JPS5985905A - 表面処理試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、表面処理・試験装置に門１−１特定すると、
試験作業をも行ないながら表面処理作業を遂行し、作業
時間や誤りや材料の浪費を大幅に減じ、他面において生
産性および効率を向上するようにした試験・処理装置に
関する。本装置は、構造や動作が比較的簡単であり、使
用容易で、高信頼性があり、しかも軽済的に製造可能で
ある。

従来、金属部品等の処理に際しては、欠陥部品を検出し
、欠陥部品の不必要で費用のか〜る処理を避け、他面に
おいて非常に重要な利益を享受するため、非破壊試験法
が使用された。例えば、鋼ビレットの処理においては、
ビレットに対して続いＣの費用のか入る処理作業を遂行
するに先立って、欠陥を検出するため磁気粒子検出法が
採用されている。磁気粒子検出法では、普通は液体キャ
リヤに分散した微細に分割された粒子を、ビレットの磁
化中または磁化後にその表面に供給する。

すると粒子は、表面または表面近傍のクラックまたは欠
陥により生ずる漏洩フィールド柁集中する。

磁気粒子検査によりクラックシバ指示されると、ビレッ
トの冒された部分は削り取られ、ビレットをよ、後続の
処理作業に際して欠陥がブＩいようになされる。

この手法は、非常に利益があるが、研削作業が注意深く
遂行されねばならないし、指示さ第１たかなりの数の欠
点を有するビレットを処理するのに相当の時間がかｋる
という点で、なお改善の余地を残している。

本発明は、一般的には従来のこの手法を改善することを
目的とし、’Ｆ！ｒ定すると、この手法を遂行するに必
要とされる時間を減じ、材料浪費をできるだけ減じかつ
誤りを瞬小にすることを目的としてなされたものである
。

本発明にしたがえｔＪ’、表面または表面近傍のクラッ
クまたはその他の欠陥を含む鋼ビレツト部分を除去し、
他方か〜る欠点を含まないビレット部分の除去をできる
だけ少なくするように鋼ビレットを研削、試験する装置
が提供される。

本明細書においては、本発明は４（・１ビレツトを研削
する装置に適用されるものとして説明さＪするが、本発
明の原理は、他の形式の表面処理作業−’＜”　？’＠
ビレット」ソ、外の形式の部品（・Ｃも適用できる。

本発明のｉｌｔ鹿ｌ、【、ＨＭ−、徴にしたがえ）；１
’、非破壊試験プローブが、研削またはその他の方法で
処１１］１されつｋある部品の表面に近接するように移
１１１１されるが、好ましくは、研削車または他の表面
処理作業で支持され、処理されつ〜ある部品に１４’、
Ｉ　してそれとともに移動するようになされている。４
１１ビレツトを試験する装置においては、プローブは、
好ましくは研削車の半径方向に延びる通路内げ：支持さ
れるのがよく、そしてプローブの端部は、研削車の周面
と同一平面とされる。この配ＩＦｊの場合、ビレットの
表面の特性を研削作業中試験することができ、ビレット
中にクロックがｔ）れば適当な指示装［４でこれを指示
することができるから、操作者は、研削車が部品のクラ
ックを有する部分を研削してる間にかぎって研削を続け
ることができる。

１具体例においては、プローブは？０．４ａプローブで
あり、好ましくは渦電流プローブである。プローブを支
持手段上に結合するために、研削車の支持シャフト上に
スリップリングがｔ　５ｊられる。

他の具体例においては、プローブは、光な部品の表面に
送光し、表面からの反射波を受光するように作用し、部
品内に表面クラックがあればこれを指示するように反射
波が検出される。好ましくは、導光部制を設け、その一
部が研削車の半径方向に延びる通路内に配されるように
するのがよい。

しかして、導光部利は、その一端が４ｊＪ［前型の周面
にあり、他端がビレットの回転すη１１上にあるように
する。光源（好ましく　Ｉｒｉ、　ｌ／−ザ）が、う’
Ｉ’；　′Ｎ？、部利の端部に細い光ビームを当てるよ
うに配買され、またビレットの表面から反Ｑｊされてう
ｎ光部材を介して伝達される光を分光、検出するための
手段が設しナられている。

本発明の重要なｌ庁Ｖは、イ１１［削１ｊの表面が研削
１ｌｒ１１作中摩滅している間、名具体例のグローブが
動作状態に留まることである。／Ｊｉ光部材を使用する
具体例においては、導光部利の”：１５部は、研摩型が
摩滅するにつれて−単にＩい滅１−２．７１１摩車の表
面と同一平面となる。

電磁プローブを使用する具体例においては、爪表面が摩
滅するにつれてプローブは引っ込められる。特定の特徴
は、プローブの半径方向内方の移動は許すが外向きの移
動は阻止する装置内のグローブの支持にある。簡単であ
るが非常に有効な構造として、半径方向内方の移動なＷ
「容するが半径方向外向きの移動を阻止する鋸歯状体と
係合する剛毛が設けられる。

本発明の他の重要な特徴は、電磁プローブの構造および
数句け゛、およびプローブを付勢しがっプローブからの
信号を伝達、処理するための回路および構造にある。

仙の特徴は、導光部材を使用し、クラックに対して茜感
度を示すとともに高忠度が得られる具体例の構造にある
。

本発明のこれらおよびその他の特徴は、図面をｇ　［１
して行）工った以下の説明から明らかとなろう。

参照゛番号１０は、本発明にしたがって構成された研削
、試験装置を総括的に示しており、装置は鋼ビレット１
１を研削しかつ同時に試験する使用状態で示されている
。イ１）［削屯１２は渦電流プローブを支持しており、
該ブ「コープは、車１２０回転中ビレット１１０表面に
近接するように移動する。

グローブは、スリップリングユニット１３およびケーブ
ル１４を介して計器１５に接続される。しかして、該計
器１５け、ト３４１仮線管表示伸置１６および適当な制
御装置を含む。スリップリングユニット以外の結合装置
１：イ、例えｔｅｌ：　ｌｊ　Ｅｌ’１回転結合装置も
使用できることをす１１解されたい。

装置１０は、例えば、表面および表面近傍クラックまた
は他の欠陥の位置を指示するため予めマークを付したビ
レット部分を除去するのに使用できる。操作者は、制御
パ・ンドル１８および制御ボタン１９を使用して、電動
機を付勢してこれを回転し、表示装置１６上のクラック
指示を見ながらまた計器１５により発生され１ける可Ｍ
クラヅク指示を聴きながら、例示されるごとき位置で車
１２をビレット１１と係合させるように移動させる。

クラック指示が観察または聴取されると−き、操作者は
研削を続け、クラック指示が消えたら停止する。

ビレット取扱い装置（図示せず）は、ビレットを研削様
に関して移動させ、仙、の欠陥指示マークを車１２に対
置させるように繰作できる。このようなビレット取扱い
装置は、ビレット１１を長手方向に移動させる手段を含
み、かつビレットをその軸線の回りに回転するように機
能できることが望ましい。

装置１０の切１合、クラックまたは欠陥は、高梢度およ
び忠実度で指示でき、ビレットの欠Ｋｉ′１部分のみが
除去される。各研削動作は迅速に遂行できるから、操作
者はビレットの次のマークｆ＝Ｊけ領域に進むことがで
きる。

欠陥指示マークは、例えば磁気粒子検査法によりつける
ことができる。この方法では、普通液体キャリヤ内に分
散させた微細分割磁気粒子をビレット１１の表面上に供
給するとき、もし漏洩フィールドを生ずるような表面ま
たは表面近傍クラックまたは欠陥があれば、粒子がこの
欠陥に集中することによりマーク付けを行なう。マーク
は、磁気粒子の集中により提供でき、塗料または類似物
の付加により増大さゼることかでき、部材の欠陥領域の
位置を明瞭に指示できる。

研削車１２は、適当な装置により支持、駆動することが
でき、））る応用例においては、研削車１２を固定軸の
回りに回転させ、部品を車１２が係合する位置に移動さ
せるのが望ましかろう。例示の装置ニおいては、？ｉｌ
ｌ削車１２は、ハウジング２５により支持された＋ｌｑ
ｌ＋９．２　ｓおよび２４により軸支す、ｌまたシャフ
ト２２」二に支持されている。シャン）　２２−ｈのプ
ーリ２６は、ベルト２７を介してモータ２０のシーＶフ
ト＋のプーリ（１゛ズ１示せず）に連結される。モータ
２Ｄは、釣合針として働き、水平軸３０上に枢支さＪ＋
たハウジング２５および腕２Ｂに固定される。シャン）
　５０　＆、ｒ−、１月の堅固に接続された＋ｐ；■３
１　ｊ、−よび３２の下唱部間に延在している。しかし
て１１室の上ψ；１Ａ部は、固定支持体３４により支持
さＪｌだ水平＋１１１３３．１　Ｖｌ枢支されている。

この形式の装置１１′の、１！Ａ合、ｔ’ｉ：作？＋Ｌ
よ、研削屯１２を、ビレット１１の長手方向軸線に４１
゛＾断方向に垂直にも水平にも動かすことができ、車を
所望に応じて位置づけることができる。長手方向におけ
る相対運動は、ビレット１１を動かずことにより制御で
きる。本発明は、ビレットの′Ｆへ定の支持および駆動
機構に制限されるものでなく、また、本発明の特定の特
徴は、研削車内の試験プローブの取付げに関係づけられ
るが、本発明は、表面処理作業が回転し得ない処理作業
を含む他の形式の表面処理作業にも適用し得ることを理
（９イされたい。

研削車１２は、１対のフランジ３５および６６間におい
てシャフト２２上に取り付り°られ、シャフト２２の端
部上に螺合されたナツト３７により適所に保持されてい
る。しかして、ナツト３７と７ランク５６間には、ワッ
シャ３８が配されている。スリップリングユニット１３
は、シャフト２２の端部上に螺合またはその他の方法で
固定された回転部材３９と固定部材４０を備えており、
そして固定部材４０は、ケーブル１４の端部に接続され
かつ研削車１２のシュラウド４６の端板４２上のブラケ
ット４１上に連結されている。スリップリングユニット
１３０回転部材３９内の電気的接点は、ケーブル４５を
介して、研削車１２内に形成された半径方向に延びる通
路４７の外端に取り伺けられた渦電流プローブ４６に接
続されている。

重要なＩＩｆ、定の特徴は、動作中研削Ｔ１ｊ１２の周
囲の摩耗を調節するよう１、【プローブ４６のＪ１伺け
にある。例示の具体例においては、プローブ４６は、最
初、その末端が研削車１２の外周面と整列するように位
置づけられるが、研削車１２の周囲が摩耗するとき半径
方向内方への移動を許容する手段が設けられており、プ
ローブ４６の末端と車１２の外周面との整列を維持する
ようになっている。

第３図に例示されるように、剛毛４８がプローブ４６に
固定されており、プローブ４６の軸線から半径方向外方
にかつ研削車１２の軸線に関して半径方向外方に延びて
いる。剛毛４８は、通路４７内に配されたスリーブ５０
の内表面上に形成された鋸歯状体４９と係合している。

スリーブ５０は、好ましくは、薄い壁を有し真鍮または
アルミニウムのような材料より成るのがよい。この材料
は、研削車１２０周四ポリ滅するとき容易に摩滅する。

剛毛４Ｂはプローブが内方に移即１するのを許すが、鋸
歯状体４９と係介し、遠心力によってプローブ４６が外
方に移動するのを防ぐ。

スリーブ５０を設けることはたいていの応用において有
利であるが、あるものにおいては必須で３ないかも知れ
ず、通路４７の内碧面ど直接係合させてもよい。通路は
研削車内に形ｐされたものであるから、本性的に高度の
摩擦を存する″４１１表面である。スリーブ５０は、通
路４７の内表面をエポキシのような適当な硬化性プラス
ナック材料で被覆−Ｊること忙よっても形成することが
でき、そしてもし必要ならば、鋸歯状体またはみそを形
成することができる。プローブは、サーボ様構を提供す
ることにより能動、的に後退させることができることも
理解されたい。他の形式のプローブも使用できる。例え
ば、プローブ４６は、車１２の１１１！１部に取り付け
られた腕に支持してもよい。

第３図の楯大詳細図に示されるように、剛毛４８は、プ
ローブ４６の外１＋１＋のスリーブ５１上に固定するこ
とも好まし５く、また動作中プローブを保護するためプ
ローブ４６の外端部に薄い摩耗部材５２を固定してもよ
い。プローブ４６は、１例として、米国特許第５．４９
５．１６６号に開示される構造と動作をもつ交叉コイル
形式の渦電流プローブとし得る。しかしながら、１つの
みのコイルを使用するプローブを含む他の形式の渦電流
グローブを使用することができ、また、他の形式の磁気
プローブ、特Ｋ　ｊＲ洩フィールドを検出するように働
く形式のプローブも使用できる。

第４図は、交叉コイル形式のプローブで使用できる回路
を例示するブロック図である。プローブ４６０１対のコ
イル５３および５４は、直列にかつ発振器５７の出力端
子５５および５６　Ｋ　接続される。しかして、発Ｊ棧
器５７は、二次巻線が端子５５および５６Ｆｃ接続され
た出力変圧器を備える出力ドライバ段をイ１ｌｌｉえる
ものとし得る。ｔ’：！ｆ子５５および５６に接続され
た１対の平１５！Ｊボテンショメ−タ５９および６０が
設けられており、ポテンショメータ５．９の可動接点は
、コイル５３および５４間の接続点および接地にＷ続さ
れている。ボーテンショメータ６０の可動接点は、増幅
器６１０１人力に接続されており、そｌ〜て増幅器の第
２の入力は接地に接続されている。増＠器６１の出力は
、セレクタスイッチ６２を介して指示回路６６に接続さ
れており、また、位相検出器６３０１人力に接続されて
いる。しかして、該位相検出器６３０氾２の入力は、発
振器回路に接続された移相回路６４の出力に接続されて
いる。セレクタスイッチ６２の第２の位置において、位
相検出器６ろの出力は指示回路に接続される。

例示の配置において、指示回路は陰極線管回路６６であ
り、その垂直入力がセレクタスイッチ６２に接続されて
いる。回路６６の水平入力は、タイミング回路６８から
信号を受は取るスィーブ回路６７の出力に接続されてい
る。タイミング回路６日は、セレクタスイッチ接点６９
を介してセレクタスイッチ６２に接続し得る入力を有し
ており、タイミング回路をプローブにより検出される信
号と同期させることを回合１モにしている。代りに、タ
イミング回路６８の入力は、セレクタスイッチ接点６９
を介して同期パルス回路７０に接外売される。この回路
は、例えに丁、研削車１２のある角度位置に発生される
信号パルスに応答し得る。

セレクタスイッチ６２におけるプローブ回路の出力はま
た、ゲート回路７１およびスレッショルド回路７２を介
して指示回ｈ’；ｉ　７３に接続され得る。

しかして、該指示回路７ろは、９１え目゛司聴イ１１′
号装置を付勢し得る。ゲート回路７１は、タイミング回
路６８に接ｔ・売さ矛１ており、プローブ４６がビレッ
ト１１の係合部分を通って移７１７！＋中のみＩｒ＋Ｊ
＋仔し得るように制御できる。スレッショルド回路７２
は、被検出信号が予定の撮幅な越えるときのみ出力信号
を発生するように調整しイ（Ｉる。

電磁プローブ以外の非イＩｌ！Ｊ、壊試験プローブも、
磨削またはその他方法で表面処］Ｔｌｊ動作を受けつ〜
ある部品の表面の欠陥を検出するのに使用できる。

第５図・には、きすの光学的検出装ｆバが参照番月７５
で総括的に指示されて示されている。装置７５には、プ
ラスチックファイバ導光部材７６が、研削車７８内の通
路７７内に、車７８の各口重中部品８０の表面７９と近
接するように配置されており、そして導光部月７６の末
端部は、研削車７８の周面と整列している。導光部材７
６は、研削車７８が取り付けられたシャフト８２内のス
ロット８１中に延在しており、導光部材７６の反対端は
、シャフト８２の端部上に螺合されたホルダ８５により
シャフト８２の端部上に夕持された心出しディスク８４
を通って突出し７ている。ナツト８６がシャフト８２上
に螺着され、フランジ８７および８８間に車７８を保持
しており、ワッシャ８９がナツト８６と７ランク８８間
に配されている。１１ン伺具９０がスロット８１内に配
置、されており、シｎ光部利７６を適所に保持している
。取付具９０とスロット８１は、離間した相対する弧状
゛の面を有しても一す、導光部ｌ’７６を受容する通路
を形成している。

研削車７８の回転軸に泪いかつビームスプリッタ９３お
よびレンズ９４を介してビームを投射して、研削車７日
の軸絆上にある嗜光部第４７６の端末にビームを当てる
ため、レーザ装ｆｔＴ９２力ｆ設けられている。レーザ
装置９２かもの光番′よ、導光部材７６を介して表面７
９に伝達され、そこから反射されて導光部材７６および
レンズ９４を介してヒ−ムス７’　！Ｊフッタ３の反射
面を打つ。ビームスプリッタ９３かも反射された光は、
入口窓を形成する取伯具９６を含む光電子増倍管９５に
より受光され、光はこの取付具を介して受光、測定でき
る。光学的バンドパスフィルタ９７が数句具９６に固定
されている。

ビームスプリッタ９３は、レーザ装置７Ｒ９２がらの光
を導光部月７６の末端に伝達さ）明、かつ反射光を光￥
０１子増信管９５に伝達させるとともに、レーザからの
光が直接ビームスプリッタ９３から光電子増倍管に伝達
するのを阻止するように機能する。ビームスプリッタは
、従来形式のものでもよいし、非常に小さ℃・中心孔を
・ｆ４するミラー形式のものでもよい。このミラーの場
合、レーザピームはこの小孔を通って投射され、また反
射光は実質的に発散角で分散される。

レンズ９４は、レーザビームを導光部材７６の末端にフ
ォーカスさせるよう機能するが、もっと重要なことは、
反射光を集束し、集束された透過光ビームスプリッタを
介して光電子増倍管に伝達することである。この結果、
この配置は、表面７９から反射される光の変＊ｔｔｒｔ
ｒ、きわめで敏感である。

制限的なものでなく、例示として、導光部材７６は、０
０３６インチの直径を有するプラスチックファイバであ
る。レンズ９４は、０．１のＮＡを有する５Ｘの顕微鏡
対物鏡であり、導光部Ｉ７６の末端の００３６インチか
らの反射光を、光電子増倍管の視野で０．１８０インチ
に拡大する働きをする。レンズをビームスプリッタ９６
と導光部材端部間に配置せず、ビームスプリッタ９５と
光電子増倍管９５間に配置することもできるが、図示さ
れるごとき配置は、導光管における広い拡がり角を光電
子増倍管において狭い収れん角として伝達するのに有効
である。

フィルタ９７は、特に室光による干渉を制限するように
信号対雑音比を改善する働きをする。１例として、６３
２８人の中心波長、約８０〜１６０にの帯域幅を有する
フィルタを使用できる。

光電子増倍管９５の出力は、増幅器９８、ローパスフィ
ルタ、ゲート回路１００およびスレッショルド回路１０
１を介して出力回路１０２に供給される。ゲート回路１
００は、研削車７８に対する支持フランジ８８により支
持された磁石１０６の移動路に隣接するリードスイッチ
１０４に接続されたタイミング回路１０３かも制御され
る。タイミング回路１０３はまた出力回路１０２を制御
し得る。しかして、該出力回路は、ＣＩｔＴまたはその
他の可視表示装置とし得る。

第５図には図示されていないが、光学的諸要素を研削車
７８の回転軸にｌ’Ｐ、Ｉ　して正確な関係に支持する
だめの手段が設けられている。すべての光学的諸要素な
らびに支持シャフト８２に対する軸受は、共通の支持体
上に堅固に取り伺けられなければならない。ある応用に
おいては、この揮の全諸要素を固定支持体上に取り利け
、被処理部品を、研削車７Ｂまたは他の表面処理部材に
対して協働的関係となるように移動させるのが望ましか
ろう。

第５図の装置は、部品の表面上の比較的狭いみぞその他
の欠陥を検出できる。研削車の比較的粗い粒子が導光部
材７６の端部について光の伝達を阻止する傾向があるビ
レット研削作業では、この方式は潜在的な欠点がある。

しかし、他の研削作業、研磨作業またはその他の表面処
理作業においては有利に使用できよう。

技術に精通したものであれば、本発明の技術思想から逸
脱すること種々の変化、変更をなし得ることを理解され
たい。

【図面の簡単な説明】

第１図は電磁プローブを使用する鋼ビレットの研削・試
験装置の斜視図、第２図は第１図のｎ−■線による断面
図でプローブの取付けおよび関連するスリップリングユ
ニットを研削車との関係において何回するもの、第３図
は研削車のプローブの取付けの詳細を例示する拡大断面
図、第４図は交叉コイル型の渦電流プローブを使用する
第１〜３図の装置の回路を例示する回路図、第５図は部
品の表面のきずを光学的に検知する部品研削装置の概略
図である。 １０：　研削・試験装置 １１：　ビレット １２：　研削車 １３：　スリップリングユニット １４：　ケーブル １５：　計器 １８二　制御ハンドル １９：　制御ボタン ２Ｄ：　モータ ２２：　シャフト ２３．２４：　軸受 ２６：　プーリ ２７：　ベルト ４６：　渦電流プローブ ４７：　通路 ４日：　剛毛 ４９：　鋸歯状体 代理人の氏名　　倉　内　基　弘

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）表面処理部材を、その係合部分を部品の表１ｆ１
   １部分と係合させ、部品の麦面部分を処理するように前
   記部分を相対的に移動させるように担持する担持手段と
   、Ｏｆｆ記係合部分による前記部品５′、面部分の処理
   中核部分の特性を測定する非破壊試験手段とを備える表
   面処理装置＆。 （２）前記非試験手段が、前記部品表面部分に近接して
   位置づけされ得る端部を有するプローブを＋Ｉｉｌえる
   特許請求の範囲第１項に記載の児Ｓ面処理装蘭。 （３）　　前記係合部分による処理中前記プローブを前
   記部品表面部分に関して移動できるように前記担持手段
   から前記プローブを支持するプローブ支持手段を（ｌｉ
   ＃える特許請求の範囲第２項に記載の表面処理装置。 （４）　　前記プローブ支持手段が、前記担持手段によ
   り担持されＮｉｌ記部品表面部分と係合するための係合
   部分を有する表面処理部材より成り、前記係合部分が、
   前記プローブの前記端部を受容し、前記係合部による処
   理中前記端部を前記部品表面部分に近接して位置づける
   開［」を有する特許請求の範囲第３頂に記載の表面処理
   装［ｄ。 （５）前記表面処理部材が研歴利料より成る特許請求の
   範囲第４項記載の琶−１（１１処理装Ｊｆ’（ｎ（６）
   前記担持手段を回転できるように支持する手段と、前記
   担持手段を回１１ｔべするためのＩＢＭ　１１１手段を
   含む特許請求の１１・１１．間第５　］’Ｑに記載の外
   面外」１１（装置。 （７）　　前記表面処理部材か、［１１１記部品茅而部
   分と係合するための前記係合部分を形成する円筒状１．
   １面を備える特許請求の範囲第６拍記戦の表面処理装置
   。 （８）前記担持手段を特定軸線の回りに回転できるよう
   に支持する軸受手段と、前記担持手段を前記軸線の回り
   に回転させるための駆動手段と、前記プローブを前記担
   持手段とともに回転できるように前記担持手段から支持
   するプローブ支持手段を備える特許請求の範囲第２項記
   載の着面処理装置。 （９）前記試験手段が、固定指示手段と、前記プ四−プ
   を前記担持手段と一緒に回転させながらプローブからの
   情報を前記指示手段に伝達するため前記プローブを前記
   指示手段に結合する手段を備えている特許請求の範囲第
   ８ｍ記載の着面処理装置１？？。 （ｌｉＧ　　前記プローブが４低倍号を発生するように
   １′＋ｙ／成されており、前記結合手段が、前打己プロ
   ーブからの１６気信号を前記指示手段に伝〕Ｙするため
   のスリップリングを備える特許請求の範囲第９”）’Ｉ
   Ｗｌ！ｉ１ｉ’２のノ、）面処理装置。 （１υ　前記プローブが、前記部品”４１ｆｒｉ部分か
   ら放射エネルギを受は取るように構成され、前記結合手
   段が前記放射エネルギを前記指示手段に伝達するように
   構成された特許請求の範囲第９項記載の表面処理装置。 ａ湯　　前記プローブが、ｔ？ｉＪ記部品表面部分から
   光を前記担持手段のｆ）ｉＪ　ｔ！ｕ回転向綿上の点に
   伝達する導光手段を備える特許請求の範囲第１１項記載
   の表面処理装置。 ０３　　前記プローブが前記部品表面部分の磁気的特性
   の変化に対応するように構成された磁気プローブである
   特許請求のｒｌ’ｉｔ囲第２〕￥１ｉｊ−載の岩「１１
   処理装置１０ （１４）　　ｎ：Ｉ　記プローブが渦１１１．沖、プロ
   ーブである特許請求の範囲第１６珀記載のＴ面処理装置
   ｉ’ｔ。 （１５１前記プローブが前記１’ｌｌ’１品含１四部分
   から反射された光を受光するように構ＩＪ１／、された
   特許請求の範囲第２項記載の表面処理部ｉ？、１．　。 ａＩ　　ｎｊｆ記フリフローフ＋Ｉ’ｌ　ｎ［、！　＜
   ’：１６部ヲｆ１９成する末’；’：：ａ部を有する導
   光部拐を含み、前記部品畳面部分から反射され前記導光
   部材をｉｊ［７つて伝達された後前記導光部材の反対の
   末端部から伝達される光を受光し、検出する手段を備え
   る特許ｆ＋ｉ求のｇπ囲第１５項記載の表面処理装置ｉ
   イ。 αり　光を前記導光部材のｎｔＪ記反対の末端部中に伝
   達する手段を備える特ＦＴＦ藺求の範囲第１６項記載の
   表面処理部材眞。 ０稀　前記導光部材の前記末端部に伝達される光および
   該末端部から伝達される光を分割するためのビームスプ
   リッタを備える特許請求の範囲第１７項記載の表面処理
   装置。 〔１前記ビームスプリッタと前記導光部材間にレンズを
   備える特許請求の範囲第１８項記載の表ｉｔｉ’ｉ処理
   装置。 ０（磨　　前記プローブ支持手段が、前記プローブの前
   記端部を前記部品表面部分に近接するように位：＋′ｔ
   づけるため、前記端部を前記表面処理部４ｊの保合部と
   整列させるように構成される特許ｌｉｉ求の範囲第６項
   記載の表面処理装置。 （２０前記プローブ支持手段が、前記表面処理部材の前
   記係合部分の摩滅に順応するように前記プローブの位置
   を調節する位置調節手段を備える特許請求の範囲第２０
   項記載の表面処理部）θ。 （２擾　　前記位置調節手段が、前記表面処理部材の前
   記係合部分の摩滅に応答して前記プループの位置を連続
   的に調節するためへ、装置べの動作中前記係合部分の摩
   滅に応答して動作し得る特ＦＰ　１ｌｌｌ求の範囲第２
   １項記載の表面処理部ｈ０ （ハ）前記プローブ支持手段が、前記担持手段により担
   持され、前記部品表面部分と係合する係合部分を有する
   表面処理部材より成り、前記係合部分が前記プローブの
   前ｕｌ！端部を受容して、前記係合部分による処理中前
   ｄ「１端部を前記部品−表面部分に近接して位１６づけ
   る開りを有し、前記位１ｉ”イｌｉＩ；４節手段が、前
   記プローブをｌｉｉ　ｆｌ＋、、ｊ開Ｌ１内Ｇこおいて
   摩滅に応答して移動できるように［ｊ１１０内Ｇこ支持
   する手段を備えている特許請求の範囲ｔｌＳ２２　Ｊｉ
   ’４記載の４七面処理装＋ｒｔ０ Ｑ４）前記位置ｉ１．’ｉ節手１３トがｎす記プローブ
   の外１；１すに固定された剛毛を含む特ｉｉ＋　Ｎｒｌ
   求の１１も間第２３項記載の表面処理装置６゜ （２暖　　前記°位置ｉ１４１ｔｒｉ手段が、１１１ｊ
   記開口の内側に鋸歯状態を形成する手段を含む特許請求
   の範囲第２４項記載の表１ス１１処理装置ｒｏｔ　。