DE3410149A1 - Optisches messgeraet - Google Patents

Optisches messgeraet

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DE3410149A1
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Germany
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sensor
reflex
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optical measuring
light
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DE19843410149
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Karl Dipl.-Ing. Feutlinske
Theodor Prof. Dr.-Ing.-habil. 1000 Berlin Gast
Rainer Dipl.-Ing. 8905 Mering Mitsching
Heinz Dipl.-Ing. 8901 Königsbrunn Nennstiel
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Airbus Defence and Space GmbH
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Messerschmitt Bolkow Blohm AG
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    • G01B11/08Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
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Description

  • Optisches Meßgerät
  • Die Erfindung bezieht sich auf ein optisches Meßgerät nach dem Oberbegriff des Patentanspruchsl bzw. 7.
  • Bekannte Meßgeräte dieser Art, wie sie zur berlhrungsfreien Vermessung geometrischer Qualitätsmerkmale von bewegten Werkstücken Verwendung finden, arbeiten entweder nach der Reflex-oder der Schattenbildmethode in der Weise, daß die empfangene Lichtintensität an Hand einer Meßkennlinie zu einer analogen, werkstückbezogenen Maßangabe verarbeitet wird. So ist es bekannt, die Ablage von Strichmarkierungen oder Hell/Dunkelgrenzen an optisch reflektierenden Prüflingsoberflächen bezüglich einer gerätefesten Meßachse oder aber die OberflächenrauMgkeit mit Hilfe von optischen Reflexsensoren zu ermitteln, jedoch haben derartige Reflexsensoren einen sehr engen, nutzbaren Meßbereich und sind zur Bestimmung der Abxssungen von Höhensprüngen ungeeignet.
  • Gleiches gilt für Schattenbildsensoren bekannter Bauart mit einer tangential zur Oberflächenerstreckung des Prüflinge verlaufenden Schatten-Lichtschranke, die zwar die momentane Eintauhtiefe der Prüflingsoberfläche und dadurch z.B. die maximale Durchmesserschwankung eines ro,tierenden Werkstücks sehr genau erfassen können, aber keine exakte Lagebestimmung einer schattenerzeugenden Höhensprungkante in Richtung der optischen Achse des Lichtstrahls ermöglichen.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, das optische Meßgerät der beanspruchten Art so auszubilden, daß auf baulich einfache Weise eine hochgenaue Lagebestimmung von Höhensprungkanten an relativ zum Meßgerät bewegten Prüflingsoberflächen erreicht wird.
  • Diese Aufgabe wird durch das im Anspruch 1 gekennzeichnete Meßgerät gelöst, bei dem durch die spezielle bauliche und funktionelle Verschmelzung von Reflex-und Schattenbildsensor eine exakte Zuordnung des Schattenbild-Meßsignals zu einer durch die Lage der Reflex-Lichtschranke fest vorgegebenen Position der Hönensprungkante in Richtung des Sdw*ten-Lichtstrahls und dab2r.ch eine präzise Bestütrnung der Lage und A=essuna 8er tohenssrungkante in einem gerätefesten Koordinatensystem gewährleistet und zugleich mit Hilfe des Schattenbildsensors eine problemlose, berührungsfreie Einsteuerung des Reflexsensors auf dessen engen, den Durchgang der Höh«Bprungkante mit hoher Anspreehempfindlichkeit erfassenden Meßbereich ermöglicht wird, wobei eine unter dem Gesichtspunkt baulicher Vereinfachung und hoher Meßgenauigkeit weitere 3esonderheit darin besteht, daß der Reflexsensor einschließlich des zugeordneten Teils der Auswerteschaltung als reiner Impulsgeber ausgebildet ist, der ein binäres Ausgangssignal liefert, das den Durchgang der Höhensprungkante durch eine gerätefeste, durch die Reflex-Lichtschranke definierte und zur Schatten-Lichtschranke senkrechte Bezugsebene anzeigt, eine wesentlich aufwendigere Messung der jeweiligen Ablage der Höhensprungkante von diese Bezugsebene also entfällt.
  • In besonders vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird das Meßgerät gemäß Anspruch 2 vorzugsweise zur Kantenlagenbestimmung von Prüflingen mit zentraler Drehachse und insbesondere zur Schneidkantenmessung von Fräswerkzeugen eingesetzt, wobei der Reflex-und der Schattenbildsensor aus Gründen einer weiteren, gerätetechnischen Vereinfachung jeweils einen festen Strahlengang, d.h.keinerlei bewegte optische Elemente aufweisen und als Einheit radial zur Drehachse des Prüflings verstellbar angeordnet sind. In diesem Fall wird durch den binären Meßimpuls des Reflexsensors einerseits der Schattenbildsensor und andererseits ein mit dem ro-tierenden Prüfling gekoppelter Winkelkodierer angesteuert, so daß als Meßergebnis die Winkellage der Höhensprungkante, also bei Fräswerkzeugen letztlich die Schneidkanten-Teilung, und der Radialabstand der Höhensprungkante von der Drehachse und somit bei Fräswerkzeugen für jede einzelne Schneidkante deren Durchmesserabweichung vom Nenn-Durchmesser erhalten werden. In besonders zweckmäßger Weise ist in diesem Fall gemäß Anspruch 3 die Reflexregion des Reflexsensors geringfügig von einer senkrecht zur Schatten-Lichtschranke durch die Drehachse des Prüflings verlaufenden Ebene beabstandet, qo flaB der den Durchgang der Föhensprungkante anzeigende, binäre Meßimpuls des Reflexsensors bei Rotations des Prüflings zeitlich etwa vor dem Signalmaximum der Schatten-Lichtschranke auftritt.
  • Dies ermöglicht in weiterer baulicher Vereinfachung der Auswerteschaltung eine zeitversetzte Ansteuerung von Reflex-und Schattenbildsensor und beschränkt den Meßzyklus des Reflexsensors auf den Flankenbereich des Höhensprungs bzw. der Fräser-Schneidkante, so daß mögliche Oberflächenfehler in den dazwischenliegenden Bereichen ohne Einfluß auf das Meßergebnis sind.
  • Um neben den Durchmesserschwankungen und der Schneidkantenteilung auch die Spiralsteigung von Fräswerkzeugen bestimmen zu können, ist gemäß Anspruch 4 die aus Reflex-und Schattenbildsensor bestehende Einheit in Richtung der Drehachse des Fräsers verschieblich angeordnet und ein die jeweilige Axiallage erfassendes Meßlineal vorgesehen, wodurch es möglich wird, den räumlichen Verlauf der Höhensprung- bzw. Schneidkante Punkt für Punkt nachzumessen.
  • Um störende Umwelteinflüsse zu unterdrücken und mit geringer Baugröße des Licht senders auch an ungünstigen Meßorten, z.B. bei einer Im-Prozeß-Messung arbeiten zu können, sind die Lichtschranken gemäß Anspruch 5 vorzugsweise jeweils als Infrarot-Lichtschranken mit Halbleiterelementen ausgebildet, und zur Erhöhung der Meßempfindlichkeit und -genauigkeit bei zugtich einfacher Ausbildung des Schattenbildsensors empfiehlt es sich, für diesen gemäß Anspruch 6 eine Doppel-Fotodiode als Lichtempfänger vorzusehen. Durch die Merkmale der Ansprüche 7 bis 9 wird eine noch günstigere und genauereMeßsignalauswertung ermöglicht.
  • Im Anspruch 10 ist eine weitere Lösung der der Erfindung zugrunde liegenden Aufgabe gekennzeichnet, die unabhängig von, vorzugsweise aber in Verbindung mit der ersten Variante der Erfindung anwendbar rost. Das Meßgerät gemäß Anspruch 10 arbeitet mit einem fokussierten Reflexsensor, dessen Pokus,region mit Hilfe eines in Abhängigkeit von der Prüflingskontur gesteuerten Stellantriebs auf die Höhensprungkante eingestellt und dessen Meßsignal einem Schwellwertdetektor zugeführt wird, der bei überschreiten einer vorgegebenen Meßsignaländerung die jeweilige Lagekoordinate aus einem dem Prüfling zugeordneten Koordinatengeber, also bei dem Meßgerät gemäß Anspruch 2 die jeweilige Winkellage des Prüflings, abruft. Dabei ist der Reflexsensor gemeinsam mit dem Schwellwertdetektor wiederum unter Verzicht auf eine komplizierte, lichtoptische Ablagemessung als rein binärer, beim Durchgang der Höhensprungkante ansprechender Impulsgeber ausgebildet, mit der Besonderheit, daß die sich aus der Fokussierung ergebende, extreme Flankensteilheit des Reflexsensor-Meßimpulses für eine ganz erhebliche Genauigkeitssteigerung der Kantenpositionsbestimmung des Höhensprungs ausgenutzt wird. Auf diese Weise lassen sich Höhensprünge an unterschiedlichst konturierten Prüflingsoberflächen mit einem baulich sehr einfachen Meßgerät erkennen und hinsichtlich ihrer Kantenlage mit äußester PrEzision vermessen.
  • Die fokussierte Reflex-Lichtschranke kann durch eine einzige Lichtquelle mit einem zugeordneten, optischen Linsensystem erzeugt werden, im Hinblick auf eine weitere GrauigkeitsstelGmNng sind jedoch zu diesem Zweck gemäß Anspruch 11 mehrere, mit ihren optischen Achsen auf die Fokusegion ausgerichtete Lichtsender vorgesehen, die jeweils einen eng gebündelten, afokalen Lichtstrahl emittieren.
  • Die Erfindung wird nunmehr an Hand mehrerer Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen: Fig. 1 a ein opto-elektronisches Meßgerät mit fokussiertem Reflexsensor in schematischer Darstellung; Fig. 1 b dem Verlauf des Reflexsensor-Meßsignals in ebenfalls schematischer Darstellung; Fig. 2 eine Modifikation des Reflexsensor-Meßkopfes; Fig. 3 a eine teilweise geschnittene, schematische Ansicht eines opto-elektrOnischen Meßgeräts mit kombiniertem Schattenbild-und fokussiertem Reflexsensor zur Schneidkantenmessung von Fräswerkzeugen; und Fign.3 b,c die entsprechenden Meßsignal-Diagramme des Revlexsensors (Fig. 3 b) bzw. des Schattenbildsensors (Fig. 3 c).
  • Das opto-elektronische Meßgerät gemäß Fig. 1 dient zum Erkennen und zur Kantenlagenbestimmung von Höhensprüngen an Prüflingsoberflächen, also etwa zur Positionsmessung einer Bohrung 2 oder einer Ausnehmung 4 eines Werkstücks 6, das in einem vorhergehenden Arbeitsvorgang auf dem Werkstück gupport 8 einer z.B. numerisch gesteuerten Werkzeugmaschine einer maschinellen Bearbeitung unterzogen wurde.
  • Das Meßgerät enthält einen Reflexsensor-MeßkopS 1O, der an einer bezüglich des Supports 8 und der bearbeiteten Werkstückoberfläche 12 höhenverstellbaren Spindel 14 der Werkzeugmaschine befestigt ist wnd aus einer infrarotaLttierenden Halbleiter-Dioda 16 als Lichtsender sowie einer infrarotempfindlichen Foto diode 18 als Lichtempfänger besteht, die jeweils mit Hilfe einer Sammellinse 20 bzw.
  • 22 auf eine meßkopffeste Fokus region F optisch ausgerichtet sind, d.h. der Reflexsensor 10 bildet eine punktförmig fokussierte Reflex-Lichtschranke für die das Empfangssignal dann den Höchstwert erreicht , wenn das emStierte Licht im Pokus~plankt F auf die WerkstUckoberfläche auftrifft und von dort über die Linse 22 auf die Empfangsdiode 18 reflektiert wird, wie dies bei der in Fig. 1 a mit zugehörigem Strahlengang gezeigten Relativlage von fokussiertem Reflexsensor 10 und WerkstUckoberfläche 12 der Fall ist.
  • Das Empfangssignal der Foto- Diode 18 wird in Form eines elektrischen Meßsignals V einer Auswerteschaltung 24 zugeführt, die ei ruf eine Meßsignaländerung vorgegebener Größe und Flankensteilheit ansprechenden Schwellwertdetektor 26 enthält und der ein die jeweilige Relativlage von Reflexsensor 10 und Werkstück 6 in Richtung der Flächenerstreckung der Werkstückoberfläche 12 erfassender, mit dem Werkstücksupport 8 gekoppelter toordinatengeber 28 zugeordnet ist.
  • Das beschriebene Meßgerät arbeitet wie folgt: Das zuvor bearbeitete, auf dem Support 8 montierte Werkstück 6 wird unter den Reflexsensor 10 gefahren und die Spindel 14 entsprechend der in der zugeordneten Werkzeugmaschine gespeicherten Werkstück-Sollkontur in Richtung des Doppelpfeils A so eingestellt, daß die Fokusegion F nominell auf der Werkstückoberfläche 12 liegt. Wird der Support 8 mit dem Werkstück 6 anschließend in Richtung relativ zum ReflexsensorlO verschoben, so ergibt sich der in Fig. 1 b schematisch angedeutete Meßsignal-Verlauf, doch, beim Durchgang der Höhensprungkanten a ... f der Werkstückoberfläche 12 tritt eine Meßsignaländerung großer Flansenhöhe und-steilheit auf, bei der der Schwellwertdetektor 26 anspricht, während die Meßsignaländerungen in den dazwischenliegenden Oberflächenbereichen wegen zu geringer Flankenhöhe und/oder-steilheit unterhalb der Ansprechschwelle des Detektors 26 liegen. Bei jedem das Yberwandern einer Höhensprungkante anzeigenden AuRgangsimpuls des Schwellwertdetektors 26 werden die zugeordneten Lagekoordinaten aus dem Koordinatengeber 28 abgerufen, und auf diese Weise werden die Höhensprungkanten des Werkstücks 6 erkannt und deren Ist-Lage auf dem Werkstück in Form von Längenmeßwerten x1...
  • Xn mit hoher Genauigkeit bestimmt.
  • Durch zusätzliche Verschiebbarkeit des Werkstücksupports 8 senkrecht zur Zeichnungsebene, also auch in y-Richtung, und einen entsprechenden Koordinatengeber können in analoger Weise auch die y-Lagekoordinaten der Höhensprungkanten gemessen werden.
  • Fig. 2 zeigt eine Modifikation oes Reflexsensors 10 2' zwei getrennten Lichtsendern 30, 32, deren eng gebunaelte Lichtstrahlen sich in der Fokus,region F kreuzen, sowie zwei den Lichtsendern 30, 32 jeweils zugeordne-ten, achssymmetrisch zu diesen angeordneten, lichtempfindeichen Fotodioden 34 bzw. 36, deren Meßsignale summiert und dann als Eingangssignal dem Schwellwertdetektor 26 gemäß Fig. 1 zugeführt werden. Im übrigen ist die Bau-und Funktionsweise des Meßgerätes die gleiche wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel.
  • Das in Fig. 3 gezeigte Meßgerät, bei dem die dem ersten Ausführungsbeispiel entsprechenden Bauelemente durch um 100 erhöhte Bezugszeichen gekennzeichnet sind, dient zur Schneidkantenmessung eines in Pfeilrichtung um seine Drehachse B ro ierenden Fräswerkzeugs 38 und enthält einen gabelförmigen, symmetrisch zur Drehachse B angeordneten Meßkopf 40, der in Richtung der Drehachse B radialbeweglich geführt ist (Doppelpfeil A) und als Sensoranordnung den an Hand der Fig. 1 beschriebenen, fokussierten Reflexsensor 110 in Eombination mit einem Schattenbildsensor 42 aufweist, welcher aus einer infrarotemttierenden 1iöde44und einer nachgeschalteten Optik 46 als Lichtsender sowie einer Doppelfotodiode 48, 50 als Lichtempfänger besteht, die derart zueinander angeordnet sind, daß die aus Parallellicht gebildete, zu der durch die Fräser-Drehachse B verlaufenden Symmetrieebene S senkrechte Schatten-Lichtschranke im wesentlichen senkrecht zur optischen Achse des Reflexsensors 110 gerichtet ist und die Fokusregion F kreuzt, und zwar so daß die Fokusregion F in etwa auf der Null-Meßgrenze des Schattenbildsensors 42 liegt, d.h. das von der Doppelfotodiode 48, 50 erzeugte Meßsignal nahezu Null wird, wenn ein schattenerzeugender Gegenstand bis zur Höhe der Fokusregion F in die Schatten-Lichtschranke eintaucht. Aus den weiter unten erläuterten Grunde liegt die Fokusregion F in Fräserdrehrichtung geringfügig vor der Syrnnetrieebene S, die durch die Lage der Schneidkante festgelegt ist, bei der der Schattenbildsensor 42 ein maximales Signal liefert, wobei der entsprechende, van Fräserdurchmesser und der aus der Signalverarbeitung in der Auswerteschaltung 124 resultierenden Verzögerungszeit abhängige Versatzninkel tf in der Zeichnung der Deutlichkeit halber stark übertrieben dargestellt ist.
  • Kompletiert wird das Meßgerät durch einen Koordinatengeber 128 in Form eines die jeweilige Winkellage des Fräsers 38 erfassenden Winkelkodierers und einen der Auswerteschaltung 124 zugeordneten Rechner 52, der die Meßsignale in entsprechenae Längen-oder Maßangaben umsetzt, also bei einem Fräser die Zahnteilung und die Durchmesse-schwankungen der einzelnen Schneidkanten a...e angibt.
  • Das in Fig. 3 gezeigte Meßgerät arbeitet wie folgt: Zunächst wird der Meßkopf 40 in Richtung A derart positioniert, daß die bei einem Umlauf des Fräsers 38 vom Schattenbild-Sensor 42 empfangenen, jeweils beim Durchgang eines einzelnen Fräserzahns erzeugten Meßsignal-Höchstwerte im Durchschnitt auf der Null-Meßgrenze des Schattenbild-Sensors 42 liegen, was bedeutet, daß die Schneidkanten a...e das Meßgerät im Mittel in der Fokus -region F durchlaufen. Diese Meßkopfosition wird durch ein inkrementales Meßlineal (nicht gezeigt) erfaßt.
  • Beim weiteren Umlauf des Fräsers 38 steigt daher das -in Fig. 3 b für zwei Fräserzähne gezeigte- Reflexsensor-Meßsignal an jedem einzelnen Zahn -ausgehend von einem Null-Wert am Zahngrund- längs der Zahnflanke steil an, erreicht beim Durchgang der Schneidkante ein Maximum und fällt dann längs des ZannrYckens -eventuell mit weiteren Zwischenmaxima- weder auf iiull ab, während das Meßsignal des Schattenbild-Sensors 42 (Fig. 3 c) um die tNull-Megrenze schwankt, die dabei beim Durchgang jedes Zahns durch die Symmetrieebene S erreichten Meßsignal-Maxima jedoch so stark abgeflacht sind, daß sie keine exakte Aussage über die Winkellage bzw. die Teilung der einzelnen Schneidkanten gestatten.
  • Anders als bei dem Meßgerät gemäß Fig. 1 spricht der Schwellwertdetektor 126 jedes Mal an, wenn das Empfangssignal des Reflexsensors 110 von Null aus einen vorgegebenen Schwellwert überschreitet, woraufhin der zuO=e ordnete Drehwinkel des Fräsers 38 aus dem Winke.kodierer 128 abgerufen wird, der die Winkellage #a ... #e der einzelnen Schneidzähne bzw. die Zahnteilung des Fräsers angibt. Zugleich unterbricht der Ansprechimpul: des Schwellwertdetektors 126 den Meßzyklus des flefL!exsensors 110 uiid das Gerät schaltet auf den Schattenbild-Sensor 42 um, um den Meßwert Vc bzw. Vd (Fig. 3 c) der Doppelfotodiode 48, 50 in einem durch den Winkelversatz vorgegebenen Abstand zum Ansprechimpuls des Schwellwertdetektors 126, also den Momentanwert des Schattenbildsignals exakt beim Durchgang der Schneidkante durch die Ebene S festzustellen. Aus den so ermittelten Momentanwerten Va ...Ve werden dann im Rechner 52 an Hand der Meßkennlinie des Schattenbild-Sensors 42 die Schneidkanten-Durchmesserschwankungen des Fräsers bzw. - unter Berücksichtigung der von dem inkrementalen Meßsignal angezeigten Höhenlage des Meßkopfes 40 - der Radialabstand jeder einzelnen Schneidkante von der Fräserdrehachse B errechnet. Nach dieser Ermittlung des Meßsignal-Momentanwertes des Schattenbild-Sensors 42 wird wiederum der Reflexsensor 110 und der diesem zugeordnete Schwellwertdetektor 126 angesteuert, woraufhin sich der Meßvorgang am nächsten Fräserzahn wiederholt.
  • Diese durch den Winkelversatz jq erreichte, wechselweise Signalverarbeitung und Ansteuerung von Reflex-und Schattenbild-Sensor bringt den Vorteil, daß die Auswerteschaltung 124 und der nachgeschaltete Rechner 52 nach einer Art Time-sharing ohne synchrone Meßsignalverarbeitung und-auswertung beider Sensoren 42, 110 und ohne aufwendige Datenspeicherung arbeiten können.
  • Soll auch die Spiralsteigung der einzelnen Bräs46-Schneidkanten bestimmt werden, so wird der Meßkopf zusätzlich parallel zur Drehachse B relativ zum Fräser 38 verschoben und die jeweilige Axiallage durch ein weiteres, nicht gezeigtes inkrementales Meßlineal ermittelt, so daß jede Schneidkante Punkt für Punkt in zur Zeichenebene parallelen Ebenen vermessen und aus dem über das inkrementale Meßlineal ermittelten Abstand der einzelnen Meßpunkte und der Differenz der zugeDrdneten y -Werte die jeweilige Schneidkanten-Spiralsteigung errechnet werden kann.
  • Abschließend sei darau fingewiesen, daß bei dem Meßgerät gemäß Fig. 3 noch ein zweiter, diametral entgegengesetzt zum Meßkopf 40 auf der unteren Seite des Fräsers angeordneter Meßkopf vorgesehen sein kann, wodurch erreicht wird, daß die Lage der Drehachse B nicht in die Schneidkanten-Durchmesserbestimmung eingeht.
  • Außerdem kann für Anwendungsfälle geringerer Genauigkeitsanforderungen der fokussierte durch einen üblichen, nicht-fokussierten Reflexsensor ersetzt werden.
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Claims (11)

  1. Optisches Meßgerät Patentansprüche 1. Optisches Meßgerät zur Vermessung von Höhensprungkanten an Prüflingsoberflächen, mit einer aus Lichtsenaer und Lichtempfänger bestehenden, relativ zur Prüflingsoberfläche in Richtung der Oberflächenestreckung bewegbaren Sensoranordnung und einer die Höhensprungkoordinaten in Abhängigkeit von den Empfangssignalen der Sensoranordnung bestimmenden Auswerteschaltung, dadurch g e k e n n 3 e i c h n e t , daB als Sensoranordnung zumindest ein die Prüflingsoberfläche abtastender Reflexsensor (110) in Kombination mit einen damit Ln vorgegebener Relativlage zur ontischen Achse des Ref-lexsensors mechanisch gekoppelten Schattenbild--Sensor (42) vorgesehen und in der Auswerteschaltimg(1 24) das Empfangssignal (V) des Schattenbild-Sensors (42) einem das Überwandern des Höhensprungs (a...e) anzeigenden Meßimpuls des Reflexsensors zugeordnet ist.
  2. 2. Optisches Meßgerät nach Anspruch 1, für Prüflinge mit zentraler Drehachse, insbesondere zur Schneidkantenmessung Ton Fräswerkzeugen, dadurch g e k e n n z e ichn e t , daß der Reflex-und der Schattenbild-Sensor (110, 42 ) als inei mit bezüglich der Schatten-tichtschranke fest justietem Reflexsensor (110) radial zur Drehachse (B) einstellbar angeordnet sind und der Auswerte- schaltung (124) ein riit dem Prüfling (38) gekoppelter Winkelkodierer (128) zugeordnet ist, und daB bei Auftreten eines Reflexsensor-Meßimpulses vorgegebener Flankenhöhe einerseits der Winkelkodierer zur Winkellagenoestimmung des Höhensprungs und andererseits der Schattenbild-Sensor (42) zur Ermittlung des zugeordneten, den Radialabstand der Höhensprungkante (a.. .e) von der Drehachse (B) darstellenden Empfangssignalwertes ansteuerbar ist.
  3. 3. Optisches Meßgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur zeitversetzten Ansteuerung von Reflex-und Schattenbildsensor (110, 42) der Reflexsensor (110) derart justiert ist, daß seine Lichtstrahlen in Drehrichtung vor einer senkrecht zur Schatten-Lichtschranke curch die Drehachse (B) verlaufenden das Auftreten des Maximalsignals des Schattenbildsensors (42) marbierenden Ebene (S) auf den Höhenscrung auftreffen.
  4. 4. Optisches Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, fürPrüflinge mit spiralförmig verlaufenden Höhensprüngen, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß zur Vermittlung der Spiralsteigung die Schattenbild-und Reflexsensoranordnung (42, 110) relativ zum Prüfling (38) in einer zur Meßebene des Schattenbild-Sensors (42) senkrechten Richtung axial verschiebbar angeordnet und ein die jeweilige Axiallage erfassender Weggeber vorgesehen ist.
  5. 5. Optisches Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Lichtschranken jeweils als Infrarot-Lichtschranken ausgebildet sind.
  6. 6. Optisches Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch e :i e n n z e i c h n e t , daß der Lichtempfänger des Schattenbild-Sensors (42) eine Doppel-Fotodiode (48, 50) ist.
  7. 7. Optisches Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur diametralen Antastung des Prüflings (38) ein weiterer, analog zum ersten Schattenbildsensors (42) verschieblicher Schattenbildsensor vorgesehen ist.
  8. 8. Optisches Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die jeweilige Senderstrahlung gepulst ist.
  9. 9. Optisches Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflexsensor (110) vom fokussierten Typ ist.
  10. 10.Optisches Meßgerät, insbesondere nach Anspruch l, zur Vermessung von llöhensprungkanten an nrüflingsoberflächen, mit einer aus Licht sender und Lichtempfänger bestehenden, relativ zur Prüflingsoberfläche in Ri2htung der Oberflächenerstreckung bewegbaren Sensoranordnung und einer die Höhensprungkoordinaten in Abhängigkeit von den Empfangs signalen der Sensoranordnung bestimmenden Auswerteschaltung einschließlich eines die Relativbewegung zwischen Sensoranordnung. und Prüfling erfassenden Koordinatengebers, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Sensoranordnung einen fokussierten Reflexsensor (10) einschließlich eines höhenveränderlich gesteuerten Stelltriebs (14) surNusrichtung der Fokus,region (B) des Reflexsensors auf die Prüflingsoberfläche (12) aufweist und die Auswerteschaltung (24) einen auf eine vorgegebene Empfangssignaländerung des Reflexsensors ansprechenden, die zugehörige Lagekoordinate aus dem Koordinatengeber (28) abrufenden Schwe wernde-tektor (26) enthält.
  11. 11. Optisches Meßgerät nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflexsensor (10) mehrere afokale auf die Fokusregion (F) gerichtete Lichtsender (30,32) enthält.
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