JPH0199837U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0199837U JPH0199837U JP19276687U JP19276687U JPH0199837U JP H0199837 U JPH0199837 U JP H0199837U JP 19276687 U JP19276687 U JP 19276687U JP 19276687 U JP19276687 U JP 19276687U JP H0199837 U JPH0199837 U JP H0199837U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- chuck
- holding
- rotating
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の一実施例を示す平
面図とＢ―Ｂ′断面図、Ｃ―Ｃ′断面図である。
また、第３図は、従来のチヤツクに基板保持部を
設けた場合の平面図とそのＤ―Ｄ′断面図を示す
図である。 １……基板、２，２′……Ｏリング、３，３′
……真空吸引口、４……基板保持部、５，５′…
…そり逃げ用傾斜部、１０……チヤツク。
面図とＢ―Ｂ′断面図、Ｃ―Ｃ′断面図である。
また、第３図は、従来のチヤツクに基板保持部を
設けた場合の平面図とそのＤ―Ｄ′断面図を示す
図である。 １……基板、２，２′……Ｏリング、３，３′
……真空吸引口、４……基板保持部、５，５′…
…そり逃げ用傾斜部、１０……チヤツク。
Claims (1)
- 基板を保持し、水平面内で回転させる回転機構
を持つ、チヤツクにおいて、前記基板のそり逃げ
用傾斜部を設けたことを特徴とするチヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19276687U JPH0199837U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19276687U JPH0199837U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0199837U true JPH0199837U (ja) | 1989-07-04 |
Family
ID=31483606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19276687U Pending JPH0199837U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0199837U (ja) |
-
1987
- 1987-12-21 JP JP19276687U patent/JPH0199837U/ja active Pending