JPH01100437U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01100437U JPH01100437U JP19559287U JP19559287U JPH01100437U JP H01100437 U JPH01100437 U JP H01100437U JP 19559287 U JP19559287 U JP 19559287U JP 19559287 U JP19559287 U JP 19559287U JP H01100437 U JPH01100437 U JP H01100437U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- suction nozzle
- rotating
- nozzle holder
- bonding apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の要部切り欠き断面
図、第２図は従来のダイボンデイング装置の断面
図である。 １……吸着ノズル、２……ノズルホルダ、３…
…真空パイプ、４……ボンデイングアーム、５…
…回転止め、６……回転軸、７……センサ、８…
…回転円板、９……プーリ、１０……半導体ペレ
ツト、１１……ベルト、１２……ステツピングモ
ータ。
図、第２図は従来のダイボンデイング装置の断面
図である。 １……吸着ノズル、２……ノズルホルダ、３…
…真空パイプ、４……ボンデイングアーム、５…
…回転止め、６……回転軸、７……センサ、８…
…回転円板、９……プーリ、１０……半導体ペレ
ツト、１１……ベルト、１２……ステツピングモ
ータ。
Claims (1)
- 半導体ペレツトを真空吸着する吸着ノズルと、
該吸着ノズルを保持するノズルホルダと、該ノズ
ルホルダを回転させるための回転手段とを含むこ
とを特徴とするダイボンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19559287U JPH01100437U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19559287U JPH01100437U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01100437U true JPH01100437U (ja) | 1989-07-05 |
Family
ID=31486264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19559287U Pending JPH01100437U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01100437U (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5091265A (ja) * | 1973-12-12 | 1975-07-21 | ||
| JPS5763836A (en) * | 1980-10-04 | 1982-04-17 | Shinkawa Ltd | Die bonding apparatus |
| JPS60183733A (ja) * | 1984-03-01 | 1985-09-19 | Toshiba Corp | ダイボンデイング装置 |
| JPS6153933B2 (ja) * | 1980-07-31 | 1986-11-20 | Mitsui Petrochemical Ind | |
| JPS62155530A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-10 | Toshiba Corp | ダイボンデイング装置 |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP19559287U patent/JPH01100437U/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5091265A (ja) * | 1973-12-12 | 1975-07-21 | ||
| JPS6153933B2 (ja) * | 1980-07-31 | 1986-11-20 | Mitsui Petrochemical Ind | |
| JPS5763836A (en) * | 1980-10-04 | 1982-04-17 | Shinkawa Ltd | Die bonding apparatus |
| JPS60183733A (ja) * | 1984-03-01 | 1985-09-19 | Toshiba Corp | ダイボンデイング装置 |
| JPS62155530A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-10 | Toshiba Corp | ダイボンデイング装置 |