JPS63237867A - 平面研削盤の砥石位置検出装置 - Google Patents
平面研削盤の砥石位置検出装置Info
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- JPS63237867A JPS63237867A JP62068505A JP6850587A JPS63237867A JP S63237867 A JPS63237867 A JP S63237867A JP 62068505 A JP62068505 A JP 62068505A JP 6850587 A JP6850587 A JP 6850587A JP S63237867 A JPS63237867 A JP S63237867A
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- 239000010953 base metal Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 12
- 238000012937 correction Methods 0.000 abstract description 8
- 238000013459 approach Methods 0.000 abstract description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/14—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the temperature during grinding
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/46—Indirect determination of position data
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は回転軸の軸方向端部に固着された台金と、該台
金の軸方向端面に設けられた超砥粒層とにより超砥粒砥
石を構成し、超砥粒層の軸方向の端面を研削面としてい
る平面研削盤の砥石位置検出装置に関する。
金の軸方向端面に設けられた超砥粒層とにより超砥粒砥
石を構成し、超砥粒層の軸方向の端面を研削面としてい
る平面研削盤の砥石位置検出装置に関する。
(従来技術及びその問題点)
一般に研削中における研削面の軸方向の位置変化は、研
削作業による研削面の摩耗や回転軸の熱膨張による伸び
が原因しており、それらにより工作物寸法に変化が生じ
る。
削作業による研削面の摩耗や回転軸の熱膨張による伸び
が原因しており、それらにより工作物寸法に変化が生じ
る。
このような工作物寸法の変化に対し、砥石の研削面の位
置を、インプロセスで連続的に精密測定すれば、砥石回
転軸の微移動装置と関連させて工作物寸法の管理が容易
になり、研削盤としての応用範囲が飛躍的に増大する。
置を、インプロセスで連続的に精密測定すれば、砥石回
転軸の微移動装置と関連させて工作物寸法の管理が容易
になり、研削盤としての応用範囲が飛躍的に増大する。
このため従来より下記のような各種砥石位置検出装置が
開発されている。
開発されている。
(1)砥石の研削面に検測器の接触子を当ててその動き
により砥石位置を検出する装置(特公昭45−1392
)。
により砥石位置を検出する装置(特公昭45−1392
)。
(2)砥石の研削面に液体又はエアーを吹き付けてその
圧力変化により砥石位置を検出する装置(特開昭49−
104290 、特開昭53−115993)。
圧力変化により砥石位置を検出する装置(特開昭49−
104290 、特開昭53−115993)。
(3)レーザー光線等のオプチカルセンサーの動きによ
り直接砥石の研削面の摩耗量を測定する装置(特開昭5
5−128095 ’)。
り直接砥石の研削面の摩耗量を測定する装置(特開昭5
5−128095 ’)。
しかしながら上記各従来装置ではいずれも砥石の研削面
を直接測定しているので、次のような不具合がある。即
ち: 上記(1)の装置では回転中の砥石研削面により接触子
自体が摩耗してしまい、正確な測定の継続は困難である
。また研削液や研削屑が接触子に多量に当たり、正確な
位置測定を乱す。
を直接測定しているので、次のような不具合がある。即
ち: 上記(1)の装置では回転中の砥石研削面により接触子
自体が摩耗してしまい、正確な測定の継続は困難である
。また研削液や研削屑が接触子に多量に当たり、正確な
位置測定を乱す。
上記(2)の装置では、測定ノズルから噴出するエアー
が研削液や研削屑により乱され、測定誤差が生じる恐れ
がある。
が研削液や研削屑により乱され、測定誤差が生じる恐れ
がある。
上記(3)の装置では、レーザー光線が研削液や研削屑
により乱されたり遮蔽されたりする。また極めて複雑で
精密な機構を研削現場に装置する必要があり、コスト的
にも不利である。
により乱されたり遮蔽されたりする。また極めて複雑で
精密な機構を研削現場に装置する必要があり、コスト的
にも不利である。
(発明の目的)
近年においては、ダイヤモンドやボラゾン等の超砥粒を
利用した超砥粒砥石が多く使用されるようになってきて
おり、このような超砥粒砥石は研削面の摩耗が非常に少
なく、少なくとも10ット程度の研削工程期間中では、
砥石摩耗は仕上げ寸法に殆んど影響しない程度になって
いる。従って工作物寸法に影響を与える砥石位置変化の
要因は、回転軸の熱膨張のみと考えても差し支えがなく
なってきている。
利用した超砥粒砥石が多く使用されるようになってきて
おり、このような超砥粒砥石は研削面の摩耗が非常に少
なく、少なくとも10ット程度の研削工程期間中では、
砥石摩耗は仕上げ寸法に殆んど影響しない程度になって
いる。従って工作物寸法に影響を与える砥石位置変化の
要因は、回転軸の熱膨張のみと考えても差し支えがなく
なってきている。
本発明は上記のような超砥粒砥石の普及による耐摩耗性
の向上に鑑み、測定部分を研削液や研削屑の影響が殆ん
ど無い箇所に設けることにより、正確に測定を行え、し
かも故障等が少ない砥石位置検出装置を提供することを
目的としている。
の向上に鑑み、測定部分を研削液や研削屑の影響が殆ん
ど無い箇所に設けることにより、正確に測定を行え、し
かも故障等が少ない砥石位置検出装置を提供することを
目的としている。
(目的を達成するための技術的手段)
上記目的を達成するために本発明は、回転軸の軸方向端
部に固着された台金と、該台金の軸方向端面に設けられ
た超砥粒層とにより超砥粒砥石を構成し、超砥粒層の軸
方向端面を研削面としている平面研削盤において、台金
の外周面に環状溝を形成し、該環状溝に対して半径方向
外方から間隔を隔てて対向して環状溝の軸方向位置を測
定するセンサーを配置し、環状溝の位置測定により砥石
位置を検出するようにしている。
部に固着された台金と、該台金の軸方向端面に設けられ
た超砥粒層とにより超砥粒砥石を構成し、超砥粒層の軸
方向端面を研削面としている平面研削盤において、台金
の外周面に環状溝を形成し、該環状溝に対して半径方向
外方から間隔を隔てて対向して環状溝の軸方向位置を測
定するセンサーを配置し、環状溝の位置測定により砥石
位置を検出するようにしている。
(作用)
台金の外周環状溝の軸方向の変位をセンサーでn1定す
ることにより、回転軸の熱膨張による砥石の研削面の位
置を検出する。
ることにより、回転軸の熱膨張による砥石の研削面の位
置を検出する。
研削面自体を直接測定するのではないので、研削液や研
削屑はセンサー等には殆んどぶつからず、研削中常に正
確な測定を行え、また研削屑によりセンサーが傷付く恐
れもない。
削屑はセンサー等には殆んどぶつからず、研削中常に正
確な測定を行え、また研削屑によりセンサーが傷付く恐
れもない。
(実施例)
第1図は本発明を適用した研削盤の縦断面略図を示して
おり、この第1図において、砥石(砥石車)1は厚肉環
状の金属製台金2と超砥粒層3とから構成されており、
台金1は水平な回転軸5の軸方向一端部、例えば前端部
のフランジ8に着脱自在に固定されている。超砥粒層3
はダイヤモンドあるいはボラゾン等の超砥粒により構成
されており、台金2の軸方向前端面に例えば電着により
一様な厚さに形成されている。この超砥粒層3の前端面
が研削面として利用される。
おり、この第1図において、砥石(砥石車)1は厚肉環
状の金属製台金2と超砥粒層3とから構成されており、
台金1は水平な回転軸5の軸方向一端部、例えば前端部
のフランジ8に着脱自在に固定されている。超砥粒層3
はダイヤモンドあるいはボラゾン等の超砥粒により構成
されており、台金2の軸方向前端面に例えば電着により
一様な厚さに形成されている。この超砥粒層3の前端面
が研削面として利用される。
回転軸5は筒状の回転軸ホルダー6内に軸受7を介して
支持されており、回転軸ホルダー6に対して回転自在で
あり、一方係止スリーブ10等により回転軸ホルダー6
と共に軸方向に移するようになっている。
支持されており、回転軸ホルダー6に対して回転自在で
あり、一方係止スリーブ10等により回転軸ホルダー6
と共に軸方向に移するようになっている。
回転軸5の後端部には外周スプライン部5aが形成され
ており、該スプライン部5aはプーリー15の筒部15
aの内周スプライン部に軸方向移動自在にスプライン嵌
合している。プーリー15は軸受を介して軸受ケース1
6の内周面に回転自在に支持されており、軸受ケース1
6は研削盤本体11に固定されている。プーリー15は
ベルト18及び駆動側プーリー19aを介して回転駆動
モーター19に連動連結しており、駆動モーター19の
回転により回転軸5を回転する。
ており、該スプライン部5aはプーリー15の筒部15
aの内周スプライン部に軸方向移動自在にスプライン嵌
合している。プーリー15は軸受を介して軸受ケース1
6の内周面に回転自在に支持されており、軸受ケース1
6は研削盤本体11に固定されている。プーリー15は
ベルト18及び駆動側プーリー19aを介して回転駆動
モーター19に連動連結しており、駆動モーター19の
回転により回転軸5を回転する。
回転軸ホルダー6は第2図に示すように研削盤本体11
のガイドレール部12の上に軸方向移動可能で回転不能
に載置されている。
のガイドレール部12の上に軸方向移動可能で回転不能
に載置されている。
回転軸ホルダー6の上端部には第1図に示すようにキー
23を介してボールねじホルダー22が連結されており
、ボールねじホルダー22は回転軸と平行なボールねじ
24にボールを介して螺合している。
23を介してボールねじホルダー22が連結されており
、ボールねじホルダー22は回転軸と平行なボールねじ
24にボールを介して螺合している。
ボールねじ24は回転自在に研削盤本体11に支持され
ると共に、後端部にウオームホイール25を一体的に備
え、ウオームホイール26は微移動用駆動モーター27
のウオーム26に噛み合っている。即ち駆動モーター2
7の回転によりウオーム26、ウオームホイール25を
介してボールねじ24を回転させ、それによりボールね
じホルダー22、回転軸ホルダー6及び回転軸5を軸方
向に一体的に移動させることができる。
ると共に、後端部にウオームホイール25を一体的に備
え、ウオームホイール26は微移動用駆動モーター27
のウオーム26に噛み合っている。即ち駆動モーター2
7の回転によりウオーム26、ウオームホイール25を
介してボールねじ24を回転させ、それによりボールね
じホルダー22、回転軸ホルダー6及び回転軸5を軸方
向に一体的に移動させることができる。
上記モーター27に砥石位置制御用信号処理装置32及
び本発明の要部である砥石位置検出装置33が接続され
ている。
び本発明の要部である砥石位置検出装置33が接続され
ている。
砥石位置検出装置33は前後1対の第1、第2センサー
35.36及び環状溝31等から構成されている。環状
溝31は台金2の半径方向外周面に一定の前後幅を有す
るように断面形状方形に形成されている。センサー35
.36は環状溝31の幅と略同じ前後間隔で配置される
と共に台金2の環状溝31に対して半径方向外方から間
隔を隔てて対向している。両センサー35.36はセン
サーホルダー37に支持され、センサーホルダー37は
その軸部38が研削盤本体11のボス部40に軸方向移
動自在に嵌合支持されている。軸部38の軸心にはめね
じ部41が形成され、該めねじ部41にはセンサー位置
調節ハンドル45のおねじ部42が螺合しており、ハン
ドル45を回転することにより、センサー35.36の
軸方向位置を調節できるようになっている。
35.36及び環状溝31等から構成されている。環状
溝31は台金2の半径方向外周面に一定の前後幅を有す
るように断面形状方形に形成されている。センサー35
.36は環状溝31の幅と略同じ前後間隔で配置される
と共に台金2の環状溝31に対して半径方向外方から間
隔を隔てて対向している。両センサー35.36はセン
サーホルダー37に支持され、センサーホルダー37は
その軸部38が研削盤本体11のボス部40に軸方向移
動自在に嵌合支持されている。軸部38の軸心にはめね
じ部41が形成され、該めねじ部41にはセンサー位置
調節ハンドル45のおねじ部42が螺合しており、ハン
ドル45を回転することにより、センサー35.36の
軸方向位置を調節できるようになっている。
センサ一部分の断面拡大図を示す第3図において、セン
サー35.36としては、エアーケージが使用されてお
り、センサー35.36の各先端部からそれぞれ砥石中
心に向かって′Dj定用エアーを噴射するようになって
おり、その空気圧力の変動を信号処理装置32の検出回
路50で検出するようにな7ている。例えば第4図のよ
うに砥石1の位置が前方に変位した時には第2センサー
36が環状溝31から外れて台金外周面に近接し、それ
により第2センサー36のエアー圧力は高くなる。第1
センサー35のエアー圧力は変化しない。
サー35.36としては、エアーケージが使用されてお
り、センサー35.36の各先端部からそれぞれ砥石中
心に向かって′Dj定用エアーを噴射するようになって
おり、その空気圧力の変動を信号処理装置32の検出回
路50で検出するようにな7ている。例えば第4図のよ
うに砥石1の位置が前方に変位した時には第2センサー
36が環状溝31から外れて台金外周面に近接し、それ
により第2センサー36のエアー圧力は高くなる。第1
センサー35のエアー圧力は変化しない。
第1図において、処理装置32には前記検出回路50、
演算回路51及び補正回路52が備えられている。検出
回路50は上述のように各センサー35.36のエアー
圧力の変動を検出し、例えば圧力感知スイッチによりい
ずれのセンサーの圧力が変動したかを検出してそれを電
気信号に変換し、演算回路51に入力する機能を有して
いる。
演算回路51及び補正回路52が備えられている。検出
回路50は上述のように各センサー35.36のエアー
圧力の変動を検出し、例えば圧力感知スイッチによりい
ずれのセンサーの圧力が変動したかを検出してそれを電
気信号に変換し、演算回路51に入力する機能を有して
いる。
演算回路51は検出回路50からの電気信号により例え
ば砥石位置を前方に移動するかあるいは後方に移動する
かを演算し、補正回路52で補正した後微移動駆動モー
ター27に指令を送る機能を有している。
ば砥石位置を前方に移動するかあるいは後方に移動する
かを演算し、補正回路52で補正した後微移動駆動モー
ター27に指令を送る機能を有している。
次に作動について説明する。研削工程に入る前に、砥石
1の研削面をワーク寸法に適する位置に合わせておき、
またハンドル45を回転操作することにより両センサー
35.36を第3図に示すようにそれぞれ環状溝31の
軸方向端部に対応する適正位置に合わせておく。そして
研削作業を始める。
1の研削面をワーク寸法に適する位置に合わせておき、
またハンドル45を回転操作することにより両センサー
35.36を第3図に示すようにそれぞれ環状溝31の
軸方向端部に対応する適正位置に合わせておく。そして
研削作業を始める。
ワークを順次研削する研削工程において、回転軸5が熱
膨張してくると第4図のように砥石位置は前方に変位し
てくる。このとき第2センサー36から環状溝31の後
端縁31bが外れ、第2センサー36は台金2の外周面
に近接するので、第2センサー36のエアー圧力は高く
なる。−万態1センサー35のエアー圧力には変化はな
い。
膨張してくると第4図のように砥石位置は前方に変位し
てくる。このとき第2センサー36から環状溝31の後
端縁31bが外れ、第2センサー36は台金2の外周面
に近接するので、第2センサー36のエアー圧力は高く
なる。−万態1センサー35のエアー圧力には変化はな
い。
上記第2センサー36の圧力変動は検出回路50により
検出され、電気信号に変換されて演算回路51に人力さ
れ、演算回路52では上記電気信号により砥石位置を後
進させることを決定して、その信号を補正回路52を介
してモーター27に送る。
検出され、電気信号に変換されて演算回路51に人力さ
れ、演算回路52では上記電気信号により砥石位置を後
進させることを決定して、その信号を補正回路52を介
してモーター27に送る。
上記信号によりモーター27は駆動して、回転軸ホルダ
ー6及び回転軸5を後進させ、それにより砥石を後進さ
せる。
ー6及び回転軸5を後進させ、それにより砥石を後進さ
せる。
砥石1が後進して第3図のような適正位置まで戻ると、
第2センサー36は元の圧力に戻り、それによりモータ
ー27は停止し、砥石1は第3図の位置に保持される。
第2センサー36は元の圧力に戻り、それによりモータ
ー27は停止し、砥石1は第3図の位置に保持される。
また外気の冷え込み等の要因により回転軸5が収縮して
砥石位置が後退した時には、反対に第1センサー35に
台金2の外周面が近接することにより第1センサー35
のエアー圧力が高くなり、回転軸5を前進させ、砥石1
を前方の元の位置に戻す。
砥石位置が後退した時には、反対に第1センサー35に
台金2の外周面が近接することにより第1センサー35
のエアー圧力が高くなり、回転軸5を前進させ、砥石1
を前方の元の位置に戻す。
(別の実施例)
(1)第1、第2センサー35.36として無接触スイ
ッチ、例えば近接スイッチを備え、第3図のように台金
2の環状溝31に対向させる。
ッチ、例えば近接スイッチを備え、第3図のように台金
2の環状溝31に対向させる。
即ち第1〜第4図を利用して説明すると、第3図の状態
では両センサー(近接スイッチ)35.36はOFFの
状態であり、回転軸5の熱膨張により台金2が前方に移
動して、第4図のように台金2の外周面が第2センサー
(第2近接スイツチ)36に近接すると、第2センサー
36はON状態になる。それを第1図の検出回路50で
検出して、演算回路51で回転軸5を後退させることを
決定し、補正回路52を介してモーター27に指令を送
り、回転軸5を後退させ、砥石位置を元に戻す。
では両センサー(近接スイッチ)35.36はOFFの
状態であり、回転軸5の熱膨張により台金2が前方に移
動して、第4図のように台金2の外周面が第2センサー
(第2近接スイツチ)36に近接すると、第2センサー
36はON状態になる。それを第1図の検出回路50で
検出して、演算回路51で回転軸5を後退させることを
決定し、補正回路52を介してモーター27に指令を送
り、回転軸5を後退させ、砥石位置を元に戻す。
(2)第5図に示す実施例は、環状溝31の前後の端縁
31a、31bの断面形状を半径方向外方にゆくに従い
開く傾斜面に形成し、エアーケージのセンサー35.3
6により砥石の変位量を測定できるようにした例である
。
31a、31bの断面形状を半径方向外方にゆくに従い
開く傾斜面に形成し、エアーケージのセンサー35.3
6により砥石の変位量を測定できるようにした例である
。
環状溝31の底面の軸方向端部P1に対向している時(
距離d1の時)の圧力を基準圧力としており、砥石1が
前方に変位した場合には、その前方移動量fに比例して
第2センサー36に環状溝31の後端縁31b部分が近
づいて第2センサー36のエアー圧力が高くなり、−万
態1センサー35は基準圧力のまま保たれる。即ち第2
センサー36の対向相手部が21点から22点に変わり
、噴射距離がd2になり、第2センサー36のエアー圧
力の変動量が砥石1の前方移動量fに比例あるいは対応
して増加し、そのエアー圧力の変動量を第1図の検出回
路50で測定し、砥石1の研削面の変位量を検出し、電
気信号に変換して演算回路51に入力する。そして演算
回路51で回転軸5を後方にどれだけ移動させるかを演
算し、補正回路52で補正してモーター27に指令を送
り、回転軸5を後退させる。(3)第5図のような環状
溝31に傾斜端縁31a、31bを有する構造のものに
おいて、第1、第2センサー35.36として静電容量
型の無接触スイッチを利用することもできる。
距離d1の時)の圧力を基準圧力としており、砥石1が
前方に変位した場合には、その前方移動量fに比例して
第2センサー36に環状溝31の後端縁31b部分が近
づいて第2センサー36のエアー圧力が高くなり、−万
態1センサー35は基準圧力のまま保たれる。即ち第2
センサー36の対向相手部が21点から22点に変わり
、噴射距離がd2になり、第2センサー36のエアー圧
力の変動量が砥石1の前方移動量fに比例あるいは対応
して増加し、そのエアー圧力の変動量を第1図の検出回
路50で測定し、砥石1の研削面の変位量を検出し、電
気信号に変換して演算回路51に入力する。そして演算
回路51で回転軸5を後方にどれだけ移動させるかを演
算し、補正回路52で補正してモーター27に指令を送
り、回転軸5を後退させる。(3)第5図のような環状
溝31に傾斜端縁31a、31bを有する構造のものに
おいて、第1、第2センサー35.36として静電容量
型の無接触スイッチを利用することもできる。
例えば砥石1が前方に変位した時には、軸方向移動量に
比例して第2センサー36の静電容量が高くなるので、
その静電容量の変化により砥石1の軸方向の変位量を検
出する。
比例して第2センサー36の静電容量が高くなるので、
その静電容量の変化により砥石1の軸方向の変位量を検
出する。
また第5図のような環状溝31に傾斜端縁31、を有す
る構造のものにおいて、第1、第2センサー35.36
として電磁誘導型の無接触スイッチを利用することもで
きる。この場合は電流や電圧の変化量により砥石1の軸
方向の変位量を検出する。− (5)第6図は環状溝31の前後両端縁31 a s
31bを傾斜面にすると共に、センサーとして前端縁3
1aに対してレーザー光線を照射するレーザー変位計5
3を配置した例である。
る構造のものにおいて、第1、第2センサー35.36
として電磁誘導型の無接触スイッチを利用することもで
きる。この場合は電流や電圧の変化量により砥石1の軸
方向の変位量を検出する。− (5)第6図は環状溝31の前後両端縁31 a s
31bを傾斜面にすると共に、センサーとして前端縁3
1aに対してレーザー光線を照射するレーザー変位計5
3を配置した例である。
レーザー変位計53は半導体レーザー駆動回路55、半
導体レーザー56、投光レンズ57、受光レンズ58、
光位置検出素子59及びアンプ61.62等を備えてい
る。6図の実線で示す砥石位置の前側端縁31aに照射
した時の位置を基準位置として設定している。
導体レーザー56、投光レンズ57、受光レンズ58、
光位置検出素子59及びアンプ61.62等を備えてい
る。6図の実線で示す砥石位置の前側端縁31aに照射
した時の位置を基準位置として設定している。
砥石1が例えば仮想線のように前方に変位すると光位置
検出素子59上のスポットはT1からT2に移動・する
。このスポット移動量を第1図の検出回路50で検出し
、電気信号に代えて演算回路51に入力し、演算回路5
1で回転軸5を後方にどれだけ移動させるかを演算し、
補正回路52で補正してモーター27に指令を送り、回
転軸5を後退させ、砥石位置を後退させて元の位置に戻
す。
検出素子59上のスポットはT1からT2に移動・する
。このスポット移動量を第1図の検出回路50で検出し
、電気信号に代えて演算回路51に入力し、演算回路5
1で回転軸5を後方にどれだけ移動させるかを演算し、
補正回路52で補正してモーター27に指令を送り、回
転軸5を後退させ、砥石位置を後退させて元の位置に戻
す。
(6)第1図に仮想線で示すように1対の砥石1.1′
を相対向して備えた両頭平面研削盤に本発明を適用する
こともできる。ただしこの場合でも環状溝31及び検出
装置33は一方の砥石1に備えるだけで良い。
を相対向して備えた両頭平面研削盤に本発明を適用する
こともできる。ただしこの場合でも環状溝31及び検出
装置33は一方の砥石1に備えるだけで良い。
特に両頭平面研削盤で薄いワーク(例えば厚み2mm以
下)を加工する場合は、従来の砥石面直接方式ではセン
サーを砥石間にいれることができなくて測定不可能であ
るが、本発明ではそのような不都合は生じないから、充
分に初期の目的を達成することができる。
下)を加工する場合は、従来の砥石面直接方式ではセン
サーを砥石間にいれることができなくて測定不可能であ
るが、本発明ではそのような不都合は生じないから、充
分に初期の目的を達成することができる。
(7)図示の実施例は回転軸5を水平に備えた横軸型で
あるが、回転軸5を垂直に備えた室軸型の平面研削盤に
適用することもできる。
あるが、回転軸5を垂直に備えた室軸型の平面研削盤に
適用することもできる。
(発明の効果)
以上説明したように本発明によると、極めて摩耗が少な
い超砥粒砥石を備えた平面研削盤において、台金2の外
周面に環状溝31を形成し、該環状溝31に半径方向外
方から間隔を隔てて対向させて環状溝31の軸方向位置
を測定するセンサー35.36を配置し、環状溝31の
位置測定により砥石位置(研削面の位置)を検出するよ
うにしているので、次のような利点がある。
い超砥粒砥石を備えた平面研削盤において、台金2の外
周面に環状溝31を形成し、該環状溝31に半径方向外
方から間隔を隔てて対向させて環状溝31の軸方向位置
を測定するセンサー35.36を配置し、環状溝31の
位置測定により砥石位置(研削面の位置)を検出するよ
うにしているので、次のような利点がある。
(1)センサーを研削面に直接接触させたりあるいは研
削面に対向させたりする必要はなくなるので、センサー
に対する研削液や研削屑の影響を殆んど排除することが
でき、それらの要因による測定誤差が生じる心配は殆ん
どなくなり、故障が少なく正確で安定した変位量測定を
行うことができる。
削面に対向させたりする必要はなくなるので、センサー
に対する研削液や研削屑の影響を殆んど排除することが
でき、それらの要因による測定誤差が生じる心配は殆ん
どなくなり、故障が少なく正確で安定した変位量測定を
行うことができる。
(2)台金2の外周面に環状溝31を形成し、センサー
を台金2の半径方向外方側に配置しているので、研削面
部分には検出装置用の部品(測定子等)を全く配置する
必要はなく、センサーの配置及び点検等が容易である。
を台金2の半径方向外方側に配置しているので、研削面
部分には検出装置用の部品(測定子等)を全く配置する
必要はなく、センサーの配置及び点検等が容易である。
第1図は本発明を適用した平面研削盤の縦断面略図、第
2図は第1図の■−■断面拡大図、第3図は第1図の砥
石の適正位置状態を示す1部分の断面拡大図、第4図は
砥石が変位した状態を示す第3図と同じ部分の断面拡大
図、第5図、第6図はそれぞれ別の実施例を示す第3図
と同じ部分の断面拡大図である。1・・・超砥粒砥石、
2・・・台金、3・・・超砥粒層、5・・・回転軸、2
2.24.27・・・ボールねじホルダー、ボールねじ
、モーター(微移動装置の一例)、31・・・環状溝、
35.36・・・センサー、53・・・レーザー変位計
(センサーの別の例) 特許出願人 大昌精機株式会社 第2図 手続補正書(自発) 昭和62年5月25日 昭和62年 特 許 願 第 68505号
2、発明の名称 平面研削盤の砥石位置検出装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 大阪府池田市神田4丁目25番45号名 称
大昌精機株式会社 代表者 代表取締役 小俣 情夫 4、代理人 住 所 大阪市北区東天満2丁目9番4号千代田ビル
東館7階(・530) 5、補正命令の日付 (発送日)昭和 年 月 日(1
)明細書7頁11行「ウオームホイール26」を「ウオ
ームホイール25」と補正する。 (2)同8頁18行及び12頁9行の各「エアーケージ
」を「エアーゲージ」と補正する。 (3)同10頁16行「演算回路52」を「演算回路5
1」と補正する。 (4)同13頁17行「傾斜端縁31、」を「傾斜端縁
31a、31bJと補正する。 (5)同14頁3行左端「(5)第6図」を「(4)第
6図」と補正する。 (6)同15頁1行左端「(6)第1図」を「(5)第
1図」と補正する。 (7)同15頁12行左端「(7)図示の」を「(6)
図示の」と補正する。 以上
2図は第1図の■−■断面拡大図、第3図は第1図の砥
石の適正位置状態を示す1部分の断面拡大図、第4図は
砥石が変位した状態を示す第3図と同じ部分の断面拡大
図、第5図、第6図はそれぞれ別の実施例を示す第3図
と同じ部分の断面拡大図である。1・・・超砥粒砥石、
2・・・台金、3・・・超砥粒層、5・・・回転軸、2
2.24.27・・・ボールねじホルダー、ボールねじ
、モーター(微移動装置の一例)、31・・・環状溝、
35.36・・・センサー、53・・・レーザー変位計
(センサーの別の例) 特許出願人 大昌精機株式会社 第2図 手続補正書(自発) 昭和62年5月25日 昭和62年 特 許 願 第 68505号
2、発明の名称 平面研削盤の砥石位置検出装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 大阪府池田市神田4丁目25番45号名 称
大昌精機株式会社 代表者 代表取締役 小俣 情夫 4、代理人 住 所 大阪市北区東天満2丁目9番4号千代田ビル
東館7階(・530) 5、補正命令の日付 (発送日)昭和 年 月 日(1
)明細書7頁11行「ウオームホイール26」を「ウオ
ームホイール25」と補正する。 (2)同8頁18行及び12頁9行の各「エアーケージ
」を「エアーゲージ」と補正する。 (3)同10頁16行「演算回路52」を「演算回路5
1」と補正する。 (4)同13頁17行「傾斜端縁31、」を「傾斜端縁
31a、31bJと補正する。 (5)同14頁3行左端「(5)第6図」を「(4)第
6図」と補正する。 (6)同15頁1行左端「(6)第1図」を「(5)第
1図」と補正する。 (7)同15頁12行左端「(7)図示の」を「(6)
図示の」と補正する。 以上
Claims (2)
- (1)回転軸の軸方向端部に固着された台金と、該台金
の軸方向端面に設けられた超砥粒層とにより超砥粒砥石
を構成し、超砥粒層の軸方向端面を研削面としている平
面研削盤において、台金の外周面に環状溝を形成し、該
環状溝に対して半径方向外方から間隔を隔てて対向して
環状溝の軸方向位置を測定するセンサーを配置し、環状
溝の位置測定により砥石位置を検出するようにしたこと
を特徴とする平面研削盤の砥石位置検出装置。 - (2)回転軸を軸方向に移動させる微移動装置を設け、
前記センサーからの信号を受けてワークに適する砥石位
置に回転軸の位置を制御するように上記微移動装置に指
令を送る信号処理装置を微移動装置に接続した特許請求
の範囲第1項記載の平面研削盤の砥石位置検出装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62068505A JPS63237867A (ja) | 1987-03-23 | 1987-03-23 | 平面研削盤の砥石位置検出装置 |
US07/061,525 US4791759A (en) | 1987-03-23 | 1987-06-15 | Grinding wheel position detecting means for surface grinding machine |
DE19873721573 DE3721573A1 (de) | 1987-03-23 | 1987-06-30 | Schleifscheiben-positionsabtasteinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62068505A JPS63237867A (ja) | 1987-03-23 | 1987-03-23 | 平面研削盤の砥石位置検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63237867A true JPS63237867A (ja) | 1988-10-04 |
Family
ID=13375625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62068505A Pending JPS63237867A (ja) | 1987-03-23 | 1987-03-23 | 平面研削盤の砥石位置検出装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4791759A (ja) |
JP (1) | JPS63237867A (ja) |
DE (1) | DE3721573A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2680477B1 (fr) * | 1991-08-22 | 1995-12-08 | Pont A Mousson | Procede et machine d'ebarbage. |
DE4233326C2 (de) * | 1992-10-05 | 2001-06-28 | Schenck Rotec Gmbh | Überwachungsvorrichtung für eine Auswuchtmaschine |
DE10012138B4 (de) * | 2000-03-13 | 2010-02-25 | Sick Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Kantenbereichen von Objekten |
DE10012647B4 (de) * | 2000-03-15 | 2009-09-24 | Reishauer Ag | Einrichtverfahren für ein Bearbeitungswerkzeug bzw. Werkstück auf einer Verzahnungsmaschine |
DE10120341B4 (de) * | 2001-01-30 | 2005-07-14 | Sirona Dental Systems Gmbh | Verfahren zur Bestimmung aktueller Positionsdaten eines Bearbeitungswerkzeugs |
JP5260139B2 (ja) * | 2008-05-22 | 2013-08-14 | 株式会社日進製作所 | 砥石接触感知方法およびその装置、ならびにホーニング加工方法およびホーニング盤 |
JP5099111B2 (ja) * | 2009-12-24 | 2012-12-12 | 信越半導体株式会社 | 両面研磨装置 |
WO2016130946A1 (en) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | Think Surgical, Inc. | Laser gauge for robotic calibration and monitoring |
CN110666685B (zh) * | 2019-10-16 | 2020-09-15 | 河北工业大学 | 一种具有磨削面温度测量功能的散热磨削装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3090171A (en) * | 1959-07-31 | 1963-05-21 | United Greenfield Corp | Surface measurement apparatus and control |
US3079740A (en) * | 1959-11-24 | 1963-03-05 | Besly Welles Corp | Method of positioning grinding disks |
US3220244A (en) * | 1963-09-06 | 1965-11-30 | Cooper Bessemer Corp | Thrust bearing wear sensing device |
US3232096A (en) * | 1964-05-15 | 1966-02-01 | Thomassen Motorenfab Nv | Device for the indication of the movement of an object |
SE335689B (ja) * | 1966-02-24 | 1971-06-01 | Landis Tool Co | |
US3682191A (en) * | 1970-08-10 | 1972-08-08 | Johnson Service Co | Apparatus and method for sensing the position of a surface |
US3754433A (en) * | 1971-09-17 | 1973-08-28 | Bendix Corp | Fluidic proximity sensor |
US3975864A (en) * | 1973-08-08 | 1976-08-24 | Glowacki John J | Grinding system |
SE376969B (ja) * | 1973-10-12 | 1975-06-16 | B E Carlnes | |
JPS582033B2 (ja) * | 1975-04-29 | 1983-01-13 | 豊田工機株式会社 | 砥石摩耗測定装置 |
US4073184A (en) * | 1977-02-16 | 1978-02-14 | General Electric Company | Shaft axial position monitoring system |
CH614653A5 (ja) * | 1977-03-15 | 1979-12-14 | Schenker Ag Maschinen | |
US4502253A (en) * | 1982-08-12 | 1985-03-05 | Magnaflux Corporation | Surface treating and testing apparatus |
-
1987
- 1987-03-23 JP JP62068505A patent/JPS63237867A/ja active Pending
- 1987-06-15 US US07/061,525 patent/US4791759A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-06-30 DE DE19873721573 patent/DE3721573A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3721573A1 (de) | 1988-10-13 |
DE3721573C2 (ja) | 1989-07-20 |
US4791759A (en) | 1988-12-20 |
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