bis 170 mm, vor­ zugsweise im Bereich von 27 mm bis 150 mm, insbesondere im Bereich von 30 mm bis 140 mm.

Diese Verkürzung der Vorrichtung (12) zur Reflexion führt insbesondere zu dem Vorteil einer deutlichen Verbesserung der Bewegungsdynamik aufgrund erheblich geringerer zu be­ wegender Massen.

Die Kürze einer derartigen um ihre mittige Drehachse (24) drehbaren Vorrichtung (12) zur Reflexion erlaubt ferner einen um beispielsweise 50 mm kürzeren Abstand zwischen der Aufnahmeposition der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8). Das aufgenommene elektronische Bauteil (3) muß dann lediglich um eine etwa ein Drittel kürzere Strecke verfahren werden, bevor es mit der Kon­ takteinrichtung (8) in elektrisch leitenden Kontakt ge­ bracht wird.

Diese markante Verkürzung der Verfahrstrecke des aufgenom­ menen elektronischen Bauteils (3) - beziehungsweise des Kontaktierhubes - macht sich insbesondere hinsichtlich der Genauigkeit der Anlieferungsausrichtung und Anlieferungs­ positionierung des elektronischen Bauteils (3) und damit hinsichtlich der Kontaktierungsqualität sehr vorteilhaft bemerkbar.

Die Kürze einer derartigen um ihre mittige Drehachse (24) drehbaren Vorrichtung (12) zur Reflexion ist schließlich auch deshalb vorteilhaft, weil der kleinere und günstiger verlaufende Schwenkbereich der Vorrichtung (12) zur Refle­ xion die Anbringung einer deutlich dickeren Schicht von Wärmeisolierungsmaterial insbesondere in dem Bereich um die Kontakteinrichtung (8) herum erlaubt. Dieser Umstand macht sich im Hinblick auf eine erhebliche Verbesserung der Temperaturführung bemerkbar, welche insbesondere bei Ausführungsformen mit einer Temperaturkammer von Bedeutung ist.

Aufgrund einer günstigeren Aufhängung der Vorrichtung (12) zur Reflexion in ihrem Masseschwerpunkt kann ferner der Antrieb der Vorrichtung (12) zur Reflexion kleiner dimen­ sioniert und energiesparender ausgelegt werden.

Vorzugsweise erfaßt die mindestens eine Meßvorrichtung (5) in diesem Falle die gesamte abbildende Fläche der um ihre mittige Drehachse (24) drehbaren Vorrichtung (12) zu Re­ flexion.

In besonders bevorzugten Ausführungsformen kann die Vor­ richtung (12) zur Reflexion eine, zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, elf, zwölf oder mehrere über die mindestens eine Meßvorrichtung (5) vollständig oder zumindest teilweise wahrnehmbare Markierungen (13) aufweisen (siehe Fig. 3).

Diese Markierungen (13) können zur Kalibrierung sowie zur Bestimmung der Lage und/oder der Ausrichtung der Handha­ bungseinrichtung (2), der von der Handhabungseinrichtung (2) aufgenommenen elektronischen Bauteile (3) sowie der Kontakteinrichtung (8) in Bezug auf ein vorrichtungsspezi­ fisches Koordinatensystem dienen, wobei diese Markierungen (13) dem Koordinatensystem der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bau­ teilen eindeutig zugeordnet sind.

Zumal die tatsächlichen Abstände zwischen allen Markierun­ gen (13) bekannt sind, kann insbesondere zu Kalibrierungs­ zwecken einer einer bestimmten Pixelanzahl entsprechenden Länge auf dem von der Meßvorrichtung (5) gelieferten Bild ein eindeutiger Wert beispielsweise in Millimetern zuge­ ordnet werden.

Ist beispielsweise die Fehlausrichtung eines von dem Bau­ teilhalter (1) aufgenommenen elektronischen Bauteils (3) in Millimeter-Werten errechnet, können in Inkremente un­ terteilte Stellgrößen von der Datenverarbeitungseinrich­ tung errechnet und gegebenenfalls an die Antriebseinrich­ tungen der Handhabungseinrichtung (2) und/oder des Bau­ teilhalters (1) und/oder der Verstelleinrichtung geleitet werden.

Selbstverständlich können die an die abzugebenden Inkre­ mente bei Kenntnis der exakten Markierungsabstände auch ohne vorherige Umwandlung in Millimeter-Werte unmittelbar aus der Pixelanzahl ermittelt werden.

Aus Fig. 3 geht hervor, daß die Markierungen (13) der Vorrichtung (12) zur Reflexion beispielsweise zumindest in den Randbereichen und/oder in den Eckbereichen der Vor­ richtung (12) zur Reflexion vorgesehen sein können.

Fig. 3 zeigt, daß in einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung (12) zur Reflexion in Form eines Spiegels (20) beispielsweise ein erstes Paar (14) von Markierungen (13) auf der parallel und mittig zu den Drehachsen (9, 10) verlaufenden Mittenachse (15) lie­ gen kann.

Ein zweites Paar (16) von Markierungen (13) kann sich bei­ spielsweise in dem kontakteinrichtungsseitigen Randbereich der Vorrichtung (12) zur Reflexion befinden, während ein drittes Paar (17) von Markierungen (13) gegebenenfalls im handhabungseinrichtungsseitigen Randbereich der Vorrich­ tung (12) zur Reflexion vorgesehen sein kann.

Der Abstand zwischen der Markierung (16) und der Markie­ rung (17) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion kann beispielsweise die Länge L aufweisen. Der Abstand zwischen den Markierungen (16) und (14) sowie zwischen den Markierungen (14) und (17) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion kann dann beispielsweise jeweils L/2 betragen.

Aus Fig. 3 geht ferner hervor, daß eine erfindungsgemäße Vorrichtung (12) zur Reflexion in Form eines Spiegels (20) weiterhin ein viertes Paar (18) von gegenüberliegenden Markierungen zwischen den Markierungen (16) und (14) sowie ein fünftes Paar (19) von gegenüberliegenden Markierungen zwischen den Markierungen (14) und (17) aufweisen kann.

Vorzugsweise beträgt der Abstand zwischen den Markierungen (18) und (16) sowie zwischen den Markierungen (18) und (14) einerseits und zwischen den Markierungen (19) und (14) sowie zwischen den Markierungen (19) und (17) ande­ rerseits jeweils L/4.

Der Abstand L zwischen den Markierungen (17) und (16) der­ selben Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion kann bei­ spielsweise im Bereich von 50 mm bis 200 mm liegen.

Der Abstand H zwischen den Markierungen (13) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion und den gegenüberlie­ genden Markierungen (13) der anderen, gegenüberliegenden Seite der Vorrichtung (12) ist in der Regel größer als der Abstand L/2 und liegt beispielsweise im Bereich von 51 mm bis 500 mm.

Aus den Fig. 1 und 2 geht hervor, daß die Handhabungs­ einrichtung (2) beispielsweise mindestens einen Bauteil­ halter (1) gegebenenfalls in Form mindestens eines Grei­ fers oder Saugers umfassen kann. Dieser Bauteilhalter (1) ist vorzugsweise um mindestens 90 oder 180° um eine bei­ spielsweise parallel zur Kontaktierungsebene verlaufende Drehachse (21) schwenkbar gelagert, so daß die Bauteilauf­ nahmefläche des Bauteilhalters (I) im wesentlichen paral­ lel zur Kontaktseite (6) der elektrischen Kontakteinrich­ tung (8) ausrichtbar ist.

Vorzugsweise ist die mindestens eine Handhabungseinrich­ tung (2) zur Aufnahme, zum Schwenken, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3) über eine hier nicht darge­ stellte Verstelleinrichtung entlang und/oder um die x- und/oder y- und/oder z-Achse verstellbar.

In bevorzugten Ausführungsformen umfaßt die mindestens ei­ ne Verstelleinrichtung zur Verstellung der Handhabungsein­ richtung (2) im wesentlichen zwei zueinander parallele und voneinander zumindest etwas beabstandete Führungsschienen. Diese Verstelleinrichtung kann ferner einen rechtwinklig zu den Führungsschienen sich erstreckenden Querträger um­ fassen, welcher längsverschiebbar auf den Führungsschienen gelagert ist. Stirnseitig und in Richtung der elektroni­ schen Kontakteinrichtung (8) weisend, kann auf dem Quer­ träger eine Vielzahl von Handhabungseinrichtungen (2) ent­ lang der x-Achse und/oder der y- Achse und/oder der z- Achse verschiebbar und/oder schwenkbar angebracht sein.

Die Verschiebungen oder Verschwenkungen der Handhabungs­ einrichtungen (2) um gleiche oder unterschiedliche Achsen können abhängig oder unabhängig voneinander vornehmbar sein.

In besonders bevorzugten Ausführungsformen kann die erfin­ dungsgemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen (3) eine Temperaturkammer umfas­ sen.

Innerhalb dieser Temperaturkammer können zumindest ein Ab­ schnitt eines Fördermittels (22), eine elektronische Kon­ takteinrichtung (8) sowie mindestens eine Handhabungsein­ richtung (2) zur Aufnahme, zum Schwenken, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3) und eine Vorrichtung (12) zur Reflexion vorgesehen sein.

In der Regel sind die Antriebsmittel zur Bewegung des min­ destens einen Fördermittels und/oder der mindestens einen Handhabungseinrichtung (2) und/oder der mindestens einen Verstelleinrichtung und die mindestens eine Meßvorrichtung (5) außerhalb der Temperaturkammer vorgesehen.

Vorzugsweise umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen (3) mindestens ein Fördermittel (22) zur Anlieferung und/oder zum Abtransport elektronischer Bauteile in die oder aus der Temperaturkammer.

Dieses Fördermittel (22) kann beispielsweise bandförmig ausgestaltet sein. In besonders bevorzugten Ausführungs­ formen transportiert ein weiteres - gegebenenfalls bandför­ miges - Fördermittel die nach Güteklassen sortiert auf ihm abgelegten, geprüften elektronischen Bauteile (3) aus der Temperaturkammer heraus.

In der Regel umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen (3) beispielsweise eine zentrale Datenverarbeitungseinrich­ tung.

Diese zentrale Datenverarbeitungseinrichtung kann gegebe­ nenfalls mindestens mit einer Meßvorrichtung (5) sowie mit einer der elektronischen Kontakteinrichtung (8) nachge­ schalteten Prüfeinrichtung einerseits und den Antriebsele­ menten zum Antrieb der Vorrichtung (12) zur Reflexion und/oder der mindestens einen Handhabungseinrichtung (2) und/oder der mindestens einen Verstelleinrichtung und/oder des mindestens einen Fördermittels (22) andererseits in Verbindung stehen.

Ein wesentliches Merkmal der Datenverarbeitungseinrichtung kann beispielsweise darin bestehen, daß sie gegebenenfalls derart ausgestaltet ist, daß sie den in Pixel von der Meß­ vorrichtung (5) mitgeteilten Pixel-Abstand zwischen den Markierungen (13) auf der Vorrichtung (12) zur Reflexion einerseits und beispielsweise dem äußeren Umfang eines von dem Bauteilhalter (1) aufgenommenen elektronischen Bau­ teils (3) andererseits mittelbar oder unmittelbar in gege­ benenfalls mit einem Korrekturwert beaufschlagte Inkremen­ te für die diversen Antriebsformen umrechnet.

Die mindestens eine zentrale Datenverarbeitungseinrichtung kann beispielsweise mindestens einen programmierbaren Mi­ kroprozessor enthalten, welcher derart ausgebildet ist, daß er aus den von der Meßvorrichtung (5) eingehenden Meß­ signalen die Lage und/oder den Drehwinkel sowie den geome­ trischen Flächenschwerpunkt des zu bewegenden elektroni­ schen Bauteils (3) ermittelt, die Abweichungen des Aufset­ zortes der Aufnahmefläche des Bauteilhalters (1) auf dem elektronischen Bauelement (3) von dessen Fläschenschwer­ punkt bestimmt und ein diese Abweichungen kompensierendes Korrektursignal ermittelt und an die Antriebsmittel der Handhabungseinrichtung (2) und/oder der Verstelleinrich­ tung Stellgrößen übermittelt, welche zur Feinabstimmung mit den Korrektursignalen beaufschlagt sind. Die Stellgrö­ ßen sind vorzugsweise durch den Ort und die Lage des auf­ zunehmenden oder bereits aufgenommenen elektronischen Bau­ teils (3), den Ort und die Lage der elektrischen Kon­ takteinrichtung (8) sowie die Position und Lage des der jeweiligen Güteklasse entsprechenden Absetzortes bestimmt.

Außerdem kann der Mikroprozessor derart ausgestaltet sein, daß er beispielsweise in Abhängigkeit von der Position des Bauteilhalters (1) und/oder der Handhabungseinrichtung (2) und/oder der Handhabungseinrichtungs-Verstellvorrichtung Stellgrößen an den Antrieb der Vorrichtung (12) zur Refle­ xion abgibt. Die Ansteuerung des Antriebs der Vorrichtung (12) zur Reflexion erfolgt insbesondere derart, daß eine mechanische Beschädigung der Vorrichtung (12) zur Reflexi­ on durch den in Richtung der Kontakteinrichtung (8) ver­ fahrenden Bauteilhalter (1) mit Sicherheit ausgeschlossen ist.

In der Regel gibt der mindestens eine Mikroprozessor diese Stellgrößen derart an die Antriebsmittel der Handhabungs­ einrichtung (2) und der Verstelleinrichtung ab, daß das über den Bauteilhalter (1) aufgenommene elektronische Bau­ teil (3) zunächst mit einem für die Messung ausreichenden Anpreßdruck paßgenau mit der elektrischen Kontakteinrich­ tung (8) in Eingriff kommt und der mit dem elektronischen Bauteil (3) beladene Bauteilhalter (1), im Anschluß an die Messung, aus der horizontalen oder vertikal nach oben wei­ senden Meßstellung nach unten schwenkt und das elektroni­ sche Bauteil (3) in Abhängigkeit von dem Prüfergebnis sortiert nach Güteklassen auf dem mindestens einen abtrans­ portierenden Fördermittel (22) ablegt.

Bei der mindestens einen Meßvorrichtung (5) kann es sich beispielsweise um eine mechanische oder mindestens eine berührungslose optische, elektrische, kapazitive oder in­ duktive Meßvorrichtung handeln.

Sofern die Meßvorrichtung (5) in Form einer optischen Meß­ vorrichtung ausgebildet ist, umfaßt diese vorzugsweise ein besonders kostengünstiges, leichtes und einfach herzustel­ lenden entozentrisches Objektiv.

Selbstverständlich ist es jedoch möglich, anstelle eines entozentrischen Objektives ein sehr viel teureres telezen­ trisches Objektiv zu verwenden.

Das Blickfeld dieser Meßvorrichtung (5) ist im wesentli­ chen vollständig oder teilweise auf die Vorrichtung (12) zur Reflexion gerichtet. In der Regel steht die mindestens eine Meßvorrichtung (5) mit der Datenverarbeitungseinrich­ tung und über diese mit den Antriebselementen des Förder­ mittels (22) und/oder der Handhabungseinrichtung (2) und/oder der Verstelleinrichtung in Verbindung.

Zusammenfassend ist nun festzustellen, daß die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen bereitstellt, welche mit einem einzigen, besonders einfach und kostengünstig herzustel­ lenden und keine exakte Justage erfordernden Betrachtungs­ system sowohl die Betrachtung der Kontaktseite (4) der zu prüfenden elektronischen Bauteile als auch die Betrachtung der Kontaktseite (6) der Kontakteinrichtung erlaubt. Dies ist beispielsweise aufgrund der beidseitig schwenkba­ ren Aufhängung der Vorrichtung (12) zur Reflexion um eine handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) sowie um ei­ ne kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) möglich.

Bei der aus dem Stand der Technik bekannten Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen ist eine hochpräzise Ausrichtung der optischen Achse der Meßvorrichtung mit der optischen Mittenachse der Vorrich­ tung zur Reflexion erforderlich. Außerdem ist dort die ex­ akte Einhaltung eines vorgegebenen Abstandes der Meßvor­ richtung von der Reflexionsvorrichtung notwendig.

Im Falle der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum zielgerich­ teten Bewegen von elektronischen Bauteilen ist im scharfen Gegensatz hierzu eine exakte Ausrichtung der optischen Achse (23) der Meßvorrichtung (5) mit der optischen Mit­ tenachse (7) der Vorrichtung (12) zur Reflexion gerade nicht notwendig. Auch der Abstand der Meßvorrichtung (5) von der Vorrichtung (12) zur Reflexion ist im Falle der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur zielgerichteten Bewegung von elektronischen Bauteilen in einem sehr weiten Bereich variabel.

Denn dieser Abstand wird im wesentlichen nur dadurch be­ stimmt, daß die entsprechenden Markierungen bei geschwenk­ tem Spiegelstand scharf erkennbar sein sollten. Der einzu­ haltende Abstand ist somit größtenteils nur von dem je­ weils verwendeten Objektiv abhängig. Im Falle der erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen elek­ tronischer Bauteile ist also die Bereitstellung eines schweren und teuren Stativs zur exakt ortstreuen Fixierung der Meßvorrichtung (5) nicht erforderlich. Vielmehr reicht hier das einfache Scharfstellen des Objektivs der Meßvor­ richtung aus. Gegebenenfalls kann das Objektiv nach Scharfstellung durch einen Tropfen Klebstoff hinsichtlich der vorgenommenen Schärfeeinstellung fixiert werden.

Um die genaue Lage und Ausrichtung der Handhabungseinrich­ tung (2), des Bauteilhalters (1), des aufgenommenen elek­ tronischen Bauteils (3) oder der Kontakteinrichtung (8) in Bezug auf das vorrichtungsspezifische Koordinatensystem eindeutig bestimmen zu können, ist im Falle der erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung lediglich erforderlich, daß die Meßvorrichtung (5) zumindest einen Teil der auf der Vor­ richtung (12) zur Reflexion angebrachten Markierungen (13) und die virtuellen Abstände des zu begutachtenden Teils (elektronisches Bauteil (3), Bauteilhalter (1) oder Kon­ takteinrichtung (8)) von diesen Markierungen erfassen kann. Die Blickrichtung der Meßvorrichtung (5) spielt hierbei eine völlig untergeordnete Rolle und ist deshalb in dem weiten α-Winkelbereich von insgesamt etwa 60° va­ riabel.

Vorzugsweise ist das Blickfeld der Meßvorrichtung zumin­ dest jeweils auf die sechs Markierungen am jeweils freien Ende des Spiegels (20) und das dazwischenliegende Bild des zu begutachtenden Teils gerichtet.

Die ausgeprägte Unabhängigkeit von der Einhaltung einer exakten Montageposition der Meßvorrichtung (5) macht sich im. Falle der erfindungsgemäßen Vorrichtung insbesondere dann vorteilhaft bemerkbar, wenn die Vorrichtung Stößen von außen oder betriebsbedingten Vibrationen und Schwin­ gungen ausgesetzt ist.

Hierzu kommt es beispielsweise, wenn sich das Bedienungs­ personal an das Gehäuse lehnt oder wenn dynamische Bewe­ gungen stattfinden, beispielsweise in Form von durch Be­ schleunigungskräfte hervorgerufene Bewegungen des Positio­ nierungssystems. Aufgrund solcher Störungen erfährt dort die Spiegelhalterung eine störende Relativbewegung gegen­ über der Kamerahalterung.

Auch eine durch unterschiedliche Wäremausdehungskoeffizi­ enten bedingte Temperaturdrift zwischen der auf Raumtempe­ ratur gehaltenen Kamerahalterung und der bei hohen Tempe­ raturen innerhalb der Temperaturkammer vorgesehenen Spie­ gelaufhängung kann dort zu ungewollten und extrem stören­ den Änderung der Kameraposition führen.

Während die Vorrichtung des Standes der Technik bei der Einwirkung von äußerlichen Stößen, betriebsbedingten Vi­ brationen und Schwingungen oder bei dem Auftreten einer Temperaturdrift Fehlmessungen mit unnötig hohen Aus­ schußquoten erbringt und erhebliche Einbußen hinsichtlich der Beobachtungsgenauigkeit bis hin zum Verlust der Funk­ tionsfähigkeit erfährt, haben diese Einflüsse aufgrund des sehr großen Bereichs erlaubter Positionen der Meßvorrich­ tung (5) keine störenden Auswirkungen auf die Meßgenauig­ keit oder gar die Funktionstüchtigkeit der erfindungsgemä­ ßen Vorrichtung.

Daß im Falle der erfindungsgemäßen Vorrichtung auf die im Stand der Technik gefürchtete hochpräzise Justage der Meß­ vorrichtung (5) verzichtet werden kann, verkörpert darüber hinaus einen erheblichen Vorteil hinsichtlich der Herstel­ lungskosten, der Montage und des Wartungsaufwandes. So reicht bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung sogar eine besonders kostengünstige instabile Aufhängung für die die Vorrichtung (12) zur Reflexion teilweise oder vollständig betrachtende Meßvorrichtung (5) völlig aus.

Claims (20)

1. Vorrichtung zum zielgerichteten. Bewegen von elektroni­ schen Bauteilen, dadurch gekennzeichnet, daß sie umfaßt:
mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) zur Aufnahme, zum Schwenken, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3),
mindestens eine elektrische Kontakteinrichtung (8) zur Herstellung mindestens einer elektrisch leitenden Verbin­ dung zwischen mindestens einem auf seine Güte zu prüfenden elektronischen Bauteil (3) und einer der Kontakteinrich­ tung (8) nachgeschalteten Prüfeinrichtung
eine optische Achse (11), welche sich zwischen der Hand­ habungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) ho­ rizontal, vertikal oder schräg erstreckt,
eine, zwei, drei oder mehrere Vorrichtungen (12) zur Re­ flexion von Schall- oder Lichtwellen, welche in die opti­ sche Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) translatorisch und/oder ro­ tatorisch vollständig oder teilweise einschiebbar und/oder um eine kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) und eine handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) oder um eine mittige Drehachse (24) translatorisch und/oder rotatorisch einschwenkbar sind, wobei diese mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion die Kontaktseite (4) des zu prü­ fenden elektronischen Bauteils (3) einerseits und die Kon­ taktseite (6) der Kontakteinrichtung (8) andererseits und/oder die der Kontakteinrichtung (8) zugewandte Seite der Handhabungseinrichtung (2) vollständig oder teilweise in Richtung einer oder mehrerer außerhalb der zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) verlaufenden optischen Achse (11) vorgesehener Meßvorrich­ tungen (5) abbildet,
wobei das Meßfeld der mindestens einen Meßvorrichtung (5) die Vorrichtung (12) zur Reflexion vollständig oder teil­ weise erfaßt und
wobei die mindestens eine Meßvorrichtung (5) von der aus der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrich­ tung (2) und der Kontakteinrichtung (8) herausgeführten Vorrichtung (12) zur Reflexion im Bereich von 5 mm bis 50 cm starr oder veränderlich entfernt vorgesehen ist und
wobei die optische Achse (23) der mindestens einen Meßvor­ richtung (5) die optische Mittenachse (7) der Vorrichtung (12) zur Reflexion gegebenenfalls etwa in Höhe der opti­ schen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) starr oder veränderlich un­ ter einem Winkel α schneidet, welcher im Bereich von -30° bis +30° liegt und/oder wobei die optische Achse (23) der mindestens einen Meßvorrichtung (5) starr oder veränder­ lich im wesentlichen parallel zu der optischen Mittenachse (7) der Vorrichtung (12) zur Reflexion verläuft und/oder mit dieser im wesentlichen deckungsgleich ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (12) zur Reflexion von Licht- oder Schallwellen im wesentlichen in Form eines Spiegels (20) ausgebildet ist, welcher um eine kontakteinrichtungsseiti­ ge Drehachse (9) und um eine handhabungseinrichtungsseiti­ ge Drehachse (10) in die optische Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) schwenkbar gelagert ist, wobei mit diesem einen einzigen Spiegel (20) bei einer Drehung um die kontakteinrichtungs­ seitige Drehachse (9) in Richtung der zwischen der Handha­ bungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) ver­ laufenden optischen Achse (11) die Kontaktseite (4) des von der Handhabungseinrichtung (2) aufgenommenen Bauele­ mentes (3) und bei einer Drehung um die handhabungsein­ richtungsseitige Drehachse (10) in Richtung der optischen Achse (11) die bauelementwärtige Kontaktseite (6) der Kon­ takteinrichtung (8) in Richtung der mindestens einen Meß­ vorrichtung (5) abgebildet wird.

3. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (20) derart um die kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) und die handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) jeweils nach unten oder oben drehbar gelagert ist, daß eine Schwenkbarkeit des Spiegels (20) aus einer horizontalen Ausgangslage (0°) in die beiden Endpositionen von jeweils 45° gegeben ist, wobei der Spiegel (20) in seiner im we­ sentlichen horizontalen Ausgangslage außerhalb der opti­ schen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) und gegebenenfalls im we­ sentlichen parallel zu dieser optischen Achse (11) vorge­ sehen ist und zumindest in seinen jeweiligen 45°- Endpositionen vollständig oder teilweise in die optische Achse (11) hineinragt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (12) zur Reflexion von Licht- oder Schallwellen im wesentlichen in Form eines Spiegels (20) ausgebildet ist, welcher um seine mittige Drehachse (24) drehbar gelagert ist, wobei diese mittige Drehachse (24) so weit in Richtung der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) verstellbar ist, daß sich die Vorrichtung (12) zur Refle­ xion zumindest in ihren geschwenkten Endstellungen voll­ ständig oder teilweise in der optischen Achse (11) zwi­ schen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontaktein­ richtung (8) befindet, wobei mit diesem einen einzigen Spiegel (20) bei einer Drehung um die mittige Drehachse (24) in einer ersten Schwenkendstellung die Kontaktseite (4) des von der Handhabungseinrichtung (2) aufgenommenen Bauelementes (3) und bei einer Drehung um die mittige Drehachse (24) in eine entgegengesetzte Schwenkendstellung die bauelementwärtige Kontaktseite (6) der Kontakteinrich­ tung (8) in Richtung der mindestens einen Meßvorrichtung (5) abbildbar ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (20) derart um seine mittige Drehachse (24) drehbar gelagert ist, daß eine Schwenkbarkeit des Spiegels (20) aus einer horizontalen Ausgangslage (0°) in die beiden Endpositionen von jeweils 45° gegeben ist, wo­ bei der Spiegel (20) in seiner im wesentlichen horizonta­ len Ausgangslage außerhalb der optischen Achse (11) zwi­ schen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontaktein­ richtung (8) und gegebenenfalls im wesentlichen parallel zu dieser optischen Achse (11) vorgesehen ist und aufgrund einer Verschiebung seiner mittleren Drehachse (24) in Richtung der optischen Achse (11) sowie aufgrund einer teilweisen Rotation um die mittlere Drehachse (24) zumin­ dest in seinen jeweiligen 45°-Endpositionen vollständig oder teilweise in die optische Achse (11) hineinragt.

6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (12) zur Reflexion eine, zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, elf, zwölf oder mehrere über die mindestens eine Meßvorrichtung (5) vollständig oder teil­ weise wahrnehmbare Markierungen (13) aufweist zur Kali­ brierung sowie zur Bestimmung der Lage und/oder der Aus­ richtung der Handhabungseinrichtung (2), der von der Hand­ habungseinrichtung (2) aufgenommenen elektronischen Bau­ teile (3) sowie der Kontakteinrichtung (8) in Bezug auf ein vorrichtungsspezifisches Koordinatensystem, wobei die­ se Markierungen (13) dem Koordinatensystem der Vorrichtung eindeutig zugeordnet sind.

7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Markierungen (13) der Vorrichtung (12) zur Reflexion zumindest in den Randbereichen und/oder in den Eckbereichen der Vorrichtung (12) zur Reflexion vorgesehen sind.

8. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein erstes Paar (14) von Markierungen (13) auf der parallel und mittig zu den Drehachsen (9, 10) verlaufenden Mittenachse (15, 24) liegt, daß ein zweites Paar (16) von Markierungen (13) im kontakteinrichtungsseitigen Randbereich der Vorrichtung (12) zur Reflexion liegt und daß ein drittes Paar (17) von Markierungen (13) im handhabungseinrichtungsseitigen Rand­ bereich der Vorrichtung (12) zur Reflexion liegt, wobei der Abstand zwischen der Markierung (16) und der Markie­ rung (17) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion die Länge L aufweist und der Abstand zwischen den Markie­ rungen (16) und (14) sowie zwischen den Markierungen (14) und (17) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion jeweils L/2 beträgt und daß ein viertes Paar (18) von ge­ genüberliegenden Markierungen zwischen den Markierungen (16) und (14) sowie ein fünftes Paar (19) von gegenüber­ liegenden Markierungen zwischen den Markierungen (14) und (17) liegt, wobei der Abstand zwischen den Markierungen (18) und (16) sowie zwischen den Markierungen (18) und (14) einerseits und zwischen den Markierungen (19) und (14) sowie zwischen den Markierungen (19) und (17) ande­ rerseits jeweils L/4 beträgt.

9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand L zwi­ schen den Markierungen (17) und (16) derselben Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion im Bereich von 50 mm bis 200 mm liegt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Abstand L zwischen den Markierungen (17) und (16) derselben Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexi­ on im Bereich Ton 30 mm bis 150 mm liegt.

11. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand H zwischen den Markierungen (13) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion und den gegenüberliegenden Markierungen (13) der anderen, gegenüberliegenden Seite der Vorrichtung (12) größer als der Abstand L/2 ist und im Bereich von 51 mm bis 500 mm liegt.

12. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Handha­ bungseinrichtung (2) mindestens einen Bauteilhalter (1) in Form mindestens eines Greifers oder Saugers aufweist, wel­ cher um mindestens 90° oder 180° um eine parallel zur Kon­ taktierungsebene verlaufende Drehachse (21) schwenkbar ist, so daß die Bauteil-Aufnahmefläche des Bauteilhalters (1) im wesentlichen parallel zur Kontaktseite (6) der elektrischen Kontakteinrichtung (8) ausrichtbar ist.

13. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) zur Aufnahme, zum Schwen­ ken, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder ent­ lang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3) über eine Verstelleinrichtung entlang und/oder um die x- und/oder y- und/oder z-Achse verstellbar ist.

14. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Verstelleinrichtung zur Verstellung der Handhabungs­ einrichtung (2) im wesentlichen umfaßt:
zwei zueinander parallel und voneinander zumindest etwas beabstandete Führungsschienen,
einen rechtwinklig zur Längsachse der Führungs­ schienen sich erstreckenden Querträger, welcher längs­ verschiebbar auf den Führungsschienen gelagert ist, wobei stirnseitig in Richtung der elektrischen Kon­ takteinrichtung (8) auf dem Querträger eine Vielzahl von Handhabungseinrichtungen (2) entlang der x-Achse und/ oder der y-Achse und/oder der z-Achse verschiebbar und/ oder schwenkbar angebracht sind, wobei diese Verschie­ bungen oder Verschwenkungen der Handhabungseinrichtungen (2) um gleiche oder unterschiedliche Achsen abhängig oder unabhängig voneinander vornehmbar sind.

15. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Tempe­ raturkammer umfaßt, innerhalb welcher zumindest ein Ab­ schnitt eines Fördermittels (22), eine elektrische Kon­ takteinrichtung (8), eine Vorrichtung (12) zur Reflexion sowie mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) zur Auf­ nahme, zum Schwenken, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen vor mindestens einem elektronischen Bau­ teil (3) vorgesehen sind, wobei die mindestens eine Meß­ vorrichtung (5) und die Antriebsmittel zur Bewegung des mindestens einen Fördermittels und/oder der mindestens ei­ nen Handhabungseinrichtung (2) und/oder der mindestens ei­ nen Verstelleinrichtung außerhalb der Temperaturkammer vorgesehen sind.

16. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie mindestens ein Fördermittel (22) zur Anlieferung elektronischer Bau­ teile (3) in die oder aus der Temperaturkammer umfaßt.

17. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine zen­ trale Datenverarbeitungseinrichtung umfaßt, welche minde­ stens mit einer Meßvorrichtung (5) sowie mit einer der elektrischen Kontakteinrichtung (8) nachgeschalteten Prü­ feinrichtung einerseits und den Antriebselementen zum An­ trieb der Vorrichtung (12) zur Reflexion und/oder der min­ destens einen Handhabungseinrichtung (2) und/oder der min­ destens einen Verstelleinrichtung und/oder des mindestens einen Fördermittels (22) andererseits in Verbindung steht.

18. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine zentrale Datenverarbeitungseinrichtung mindestens ei­ nen programmierbaren Mikroprozessor enthält, welcher der­ art ausgebildet ist, daß er den Antrieb der Vorrichtung (12) zur Reflexion nur dann in eine Einschwenkposition steuert, wenn die zumindest teilweise zurückgefahrene Handhabungseinrichtung (2) den für das Einschwenken erfor­ derlichen Raum läßt, und welcher ferner derart ausgestal­ tet ist, daß er aus den von der Meßvorrichtung (5) einge­ henden Meßsignalen die Lage und/oder den Drehwinkel sowie den geometrischen Flächenschwerpunkt des zu bewegenden elektronischen Bauteils (3) ermittelt, die Abweichungen des Aufsetzortes der Aufnahmefläche des Bauteilhalters (1) auf dem elektronischen Bauelement (3) von dessen Flächen­ schwerpunkt bestimmt und ein diese Abweichungen kompensie­ rendes Korrektursignal ermittelt und an die Antriebsmittel der Handhabungseinrichtung (2) und/oder der Verstellein­ richtung Stellgrößen übermittelt, welche zur Feinabstim­ mung mit den Korrektursignalen beaufschlagt sind, wobei diese Stellgrößen grundsätzlich durch den Ort und die Lage des aufzunehmenden oder aufgenommenen elektronischen Bauteils (3), den Ort und die Lage der elektrischen Kon­ takteinrichtung (8) sowie die Position und Lage des der jeweiligen Güteklasse entsprechenden Absetzortes bestimmt sind und wobei der mindestens eine Mikroprozessor diese Stellgrößen derart an die Antriebsmittel der Handhabungs­ einrichtung (2) und der Verstelleinrichtung ausgibt, daß das über den Bauteilhalter (1) aufgenommene elektronische Bauteil (3) zunächst mit einem für die Messung ausreichen­ den Anpreßdruck paßgenau mit der elektrischen Kontaktein­ richtung (8) in Eingriff kommt und der mit dem elektroni­ schen Bauteil (3) beladene Bauteilhalter (1), im Anschluß an die Messung, aus der horizontalen oder vertikal nach oben weisenden Meßstellung nach unten schwenkt und das elektronische Bauteil (3) in Abhängigkeit von dem Prüfer­ gebnis sortiert nach Güteklassen auf dem mindestens einen abtransportierenden Fördermittel (22) ablegt.

19. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Meßvorrichtung (5) mindestens eine mechanische oder mindestens eine berührungslose optische, elektrische, ka­ pazitive oder induktive Meßvorrichtung ist, deren Blick­ feld im wesentlichen vollständig oder teilweise auf die Vorrichtung (12) zur Reflexion gerichtet ist, wobei die mindestens eine Meßvorrichtung (5) mit der Datenverarbei­ tungseinrichtung und über diese mit den Antriebselementen der Vorrichtung (12) zur Reflexion und/oder des mindestens einen Fördermittels (22) und/oder der Handhabungseinrich­ tung (2) und/oder der Verstelleinrichtung in Verbindung steht.

20. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßvorrich­ tung (5) eine optische Meßvorrichtung mit einem entozen­ trischen Objektiv oder mit einem telezentrischen Objektiv ist.