JPS6013443B2 - 被測定物の高さ測定装置 - Google Patents

被測定物の高さ測定装置

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JPS6013443B2
JPS6013443B2 JP53110599A JP11059978A JPS6013443B2 JP S6013443 B2 JPS6013443 B2 JP S6013443B2 JP 53110599 A JP53110599 A JP 53110599A JP 11059978 A JP11059978 A JP 11059978A JP S6013443 B2 JPS6013443 B2 JP S6013443B2
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    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2433—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring outlines by shadow casting
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0608—Height gauges

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、円柱あるいは楕円柱状等の製品の外形形状を
非接触状態で迅速かつ精度よく測定することができる外
形形状の測定装置に関するものである。
従来、例えば円柱あるいは楕円柱状の製品の外形形状の
測定には、寸法公差を加味した限界ゲージを作成し、そ
の限界ゲージに製品を当接して寸法を測定したり、ある
いは接触針を製品表面に接触させて寸法を測定したりす
る装置等が知られている。
しかしながら、これらのいずれの装置も製品に直接限界
ゲージあるいは接触針等が接触するものであるので、例
えば肉薄のセラミックハニカム等の脆弱製品の測定には
不向きなものであった。本発明の被測定物体の高さ測定
装置は、従来のこのような測定装置の欠点を全て解決し
たもので、円柱あるいは楕円柱状等の製品の高さを、非
接触状態で迅速かつ精度よく測定することができる測定
装置であり、被測定物を載層して回転するターンテーブ
ルと、該ターンテーブルの回転角度を検出し回転角度信
号をつくるロータリェンコーダと、前記ターンテーブル
の上に戦置された被測定物の綾辺部の被測定個所に光東
を高さ方向に角度をつけて照射する光源と、前記光源と
同じ側面に設けられその被測定個所の光陵をレンズを通
してィ／メージセンサ上に写し出し標準物体の高さ日と
被測定物体の高さＨ′とを検出する光像器と、前記光像
器のイメージセンサよりの高さの差△ｈを表す信号およ
びロータリェンコーダよりの回転角度信号８ならびに予
め記憶回路に記憶された標準物体の形状に対応する標準
信号を演算処理する演算機と、所定の真の形状をもった
標準物体に対応した標準信号を供給するよう演算機に接
続した記憶回路と、被測定物の位置と光像器との間の距
離】を検出するしーザー測長磯と、被検物体の光像が光
像器のイメージセンサ上に結像するように前記測定距離
１によりその光軸方向に光像器の位置を調節するサーボ
モータとより少なくとも成り、被測定物を回転しながら
光東を照射してその被測定物体の高さＨ′を前記標準物
体の高さ日と比較し被測定物の高さの差△ｈを測定する
被測定物の高さ測定装置である。
本発明の更に詳しい礎成を、一具体例を示す第１図に基
づいて説明すれば、被測定物体１を定位畳において回転
するためのターンテーブル２が設けられ、該ターンテー
ブル２上には被測定物体１をターンテーブル２のほぼ中
央に戦層するためのガイド板３が設けられている。
更にターンテーブル２の回転軸４には、ターンテーブル
２の回転角度８を検出するロ−タリェンコーダ５が直結
して設けられている。そしてターンテーブル２上の被測
定物体の側方に、被測定物体１の被測定個所すなわち穣
辺部６に光東を照射するランプ等の光源７が設置され、
被測定物体１の真の形状をもった標準物体の高さ日の水
平線状に、前記被測定物体１の稜辺部６の光像をレンズ
８を通してイメージセンサ９上に写し出す光像器１０が
前記光源７と同じ側面に設置されている。なお、被測定
物体１が例えば楕円柱状の場合には、綾辺部６としンズ
８との距離が被測定物体１が１回転する間に大きく変化
するので、光像器１０を固定するとイメージセンサ９上
の結像が検知部の長さをはみ出し、鮮明な光像を写し出
すことができず、正確な測定値が得られない。
このような場合には、例えば被測定物体１の穣辺部６の
位置変化に応じてサーボモータ１１および送りネジ１２
等よりなる移動機構により、光像器１０を前後に移動し
て、レンズ８と被測定物体１の被測定個所との距離１を
測定中ほぼ一定に調節する。こうしてイメージセンサ９
よりの測定値ｈ′に対応した信号およびロータリェンコ
ーダ５よりの回転角度のこ対応した信号をそれぞれ演算
機１３に入力し、前もって演算機１３の記憶回路に記憶
されている真の形状をもった標準物体の高さに対応する
信号とを演算機１３で演算処理して、被測定物体１の高
さを測定する高さ測定装置である。なお、本発明におい
てはイメージセンサの検出部に長さの制限があり、精度
を向上させようとすると測定長さに制限（即ち被測定物
体の高さに制限）が生ずる。つまり、標準物体と被測定
物体との相対差△ｈで測定する必要性が生じる。従って
、標準物体と同じ高さの基準円柱を夕−ンテーブル２上
に載遣し１回転して得られた第３図の測定曲線ａの平均
値Ｍと標準物体高さ日を次の式で表す。
Ｈ＝Ｍ＋Ｃ 但しＣは補正値である。
被測定物の測定データｍのうち、角度８での測定値をｈ
′とすれば、△ｈ＝Ｍ一日 ＝（Ｍ＋Ｃ）−（ｈ′十Ｃ） ＝日一日′ 但しＨ′は角度８における被測定物体の高さである。
即ち、△ｈは標準物体の高さ日と被測定物体の高さＨ′
の差として表わされる。
この物体の高さの差分△ｈと角度ひとの関係は第２図に
示す通りである。
本発明は以上述べたような構成より成るものであるので
、例えば円柱形状の被測定物体１を夕−ンテープル２上
に敷遣し、光源７よりの光東を被測定個所すなわち稜辺
部６に照射して、その綾辺部６の光像をレンズ８を通し
てイメージセンサ９上に写すとき、イメージセンサ９に
は被測定物体１の真の形状をもった標準物体の高さ日と
被測定物体の高さＨ′との差△ｈに対応した出力データ
が出される。
従ってターンテーブル２の回転軸４をゆっくり回転し、
回転角度ａをロータリェンコーダ５で検出しながらィメ
−ジセンサ９上の光像を測定すると、第２図の曲線に示
すような値が得られる。なお、演算機１３には前もって
真の形状すなわち標準物体の高さ日に対応する信号（０
）および寸法公差＋△日と−△日に対応する信号ならび
に上下面の平行度の公差等を記憶回路に記憶させておく
。そしてイメージセンサ９によりの信号およびロータリ
ェンコーダ５よりの信号と、前記記憶回路に記憶された
信号より寸法形状を比較演算処理する。この演算機１３
における演算処理は、例えば第２図に示すように角度に
対応した△ｈ全てが公差＋△日から−△日の範囲内にあ
るかどうかを比較演算するとともに、△ｈの最大値と最
４・値の差ｈが平行度の公差の範囲内にあるかどうかを
比較演算処理する。
そして求められた値を必要により表示記録するものであ
る。なお、前記具体例は円柱状の被測定物について述べ
たが、円柱状以外に楕円柱状、あるいは連続的に凸な面
形状等についても、全く同様に検出測定することができ
るのである。
上記の説明をフローチャートで示すと第５図及び第６図
の通りである。
上述の様にイメージセンサの検出部に長さ制限があり被
測定物体の全長を精度良く測定できない。従って被測定
物の上部端面部分のみの測定となる。これにより得られ
るイメージセンサからの検出データ出力（上部端面部分
の長さｈ′（８））は第３図のｍ曲線になる。
一方回転角度検出器より求められた角度進角８と同期化
させ各角度に対応する長さデータの形にする。
これより任意の角度８での検出長さｈ′を、予め基準円
柱を測定して得られる第３図のａ曲線（基準円柱上部端
面部の長さ）の平均値Ｍと比較演算をする。
（△ｈ＝Ｍ−ｈ′）尚、ここで基準円柱を使用した理由
はターンテーブルの中心に正確に物体を設置する事は難
しくかつ戦層した場合の被測定物体とサーボ系の応答遅
れの影響が少ない円形形状で精度良く高さを測定するた
めである。
第４図において、１４Ａはしーザ−側長機のレーザ走査
投光器であって、１４８は同レーザ受光器、光源と物体
との間の間隔１をレーザービームを用いて正確に側長し
、この間隔１が一定のときはサーボモータ１１が停止し
ているが、頚。
長機の出力が一定間隔ｉより△１だけ変化すると、サ−
ボモーター１１が作動し、間隔が一定の長さ１に補正す
るよう回転する。このため第１図に示す送りネジ１２が
回転し光源１０の位贋が前後に移動し、測定中光源と物
体との間隔１をほぼ一定に保つことができる。本発明は
以上述べたとおり、被測定物に非鞍触状態でその被測定
物の高さを精度よく測定することができるので、円柱あ
るいは楕円柱状等のセラミックハニカム等の破壊しやす
い物品の外形形状の測定に適しており、しかも１個当り
の測定時間が２〜３秒間程度と非常に短時間に測定でき
るので、例えばセラミックハニカム構造体等の高さの測
定に利用できるものであり、産業上極めて有用な測定装
置である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の外形形状測定装置の一具体例を示す説
明図、第２図は被測定物の角度に対する実測値を示す説
明図、第３図は予め高さの求められた基準円柱をターン
テーブル上で１回転して得られた測定曲線を表す図面、
第４図は本発明に使用するレーザー側長機の使用状態を
示す平面図、第５図は本発明に使用する演算機における
高さの差△ｈを求めるフローチャートの一例を示す図面
、第６図は本発明において使用する演算機における間隔
変化（△１）の補正信号を求めるフローチャートの一例
を示す図面である。 １・・・・・・被測定物体、２・・・・・・ターンテー
ブル、３・・・・・・ガイド板、４・・・・・・回転軸
、５・・・・・・ロータリェンコーダ、６・・・・・・
綾辺部、７・・・・・・光源、８・・・・・・レンズ、
９……イメージセンサ、１０……光機器、１１……サー
ボモータ、１２……送りネジ、１３・・…・演算機、１
４・・・・・・レーザー側長機、日・・・・・・真の形
状すなわち設計値の高さ、１・・・・・・被測定物の被
測定個所としンズとの距離、△ｈ・・・・・・測定値（
標準物体高さとの差）、△日・・・・・・寸法公差、ｈ
・・・・・・最大測定値と最低測定値の差。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 被測定物を載置して回転するターンテーブル１と、
    該ターンテーブルの回転角度を検出し回転角度信号をつ
    くるロータリエンコーダ５と、前記ターンテーブル上に
    載置された被測定物の陵辺部の被測定個所に光束を高さ
    方向に角度をつけて照射する光源７と、前記光源と同じ
    側面に設けられその被測定個所の光像をレンズを通して
    イメージセンサ９上に写し出し標準物体の高さＨと被測
    定物体の高さＨ′との差Δｈを検出する光像器１０と、
    前記光像器のイメージセンサよりの高さの差Δｈを表す
    信号およびロータリエンコーダよりの回転角度信号なら
    びに予め記憶回路に記憶された真の形状をもつた標準物
    体に対応する標準信号を演算処理する演算機１３と、所
    定の形状をもつた標準物体に対応した標準信号を供給す
    るよう演算機に接続した記録回路１５と、被測定物の位
    置と光像器との間の距離１を検出するレーザー測長機１
    ４と、被検出物体の光像が光像器のイメージセンサ上に
    結像するように前記測定距離１によりその光軸方向に光
    像器の位置を調節するサーボモータ１１とより少なくと
    もなり、被測定物を回転しながら光束を照射してその被
    測定物体の高さＨ′を前記標準物体の高さＨと比較して
    被測定物の高さの差Δｈを測定するよう構成したことを
    特徴とする被測定物の高さ測定装置。
JP53110599A 1978-09-11 1978-09-11 被測定物の高さ測定装置 Expired JPS6013443B2 (ja)

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US06/048,735 US4297034A (en) 1978-09-11 1979-06-15 Apparatus for measuring contour configuration of articles
CA330,109A CA1122324A (en) 1978-09-11 1979-06-19 Apparatus for measuring contour configuration of articles
SE7905376A SE442448B (sv) 1978-09-11 1979-06-19 Apparat for metning av konturformen hos foremal
DE2926168A DE2926168C2 (de) 1978-09-11 1979-06-28 Vorrichtung zur Messung der Umfangsausbildung eines Gegenstandes
GB7925433A GB2031144B (en) 1978-09-11 1979-07-20 Apparatus for measuring the contor configuration of articles
FR7921715A FR2435697B1 (fr) 1978-09-11 1979-08-29 Appareil pour mesurer le contour d'un objet
CH788579A CH639194A5 (de) 1978-09-11 1979-08-30 Vorrichtung zum beruehrungslosen messen der konturform von gegenstaenden.

Applications Claiming Priority (1)

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JPS5537918A JPS5537918A (en) 1980-03-17
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05172687A (ja) * 1991-12-26 1993-07-09 Nikkiso Co Ltd リーク箇所検出方法

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3033260A1 (de) * 1979-09-07 1981-03-26 Diffracto Ltd., Windsor, Ontario Vorrichtung und verfahren zum kontrollieren von werkstuecken
JPS56115904A (en) * 1980-02-19 1981-09-11 Unitika Ltd Automatic measuring method for size of human body and device therefor
US4465937A (en) * 1981-10-22 1984-08-14 Forbes James A Apparatus for optically scanning an object
EP0081376A3 (en) * 1981-12-09 1984-08-29 Gkn Technology Limited Crankshaft centring
IT1163129B (it) * 1983-03-02 1987-04-08 Carboloy Spa Metodo e apparecchiatura per il controllo dimensionale di corpi solidi
DE3410149A1 (de) * 1984-03-20 1985-10-03 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn Optisches messgeraet
US4737032A (en) * 1985-08-26 1988-04-12 Cyberware Laboratory, Inc. Surface mensuration sensor
US4849643A (en) * 1987-09-18 1989-07-18 Eaton Leonard Technologies Optical probe with overlapping detection fields
US4880991A (en) * 1987-11-09 1989-11-14 Industrial Technology Institute Non-contact dimensional gage for turned parts
US5008555A (en) * 1988-04-08 1991-04-16 Eaton Leonard Technologies, Inc. Optical probe with overlapping detection fields
US5233201A (en) * 1989-05-26 1993-08-03 Ann Koo First American Building System for measuring radii of curvatures
US5118955A (en) * 1989-05-26 1992-06-02 Ann Koo Film stress measurement system having first and second stage means
US5270560A (en) * 1989-05-26 1993-12-14 Ann F. Koo Method and apparatus for measuring workpiece surface topography
US5369286A (en) * 1989-05-26 1994-11-29 Ann F. Koo Method and apparatus for measuring stress in a film applied to surface of a workpiece
US5247153A (en) * 1989-10-05 1993-09-21 Lsi Logic Corporation Method and apparatus for in-situ deformation of a surface, especially a non-planar optical surface
DE4019866A1 (de) * 1990-06-22 1992-01-02 Wernicke & Co Gmbh Verfahren und vorrichtung zum abtasten und speichern der daten einer oeffnung eines brillengestells oder einer schablone
DE4201385A1 (de) * 1992-01-21 1993-07-22 Peter Dipl Ing Renner Optisches messsystem
US5523582A (en) * 1992-04-30 1996-06-04 Ann F. Koo Method and apparatus for measuring the curvature of wafers with a laser source selecting device
US5428449A (en) * 1993-06-17 1995-06-27 Ivaco Rolling Mills Limited Partnership Cross-sectional area measuring machine
US5546179A (en) * 1994-10-07 1996-08-13 Cheng; David Method and apparatus for mapping the edge and other characteristics of a workpiece
US6044170A (en) * 1996-03-21 2000-03-28 Real-Time Geometry Corporation System and method for rapid shape digitizing and adaptive mesh generation
DE19615699C2 (de) * 1996-04-19 1999-09-30 Conrad Electronic Gmbh Abtastvorrichtung zur Abtastung der Kontur eines Objekts
US5991437A (en) * 1996-07-12 1999-11-23 Real-Time Geometry Corporation Modular digital audio system having individualized functional modules
US5870220A (en) * 1996-07-12 1999-02-09 Real-Time Geometry Corporation Portable 3-D scanning system and method for rapid shape digitizing and adaptive mesh generation
US5982479A (en) * 1997-02-14 1999-11-09 Medar, Inc. Method for calibrating a tilt inspection system and reference disk assembly for use therein
US5815255A (en) * 1997-02-14 1998-09-29 Medar, Inc. Method and system for measuring deflection angle of a beam of light reflected from a disk to determine tilt of the disk
AU3991799A (en) 1998-05-14 1999-11-29 Metacreations Corporation Structured-light, triangulation-based three-dimensional digitizer
US7065242B2 (en) * 2000-03-28 2006-06-20 Viewpoint Corporation System and method of three-dimensional image capture and modeling
US6970590B2 (en) * 2002-03-28 2005-11-29 General Electric Company Side lit, 3D edge location method
US7343690B2 (en) 2003-11-28 2008-03-18 Ngk Insulators, Ltd. Shape-measuring device
US7978346B1 (en) * 2009-02-18 2011-07-12 University Of Central Florida Research Foundation, Inc. Methods and systems for realizing high resolution three-dimensional optical imaging
FR2985306B1 (fr) * 2011-12-29 2018-06-15 Vallourec Oil And Gas France Dispositif de mesure d'un profil interne ou externe d'un composant tubulaire
FR3067105A1 (fr) * 2017-06-01 2018-12-07 Peugeot Citroen Automobiles Sa Appareil de controle du profil d’une lame d’un dispositif de sertissage
CN109932367A (zh) * 2019-03-14 2019-06-25 佛山缔乐视觉科技有限公司 一种曲面雕刻图像采集装置
CN111208523B (zh) * 2020-01-19 2021-12-14 石家庄铁道大学 一种空间动态角度的测量方法及测量装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB480042A (en) * 1936-12-14 1938-02-16 Joseph Raymond Desch Improvements in or relating to light-sensitive apparatus for measuring objects
GB963842A (en) * 1960-08-05 1964-07-15 Ass Eng Ltd Optical gauging system
US3216311A (en) * 1961-03-29 1965-11-09 Bulova Res And Dev Lab Inc Non-contacting object measuring apparatus
GB1337741A (en) * 1970-06-09 1973-11-21 Vickers Ltd Testing reflecting surfaces
GB1361601A (en) * 1971-06-24 1974-07-30 North Atlantic Research Produc Automatic inspection or gauging systems
DE2448219A1 (de) * 1974-10-09 1976-04-22 Siemens Ag Verfahren zur automatischen beruehrungslosen hoehenmessung sich bewegender schaufeln von turbinen
GB1469240A (en) * 1974-11-26 1977-04-06 Lyons & Co Ltd J Detecting the pressure in containers
DE2513389C2 (de) * 1975-03-26 1982-11-11 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8000 München Einrichtung für die berührungslose Überprüfung und Bestimmung der Abmessungen und Form von großen Werkstücken
GB1504537A (en) * 1975-06-12 1978-03-22 Secretary Industry Brit Automatic inspection of machined parts
US4064534A (en) * 1976-04-20 1977-12-20 Leone International Sales Corporation System for monitoring the production of items which are initially difficult to physically inspect
US4122525A (en) * 1976-07-12 1978-10-24 Eaton-Leonard Corporation Method and apparatus for profile scanning

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05172687A (ja) * 1991-12-26 1993-07-09 Nikkiso Co Ltd リーク箇所検出方法

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