JPS6013256A - 酸素濃度検出器 - Google Patents
酸素濃度検出器Info
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- JPS6013256A JPS6013256A JP58121264A JP12126483A JPS6013256A JP S6013256 A JPS6013256 A JP S6013256A JP 58121264 A JP58121264 A JP 58121264A JP 12126483 A JP12126483 A JP 12126483A JP S6013256 A JPS6013256 A JP S6013256A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sprayed layer
- detector
- electrode
- ceramic
- oxygen concentration
- Prior art date
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガス雰囲気中の酸素濃度を検出するための限
界′混流式酸素濃度検出器に関するものである。
界′混流式酸素濃度検出器に関するものである。
自動車等の内燃機関の空燃比制御や排気ガス浄化のため
に、またボイラーの燃焼状態制御のために酸素濃度検出
器が使用されている。この酸素濃度検出器ニハ種々のも
のが知られているが、そのうちの一つとして限界電流式
酸素濃度検出器が開発されている。この限界電流式酸素
濃度検出器は板状のｍ素・ｆオン込過性固体電解質の画
面に電極を設けで素子本俸となし、この素子不休の両電
極間に一定の電圧を印加してやると、一方の電極（陰極
） ・６ｉ！ｌがら他方の電極（陽極）・側に酸素イオ
ンが透過するので、その際少くとも一方の電極から入る
（または出る）酸素イオン量を制限してやると・波タ１
ｊ足ガス中の酸素δ度に応じて両電極間に限昇寛流が流
れることを利用したものである。この限界電流式酸素δ
匹検出器イこおいて、素子本体の一方の電極面への酸素
の拡散速度を律速させる方法としては、第１図に示すよ
うに円板状の固体電解質セル１の両面に形成された電極
２，３面上にプラスマ溶射して多孔質セラミ・７クコ一
テインク層５１．５２ヲ形成する方法や、セラミック板
に細孔を開けた拡散板を電極面上に配置する方法によっ
ている。なお、第１図において、２１．２１ はリード
線を示す。
に、またボイラーの燃焼状態制御のために酸素濃度検出
器が使用されている。この酸素濃度検出器ニハ種々のも
のが知られているが、そのうちの一つとして限界電流式
酸素濃度検出器が開発されている。この限界電流式酸素
濃度検出器は板状のｍ素・ｆオン込過性固体電解質の画
面に電極を設けで素子本俸となし、この素子不休の両電
極間に一定の電圧を印加してやると、一方の電極（陰極
） ・６ｉ！ｌがら他方の電極（陽極）・側に酸素イオ
ンが透過するので、その際少くとも一方の電極から入る
（または出る）酸素イオン量を制限してやると・波タ１
ｊ足ガス中の酸素δ度に応じて両電極間に限昇寛流が流
れることを利用したものである。この限界電流式酸素δ
匹検出器イこおいて、素子本体の一方の電極面への酸素
の拡散速度を律速させる方法としては、第１図に示すよ
うに円板状の固体電解質セル１の両面に形成された電極
２，３面上にプラスマ溶射して多孔質セラミ・７クコ一
テインク層５１．５２ヲ形成する方法や、セラミック板
に細孔を開けた拡散板を電極面上に配置する方法によっ
ている。なお、第１図において、２１．２１ はリード
線を示す。
しかして上記第１図に示すような、ガス拡散律速層とし
てスピネルなどのセラミック溶射層を直接電極面上に形
成したものは、電極面が直接測定ガスに接触しないため
電極保護に溶射層が役立つという利点を有するが、この
ように直接電極面にセラミック溶射層を設けた検出器で
では電極の面積およびその活性の大小が、素子本体の抵
抗のみならず限界電流値の大きさまで変えてしまう。す
なわち、この形式の検出器では、限界電流Ｉｚと律速層
とは次式１で表わされる関係にあるとされている。
てスピネルなどのセラミック溶射層を直接電極面上に形
成したものは、電極面が直接測定ガスに接触しないため
電極保護に溶射層が役立つという利点を有するが、この
ように直接電極面にセラミック溶射層を設けた検出器で
では電極の面積およびその活性の大小が、素子本体の抵
抗のみならず限界電流値の大きさまで変えてしまう。す
なわち、この形式の検出器では、限界電流Ｉｚと律速層
とは次式１で表わされる関係にあるとされている。
ｘｔ＝ｘ７−・・・・・・（１）
（式中、Ｉｔは限界電流値、
ｔは有効拡散距離、
Ｓ は有効電極面積を表わす。）
したがって、素子本体の抵抗を下げるために、電極面積
Ｓを拡げると、それに伴って限界電流値Ｉｔも大きくな
ってしまうため、適当な大きさの限界電流値を得るため
には溶射層（力の厚みを増さなければならなかった。こ
のように溶射層を直接電極面に設けた形式のものは、素
子本体が大きくなるだけで、結局低温作動性を向上させ
ることは出来なかった。しかも、溶射層はあまり厚くす
るとクラックが発生しゃすくなり、また長時間の使用に
より電極が劣化すると出力（限界電流値）も低下してし
まうという欠点を示す。
Ｓを拡げると、それに伴って限界電流値Ｉｔも大きくな
ってしまうため、適当な大きさの限界電流値を得るため
には溶射層（力の厚みを増さなければならなかった。こ
のように溶射層を直接電極面に設けた形式のものは、素
子本体が大きくなるだけで、結局低温作動性を向上させ
ることは出来なかった。しかも、溶射層はあまり厚くす
るとクラックが発生しゃすくなり、また長時間の使用に
より電極が劣化すると出力（限界電流値）も低下してし
まうという欠点を示す。
更に直接セラミックを溶射する方式では、所望の多孔度
を得るのがむずかしく、所望の多孔度の溶射層が得られ
ないときは素子本体ごと不良品としなければならないと
いう問題点をも有する。
を得るのがむずかしく、所望の多孔度の溶射層が得られ
ないときは素子本体ごと不良品としなければならないと
いう問題点をも有する。
一方、セラミック板に１〜２個の細孔を開けた拡散板を
用いる形式のものは、細孔メ′□未（煤）などによって
塞がれた場合容易に出力が変化するので好ましくない。
用いる形式のものは、細孔メ′□未（煤）などによって
塞がれた場合容易に出力が変化するので好ましくない。
本発明は多孔質のセラミック溶射Ｊ？Ｍを使用するにも
かかわらず、上記従来の如き欠点がなく、低温作動性が
よくかつ電極の劣化がおきても出力の低下をきたさない
限界電流式酸素０度検出器を提供することにある。
かかわらず、上記従来の如き欠点がなく、低温作動性が
よくかつ電極の劣化がおきても出力の低下をきたさない
限界電流式酸素０度検出器を提供することにある。
本発明の限界電流式酸素濃度検出器は、ジルコニア等か
らなる板状の酸素イオン透過性固体電解質の表裏両面に
白金等の多孔質薄膜状の電極を形成してなるセンサ素子
本体の少くとも陰極面上に、ガス拡散律速層として多孔
質セラミック溶射層を、電極と該溶射層との間に閉鎖さ
れた空間を存在させて、設けたことを特徴とする。
らなる板状の酸素イオン透過性固体電解質の表裏両面に
白金等の多孔質薄膜状の電極を形成してなるセンサ素子
本体の少くとも陰極面上に、ガス拡散律速層として多孔
質セラミック溶射層を、電極と該溶射層との間に閉鎖さ
れた空間を存在させて、設けたことを特徴とする。
上記式Ｉで表わされる限界電流値Ｉｔは、多孔質セラミ
ック溶射層が有するｎ個の各細孔によって生ずる各限界
電流値Ｉ’ｔの合計１１１’ｔであるため、単にｎ個を
大きくするとＩｔは大きくなる。才だ、各細孔によって
生ずる限界電流値Ｉ’Ａは、細孔を通って陰極面に達す
る酸素量に比例するが、この酸素量Ｑは、 Ｓ′ Ｑ ＱＣｚ＋−（［１ で表わされる。ここでＳ′は陰極面に開口している細孔
の大きさく面積）であり、ｔ′は細孔の奥行（長さ）で
ある。上記式■においてＳ′を大きくすることは、陰極
に達する酸素量が大きくなり、限界電流値が大きくなる
。
ック溶射層が有するｎ個の各細孔によって生ずる各限界
電流値Ｉ’ｔの合計１１１’ｔであるため、単にｎ個を
大きくするとＩｔは大きくなる。才だ、各細孔によって
生ずる限界電流値Ｉ’Ａは、細孔を通って陰極面に達す
る酸素量に比例するが、この酸素量Ｑは、 Ｓ′ Ｑ ＱＣｚ＋−（［１ で表わされる。ここでＳ′は陰極面に開口している細孔
の大きさく面積）であり、ｔ′は細孔の奥行（長さ）で
ある。上記式■においてＳ′を大きくすることは、陰極
に達する酸素量が大きくなり、限界電流値が大きくなる
。
セラミック溶射層を１亘接電極面に設けた場合には、電
極面積を拡げるためには細孔数ｎを大きくするか、また
は上記Ｓ′を大きくすることになるため、上記Ｚ／ ＋
太きくしない限り限界電流値が大きくなるのを避けられ
ない。し７１）シながら、溶射層を電極面から離して設
けた場合には、電極面積Ｓは単なる開口面積となり、電
極面積の増減によって出力の変化は起らない。そのため
、本発明では、電極面上に空間を設けて溶射層を設けた
ものである。
極面積を拡げるためには細孔数ｎを大きくするか、また
は上記Ｓ′を大きくすることになるため、上記Ｚ／ ＋
太きくしない限り限界電流値が大きくなるのを避けられ
ない。し７１）シながら、溶射層を電極面から離して設
けた場合には、電極面積Ｓは単なる開口面積となり、電
極面積の増減によって出力の変化は起らない。そのため
、本発明では、電極面上に空間を設けて溶射層を設けた
ものである。
なお、本発明において閉鎖された空間とは、素子本体と
溶射層とその他の部材によって外気に直接連通するのを
防止したという意味であり、密閉された空間を意味する
ものではない。この空間は、酸素の電極面への到達を阻
害しないような多孔体によって構成してもよい。このよ
うな多孔体としては、セラミック発泡体などがあげられ
る。
溶射層とその他の部材によって外気に直接連通するのを
防止したという意味であり、密閉された空間を意味する
ものではない。この空間は、酸素の電極面への到達を阻
害しないような多孔体によって構成してもよい。このよ
うな多孔体としては、セラミック発泡体などがあげられ
る。
セラミック溶射層の形状は、以下の実施例で説明するよ
うにアルミナ等の耐熱性セラミック枠体の開口部に下面
より当て板をしておき、上部よりプラズマ溶射して溶射
層を形成したのち当て板を取り除くとか、また酸素ガス
の透過を阻害しない様な無機質発泡体上に溶射層を・設
は該発泡体とともに用いるようにするとよい。
うにアルミナ等の耐熱性セラミック枠体の開口部に下面
より当て板をしておき、上部よりプラズマ溶射して溶射
層を形成したのち当て板を取り除くとか、また酸素ガス
の透過を阻害しない様な無機質発泡体上に溶射層を・設
は該発泡体とともに用いるようにするとよい。
以下本発明を実施例により説明する。
実施例１
第２図は本発明検出器の第１実施例を示す断面図で、１
は酸素イオン透過性固体電解質セル、２はセル１上に設
けられた陰電極、３は陽電極を示し、４はセラミック溶
射層６を支持するためのアルミナホルダー、１１はハウ
ジング、１２はセラミックチューブを示す。
は酸素イオン透過性固体電解質セル、２はセル１上に設
けられた陰電極、３は陽電極を示し、４はセラミック溶
射層６を支持するためのアルミナホルダー、１１はハウ
ジング、１２はセラミックチューブを示す。
この検出器は例えば次の方法によって作られる。
固体電解質セル１は、原料粉として例えば、イツトリア
を８モル係添加したジルコニア粉末を用い、常法にした
がってこの原料粉を金型で約１０００ ＫＦ／ｃｒ！の
圧力にて円板状に成形する。この粉末成形体のセル１の
テーパ部分１′と上面の一部に白金ペーストを塗布し、
しかる後約１７００°Ｃで焼成して、粉末成形体を焼結
すると同時に附電極取り出し用リード部２′を形成する
。
を８モル係添加したジルコニア粉末を用い、常法にした
がってこの原料粉を金型で約１０００ ＫＦ／ｃｒ！の
圧力にて円板状に成形する。この粉末成形体のセル１の
テーパ部分１′と上面の一部に白金ペーストを塗布し、
しかる後約１７００°Ｃで焼成して、粉末成形体を焼結
すると同時に附電極取り出し用リード部２′を形成する
。
焼成後、セル１の上下表面に塩化白金酸と水素化ホウ素
ナトリウム水宿液によって化学メッキを施し、その後電
気メッキにより約１μの白金メッキを施し、不必袂な部
分をグラインダーで削り落すことにより陰電極２および
陽電極３を形成する。
ナトリウム水宿液によって化学メッキを施し、その後電
気メッキにより約１μの白金メッキを施し、不必袂な部
分をグラインダーで削り落すことにより陰電極２および
陽電極３を形成する。
一方、セラミック溶射層は、第３図に示すように央部に
開口部を有するアルミナホルダー４を用い、このアルミ
ナホルダー４の開口部に下面よりよく研磨した金属板な
どの当て板５をあててマスキングし、上方Ａより例えば
ＭｇＯ。
開口部を有するアルミナホルダー４を用い、このアルミ
ナホルダー４の開口部に下面よりよく研磨した金属板な
どの当て板５をあててマスキングし、上方Ａより例えば
ＭｇＯ。
Ａ４０３のスピネル（平均粒径４０μ）を溶射して厚さ
５００μの多孔質溶射層６を形成する。しかるのち当て
板５を取りはずし、得られた溶射層６付アルミナホルダ
ー４を固体電解質セル１−ヒにかぶせ、例えばガラスな
どの無機接着剤７で両者の当接部を封着し固定して、溶
射層６とセル１（！：の間に閉鎖された空間２０を有す
る酸素濃度検出素子Ｓｏを形成する。
５００μの多孔質溶射層６を形成する。しかるのち当て
板５を取りはずし、得られた溶射層６付アルミナホルダ
ー４を固体電解質セル１−ヒにかぶせ、例えばガラスな
どの無機接着剤７で両者の当接部を封着し固定して、溶
射層６とセル１（！：の間に閉鎖された空間２０を有す
る酸素濃度検出素子Ｓｏを形成する。
このよ うにして作られた検出素子８０をセラミックヒ
ータ−１１′ヲ内蔵した円筒状のセフミック製ハウジン
グ１１内に装着し、該ハウジング１１内にセラミックチ
ューブ１２を嵌挿し、検出素子ＳＯを押えて固定して目
的とする検出器を得る。なお、図中、１３．１４はリー
ド線を示す。
ータ−１１′ヲ内蔵した円筒状のセフミック製ハウジン
グ１１内に装着し、該ハウジング１１内にセラミックチ
ューブ１２を嵌挿し、検出素子ＳＯを押えて固定して目
的とする検出器を得る。なお、図中、１３．１４はリー
ド線を示す。
実施例２
固体電解質セル１および電極２，３は実施例１と同様に
構成し、セラミック溶射層をセラミック多孔体上に設け
た例である。
構成し、セラミック溶射層をセラミック多孔体上に設け
た例である。
第４図に示すようにアルミナホルダー４の開口部に平均
細孔径１０〜５０μの非常にポーラスなセラミックフイ
ルク８を無（り接着剤で固定し、このセラミックフィル
タ８上に実施例１と同様にしてスピネル（ＭｇＯ、ｈｔ
２ｏ３）を溶射してガス拡散ｆｌ！速／ｉ！を形成する
。
細孔径１０〜５０μの非常にポーラスなセラミックフイ
ルク８を無（り接着剤で固定し、このセラミックフィル
タ８上に実施例１と同様にしてスピネル（ＭｇＯ、ｈｔ
２ｏ３）を溶射してガス拡散ｆｌ！速／ｉ！を形成する
。
このようにして作った多孔質セラミック溶射ｊ偕６付ア
ルミナホルダー８を実施例１と同様にして固体成解質セ
ル１上に取りつけ、以下同様にハウジンク１１内に組付
けて酸素濃度検出器を形成する。
ルミナホルダー８を実施例１と同様にして固体成解質セ
ル１上に取りつけ、以下同様にハウジンク１１内に組付
けて酸素濃度検出器を形成する。
実施例５
第５１凶は、長方形平板状の固体電解質セル１の端部の
表央両面にそれぞれ対応させて陰電極２、陽電極３を形
成した素子本体に本発明を適用した例で、実施例１と同
様にして得た四角形のセラミック溶射層６付アルミナホ
ルダー４を、陰電極２と溶射層６との間に隙間があるよ
うにして酸素濃度検出素子としたものである。図中、１
５はセラミック支持板、１５．１４はリード線を示す。
表央両面にそれぞれ対応させて陰電極２、陽電極３を形
成した素子本体に本発明を適用した例で、実施例１と同
様にして得た四角形のセラミック溶射層６付アルミナホ
ルダー４を、陰電極２と溶射層６との間に隙間があるよ
うにして酸素濃度検出素子としたものである。図中、１
５はセラミック支持板、１５．１４はリード線を示す。
試験例
実施例１に示した構造を有する本発明検出器ａ、ｂ ２
種と、従来の如く直接陰電極面に多孔質セラミック層を
設けた検出器ｃ、ｄを用い、それぞれ電極面積を１．５
倍にしたときの印加電圧と限界′電流との関係（Ｖ−Ｉ
特性）を測定した。
種と、従来の如く直接陰電極面に多孔質セラミック層を
設けた検出器ｃ、ｄを用い、それぞれ電極面積を１．５
倍にしたときの印加電圧と限界′電流との関係（Ｖ−Ｉ
特性）を測定した。
測定は素子温７００″Ｃ，大気中にて行った。測定結果
を第７図、第８図および表１に示す。なお、第６図はＶ
−Ｉ特性測定回路を示し、図中１００は酸素濃度検出器
、１０１は電圧発生装置、１０２は電流計を示す。
を第７図、第８図および表１に示す。なお、第６図はＶ
−Ｉ特性測定回路を示し、図中１００は酸素濃度検出器
、１０１は電圧発生装置、１０２は電流計を示す。
表 １
これらの結果から明らかなように、本開明検出器にＳい
ては、′電極面積を大きくして素子抵抗を小さくしても
限界電流値にほとんど変化がない。したがって従来のも
のの如くセフミ・ンク溶射虐を厚くする必要もなく、限
界’ｄＬｍ出現電圧を小さくでさる。
ては、′電極面積を大きくして素子抵抗を小さくしても
限界電流値にほとんど変化がない。したがって従来のも
のの如くセフミ・ンク溶射虐を厚くする必要もなく、限
界’ｄＬｍ出現電圧を小さくでさる。
また、本開明検出器すと比較例検出器Ｃの耐久性につい
て試験した。耐久条件はボイラー中５０００時間述続使
用とした。耐久試験前後の谷検出器における酸素濃度と
出力との関係を示すグラフを第９図および第１０図に示
す。図中、実線は耐久前（初期）、破線は耐久後の結果
を示す。
て試験した。耐久条件はボイラー中５０００時間述続使
用とした。耐久試験前後の谷検出器における酸素濃度と
出力との関係を示すグラフを第９図および第１０図に示
す。図中、実線は耐久前（初期）、破線は耐久後の結果
を示す。
第１０図かられかるように、比較例検出器Ｃ′では耐久
後は電極の劣化が生じて素子抵抗の増大による高濃度側
での出力低下および全濃度域における限界電流値の低下
が発生する。これに対し、本発明検出器では電極の劣化
により素子抵抗が増大しても、あらかじめ充分素子抵抗
を小さくしているため、出力としては問題なく、限界電
流値の低下も生じない。
後は電極の劣化が生じて素子抵抗の増大による高濃度側
での出力低下および全濃度域における限界電流値の低下
が発生する。これに対し、本発明検出器では電極の劣化
により素子抵抗が増大しても、あらかじめ充分素子抵抗
を小さくしているため、出力としては問題なく、限界電
流値の低下も生じない。
以上説明したように、本発明検出器では電極面から多孔
質セラミック溶射層を引き離したため、溶射層とは別個
に電極を大きくすることが上させることができる。また
、セラミック溶射層を固体電解質セルとは別個に作るこ
とができるため、所望のガス拡散匿の多孔質層を容易に
得ることができ、検出器の精度向上に役立つとともに溶
射層の管理も容易であるなどの利点を併有する。
質セラミック溶射層を引き離したため、溶射層とは別個
に電極を大きくすることが上させることができる。また
、セラミック溶射層を固体電解質セルとは別個に作るこ
とができるため、所望のガス拡散匿の多孔質層を容易に
得ることができ、検出器の精度向上に役立つとともに溶
射層の管理も容易であるなどの利点を併有する。
第１図は、従来の検出器の素子本体の一例を示す断面図
、 第２図は本発明検出器の一実施例の断面図、第６図はセ
ラミック溶射層の形成方法を示す断面図、 第４図はセラミック溶射層付アルミナホルダーの一例を
示す断面図、 第５図は本発明検出器の他の実施例を示す断面１図、 ８６図はＶ−Ｉ特性測定回路図、 第７図は本発明検出器のＶ−Ｉ特性を示すグラフ、 第８図は比較例検出器のＶ−Ｉ特性を示すグラフ、 第９図は本発明検出器の耐久前後の酸素濃度と出力との
関係を示すグラフ、 第１０図は比較例検出器の耐久前後の酸素濃度と出力と
の関係を示すグラフである。 図中、 １・・・固体電解質セル、２，３・・・電極、４・・・
アルミナホルダー、６・・・セラミック溶射層、１１・
・・ハウジング、１２・・・セラミックチューブ、１３
゜１４・・・リード線。 時計出願人 トヨタ自動車株式会社 は力）１名 矛１ Ｑ 矛２ ■ 矛７ 図 ２９ 囚 酸素ｊ瓜度（’／、） 矛８ 図 ２１０図 ０ １０ 腋素濃度（’／、）
、 第２図は本発明検出器の一実施例の断面図、第６図はセ
ラミック溶射層の形成方法を示す断面図、 第４図はセラミック溶射層付アルミナホルダーの一例を
示す断面図、 第５図は本発明検出器の他の実施例を示す断面１図、 ８６図はＶ−Ｉ特性測定回路図、 第７図は本発明検出器のＶ−Ｉ特性を示すグラフ、 第８図は比較例検出器のＶ−Ｉ特性を示すグラフ、 第９図は本発明検出器の耐久前後の酸素濃度と出力との
関係を示すグラフ、 第１０図は比較例検出器の耐久前後の酸素濃度と出力と
の関係を示すグラフである。 図中、 １・・・固体電解質セル、２，３・・・電極、４・・・
アルミナホルダー、６・・・セラミック溶射層、１１・
・・ハウジング、１２・・・セラミックチューブ、１３
゜１４・・・リード線。 時計出願人 トヨタ自動車株式会社 は力）１名 矛１ Ｑ 矛２ ■ 矛７ 図 ２９ 囚 酸素ｊ瓜度（’／、） 矛８ 図 ２１０図 ０ １０ 腋素濃度（’／、）
Claims (1)
- 板状の酸素イオン透過性固体電解質の両面に薄膜状の電
極を形成してなるセンサ素子本体の少くとも陰極面上に
、ガス拡散律速層として多孔質セラミック溶射層を、電
極と該溶射層との間に閉鎖された空間を存在させて、設
けたことを特徴とする限界電流式酸素濃度検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58121264A JPH065220B2 (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | 酸素濃度検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58121264A JPH065220B2 (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | 酸素濃度検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6013256A true JPS6013256A (ja) | 1985-01-23 |
| JPH065220B2 JPH065220B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=14806943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58121264A Expired - Lifetime JPH065220B2 (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | 酸素濃度検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065220B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179653A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-06 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 限界電流式酸素センサ |
| EP0259175A2 (en) * | 1986-09-05 | 1988-03-09 | Ngk Insulators, Ltd. | Electrochemical gas sensor, and method for manufacturing the same |
| JPS63307352A (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-15 | Toyota Motor Corp | 酸素濃度検出器の製造方法 |
| US6340419B1 (en) | 1998-08-25 | 2002-01-22 | Denso Corporation | Multilayered air-fuel ratio sensing element |
| JP2006503308A (ja) * | 2002-12-19 | 2006-01-26 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | センサ素子 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5269690A (en) * | 1975-12-05 | 1977-06-09 | Westinghouse Electric Corp | Partil pressure measuring apparatus for specified gages in sighted environments |
| JPS5272286A (en) * | 1975-12-12 | 1977-06-16 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Oxygen concentration analyzer |
| JPS57184963A (en) * | 1981-05-11 | 1982-11-13 | Toyota Motor Corp | Lean sensor |
-
1983
- 1983-07-04 JP JP58121264A patent/JPH065220B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5269690A (en) * | 1975-12-05 | 1977-06-09 | Westinghouse Electric Corp | Partil pressure measuring apparatus for specified gages in sighted environments |
| JPS5272286A (en) * | 1975-12-12 | 1977-06-16 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Oxygen concentration analyzer |
| JPS57184963A (en) * | 1981-05-11 | 1982-11-13 | Toyota Motor Corp | Lean sensor |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179653A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-06 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 限界電流式酸素センサ |
| EP0259175A2 (en) * | 1986-09-05 | 1988-03-09 | Ngk Insulators, Ltd. | Electrochemical gas sensor, and method for manufacturing the same |
| JPS63307352A (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-15 | Toyota Motor Corp | 酸素濃度検出器の製造方法 |
| US6340419B1 (en) | 1998-08-25 | 2002-01-22 | Denso Corporation | Multilayered air-fuel ratio sensing element |
| JP2006503308A (ja) * | 2002-12-19 | 2006-01-26 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | センサ素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH065220B2 (ja) | 1994-01-19 |
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