JPS5986715A - 乾潤滑被覆の形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 気体ホイル枢支１１１１受におけるホイル部材の摩擦を
介在Ｌ，　’Ｃ接触する接触面の乾潤滑被覆を形成する
方法に関する。

７１に．休又は気体軸受の用途は昨今急増している。

これらの流体軸受は一Ｍｌｊに相対的にｕＪ　！ｉＨυ
の２つの構成部１゛４より成り、両部材間の所定の間隔
を持つ空間には、例えば空気などの流，体がん１．人さ
」する。

前記流体は、軸受の作動時に流体１くさび」の如く作用
し、相対的に可動の２つの構成部材相互の接触を抑止す
る。

近年相対的に可動の軸゛受楢成部ｄ間の壁間にホイルを
配設せしめた流体軸受、特に流体力学（二立［１＋１１
　Ｌ，た気体軸受が多ｈ提案されている。前記４（イル
は柔軟な材料で薄手のシート状に形成されており、軸受
部材の酌ｊｒ面間において流体力学上好適な力を力え、
流体Ｑ１＋受の流体力学上の特性が向上され、ｆｌ来の
ｉｌｉｌ＋受゛〔！は問題を生じるような極限のｉ＋１
，ｊ用条件でもＪ′Ｊ奸に１１７１作する。更に前記ホ
イルは相対的に可動の軸受ｈＪｌ成部４Ａに対する好ノ
内な離間れｂヒに加え、Ａ．２５両（’ｌ　ＩＩ並ひに
制動作用も良好にするよう機能し得る，、 清浄な流，体，らイ）いは気体のような軸受流体は流体
力学Ｉ；極めてｒＪ川であＩ」、流体フィルムによるｆ
ｌ’司滑軸受は特に高，ｉ．、ｌｉ回転１，ｌ構に適用
し，”Ｃ最適である。多くの場合、１Ｍ体力学的、即ち
格別の肪１滑利が不卯である流体１１１１受は、２つの
相対量する面の相対的な運動におい°〔流体フィルムに
より生じるＩＩ：、力のみで十分な軸支機能を供するこ
とができるが、軸支機能を増大させるには軸受構成部材
間の流体に対し外部より加圧することが必要である。

一方外８（＜から圧力を加えることによって流体りη１
１受の軸支１１ζ能を増大できるが、この場合加圧した
状態で清浄な流体を供給することが必要となる。

本件出願人の所自する流体力学ないしは流体静力学的軸
受仁関する特許は例えば米国特許第３。

２１５、４７９号、第３，２１５．４８１１号、第３．
３６６．４２７号、第３．３７５＋（１４６号、第３，
３８２，０１４号、第３、４３４，７６２号、第３，４
６７．４５１号、第３　＋　５１　１　＋５４４号、第
３．５６０，０６４号、第３，６１５＋　１２１号、第
３．６３１５．５３４号、？ＪＳ３，６７７．６１２号
並びに第３。

８９３　、　７３３号等々が挙げられる。

これらの流体フィルムホイル軸受は作動時において、始
動、減速、高速時等々にホイルと軸受構成部材の面間な
どの相対的に０」触の槽底部材間で）ｌ゛擦を介在した
接触が生ずる。この摩擦接触は、ポ・イルと軸体又はブ
シュとの間、一方スラヌト軸受においてはスラスト板又
は羽根車において生じる。且いずれの軸受においてもホ
イル又はホイル強化部材の一部を一部（ねて配設した場
合はまた摩擦接触が生ずることになる。

これらの接触面あるいは摩擦面がいずれの部材との間で
生ずるときも、始動時の摩擦を軽減するため、またはｌ
ｊｌ耗を防ぐために、通常は薄手の柔軟な全屈でなるホ
イルが接触面よりも更に柔軟な乾Ｐｌ滑被←利Ｃ多層に
被覆される。乾潤滑波覆利は弗化炭化水素重合体、ｌＰ
Ａ鉛またはモリブデン（＋１化物等の物５ｑ．　、１１
′１体もしくはｄｔ，合物でなるが、金属相への有段が
概し゛（、内錐である。従って通常これらの物質は、高
いｆ．１着性を持つように接着材と？Ｉ？、合され、且
その強度、ｉｆｌｔ　ｍ性、１１ｉ１磨耗性を向上する
ように他の好適な物質と混合される。加えて、ボイルの
表面Ｌ１．　（ｆｌ　削減又は砂状粒子の吹付けなどの
種ｈの方法により蝕刻されるか、あるいはプラズマスプ
レーｌＩ、いしは・イオン沈澱法により被覆が７１１ｉ
され得る。ある場合にはＴ閑渭性の低い被榊を施すこと
もある，、ホイルを被籾する構成は米国時Ｈ′「Ｈ＋＜
３，６７７．６ｒｚ号、第４，００５，９１４号、英国
時ｆｒｍ　８２１　、９５４弓等に示されている。また
別の構成として本件出願人による米国特願第３３，９３
１号［ホイル軸受面及び、（の製造法」が提案されてい
る。

上述のホイルｌｌｌｌｌ受の摩擦面に対する被覆構成に
より損耗を抑１１・できるが、現在は更により高い側熱
．性が求めらＡシ’Ｃいる。ホイル軸受の耐熱性を向ト
するには、ホイル部材のｎ１ツ渭被桝層自体に充分な１
ｌｉｊ熱性を１＋たぜる必′事がある。

４ｉ、を来の比較的低回転速度のす１１（受で試験を行
なった結）１と、作動時に生ずる熱に対する耐熱ｖ１・
が良好な乾側渭彼慎材は黒鉛弗化物、即ちｌハ鉛粉と弗
化ガスを所定の調胱した条件−トで１１１接化学結合さ
せることによって得られる。

黒鉛弗化物の粉末を直接軸受のｈ゛−擦接触ｊＴｉｊに
付着する構成は、例えばパニシ法などによって実現され
てはいるが、ポリイミド樹脂などの液状接着剤と混合す
ることにかなり好２１次である。且この黒鉛弗化物の粉
末と接層剤の混合物が軸受の接触面に付陪され、更に乾
静１滑フィルトを）１５成するように硬化される。この
ような乾ｄＮ渭フィルムを軸受４＋”Ｉ成部材上に形成
する方法は１９７２年発行の来航！と宇宙局技術ノー）
　Ｔｌ　−６７，１４１ポリイミド接着剤に」−る固体
１）渭４゛イをなす黒鉛弗化物」（二記載されている。

一方、低回転速度の軸受においては、黒鉛弗化物とボＩ
Ｊ　−（ミド接着剤のフィルムを付着させて耐熱性か保
糺されるにもかかわらず、通常イσ分１００１０（１０
回１１ｉ・、を７１号える回転速ハＬで作動されるホイ
ル軸受の柔軟ムホイル部材に適用する場合この潤滑被色
は全く満足Ｃきるものではなか−）だ。これはｖＬ来の
技術では乾憫清フィルムをホイル部材全曲に亘って１つ
−なＪ９．さて伺着できず、且充分な平滑さを持たせる
ことができないことによる。

接触面を高ｊ１ｙに平ｆ１％にし且乾憫渭被葎の厚さを
均一にできないため、従来の黒鉛弗化物の乾憫滑フィル
ムなホイル軸受に適用する場合適用時の制約が多く、！
トた剛用反が低かった。特に気体ボイル軸受に見られる
ように高熱高速の環境下では乾飼滑フイルノ・の５ｔｊ
が急速にイＪ−に下する問題かぁ−）だ。

しかして本発明の目的は黒鉛弗化物の乾潤滑被覆を良好
に／ｊ（体ボイル軸受部材に付着させる方法を提供する
ことにより、上述の従来の欠点を除去するにある。

以下、本発明を添付の図面に沿って説明する。

第１図には本発明が採用されるホイル枢支軸受Ｑｌｌｌ
が示されている。前記ホイル枢支軸受（１（σは軸体θ
２を具備しており、前記軸体は円筒状のブシュ０４）［
１１ら枢支体に形成され前記軸体のＩＧ径より幾分大な
る直径を有する開口部に１１ハ方向に貫通されている。

軸体（１２１とブシュ０４）間の空間には、ブシュ０４
）に旧設され、前記ブシュ（１４１と連動する、一部が
重なりあった初数のホイル（１６１が配設されでいる。

軸体（以の一端に付された矢印とブシュ１４）の外周面
に付された矢印は前記軸体（１カと前記ブシュ（１４）
との相対的な回転方向を示すものである。両者において
この回転関係を維持するには軸体（１２＋とブシュ（［
４）の双方が共に回転される必要はなく、一方が固定さ
れていても、矢印で示された軸体（１２＋とブシュ（１
４）の所望の回転関係は得られ得る。

第２図を併照するに、前記の各ホイル（１６）は薄手で
柔軟性のある金属ボイル部材（Ｉ８１を包η１．ており
、前記全１！１ホイル部材（国には摩擦力を介在して接
触ｔｉｆ能ｔ【接触面（２（メが豊設され、前記ホイル
（１Ｇ）の接触面Ｃ！ｆｉｌ　（１＋１１が軸体ｕ′ｌ
Ｊに対面することになる。この場合ｎ；＋記接触面（、
！＋ｉはＪ’７さ０．　＋１旧インチ（（＋、　０２５
４　ｒｎ、ｒｒｔ　）の局ぐイ１弗化物（以下ＯＦアと
いう）、即ちポリイミドｔ？　着剤の乾４■滑フ・ｆル
ム（２３により被覆されており、前記乾潤渭）ｆルノ・
（２カによってボイル枢支軸受ｔ＋ｒｌｌの、特に通常
Ｈ＋１１１作における始動、終結並びに停止時において
ｌｌｌ１＋体（１″ｌＩとホ・イル（１６）間の摩擦接
触により生ずる＃れが防、＋−１ｒされる。

一方、従来の低速軸受における耐熱力、即ら従来のＯＦ
ｘ接着剤を用いた軸受の耐熱力では、ホイル枢支軸受は
高速回転により生じ、増大する高熱には適応できなかっ
た。尚肛述すれば特に、毎分ＩＯ０，０００回ＩＩ伝以
上の回転なイ（トう場合、一般的なホイル枢支→１１１
受の回転速度並びにこの回転に伴なう高熱状態に幻応す
る程度の耐用度を持つ従来のＣＰ′ア接着剤による被覆
体では、適用時の制約が極めて多く　、Ｊ、１．１ｌｌ
ｉｌ川性も著しく低かった。これは、ボイル体の摩ＪＪ
、’＜面をＣＦア接着剤にＪ、る乾４°弓渭フィルムで
被ｆぷづ−る周知の方法にあっては、前記乾問清フィル
ムに求められる均一な被々゛０厚並びに充分平滑な表面
を得ることができなかったことによる。

総じて上述の如＜ＣＦｙ接着剤の乾憫滑フィルムは高速
回転用のＪｊ；イル体の被覆時に必要な条件が欠除しＣ
いるため、ホ・イル枢支軸受において顕著な高速、高温
状態では、１ｎちにその繍能が低下する欠点かぁ−）だ
。

本発明は、ポ・ｆルの摩擦接触する接触面にＣＦ。

接着剤の乾■渭被ａｔ　Ｊ？＋を施１独特の方法を提供
することによって上述の従来の欠点を解決するにある。

本発明の方法に」：る被覆体においては、高度の表面平
渭度並びに被覆の均一度が得られ、従ってホイルの耐用
性が増大し、且本発明な好」肉に適用したボイル枢支１
１１１受は高速回転軸受として＾・を適である。

更に本発明を詳述する。第３図を参照するに、好適な一
実施例においては、柔軟な金属ホー（ｙし部＠；　Ｇ８
＋の接触面Ｑυを先ず２８０〜３２０グリツドの紙やす
りにより互いに直角に交わる二方向に研磨することによ
って粗面にし、次いでアルコールにより接触面」二に残
った紙やすりの砂粒子を洗浄する。

次に３〜５ミクロンのアルミニウム酸化物（粉末状アル
ミナ）と蒸留水とをｊｌｌ、合しペースト状にした」二
、この混合物で粗い接触１ｒｉｉ　ＱＱを肥き、且接７
５９面を水洗して充分に含水させる。更に接触面■に充
分に含水を行なった後、蒸留水によって接触面を洗浄し
た上乾燥する。これにより接触面（２０）に対し被＆’
３備が整い、被覆処理の開始まで好適な状態に保つため
金属ホイル部材（１８１を清浄なプラスチックに収容す
る。

上述の清浄で、粗面の接触面（２０）に対し下記の混合
物によって液体被覆が施される。

１、黒鉛弗化物（ＣＦｘ）の粉末（ｘｎで表わされる弗
化物と黒鉛のモール重散比は約１．０）２ポリイミド接
着剤液（例えば米国デュポン社製の商品名Ｐ４７０１ポ
リイミドフェス液等）３、　Ｎ−メチルピロリドンとキ
シレンのシンナー混合液（例えば米国デュポン社製の商
品名Ｔ　８５８５シンナー等） ４、混合物表面における張力を和らげ、全面において平
滑な乾被覆仕上げを達成するために適した弗化炭素の浸
潤溶液（例えば米国スリーエム社製の商品名ＰＣ−４３
０等） 上記組成の混合物を得る場合、まずポリイミド接着剤液
、例えばポリイミドワニスのＭ量並びに質量を測定する
。次にポリイミドワニスの３倍の州の上記３のシンナー
混合液を前記ポリイミドワニスに混合する。更にこの混
合液に含まれるポリイミドワニスの４３　ｆｉｔ　ｍ　
％Ｆの（：　Ｆア粉末を混入し、最後に１−記４の浸１
り」溶液を少１〜１添加する。

この後前記混合物を充分に攪拌し、好適な吹付は装置Ｋ
、例えばガス状二トロゲン（”’Ｎｚ　）　、あるいは
他の不純物を含まないガス状作動剤によって駆動される
エアブラン装置に充填し−０行なう。被損を施す場合、
先ず接触面（２（メ上に小波接層＋２４）を吹付ける。

前記の小波４ｍ　Ｍ　ｔ２４）を形成した後、前記接触
面（Ｊｌｌを有したボイル部材（国を、予め約２２５°
Ｆ〜２７５’Ｆ　（約１０７’Ｏ〜１３５°Ｃ）に熱し
ておいたオーブン内に約１時間入れ、前記小被覆Ｒ〜を
硬化させる。次に上述と同様の方法で小被核層（２４１
上にＣＦＫ接着剤の混合物で第２、第３の小波株Ｗ４ｔ
２（０、（２８をＪＦｔ次形酸形成小波（（（層を硬化
させる。上述の処理においては、吹伺は処理の際にＯＦ
、粉末がコロイド状懸濁液に安定して混入されるよう混
合液を充分攪拌する必要がある。

上記の処理工程により第３の小被覆層（至）が硬化した
後、予め同一のグリッド数を持つ紙やすりを互いにこす
り合わせて研磨面を鈍化させた６００グリツドの紙やす
りで前記第３の小被覆層（至）の上面圓を軽く研磨し、
その後ガス状二トロゲン（ＧＮ２）等を吹付けて上面（
７）上の砂粒子を払拭する。研磨の完了した小被覆層の
上面（至）を更にガス状二トロゲン、若しくは蒸留水に
よって清浄にした後、約２１２°Ｆ（約１００°Ｃ）で
１５分間乾燥する。

次（二ＯＦ工接着剤混合物によって更に三層の小被覆Ｎ
Ｉ３’２ｒ　、　ｃ１４）、　（３０を、前記小波ａＭ
（２ｓ＋の上面（至）に形成する。前記小波ａｔｓｏｚ
　、　ｏ４１．□□□の三層の各々゛の形成時にあって
も、小被覆層（２４）　、　（２［ｎ　、’（２Ｂの形
成時と同様約２２５°Ｆ〜２７５’Ｆ　（約１０７’Ｃ
〜ｉ３ｓ’ｃ　）で約１時間乾燥し、硬化を施す。最上
層の小被覆層（至）が硬化した後、その上面■を上記上
面（至）と同様の方法で研磨し且清浄にする。

次いで前記小被覆層（３６１の上面（至）上にまた史に
三層の小被覆層を形成し、上述と同様に約２２５°Ｆ〜
２７５’Ｆ　（約１０７　’Ｃ〜１３５°Ｃ）で硬化す
る。この場合、何層の小波ａＭを施すかは最終の小被覆
層の硬化後の全被覆層の厚さが乾朽滑フィルムに求めら
れる厚さ約０００１インチ（約（＋　＋１２５４　ｍｍ
　）より更に約（１，（１（ｌ　ｌ）８インチ（約０．
０２０３　ｍｍ　）厚くすることを目安とする。第３図
に示された乾旧渭被租にあっＣは、最終の小被覆層が小
波梼層囮、　（４７）　、　（４４）の三層により形成
され、最終的に小被覆Ｍ（４４）の上面１６）がたん呈
されることになる。

最上位の小被覆層が硬化し全彼覆層厚が完成時に求めら
れる厚さより、約０．０１１０８インチ（約０．０２０
３ｍｒｎ　）　）Ｉｊ’、　＜、なったことを検知した
後、金属ホイル部ｄを、予め約２１２°Ｆ（約１００°
Ｃ）に熱して力いたオーブンに入れる。その彼前記オー
プン内のイ１１１！化ｐｉ　＋＝を約６５０　”　Ｆ　
〜７５　（１″Ｆ（約３４３°ｃ　〜３９８’Ｏ）の間
まで旧姓する。最終的に硬化温度が約６５０’Ｆ〜７５
ｎ’ｙ　（約３４３’Ｏ〜３９８’０　）に達したとき
（通常のオーブンでは３０〜６０分を要する）、金属ホ
イル部材を約１時間この高温中で硬化せしめ、その後、
前記金属ホイル部材をオーブンより取り出し冷却する。

硬化温度を上記の温度にした結果、少する。

多数組の被角層でなる乾灼渭フィルム（２２＋の全表？
Ｎｉをさら（二手ｒｒｒにするため、上面（４６）をそ
の全曲が均一な光沢を持つまで夕景のＣＰ・アの粉末（
４８１で暦くことが望ましい。この場合星ン１出しには
微細な織布あるいは同様のリント布材等を用いてもよい
。次に所定の厚さ」、すｄＹ＋過しでいる被覆層部分”
ｔ”を除去するように、ｊ＋　ｐｌアの粉末（４８〕を
含んだ上面（４６）を、予め砂粒を磨滅さセておいた６
（）０グリツドの紙やｒりで研磨する。

上述した枯１＋Ｊに、１、り得た乾潤滑フィルム（２２
においては、厚さがＪｙ−にされ且表面の平滑度が増進
され、ｇｔ＜　１図に＞Ｊ’ｋ　Ｌだような／＋１Ｌ体
ホイル枢支軸受（１１力に、両用［７て高１１１＜・高
温時にあっても充分な面］摩耗性を４７Ｊ供することが
でき、対応性に富むものとなる。

この好適な結果は、本発明において特徴的な構成をとる
ことによって得られる。即ち第一に、上述のごどく各小
１皮覆Ｊ１１１を次段の小被覆層の句着前に比較的低い
第１の設定温度で硬化することが挙げられる。これによ
り硬化時に、水痘の発生もなく、小被覆層が不均一にな
らずに、ＣＦＸ接着剤混合物溶液が徐々にかつ均一に乾
飼清フィルム（２２とし°Ｃ形成されることになる。

第二に、乾４ζｍフィルムＣｌ２１を多数の小被覆層か
ら形ｈＶ、する際、小波籾層が所定の）νさを保つよう
各小被覆層毎に研磨をＭＩＸす。この場合、三層の小波
籾層を一絹としで扱うことが望ましい。例えば、完成時
のノψ、さに対し、９層三組の小波Ｊｉ層により１８０
％の厚さを持たせる場合、ｌ］・被覆層の第３゜６並び
に最、Ｌ位の小破色層の形成時ブσに名々研磨を施すこ
とが好ましい。（このときホ１［をなイ小被覆層の航並
ひにＪ９さは）４宜選択できる。）この特定のＪｌｌさ
毎に乾酒渭フィルム（２カを研磨することにより、最終
的な硬化後の多Ｈの小被覆層群の厚さを高度に均一にで
きる。

第三に、１１′Ｉに力１１熱したオーブンにより硬化さ
せる如きｊ・Ｅ来の製法に比し、最終的な硬化温ｔＸま
で徐々（−加熱源）隻を上列させる構成をとることによ
り、表面上に欠点を生ずることなく、均一の〃、さを有
した乾Ｃｄ　ｎｌソずルムｃ２を形成できる。

加えて最終段Ｆｉ、Ｖで小彼枦ノ・旨上面（４Ｇ）の表
面にｃＦ工の粉末の薄い夕ｔ　／＃ｉを伺看することに
より乾氾Ｊ渭フィルム面を高１（ロニ十漕にし、晶熱丁
°での耐用性を増大℃きる。

総じ゛Ｃ１木企明は（！Ｆ′ア接触面に乾飼渚被功を施
すことにより例えば第１図に示したボイル枢支軸受０（
））の如き気体軸受ないしは他の形態の軸受（例えは円
すい型動・受、スラスト中ｉｌｌ受）のように高速回転
し高熱をイ＾生−４るものに３・り用１．で最適の効果
を搾成することがＣきる。

他の火飾ＩＬＨ様な・用約して記載すれば以下の通りで
ある。

１接触面を１′する柔軟なボイル部材を準備する上程と
、黒鉛１１１ｉ化物の粉末とポリイミド接着剤液どを含
む被覆７Ｉ／、合（Ｊを準備する工＋’ａと、：’＋：
Ｊ記接触而接触）ψνの小被覆層を複斂の組（１分りで
伺着する工程と、前記小被覆層を組毎に？ＰＪ１のＦｈ
定の硬化温度で硬化する工程と、前記小波籾層の表面を
和毎に？ｉｌ＋磨する工程と、前記多層の小波核層を前
記の第１０）　Ｉ”Ｊｔ定硬化温ＲＣより実質的に高い
第２の所定の硬化温度で（ｉ＋１４化する工程ど、最−
に１位の小被覆層の表面を黒鉛弗化物で肪く工程とを包
有してなるホイル枢支軸受のボイル部材の接触面に乾活
滑被僅を形成する方法。

２上記第１項の方法により形成された被Ｊ？ｊホイル部
材。

【図面の簡単な説明】

ｆｊ’Ｓ　、図は本発明の方法により形成する乾潤滑被
覆を適用するホイル枢支軸受の余１視図、ｆＩＩＪ２図
は同一部をしυ開いて示す部分拡大余１祝図、第３図は
本発明の方法の工程説明図である。 １（）・・・ホイルイ（べ支軸受、１２・・・軸体、１
４・・・ブシュ、１６・・・ボイル、１８・・・金属ホ
イル部側、２０・・・接触面、２２・・・乾４１４渭フ
ィルム、２４　、２６　。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　乾潤滑利ど７ｔｔ　：ｌ（接着剤とを自む被覆混合
   物を準備する準備１１稈）・、軸受部月の接触面に前記
   被棟混合物により。ヒ層の小被覆層を施す刺着工程と、
   小被籾屑の名ノ・６・！″「シ】の所定温度で硬化させ
   る第１の硬化ゴー不１．１と、所定の厚さに達した／Ｊ
   ＼被覆層の表面を研磨するイσ１１１リエ稈と、引Ｂ１
   の所定温度より高い第２の朗定？１．Ａ度で多層の小被
   籾屑を硬化させる第２の硬化１’、　４’ｉ！を包有し
   てなる軸受の摩擦接触面に乾りνＪ滑被１′μを形成す
   る方法。 ２、多層の小被覆層ず４の表面に乾潤滑材を付与する乾
   ４１゛１滑イ１月与］：ｉ、ｊが包有されてなる特許請
   求の範囲？ｒへ１項記載の力θ、、。 ３、　４＋）１　ｊｒ９、−Ｌ−稈に口♂ｔ５に位の小
   波籾屑表面の研磨工程が包（ｒされ、乾４５５１清祠向
   島工Ｌ′ｒには最上位の／Ｊ’ｌ被（、／Ｊ　７１１表
   面の萌ｎｑ　＋）：＋に乾小′Ｊｍ材粉末により前記小
   被榎Ｊｐｊ表面を＋！’、＜工程が包有されてなる特許
   請求の範囲第２項記載の方法。 ４、準備］−程には黒鉛弗化物のＶ）末とポリイミド接
   着剤との被覆混合旧の形成工）、νが包ｒｊされでなる
   特に′Ｆ請求の範囲ｙｒ＜　１項記載の方法。 ５、準備工程には、ノＳＡ鉛弗化物の粉末、ポリイミド
   接着剤、Ｎ−メチルピロリドンとキシレンのシンナー混
   合液並びに弗化炭素浸ｆｆＡ１　ｒｆＪ液を含む被覆混
   合相の形成工程が包有されてなる特許請求の範囲第１項
   記載の方法。 ６　準備工程には一定鼠のポリイミド接着剤、前記ポリ
   イミド接着剤の３倍の丸のＮ−メチルピロリドンとキシ
   レンのシンナー混合液、１ｊｉｌ記ポリイミド接着剤の
   約４５重劉％に和尚する［ＩＩの愚ｆｌ）弗化物（！　
   Ｆ＋、ｏ粉末並びに相対的に少！（（の弗化炭素浸潤溶
   液を含む被ね１混合剤を形成する工程を包有する特許請
   求の範囲第１項記載の方法。 Ｚ　第］の蜆化工程においては小被覆層を硬化する第１
   の所定温度が実ｙｔ的に２２５″Ｆ〜２７５°Ｆ（約１
   ０７°Ｃ〜１３５°Ｃ）である特許請求の範囲第】項記
   載の方法４゜ ８　第２の硬化工程（−おいては多層の小被覆層を硬化
   する第２の所定温度が実ｙｉ的にｆｉ５１１’Ｆ〜７５
   ０°Ｆ（約３４３°Ｃ〜３　！ｌ　８°Ｃ）である特許
   請求の範囲第７項記載の方法。 ９　第２の硬化工程においては多層の小被覆層を実質的
   に所定の硬化温度２１２°ｐ゛（約１０（＋’ｏ　）に
   置き、次に硬化温度を実質的に第２の所定温度６５０°
   Ｆ〜７５０″Ｆ′（約３４３″Ｃ〜３９Ｂ”Ｃ）まで上
   列し、実質的に１時間硬化してなる特許請求の範囲第８
   項記載の方法。 １０　　研ｆｆＶ工程においては、多層の小波νＬ層の
   ）Ｖさの約１分の１の厚さに位置する小被覆層の表面を
   研磨し２てなる特許請求の９１１？囲第１項記載の方法
   。 １１、黒鉛弗化物の粉末とポリイミド接着剤液とを含む
   被覆混合相を形成する被損混合剤形成工程と、ボイル部
   イオの接触面に多層の小波４′１１＠を施す付着工程と
   １．Ｊ＼被覆層の各々を硬化する第１の硬化工程と、所
   定の厚さに達した小被覆層の表面を研磨する第１の研磨
   工程と、多層の小被覆層を比較的低い所定の低硬化温度
   直装置き、次に硬化温度な高い所定温度まで上−ＪｆＬ
   ｌ、、、且小波（λ層を所定の時間硬化せしめるｉ’ｌ
   ｓ　２の？＋ｉｌ、（Ｌ工程と、黒鉛弗化物の粉末によ
   り硬化後の４５＃４の小被覆層表面を磨く磨入工程と、
   多層の小？ＪＩ／々：峡層の全厚が所定の厚さになるよ
   うに偵！化１）・の小被覆層表面を（ＨＩＦ磨する第２
   の研磨工程とを包Ｂ１．−ｃなる高速回転するホイル枢
   支軸受のホイル部イ、イの接触ｉｒ＋ｉに乾叫滑被覆を
   バａ成する方法。 １２　　第１のイ１（１磨ユ６程においては、研磨する
   小被覆層が多層の小波ＪＪｔ層の全厚の実質的に３分の
   １の厚さをもって等間隔に位１ｔｔせしめられてなる特
   許請求の範囲り＜２項記載の方ｌム。 １３、付着工程にＪ＋いては接触面に被色混合月によっ
   て９層の小波）・１連層が形成されてなる特許請求の範
   囲第１２項記載の方法。 １４　　第２の研磨工程においては、多層の小被覆層の
   全厚が（１，ｏｏ、Ｉ　□インチ（約（目）２５４　ｒ
   ｎｍ　）にされてなる特許請求のｉＩＣ＋囲第１３項記
   載の方法。 １第２の硬化上オ°ｃにおいては、硬化温度を実質的に
   ２１２″Ｆ゛（約１１１０’（＋　）から実質的に６５
   ０’Ｆ〜７５０”Ｆ　（約３４３°Ｃ〜３ｑｓ”ｃ　）
   まで徐々に上昇し、実質的にｊ時間多層の小被覆１を硬
   化してなる特許請求の範囲第１里項記載の方法。 １６　　黒鉛弗化物の粉末、ポリイミド１）２着剤液、
   Ｎ　−メヂルビロリドンとキシレンのシンナー混合液並
   びに弗化炭素浸祠溶液を含む被覆混合材の形成工程と、
   ボイル部材の接触面に多層の小波ａ　Ｊ？’ｌｌを施す
   付着］−程と、小被覆層の各々を第１の所定硬化温度で
   夫々硬化する第１の硬化工程と、所定の厚さに達した小
   被覆層の表面を研磨するイσ（磨工程と、多層の小波４
   Ａ層を実質的に第ｌの所定硬化温度より高い第２の所定
   ７＋ｉＩＩ化温１ｙで硬化する第２の硬化工程とを包有
   してなるボイル枢支軸受のホ・イル部材の接触面に乾潤
   渭肢榎を形成する方法。 １７、多層の小被覆層の表面に乾暫ｌｌ′ｌｔ利の薄手
   の層をが「す−’４ｔ′ｉ、ｆ１９Ｊ清拐刊与工程を包
   有してなる特許請求の範囲第１６項記載の方法。 １８、乾祠渭材（；Ｊ与工程においては、少桓の黒鉛弗
   化物の粉末により多層の小被覆層表面を磨いてなる特＃
   ’Ｆ　Ｉｉ□１求の範囲！￥４１６項記載の方法。 １つ、研磨工程にお゛いては、小被覆層表面なイ（１（
   磨する工程が包イ」さ、（℃て／Ｊ、る特許請求の範囲
   裏目３項記載の方法。 ２（）　　第２の硬化Ｌｔ！１！においては、多層の小
   被覆層を実質的にｆｉ５０”Ｆ〜７５０’Ｆ　（約３４
   ３６Ｃ〜３９８’Ｏ）のイゆ化１）１層度により硬化し
   てなる特１１″請求の範囲第１６噴記載の方法１． ２１、　　第２のイｌ史化王稈（−おいては、多層の小
   被覆層な実質的に２１２°Ｉｒ　（約１００°Ｃ）のイ
   １ｊｌ−化温度に（ＩＱ、き、次に硬化温度を実質的に
   ６５０°Ｆ〜７５０’Ｆ　（約３４３°Ｃ〜３ｑ８”Ｃ
   ）　７１署ｅ徐々に上！１し、所定の時間硬化してなる
   特ｎ′１請求の範囲第１ｉ項記載の方法。 ２２　　第２の硬化工程においては、硬化温度を第ｌの
   ′　　所定硬化温度から第２の所定硬化温度６５０°）
   〜７５０°Ｆ（約３４　：ｌ　’　ｒｊ〜３９ｓ’Ｃ）
   まで、に昇し、小被覆層を実質的に１時間硬化してなる
   特許請求の範囲第２１項記載の方法。 ２３　　研磨工程においては、多層の小被覆層の全厚の
   約３分の１のｐｊ＋さに位置する小波（゛荘１ｆ４表面
   を研磨する工程が色白されてなる特許請求の範囲第１６
   項記載の方法。 ２・１１月着二Ｌしｌｉｊにおいては、打３乃虫面（二
   阜ン、　１１７．Ｉ滑混合４゛ｊ（二より９層の小波色
   層が付設されて２Ｊる特＃′ｒ請求の範囲ｆ５２３項記
   載の方法。