JPS62138537U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62138537U JPS62138537U JP2450086U JP2450086U JPS62138537U JP S62138537 U JPS62138537 U JP S62138537U JP 2450086 U JP2450086 U JP 2450086U JP 2450086 U JP2450086 U JP 2450086U JP S62138537 U JPS62138537 U JP S62138537U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixture
- flat plate
- rotates
- vacuum generator
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の縦断面図、第２図
は第１図のＡ―Ａ線断面図、第３図は従来の平板
吸着用スピンナー装置の縦断面図である。 １１…ウエハー、１２…真空発生装置、１３…
固定具、１４…モータ、１５…チユーブ、１６…
シヤフト、１７…Ｏリング、１９…ノズル部、２
０…エゼクト部。
は第１図のＡ―Ａ線断面図、第３図は従来の平板
吸着用スピンナー装置の縦断面図である。 １１…ウエハー、１２…真空発生装置、１３…
固定具、１４…モータ、１５…チユーブ、１６…
シヤフト、１７…Ｏリング、１９…ノズル部、２
０…エゼクト部。
Claims (1)
- 平板が載置され、且つこの平板を高速回転させ
る固定具と、該固定具と連動して回転し、回転方
向に向つて開口すると共に、その開口大きさが奥
に行くに従つて狭くなり、その奥端部で低圧を発
生する真空発生装置と、該真空発生装置と固定具
の吸着面とを連通させる連通孔とを備えたことを
特徴とする平板吸着用スピンナー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2450086U JPS62138537U (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2450086U JPS62138537U (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62138537U true JPS62138537U (ja) | 1987-09-01 |
Family
ID=30823787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2450086U Pending JPS62138537U (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62138537U (ja) |
-
1986
- 1986-02-24 JP JP2450086U patent/JPS62138537U/ja active Pending