JPS6263930U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6263930U JPS6263930U JP15571085U JP15571085U JPS6263930U JP S6263930 U JPS6263930 U JP S6263930U JP 15571085 U JP15571085 U JP 15571085U JP 15571085 U JP15571085 U JP 15571085U JP S6263930 U JPS6263930 U JP S6263930U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water container
- rotating shaft
- semiconductor wafer
- rotor
- container
- Prior art date
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- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
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Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のウエハ乾燥装置の
要部を示す部分断面図、第２図は従来のウエハ乾
燥装置の概要を示す断面図、第３図は第１図の装
置の概要を示す断面図、第４図は第１図の装置に
おける塵埃吸入用のカツプを示す斜視図である。 １：ワーク、３：ロータ、４：水受け容器、５
：回転軸、８ａ：Ｏリング、１４：カツプ、１４
ａ：挿通孔、１５：吸引パイプ。
要部を示す部分断面図、第２図は従来のウエハ乾
燥装置の概要を示す断面図、第３図は第１図の装
置の概要を示す断面図、第４図は第１図の装置に
おける塵埃吸入用のカツプを示す斜視図である。 １：ワーク、３：ロータ、４：水受け容器、５
：回転軸、８ａ：Ｏリング、１４：カツプ、１４
ａ：挿通孔、１５：吸引パイプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエハを保持自在なロータ３を水受け容
器４内に回転自在に設け、該ロータを回転させる
回転軸５を前記水受け容器４に貫装してなる半導
体ウエハ乾燥装置において、 前記回転軸５が挿通される開孔１４ａを備え且
つ前記回転軸５の貫装部を被包する中空材１４を
前記水受け容器４の内面に固設し、 該中空材１４の内部を前記水受け容器４の外部
に吸引する吸引機構を付設したことを特徴とする
半導体ウエハ乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15571085U JPS6263930U (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15571085U JPS6263930U (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263930U true JPS6263930U (ja) | 1987-04-21 |
Family
ID=31076655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15571085U Pending JPS6263930U (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6263930U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62182539U (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-19 |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP15571085U patent/JPS6263930U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62182539U (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-19 |